マスフロー調整器のフロー検証および検証のシステムおよび方法が開示される。マスフロー調整器は特定のフローに対して命令され、フロー測定が開始する。間隔の間に、第１の容積内にガスが蓄積され、この容積内で測定が行われる。間隔の間に行われる多様な測定はそこで、フロー速度を計算するのに用いられるであろう。次にフロー速度は、マスフロー調整器の設定点に対する正確さを決定するのに用いられるであろう。
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【課題】地震を検知したときに流路を遮断し、安全性を確保する。
【解決手段】瞬時流量計測手段１４の瞬時流量と感震手段１５の地震レベルに応じて流路調節手段１６を制御する制御手段１７を備えている。これによって複数の地震レベルが計測でき、その地震レベルと瞬時流量に応じて流路の開度を調整することができる。 （もっと読む）

【課題】 容器に貯蔵された液体が容器と結合された配管内へ流出して移動する流量を計測する方法であって、流体が脈動をなして移動するため、通常の方法では正確な計測が困難である系においても正確な流量を測定できるという優れた効果を有する液体の流量の計測方法、及び、該計測方法により得られた流量をプランジャーポンプの出力へフィードバックさせ、ポンプのストローク（出力）を自動又は手動調整することにより液体の流量を調整・管理する液体の移送方法を提供する。
【解決手段】 容器内の液体量の減少速度から該流量を求める液体の流量の計測方法。該計測方法により得られた流量をプランジャーポンプの出力へフィードバックさせ、ポンプのストローク（出力）を自動又は手動調整することにより液体の流量を調整・管理する液体の移送方法。 （もっと読む）

【課題】流体を、計測流路部に流れ込み易くすること。
【解決手段】管体１１を流れる流体を分割する際、管体１１の中心軸に同軸に内管体１２を配置し、流れＲ１を、内管体１２の内の計測流路部１３を流れる流れＲ１ａと、内管体１２の外の外側流路部１４を流れる流れＲ１ｂとに同軸上に分岐させる。外側流路部１４の入り口部分に内管体１２が持つ流体抵抗に見合った抵抗体１５を設けて、外側流路部１４への流れを抑制することで、計測流路部１３に流体を流れ込み易くできる。 （もっと読む）

ミクロな液体の流れセンサを校正する装置および方法であって、流れセンサ中の液体の流れが停止され、流れセンサから第１の値が読み取られ、次いで液体が流れセンサを通して第１および第２の選択された速度で連続的にポンプ輸送され、流速の流れセンサからの読み取り値が各速度について取られる装置及び方法である。この読み取り値は、実際の流速を決定するために多項式で使用される。その実際の流速はセンサを校正するために使用される。流れセンサは、校正方法を実行し、センサの実際の流速を決定し、ポンプの流速を適切に調節するようにプログラムされたコンピュータに接続することができる。 （もっと読む）

ＨＰＬＣシステムの動作流路における液体のナノ規模の流速をモニタし制御するための方法および装置は、ＨＰＬＣで一般的に使用される、溶剤組成勾配を相殺する複雑な較正ルーチンに依存することなく流体流量を与える。その装置および方法の使用が、一般的なアナリティカルスケール（０．１〜５ｍＬ／ｍｉｎ）のＨＰＬＣポンプの流量出力を修正して細管（＜０．１ｍＬ／ｍｉｎ）およびナノ規模（＜１μＬ／ｍｉｎ）のＨＰＬＣ流速での精密で正確な流量流出を可能にする。 （もっと読む）

本発明の空気流センサーは、フレキシブルな基板に取り付けられたフレキシブルなトランデューサを有する。この空気流センサーは、空気通路の入り口付近に配置され、空気が入口に入らない間、入口をカバーする。空気圧が空気通路で減少すると、周囲圧力と空気通路内の圧力の差圧により、空気が空気通路内に入口から入る。流入する空気が、センサーに当たり基板を変形させる、即ちたわませる／曲げる。基板がたわむ／曲がることにより、トランデューサも曲がり、その結果トランデューサの電気値が変化する。センサーの曲がりは、フレキシブルなリードによって強調される。このリードは、入口カバー部分と搭載部分の間にヒンジの形態で伸びる。エアーシールドがセンサーの周囲に配置され、空気入口を通る空気の流れを方向付け／制限し、これによりセンサーの動きを強調する。
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ＨＰＬＣシステムの実用流路内の流体のナノスケールの流量を監視し、制御するための方法および装置。第１の流量センサが、第１の分流器と流体Ｔ字管の間の第１の流路に配置される。第２の流量センサが、第２の分流器と流体Ｔ字管の間の第２の流路に配置される。第１の再循環流量制限機構が、第１の分流器と流体連絡する第１の再循環流路に配置される。第２の再循環流量制限機構が、第２の再循環通路に配置される。各再循環流量制限機構の透過率は、それぞれの流路で所望される流量をもたらすように選択されることが可能である。各流路内でポンプの出力を制御する第１の流量センサおよび第２の流量センサの出力信号。 （もっと読む）

【解決手段】制御弁（１００）は、弾性流管（１２６）、第１及び第２端部を有するプランジャ（１２４）、前記プランジャ（１２４）の第１端部に接続されているピンチ部材（５０２）を含んでいる。ピンチ部材（５０２）は、流管に隣接して配置されている。基準面（１２８）は、ピンチ部材（５０２）のほぼ反対側に配置されており、弾性管（１２６）をピンチ部材（５０２）と基準面（１２６）の間で絞り、流管を通る流体の流れを制御できるようになっている。第１ガイドばね（５１１）は、ピンチ部材（５０２）と、プランジャ（１２４）の第１端部の間に配置されており、第２ガイドばね（５１０）は、プランジャ（１２４）の第２端部に隣接して配置されている。減衰器（５５２、５５４、５５６）は、プランジャに接続されている。更に、圧力封入部材（１３０）は、流管の少なくとも一部の周りに配置されている。 （もっと読む）

流路に差圧を発生させ、半導体デバイスに用いられるガスの流量を制御する差圧式流量制御器が提供される。差圧発生要素は半導体デバイスの製造に用いられるガスの流路に差圧を発生させ、流路上のバイパスに設置される圧力センサは差圧を検出し、中央処理装置（ＣＰＵ）はガスの流量を測定および制御する。その結果、本発明は、ガスの流量を精密かつ迅速に制御することができるとともに、差圧発生要素自体のフィルタリング機能によってガスの純度を高めることができる。

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【課題】 小さな力で流量制御弁を駆動でき、かつ、流量制御弁を駆動する際の消費電力を低く抑えることのできる水道制御システムを提案すること。
【解決手段】 水道メータシステム１において、電子カウンタ９の弁制御部は、流量制御弁８を開閉する必要が生じた場合には、電子式水道メータ７での監視結果に基づき、水道水の流量が少ない時、あるいは水道水が使用されていない時に流量制御弁８を駆動するように制御弁駆動装置８８を制御する。このようなタイミングであれば、流量制御弁８を挟む両側の水圧差が小さい時あるいは水圧差がない時に流量制御弁８を駆動することになるので、小さな力で、少ない電力で弁を駆動できる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置の配管を流通する全ガス流量が大きく変わった場合でも常に最適な検出精度で流量検出を行える様にする。
【解決手段】半導体製造装置の配管１に流量検出装置２が設けられ、該流量検出装置がガス導入路１６とガス導入路に対して並列に設けられた調整流路１３，１４，１５を具備する流量調整部とを有し、前記ガス導入路にガス流量検出器７を設け、前記ガス導入路を流通するガス流量が所定範囲となる様、前記調整流路の流路断面積を変更可能とした半導体製造装置に係り、又前記流量検出装置は複数の調整流路を有し、該複数の調整流路は独立して開閉され、ガス導入路を流れるガス流量を流量検出器の検出適正流量とすることで、配管の全ガス流量が大幅に変化したとしても流量検出器の持つ最適精度で流量検出を行う。 （もっと読む）