【課題】商用電源を用いることなく流量を正確に制御すること。
【解決手段】流体が流れる管の途中に回転装置であるタービン１を設置する。タービン１は流路の高圧側と低圧側を完全に隔絶し、その圧力差を利用して回転する。発電機２は、タービン１の回転力を動力にして発電し、整流回路３で整流して蓄電素子４へと蓄積する。周波数カウンタ７は、蓄電素子４を電源に駆動し、タービンの回転数を監視する。制御回路６は、蓄電素子４を電源に駆動し、周波数カウンタ７からの情報を取り込んで目的の周波数になるように蓄電素子に流れる電流を調整することで、流路での流量を制御する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で精密な定量送液を実現できるマイクロチップを得る。
【解決手段】ベース材に形成した微細流路を流れる液体の流量を検出する流量検出回路４０と、加熱抵抗３７によって微細流路を流れる液体の温度を変化させて送液量を一定にする定流量制御回路４５とを備えたマイクロチップ。液温参照抵抗３５、流量検出抵抗３６及び加熱抵抗３７は、微細流路を覆うフィルム上に設けられている。 （もっと読む）

【課題】より大きいレンジアビリティで高い測定精度を維持するとともに、二次側の流体圧力が負圧となった場合でも正確に流量を測定することができる流量測定装置を提供する。
【解決手段】流体の供給ラインＬに配される流量測定装置１０であって、前記供給ラインＬを流通する流体の流量を測定する差圧式流量センサー２０と、前記差圧式流量センサー２０の二次側に配置され、弁室５２内に弁座５５に対して進退する弁体６０を有し、前記差圧式流量センサー２０の二次側流体の圧力変動に対応して前記弁体６０が前記弁座５２に対して進退して一次側流体を所定の圧力に維持することにより前記差圧式流量センサー２０の二次側流体の圧力を一定に保持する圧力制御弁部５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】比熱が変動するガスの流量を正確に測定し制御する。
【解決手段】導管を通るガスの流量を調節するための弁手段５、この弁手段を駆動するための駆動手段９、導管を通るガスの流量を測定するための体積流量計７を有し、この流量計が、設定点信号１７との比較のためにフィードバック信号２９を提供する。設定点信号は、設定点信号発生手段１９により発生され、それは所望の流量に対応する値を入力するためのポテンショメーター２１と、以前の設定点から所望の設定点への変更を体積流量計に固有の応答の遅れを保証するのに十分な時間遅らせてガス流量を滑らか且つ安定に制御するための、抵抗器２５及びキャパシタ２７からなるスローダウン回路２３を含む。ポテンショメーターはディジタルポテンショメーターであって、その電圧は回転エンコーダーの独立した操作により変えることができる。 （もっと読む）

【課題】 大流量用であっても大型化することなく、廉価でコンパクトな高性能流量センサおよびこれを用いた質量流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量センサ８は、流体をバイパス流路１２と、ブリッジ回路の一部を形成する発熱抵抗線が巻回されたセンサ流路１４とに所定の分流比で分岐して流し、前記センサ流路１４に前記流体が流れることによって生ずる熱の移動を前記ブリッジ回路の不平衡として捉えることにより、前記流体の全体の流量をセンサ出力として求める流量センサにおいて、前記バイパス流路は、略直線状の一辺と、該一辺と接する曲線で形成される複数の細流路７４から構成され、前記細流路７４の等価水力直径（ｄ）と、前記細流路７４の長さ（Ｔ）の常用対数との比が０．２７以下である。そして、この流量センサは質量流量制御装置に内蔵される。 （もっと読む）

【課題】流量変動の他に加圧タンク内圧力変動、駆動装置の空気圧変動、充填液温度変動などの充填環境条件が変わっても充填量の誤差がなく、煩雑な事前作業が必要でない流量計測式充填方法を提供する。
【解決手段】既知の加圧タンク４内圧力と充填バルブ７の閉鎖所要時間との関係から、加圧タンク４内圧力をもとに充填中の充填バルブ７に閉鎖指令を出してから該バルブが完全に閉鎖されるまでの閉鎖所要時間を求めるとともに、既知の流量と閉鎖所要時間と閉鎖所要時間内に充填バルブから流出する充填落差量との関係から、充填バルブによって容器内に充填液が充填される際の単位時間当りの流量を計測する流量計測手段にて計測した瞬時流量と先に求めた閉鎖所用時間とをもとに充填落差量を求め、充填中に逐次計測積算した液量と計算して求めた充填落差量とから、充填バルブに閉鎖指令を出すタイミングを決定して容器内に充填液を充填する。 （もっと読む）

本発明は、冶金炉の冷却要素(1)の個々の冷却要素流路(3)を流れる冷却液の温度、流量、または圧力などの物理量のうち少なくとも１つを計測する方法および装置に関する。本装置は、冷却液を分配して冷却要素(1)の冷却要素流路(3)に供給する供給母管(2)と、冷却液を冷却要素(1)の冷却要素流路(3)から回収して収容する回収母管(4)とを備える。本装置は測量ライン(5)を備え、測量ラインはバルブ機構(6)を介して少なくとも１つの冷却要素流路(3)に流体接続され、冷却液は測量ライン(5)を経由して回収母管(4)に案内されるか、または測量ライン(5)を経ずに回収母管(4)に案内される。測量ライン(5)は、測量ライン(5)を流れる冷却液の物理量のうちの少なくとも１つを計測し、また冷却要素流路(3)を計測する計測器(7)を少なくとも１つ含む。
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【課題】
適正流量を超えた水量が流された場合でも破壊されない水道メータを提供する。
【解決手段】
需要家の瞬時流量を測定し、当該瞬時流量が、設定されている適正流量を超過している場合に、制御部１８０により流量調整部１７０の開口量をしぼるようにした。 （もっと読む）

【課題】 デジタルアナログコンバータ等の異常を確実に検知するとともに安価なアナログ出力回路と、これを用いた質量流量制御装置を提供する。
【解決手段】デジタル演算回路からのデジタル出力信号をデジタルアナログコンバータとゲイン回路を介してアナログ信号を出力するアナログ出力回路である。デジタル演算回路には、パルスワイドモジュレーションとアナログデジタルコンバータが内蔵され、デジタルアナログコンバータのＤＡＣ出力信号と、パルスワイドモジュレーションの出力をローパスフィルタを介して一定電圧としたＰＷＭ信号とを加減算回路に入力し、加減算回路にてＤＡＣ出力信号とＰＷＭ信号との加減算結果を、アナログデジタルコンバータに出力し、デジタル演算回路は、加減算結果に基づいて、異常信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】燃料ガスの組成の違いや変化に拘わりなく、発熱量を管理値として燃料ガスの流量を制御することのできる流量制御装置を提供する。
【解決手段】燃料ガスの通流路に設けられて燃料ガスの流量を調整する流量調整弁と、上記通流路を通流する燃料ガスの質量流量を検出する熱式質量流量センサと、前記熱式質量流量センサの出力から、前記燃料ガスの体積流量と該燃料ガスの単位体積当たりの発熱量とにより決定される前記燃料ガスの熱量流量を求める熱量流量算出手段と、制御目標値として設定した熱量流量と前記熱量流量算出手段にて求められた熱量流量とを比較して前記流量調整弁の作動を制御する流量制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置等の稼働中において、流路を流れる流体の流量制御の精度を検定することが可能な流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路４の流量を流量設定値になるようにバルブ駆動制御情報を流量制御弁機構７に出力する制御手段８と、流体の流量を検出する流量検出手段５と、流体の圧力を検出する圧力検出手段６とを備えている。制御手段８は、流量制御弁機構７にバルブ駆動制御情報を出力したときに、出力したバルブ駆動制御情報と流路の流量との関係を示す情報を、流路の流体の圧力に関連付けして記憶したバルブ特性情報Ｋを予め備えている。流量の制御中に、流量設定値と圧力検出手段６が検出した圧力値とに関連付けされる基準となるバルブ駆動制御情報を、バルブ特性情報Ｋを参照して求め、この求めたバルブ駆動制御情報と制御手段８が流量制御弁機構７に出力したバルブ駆動制御情報との差異量を流量制御の検定情報としている。 （もっと読む）

流量制御システム（１０、２０）は、流量センサ（１２）、弁制御装置（１３）、信号プロセッサ（１４、１６）、制御プロセッサ（１４、１６）、およびインターフェイス（１４、１７）を含む。流量センサ（１２）は、流量を特徴付けるセンサ信号を生成する。弁制御装置（１３）は、制御出力に応じて流量を制御する。信号プロセッサ（１４、１６）は、センサ信号を、時間の関数として流量を特徴付ける流量信号に変換し、制御プロセッサ（１４、１６）は、設定値および流量信号に応じて制御出力を生成する。インターフェイス（１４、１７）は、設定値を表す入力を受け取り、流量信号を表す流量出力を送り、流量制御システム（１０、２０）の動作状態を直接示す診断出力を送る。 （もっと読む）

差圧式の流量センサアセンブリおよび差圧式の流量センサアセンブリを使用して流体システムにおける流体の流量を割り出す方法。センサアセンブリが、使い捨て部分および再使用可能部分を含む。流量制限要素が、流体流路において導入口と排出口との間に配置されている。使い捨て可能部分が、上流側流体圧力膜および下流側流体圧力膜をさらに有する。再使用可能部分が、上流側流体圧力センサおよび下流側流体圧力センサを有する。上流側流体圧力センサが、流体流路内の導入口と流量制限要素との間の位置における上流側流体圧力を検出する。下流側流体圧力センサが、流体流路内の流量制限要素と排出口との間の位置における下流側流体圧力を検出する。プロセスは、センサの出力を使用して流体の流量を計算する。 （もっと読む）

【課題】流体の流量を精度良く検出できる領域を拡大することができる流量センサを提供する。
【解決手段】センサ管１４と、抵抗体Ｒ１〜Ｒ４よりなる抵抗体群４２と、基準抵抗Ｒ５、Ｒ６よりなる基準抵抗群４４と、定電流源２４と、電位差を求める第１の差動回路４６と、電位差に基づいて流量を求める流量決定部６０Ａとを有する流量センサにおいて、流体を流さないダミーセンサ管６６と、温度に応じて抵抗値が変化するダミー抵抗体Ｒ１’〜Ｒ４’を長さ方向に沿って取り付けたダミー抵抗体群６８と、ダミー基準抵抗群７０と、一定の電流を流すダミー用定電流源７２と、抵抗体群とダミー抵抗体群とを選択的に直列に接続するスイッチ手段５０と、電位差を求める流量域拡大用差動回路７４と、電位差に基づいて前記流体通路に流れる流体の流量を求める第３の流量決定部６０Ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】 非臨界膨張条件にある流体中の同一点の流体圧力と流体温度を同時に測定してオリフィス通過流量を高精度に制御できる圧力式流量制御装置を実現する。
【解決手段】 流量制御用のオリフィス４と、オリフィス４の上流側配管に設けられたコントロールバルブ２２と、オリフィス４とコントロールバルブ２２の間に設けて上流側圧力Ｐ_１を検出する上流側圧力センサ１０と、オリフィス４の下流側配管に設けて下流側圧力Ｐ_２を検出する下流側圧力センサ１２と、上流側圧力Ｐ_１と下流側圧力Ｐ_２によりオリフィス通過流量を流量式Ｑｃ＝ＫＰ_２^ｍ（Ｐ_１−Ｐ_２）^ｎによって演算しながらコントロールバルブの開閉によりオリフィス通過流量を制御する圧力式流量制御装置であって、上流側圧力センサ１０又は下流側圧力センサ１２は圧力を受けたときに電気抵抗が変化する抵抗素子から構成され、この圧力センサとしての抵抗素子を同時に温度センサとしても用いる。 （もっと読む）

【課題】記憶装置から消去された積算流量を再度読み出せる流量計を提供する。
【解決手段】流路11が設けられた流路保持体10、流路11を流れる流体の流量を検出するための流れセンサ8、検出された流量に基づいて、流路11を流れた流体の積算流量を算出する積算流量算出回路301、算出された積算流量を保存する第1の積算流量記憶装置400、第１の積算流量記憶装置400に保存された積算流量を消去する指示を受け付けるインタフェース350、インタフェース350が指示を受け付けた場合に、第1の積算流量記憶装置400に保存された積算流量を消去する消去回路302、及び第1の積算流量記憶装置302から消去された積算流量を保存する第2の積算流量記憶装置401を備える。 （もっと読む）

【課題】配管の口径が大きい場合であっても、流量を確実に検出可能な流量検知器及び流量検知器を用いた給水装置を提供する。
【解決手段】給水装置に設けられた流量検知器２０は、その一部に開口部２６が設けられた配管部２４を有する容器部２１と、パドル型の流量センサ２２と、水の流れ方向Ｆに回動可能に形成されたフラッパ３９と、を備え、流量によりフラッパ３９が回動することで、配管部２４の開口面積の一部を可変可能とし、流速を可変可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】薬液漏れ感知装置および方法が提供される。
【解決手段】本発明の一実施形態による薬液漏れ感知装置は、工程チェンバ内に供給される薬液の流量を測定する感知部と、測定された薬液の流量を利用して薬液の漏れの有無を判断し、制御信号を発生させる工程制御部および制御信号の入力を受け設備の動作を制御する設備制御部を含む。 （もっと読む）

【課題】液処理装置において、流量センサの異常を簡易に検出する。
【解決手段】処理槽２，給液用の第一ポンプ２０，排液用の第二ポンプ２６，液の供給流量を検知する流量センサ２２，液位センサ１６Ａを備え、液位センサ１６Ａからの信号に基づいて設定液位に制御する水処理装置における流量センサの異常検出方法であって、流量検知信号の設定値以下が判定されると第二ポンプ２６の作動を停止し、設定時間内に液位検知信号に所定の増加が有る場合に流量センサ２２が異常と判定する。 （もっと読む）

【課題】ポンプの吐出流量と時間の積から積算流量を計測するシステムの高精度化を図る。
【解決手段】高圧ポンプＰの吐出配管に、渦流と縮流圧力損失の発生しない形状の管オリフィス６を設ける。前記管オリフィス６が流体の脈動を抑えて圧力を一定とし、安定した瞬時流量を作り、電子回路で流量時間を１／１００秒以下のタイムシェアリングのタイマーで計測し、時間×瞬時流量の積から積算流量を計測する。 （もっと読む）