【課題】弁体の動作速度をさらに高速にでき、かつ大流量を制御できる電動バルブを提供すること。
【解決手段】流路１３を流れる流体の流量を制御する目的で、流路１３に開度を可変可能な弁構造３５を設け、この弁構造３５の弁体３７と弁体３７のアクチュエータであるピエゾ素子４２との間に、ピエゾ素子４２の伸縮を拡大して弁体３７に伝達する変位拡大機構（ストローク拡大機構）５０を設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明は超音波流量計の流量計測精度を高めることを課題とする。
【解決手段】 超音波流量計３０の流量制御部３８は、超音波センサ駆動部４１と、送信間隔変更部４２と、流量測定部４４と、二次圧力監視部４６と、記憶部４８と、電源としての電池４９とを有する。二次圧力監視部４６は、記憶部４８に記憶されている制御弁２０の設定圧力変動パターンのデータを所定時間間隔で読み込む。二次圧力監視部４６は、設定圧力変動パターンのデータに基づいて送信間隔変更部４２に対して圧力変動検出信号を出力することが可能になり、制御弁２０による圧力制御動作が行なわれると共に、超音波の送信間隔を変更することができる。超音波センサ駆動部４１では、送信間隔変更部４２よりの制御信号に基づいて設定圧力の変動タイミングに合わせて予め設定されている送信間隔となるように上流側超音波センサ３４に出力する駆動信号の時間間隔を短くするように変更する。 （もっと読む）

【課題】供給ノズルに処理液を供給するための供給流路に設けられた差圧式流量計の流量の計測値が真の値からずれたことを容易に検知することができる基板処理方法及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】処理液を供給する供給流路に設けられた差圧式流量計を介して接続された供給ノズルにより基板に処理液を供給し、供給された処理液により基板を処理する基板処理方法において、基板に処理液を供給していないときに、供給流路内の圧力を差圧式流量計内の圧力計測部により計測する計測工程Ｓ１５と、計測工程Ｓ１５を行って計測した圧力値と、所定の圧力値とを比較することによって、圧力計側部が正常に動作しているかを判定する判定工程Ｓ１６と、判定工程Ｓ１６において圧力計側部が正常に動作していると判定したときに、基板に処理液を供給する供給工程Ｓ１１とを有する。 （もっと読む）

【課題】洗浄等による液体の置換を容易かつ完全に実施できるダメージ軽減対策を施した圧力センサを提供する。
【解決手段】流体主流路１１を流れる液体の圧力を検出する圧力センサ１０において、流体主流路１１の直管部から分岐した位置に圧力計測空間部１２を設けて圧力計測部４を設置し、さらに、流体主流路１１と圧力計測空間部１２との間については、流体主流路１１より管径の細い導入管１３及び流出管１４を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】従来よりも計装コストを低減させる。
【解決手段】ガスが流通する流路１１に配置され、発熱抵抗体、上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子を有するセンサ１２と、発熱抵抗体を発熱させたときの上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子の検出温度に基づいてガスの物性値を算出する物性値算出部３１１と、上記検出温度に基づいてガスの流量を算出する流量算出部３１２と、ガスの置換時に開閉され、ガスの流量を調節する調節弁４０と、算出された物性値または流量に基づいて調節弁４０の開度を制御する弁制御部３３０と、センサ１２の出力信号を、物性値算出部３１１または流量算出部３１２のいずれか一方への入力に切り替える切替部３２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、パルス出力部が出力すべきパルス数と実際に出力したパルス数を診断するパルス診断部を設けることで、出力すべきパルス数と実際に出力したパルス数が一致しなかった場合にアラーム等を出力することを可能とする流量計を実現することにある。
【解決手段】本発明は、流量センサが、配管を流れる流体の流量を検出し、パルス出力部が、この流量に応じたパルス数を有するパルス信号を生成し、パルス出力端から前記パルス信号を出力する流量計において、前記パルス出力部が出力すべきパルス数と、前記パルス出力部から前記パルス出力端に至る経路に出力されたパルス数との比較を行い、比較の結果に基づいてアラーム信号を出力する特徴とする。 （もっと読む）

【課題】制限フロー構成要素によって生成される圧力低下に基づいて、フロー速度を測定するための流体フロー測定および制御デバイスを提供する。
【解決手段】本発明のデバイスは、流体入り口および流体出口を有する比例フローバルブ１０、ならびにこの比例バルブ１０を調節するためのアクチュエータ１７を備える。この制限フロー要素１５は、この比例フローバルブ１０と連絡状態にある流体入り口および流体出口を備え、制限フロー構成要素の流体入り口と出口との間での圧力低下を生成する。このデバイスはまた、圧力低下を測定するための手段２４，２５、圧力低下に基づいてフロー速度を計算するための手段１６、ならびに測定された圧力低下に応じて比例フローバルブ１０を通じて流体のフローを制御するために圧力低下測定手段２４，２５、およびアクチュエータ１７と連絡する制御手段（示さず）を備える。 （もっと読む）

【課題】供給ノズルから大流量及び小流量で供給する処理液の流量を精度よく制御でき、小流量で処理液を供給するときの流量変動を防止できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板に処理液を供給するノズル部４５と、ノズル部４５に処理液を供給する供給系７０とノズル部４５とを接続する供給流路６８ａを絞る絞り部１３２ａと、絞り部１３２ａの両側の供給流路６８ａ内の圧力を計測する圧力計測部１３２ｂと、供給流路６８ａ上に設けられた流量制御弁１３３と、流量制御弁１３３を制御する流量制御部１３４とを有する。流量制御部１３４は、第１の流量Ｆ１で処理液を供給するときは、絞り部１３２ａの両側の圧力差に基づいて流量制御弁１３３を制御し、第１の流量Ｆ１よりも小さい第２の流量Ｆ２で処理液を供給するときは、絞り部１３２ａの片側の圧力に基づいて流量制御弁１３３を制御する。 （もっと読む）

【課題】測定開始時の気体流量の急激な増大に対しても、損傷等を生ずることなく、対処を可能とする。
【解決手段】テーパ管１１の内部にはフロート１２が挿入され、テーパ管１１の上部にはストッパ１６が配置され、ストッパ１６の上方には空間部１７が設けられている。また、空間部１７の上部の隔壁１８には絞り孔１９が形成され、空間部１７内には上下に浮遊可能で急激な被測定流体の気体流量の増大があると、上昇して絞り孔１９を閉塞する絞り弁２０が配置されている。
測定開始時に管路のバルブが開かれ、気体が急激にテーパ管１１内に流入すると、フロート１２も上昇するが、絞り弁２０も急上昇し、絞り弁２０は絞り孔１９を閉塞する。これにより、気体の流入が阻止されるので、フロート１２のストッパ１６への衝撃値が小さくなり、テーパ管１１等が損傷することがなくなる。 （もっと読む）

【課題】製造が容易な流量計を提供する。
【解決手段】流路１１が設けられた流路保持体１０と、流路１１に挿入された、底面を有する筒状のメッシュからなる複数の整流部材５ａ，５ｂ，５ｃと、流路１１の複数の整流部材５ａ，５ｂ，５ｃを透過した流体の流量を検出する流れセンサ８と、を備える、流量計を提供する。 （もっと読む）

【課題】フロートの流路内壁面への接触によるパーティクルの発生を防止することができる流量計およびマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】ケーシング１１の内側には下方から上方に向けて流体を流す鉛直方向に沿った流路１２が形成される。流路１２の一部はテーパ管１５によってテーパ面１６とされている。流路１２内には棒磁石２１を内蔵するフロート２０が収容される。ケーシング１１の外周面にはリング形状の永久磁石である下部リング磁石３０および上部リング磁石３５が周設される。下部リング磁石３０および上部リング磁石３５の双方からフロート２０の棒磁石２１の下端および上端のそれぞれに同じ磁極の反発力による斥力が及ぼされる。これにより、流体の有無に関わらず、フロート２０が流路内壁面に接触することが常に防止され、その結果パーティクルの発生をも防止することができる。 （もっと読む）

【課題】同一仕様の計測ユニットで種々の流量範囲の計測を可能した流体の流れ計測装置を実現するものである。
【解決手段】計測流路１に流れる流体の少なくとも一部が流れる測定流路２と、前記測定流路２を流れる流体の流速および／または流量を計測する計測手段３と、前記測定流路２を流れる流体の流れを主流Ａ、計測流路１を流れる流体の流れを副流Ｂとしたとき、これらに主流Ａ、副流Ｂの割合を制御する流量制御手段５とを具備したものである。したがって、全体の流量が減少したときに副流を制限することによって、計測対象の主流Ａの流速を確保できる。 （もっと読む）

【課題】流量精度を向上させることができるコンパクトな流量制御装置を提供すること。
【解決手段】熱式流量計２の流量測定値に基づいて流体制御弁３のバルブ開度を制御して流量制御を行う流量制御装置１であって、流出ポート２３と入力ポート４２とを接続するようにセンサボディ１１とバルブボディ４１とを面接触させて、熱式流量計２と流体制御弁３とを一体化する。そして、流量を絞るオリフィス流路３３が設けられたオリフィス部材３１をセンサボディ１１の流出ポート２３に装着し、オリフィス部材３１を熱式流量計２に内蔵させる。 （もっと読む）

【課題】オリフィスを設置する位置が制限されず、合理的な給排ガス管の配置を実現できる蓄熱式バーナの流量測定方法及びその方法を用い得る給気排ガス装置の提供。
【解決手段】交互燃焼する蓄熱式バーナ１ａ，１ｂに各々直結する引出管２ａ，２ｂを備え、引出管２ａ，２ｂに繋がる給気ブリッジ３及び排ガスブリッジ４を備え、給気ブリッジ３及び排ガスブリッジ４における給気管連結部３Ｊ又は排ガス管連結部４Ｊの両側に各側で交互に開閉する遮断弁７を備え、引出管２ａ，２ｂを流通する気体の温度を検出する温度検出器１０を設置し、引出管２ａ，２ｂに、オリフィス８、及びオリフィス前後の気圧差を検出する差圧検出器９を設置し、オリフィス８の前後に給気時及び排ガス時において旋回流の発生を抑制し得る直管部２Ｓａ，２Ｓｂを備え、差圧情報と温度情報を差圧・温度−流量特性に当て嵌め燃焼空気及び排ガスの流量を導出する蓄熱式バーナの流量測定回路。 （もっと読む）

【課題】高炉の羽口への微粉炭の分配供給設備において、微粉炭の流量測定及び流量調整の機能を維持しつつ、そのコストを低減する。
【解決手段】微粉炭を受け入れる受入部３ａと複数の分配支管３ｂとを有する分配器３を備え、複数の分配支管３ｂを介して高炉の複数の羽口に微粉炭を供給する微粉炭の分配供給設備において、複数の分配支管３ｂの少なくとも一つに、基準となる微粉炭流量の絶対値測定手段９を設け、複数の分配支管３ｂの全数に、微粉炭流量の大小のみを検知する簡易測定手段１０と、微粉炭の流量を調整する流量調整手段１１とを設け、さらに、複数の分配支管３ｂの全数に設けた簡易測定手段１０によって検知した測定値を比較する比較手段１２を設けた。 （もっと読む）

【課題】流体の種類を特定してその流体の種類に応じた流量の補正を的確に行うことができる超音波流量計を提供すること。
【解決手段】超音波流量計２は、第１センサ部１１で検出した超音波の伝搬時間差に基づいて、流体出力用管路７を流れる流体Ｗの流量を算出する。超音波流量計２は、第２センサ部１２で検出した反射波の信号強度と管路を構成する材質の音響インピーダンスとに基づいて、流体Ｗの密度を求める。この密度に基づいて、流体出力用管路７を流れる流体Ｗの種類が特定され、その種類に応じて流体Ｗの流量が補正される。 （もっと読む）

【課題】ガス器具に所定のステップ状の流量パターンを発生させ、これを数値化して、ガス器具を指定できるようにすることで、使用ガス器具に応じた保安機能を有する器具判別ガスメータシステムを提供することを目的とする。
【解決手段】ガス器具２ａは使用するガス流量を調整する流量調整手段３ａを有し、流量調整手段４で所定のステップ状の流量パターンを発生させ、且つ、この所定のステップ状の流量パターンは、例えばＨｉ−ＬｏあるいはＨｉ−ＯＦＦ等の流量ステップに時間を組み合わせて２値化して、ガス器具２ａを判別できるようになっているので、ガス流量を計測して、その特徴的な流量パターンを捉える必要がなく、ガス器具を指定する数値で扱えるようになり、器具判別が確実になるとともに容易になり、使用しているガス器具に応じた保安機能を付加することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で、浴槽に配設された風呂循環配管に流れる湯水の流量を正確に測定する。
【解決手段】この流量測定方法は、風呂循環配管（ｈ２５＋ｈ１７＋ｈ２６）内の湯水を吐水するポンプＰ４と、前記風呂循環配管に流れる湯水の流量が第１流量Ｑ１になるとオンし、前記第１流量よりも小さい第２流量Ｑ２になるとオフする水流スイッチＷ１と、前記ポンプの回転速度と吐水量との対応関係を規定した第１ポンプ特性Ｒ１において前記第１流量に対応する前記回転速度Ｘを求め、その回転速度Ｘと、前記水流スイッチのオン時に検出される前記回転速度Ｙとの比（Ｘ／Ｙ）を求め、その比に基づき前記第１ポンプ特性を補正して、前記第１ポンプ特性から第２ポンプ特性を導出し、前記第２ポンプ特性に基づき、前記ポンプの回転速度から前記風呂循環配管に流れる湯水の流量を測定する。 （もっと読む）

【課題】ガスの組成分析を行うにあたり、サンプル流量調整用のマスフローコントローラ内部における水分の凝縮を抑制するとともに、マスフローコントローラの構造に起因する分析計の応答遅れを抑制することにより、組成分析の精度を向上させる。
【解決手段】ガス組成分析装置１０は、分析対象となるガスをサンプリングするサンプリング手段（バルブ１２等）と、このサンプリング手段でサンプリングしたサンプルガスの流量を調整するマスフローコントローラ１３と、マスフローコントローラ１３で流量を調整したサンプルガスの組成分析を行う組成分析手段１４と、を備え、さらに、サンプリング手段でサンプリングされマスフローコントローラ１３に導入されるサンプルガスに希釈ガスを供給してサンプルガスを希釈する希釈手段（希釈ガス用のマスフローコントローラ１５等）を備える。 （もっと読む）

【課題】水量管理システムにおいて、無駄な吐水を防ぎ、容易に節水することができるようにする。
【解決手段】水量管理システム１は、一つの供給元から分岐した複数の給水管のそれぞれ流量の設定や表示を行なう設定・表示部３と、流量を検出する流量検出部４と、流量を調整する流量調整部５と、流量調整部５を制御する制御部６を有している。制御部６は、他の給水管に設けられた全ての制御部６と接続されており、他の給水管の流量検出部４が検出した流量を受信する。設定・表示部３は、ユーザによってそれぞれの給水管の流量や合計流量を設定される。設定・表示部３は、設定値をそれぞれの給水管の制御部６に送信する。制御部６は、流量が設定値になるようにそれぞれの流量調整部５を制御する。給水管毎の流量や合計流量を設定することができるので、無駄な吐水が防がれて節水することができる。 （もっと読む）