【課題】 従前の圧力式流量制御装置では、その機構上流量出力信号の存在でもって絞り機構下流側バルブの開動作を判定することが出来ないので不都合である。そのため、圧力式流量制御装置の作動時の流量出力信号の変動状態から絞り機構下流側バルブの開放を簡単に判定できるようにする
【課題解決の手段】 圧力式流量制御装置に於いて、その絞り機構下流側バルブを開放すると共に圧力式流量制御装置へ入力する流量設定値Ｑｅを変動させ、当該流量設定値Ｑｅの変動中の圧力式制御装置からの流量出力信号Ｑｏの変動の大きさΔＶを検出し、当該流量出力信号Ｑｏの変動の大きさΔＶが規定値以上の場合には、絞り機構下流側バルブの開放作動が正常であると判断し、また、前記変動の大きさΔＶが規定値以下の場合には開放作動が異常であると判断する。 （もっと読む）

【課題】消費電力を減らす。脈動による開閉弁の開度の変動を防ぐ。圧損を減らす。
【解決手段】通常の計測時には、開閉弁１４を全開位置１４’に固定する。入口１１から流入したガスの流量を、主計測部２４の超音波振動子２６、２７によって計測する。流量が所定値以下になると、開閉弁１４を閉じて微少流量検知部２１を作動させる。遮断弁１７は開いている。バイパス流路１６に流れるガスを超音波振動子１９、２０によって検知し、５Ｌ／ｈ以下なら漏洩なしと判定する。判定が終わったら振動子１９、２０は休止させる。 （もっと読む）

【課題】小型でデッドボリュームが少なくて、しかも作動気体の圧力が低くても確実に全閉動作を行うことができる遮断弁装置を提供する。
【解決手段】内部に一時的に気体が溜る弁室３６を有する弁ブロック体８０と、弁室に対して気体を流入させる流入路３４と、弁室から気体を流出させる流出路４０と、流入路の流入口と流出路の流出口の内のいずれか一方よりなる弁口４２に設けられた弁座４４と、弁座に対向させて弁室を区画するように配置されると共に、弁座に屈曲可能に当接して弁口を遮断する金属製のダイヤフラム弁体３８と、ダイヤフラム弁体を押圧するための押圧手段８２とを備え、押圧手段は、弁室の反対側にダイヤフラム弁体に対向するように配置された弾性体よりなるアクチュエータ板８４と、アクチュエータ板により区画されて作動気体が給排される作動室８６と、作動室内へ作動気体を給排させる作動気体給排機構８８とにより構成される。 （もっと読む）

１つの質量流量を複数Ｎ個の副次流に分割するシステムは、１つの質量流量を受けるように構成されている入口と、マスタＦＲＣ（流量比コントローラ）と、１つ以上のスレーブＦＲＣとを含む。各ＦＲＣは、入口に接続されており、少なくとも１つの副次流導管を含む。マスタＦＲＣおよびスレーブＦＲＣは、組合せにおいて、Ｎ個の副次流導管を含む。各流導管ｉ（ｉ＝１、．．．Ｎ）は、Ｎ個の副次流の内対応する１つを搬送するように接続されている。ホスト・コントローラから事前選択比率設定点に応答して、マスタＦＲＣおよびスレーブＦＲＣは、個々の流量Ｑ_ｉ（ｉ＝１、．．．Ｎ）と総流量Ｑ_Ｔとの間おける比率Ｑ_ｉ／Ｑ_Ｔ（ｉ＝１、．．．Ｎ）を、事前選択比率設定点に維持する。 （もっと読む）

【課題】本発明は流体の温度変化が生じた場合に温度センサにより計測された計測温度と流体の温度との差による温度補正の誤差を解消することを課題とする。
【解決手段】出荷制御装置１４は、出荷した油液の流量計測値を温度計測値から推測される温度に応じた温度補正演算を行う補正手段５０と、温度センサ４０により計測された温度に温度変化の大小を計測する温度変化計測手段５２と、流体の温度変化と当該温度変化に対する流体の温度との対応関係を記憶する温度変化記憶手段５４とを有する。また、補正手段５０は、温度変化計測手段５２により計測された温度変化と温度変化記憶手段５４に記憶された当該温度変化に対応する流体の温度とに基づき流量計３２で計測された流量値を補正する。 （もっと読む）

【課題】層流発生部を挟む上流と下流の差圧を可及的に大きくでき、また層流発生部の長さを可能な限り短くし、さらにキャピラリー管を不要としてガスの流量を検出すること。
【解決手段】 流路を上流側と下流側とに仕切る多孔質部材からなる層流素子３０と、層流素子３０の上流側と下流側との差圧ΔＰを検出する手段１７、２６と、下流側の圧力Ｐ2を検出する手段２６と、差圧ΔＰに基づいて体積流量Ｑを
Ｑ＝Ａ＊ΔＰ＊（ΔＰ＋2＊Ｐ2＋Ｂ）
（ただし、Ａは多孔質部材の形状係数を、またＢはガスの圧縮率に対する補正値を表す。）
なる関係により算出する手段３２とにより構成されている。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、混合流体の連続的流動生成のためのシステム（１００、３００、５００）、および方法を提供する。該混合流体は、異なる流体の混合物、または温度等の異なる流入特性を有する、同一の流体の混合物を含み得る。さらに、本発明の実施形態は、アナログ設定点を多重化するためのシステム（９００、１１００）、および方法を提供する。第１の流体の流れを制御するための、第１の流量コントローラと、第２の流体の流れを制御するための、第２の流量コントローラと、第１の流量コントローラおよび第２の流量コントローラと流体連通し、かつそれらの下流にある第１のミキサであって、第１および第２の流体を混合し、第１の混合流体を生成する第１のミキサと、第１の混合流体の温度を測定するための、第１のミキサの下流にある、第１の温度センサとを備えた流体混合システムが提供される。
（もっと読む）

変形可能なルーメンを用いた流れ制限器の中を流れる流れを制御するための新規な装置及び関連した方法である。ルーメンは、流れ制限器の前後の圧力差の関数として変形する。流量はルーメンの直径の４乗に比例するので、圧力差の小さな変化が、在来の流れ制限器システムの流量よりも大きな変化を可能にし、流量の、実時間の微調整を提供する。
（もっと読む）

プロセスコントロールシステム内の特定のプロセスコントロールコンポーネントによって消費される供給ガスを正確に測定するためのシステムおよび方法が開示されている。測定精度の向上は、該プロセスコントロールシステムの正常動作モードで該プロセスコントロールコンポーネントの消費を測定することによって導出される。１つのプロセスコントロールコンポーネントによって使用される流体量は流体コントロールシステムによって、他のプロセスコントロールコンポーネントを起動する際に使用される供給ガス量と分離される。各コンポーネントによって使用される流体量は、この動作中に各コンポーネントに供給ガスを独立して供給する既知量を有する容器内の流体の減少を測定することによって判断可能である。 （もっと読む）

【課題】流体の流量を制御する熱式質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】熱式質量流量コントローラは、流体を受けるように構成されている導管と、流体が導管内を通過する際に、流体の圧力を測定するように構成されている圧力センサと、流体の周囲温度を測定するように構成されている温度センサと、流体の流速を表す出力を発生するように構成されている熱センサとを含む。熱式質量流量コントローラは、更に、熱センサからの出力、圧力センサによって測定した圧力、および温度センサによって測定した周囲温度を監視し、熱吸引によって起こる熱センサの出力のずれを補償するように、導管内における流体の流量を規制するように構成されている制御システムを含む。 （もっと読む）

【課題】液体の吐出量が常に一定となるように高精度に制御すると共に、前記液体内にエアが混入した場合を検知して吐出精度の低下を防止する。
【解決手段】定量吐出装置１０は、液体が流通する第１及び第２通路１２、１６を有し、前記第１及び第２通路１２、１６の下部には、前記第１及び第２通路１２、１６内の液体の圧力を検出可能な一組の検出部２０ａ、２０ｂが設けられると共に、前記第１及び第２通路１２、１６の上部には、液体内に含まれるエアを排出可能なエア抜き通路４８ａ、４８ｂがそれぞれ設けられている。そして、第１ハウジング１４と第２ハウジング１８の間には、第１及び第２通路１２、１６に臨むように液体の流量を絞るための流量調整部２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】流量センサを用いることなく、流量の制御が可能な流量制御方法及び装置を得る。
【解決手段】密閉タンク内においては、その液面高さとタンク内圧力との間に相関が存在することから、吐出ノズルからの液体流量を一定にするための液面高さ-タンク内圧力の関係式を求め、密閉タンク内に液体を封入した状態において、この液面高さ-タンク内圧力の関係式に基づいて密閉タンク内の気体圧力を制御し、吐出ノズルから吐出流量を制御する流量制御方法及び装置。 （もっと読む）

【課題】 流体の種別等に応じた各種の変更設定操作を簡単に行うことのできる取り扱い性に優れた汎用性の高い流量制御装置を提供する。
【解決手段】 熱式流量センサを備え、流量制御弁の開度を比例制御して流体の流量を制御する流量制御装置であって、流体の種別に対応付けて熱式流量センサにて計測可能な最大流量を登録したテーブルと、流量制御弁を介して制御する流体の種別を設定する種別設定手段と、設定された流体の種別に応じて前記テーブルを参照して求められる最大流量に従って最大制御レンジを自動設定するレンジ設定手段と、設定された最大制御レンジに対する相対値に従って運用制御レンジをマニュアル設定するレンジ変更手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 圧力式流量制御装置を分解、組立なしに、そのオリフィスを簡単に取り換えできるようにして、制御流量の切換を容易にする。
【解決手段】 コントロール弁２のバルブボディ２３の流体入口側と前記入口側取付用ブロック３９とを、並びに前記バルブボディ２３の流体出口側と前記出口側取付用ブロック４３とを、夫々解離可能に気密状に連結することにより、前記コントロール弁２を通して気体が流通する流路を形成すると共に、前記バルブボディ２３の出口側に設けたガスケット型オリフィス挿入孔４２ｃと出口側取付用ブロック４３のガスケット型オリフィス挿入孔４３ｂとの間に、圧力式流量制御装置Ａのガスケット型オリフィス３８を着脱自在に挿着する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 締付けトルク管理等の取付作業者のスキルに左右されることなく、ネジ止め時に発生する応力歪の伝達を抑制して計測精度、質量流量制御精度の向上を図ることができ、かつ、全体の軽量化も図ることができるようにする。
【解決手段】 複数の凹部５内に静電容量型圧力計３を収容配置して固定し、肉厚部には各圧力計３に流体圧力を作用させるための流体流路１０ａ〜１０ｄが形成されている直方体形状のボディブロック２のうち、圧力計３の固定保持部分２Ａ及び流体流路１０ａ〜１０ｄ外周の取り囲み部分２Ｂを除く残りの肉厚部分２Ｄが切り落とし除去され、かつ、複数の圧力計３の固定保持部分２Ａに対応させてマスフローコントローラの本体ボックスもしくはパネル１１へのネジ止め固定用の複数の取付部１２ａ〜１２ｃを形成している。
（もっと読む）

さまざまな異なるタイプの液体流れ測定および制御システムとともに使用される液体の流れの検知および制御のためのシステムならびに方法を提供する。液体流量センサシステムは、センサ導管の中を流れる液体の流量を示す流れ信号を検知し、信号の特徴的な変化を検出することによってセンサ導管の中に気泡が存在するかどうかを判断するために流れ信号を分析する。気泡が存在することをシステムが判断する場合、システムは気泡の存在を示す警告信号を発生させることができる。流量センサをフィードバックソースとして組入れる流れ制御システムは、気泡がセンサ導管を出るまで流れ制御パラメータを一時的にフリーズさせることによって気泡の検出に応答し得る。流れ制御システムは、気泡が詰まったことをシステムが検出する場合にセンサ導管から気泡を取除くための手順を実現できる。
（もっと読む）

【課題】 限られた占有スペース内で必要なコンダクタンスを精度よく求めて、所定のガス流量を安定よく、かつ、再現性よく設定することができるガス流量制御方法を提供する。
【解決手段】 ガス配管２の途中に設けられる流量制限部材８に、予め設定された径及び長さで、かつ、角部のない切り溝１５を機械加工することによってコンダクタンスを所定の公式に基いて算出可能な単一の制限流路１６を形成し、その単一制限流路１６によるコンダクタンスＣと圧力差（Ｐ１−Ｐ２）とにより、プロセスチャンバー１へ供給されるガス流量Ｑを設定する。
（もっと読む）

【課題】精密流量制御装置を用いて混合気体用質量流量計を校正し、高精度の補正係数を求め、またガス組成分析装置を精密に校正して燃料電池の発電効率を精密に測定する。
【解決手段】ガスＡ、Ｂ、Ｃの質量流量を秤で精密に計測し、その計測データにより各ガスの供給管に設けた流量計の計測データを実時間校正して精密流量制御装置１、２、３とする。混合器７で混合した各精密流量制御装置からの混合ガスを熱式等の質量流量計９で計測し、その計測データを各精密流量制御装置から供給した各ガスの流量を加算器１５で加算したデータで校正することにより混合気体の精密流量測定装置とする。またそれによりバルブ１４を制御して精密流量制御装置とする。更に、その校正データにより質量流量計の補正係数ＣＦを得て、精密な混合ガスの質量流量計として現場等で用いる。各ガスの精密流量制御装置１〜３を用いてガス組成分析装置の校正も可能となる。 （もっと読む）

流量制御装置は、化学的不活性流体路を備えた一体制御装置本体を含み、流体路内に載置される挿入可能な絞り即ちオリフィスを有し、オリフィスはより小さな断面積を有することにより、流体路内における流体の流量を抑制して、信頼性の高い流量測定を可能にする。集積回路即ち制御装置は、制御弁に接続されると共に、ファラデー箱によって包囲される信号導体を含むリード構造体によって、圧力センサにも接続される。また、一体化制御装置本体に接続される化学的不活性ハウジングは、制御弁及び圧力センサを包囲する。
（もっと読む）

【課題】 透析液の流量を正確に計測することが可能な腹膜透析用電磁流量計及び腹膜透析装置の提供を目的とする。
【解決手段】 本実施形態によれば、新規の計測パイプ２６にクランプ部４０を付け替えた場合には、透析液の供給又は排出を行う前に、腹膜透析装置１０がゼロ点調節モードになり、計測パイプ２６に備えた検出電極３３，３３とクランプ部４０に備えた電磁コイル３２との相対位置に応じた新たなゼロ点データが記憶・更新される。その後、透析液が送液パイプ２０内を流れたときには、ＭＰＵ３８が前記ゼロ点データに基づきゼロ点補正を行い、そのゼロ点補正された誘起電圧データに基づき流量を算出する。これにより、送液パイプ２０の交換に伴うクランプ部４０の付け替えにより、検出電極３３，３３と電磁コイル３２との相対位置が正規の位置からずれたとしても、透析液の流量を正確に計測することができる。 （もっと読む）