【課題】流量制御機器が流量制御を開始した直後から流量特性を検定することができる流量検定システムを提供すること。
【解決手段】第１遮断弁７Ａと、第１遮断弁７Ａの下流側に配置された流量制御機器８Ａと、流量制御機器８Ａの下流側の圧力を測定する圧力センサ１２とを有するガス配管系の流量を、圧力センサ１２が測定した圧力に基づいて検定する流量検定システム１６において、流量制御機器８Ａの正常時に圧力センサ１２が測定する圧力を積算した標準値を記憶する標準値記憶手段２７と、第１遮断弁７Ａを介して流量制御機器８Ａに供給され、流量制御機器８Ａに流量を制御されたプロセスガスを、圧力センサ１２に供給したときに、圧力センサ１２が測定する圧力を積算して圧力積算値を算出し、圧力積算値を標準値と比較して、流量の異常を検知する異常検知手段１４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】バルブの運転状態が適正か否かを容易に判断する。
【解決手段】流量制御バルブの情報表示装置は、バルブを通過する流体の流量を計測した計測流量の信号とバルブの開度を示す信号とをバルブから受信する受信部１０１と、バルブの開度を制御する演算部１００から出力された操作量を設計流量に換算する流量換算部１０３と、計測流量の設計流量に対する比率を算出する比率算出部１０４と、計測流量、比率およびバルブ開度を表示する表示制御部１０５とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置構成が簡易で、かつ現場での取付け作業が容易な流量測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、電動機４に供給される電源の電圧及び周波数、及び電動機の回転軸の回転数を測定し、これら測定した値を使用して、電動機４に接続されたポンプの配管を流れる流体の流量を算出することができる。 （もっと読む）

【課題】ガス漏れ等の微少流量からガスの通常使用状態における大流量までを簡易に、しかも精度良く検出することのできる流量計を提供する。
【解決手段】並列に設けられ、主流路を通流する流体を分流して通流すると共に上記主流路を通流する流体の流量に応じて分流比が受動的に変化する第１および第２の流路と、これらの第１および第２の流路の少なくとも一方に設けられた流量センサとを備える。例えば上記第１および第２の流路は、流路断面積の異なる流路として、或いはメッシュ体の一部に設けたメッシュ欠損部により形成される。或いは上記第１および第２の流路は、その一方にパドル機構を組み込むことにより実現される。 （もっと読む）

【課題】 水道管に対し水道メータより上流側に近接配置される流量制御弁の動作異常を検知できるようにする。
【解決手段】 流量制御弁異常検知装置と水道メータ及び流量制御弁とを通信線又は信号線を介して接続し、流量制御弁に対し例えば遮断信号が出力された後、その後における水道メータの検針値を読み取り、その検針値に基づく計測水量が、微小流量の閾値より大きい場合は、流量制御弁の例えば遮断動作（閉動作）に異常が生じているとして、この異常情報を表示部に表示し、また通信網を介して遠隔にある中央監視部に異常情報を送信する。 （もっと読む）

【課題】液状物の流量を簡単に測定することができ、且つベルトクーラ上に流し込まれる液状物の流量が最適となるように制御できるようにした、液状物の流量測定方法および流量制御方法を提供する。
【解決手段】高温の液状物（重合物１２）をダブルベルト式クーラ１４上に流し込み冷却固化するにあたり、ベルトの幅方向への液状物の拡がりを熱画像で検出し、その幅方向への拡がりから液状物の流量を測定する液状物の流量測定方法、およびベルトの幅方向への液状物の拡がりを熱画像で検出し、その幅方向への拡がりが所定の範囲となるようにダブルベルト式クーラ１４上への液状物の流量を制御する液状物の流量制御方法である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、熱式流量センサへの疎密波の影響を抑えてその計測精度の向上を図った簡易な構造の流量計を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、流路に面して設けられて該流路を流れる流体の流量を検出する熱式流量センサに加えて、前記流路に設けられて該流路内に生じた疎密波の前記熱式流量センサへ伝播を遮断する極細通路（例えば細管）を備えている。 （もっと読む）

【課題】ＥＧＲ制御領域でのエアフローメータでの吸入空気量の計測精度を向上させることができるエンジンの吸入空気量計測装置を提供する。
【解決手段】排気ガス還流装置１５０を備えるエンジン１００の吸入空気量を吸気通路１０２に配設されたエアフローメータ１１２でもって計測するエンジンの吸入空気量計測装置であって、吸気通路１０２に配設されたエアフローメータ１１２の検出部１１２Ｄへ通ずる流路１１２Ｃへの空気量割合を可変とする空気量割合可変手段と、この空気量割合可変手段による空気量割合の変化に応じて、エアフローメータ１１２の出力電圧と吸入空気量との換算式を変更して出力電圧に対応した吸入空気量を得る換算式変更演算手段とを備える。 （もっと読む）

質量流量コントローラにおいてガスの温度を測定するための方法および装置が記載される。一実施形態は、別個の温度センサに頼ることなく、ガスの温度情報を質量流量コントローラの質量流量センサから引き出す。この実施形態は、実質的に一定の電流を質量流量コントローラの熱式質量流量センサに供給し、熱式質量流量センサは、ガスの質量流量レートを測定するように設計されており、現在の入力電圧を取得するために、熱式質量流量センサの入力電圧を測定する。入力電圧は、熱式質量流量センサの一対の感知要素の間の温度差によって変化する。ガスの質量流量レートに依存する現在の入力電圧の成分を計上することによって、調整入力電圧を計算し、調整入力電圧に基づいてガスの温度を計算する。 （もっと読む）

【課題】本体に流量調節計を組み込むことにより小型化を図った渦流量計を提供する。
【解決手段】本体と、該本体内に形成された流路と、該流路内に配置された渦発生体と渦検出器とを備え、前記流路の通水量に比例して、前記渦検出器による出力から流量を測定する渦流量計において、前記本体に流量調節手段を一体として組込んだことを特徴とする
。 （もっと読む）

流量制御装置（１００）において自己漏洩を判定する方法を開示する。流量制御装置（１００）は、流量センサ（１０２）、流量制御バルブ（１０６）、及び電子回路（１０４）を備えている。電子回路は、流量センサ、流量制御弁に結合されており、流量制御装置を通過する物質の設定流速を維持するように、物質の流速を示す流量センサの信号に応答して、流量制御弁を調節するように構成されている。本方法のステップは、流量センサ（１０２）についてゼロ・ドリフト（Qdrift）を判定するステップ（３０２）を備えている。制御弁（１０６）が全閉位置にあるときに、流量制御装置（１００）を通過する流速（Qflow）を判定する（３０４）。そして、流量制御装置（１００）を通過する自己漏洩を判定する（３０６）。自己漏洩は、Qflow−Qdriftに等しい。
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【課題】従来に比較して正確な吸入空気量の推定を可能とする内燃機関の吸入空気量推定装置を提供する。
【解決手段】スロットル弁６より上流側の上流側吸気圧とスロットル弁より下流側の下流側吸気圧とを使用してスロットル弁通過空気量を算出し、スロットル弁通過空気量に基づき吸入空気量を推定する内燃機関１の吸入空気量推定装置において、スロットル弁通過空気量の算出に使用される上流側吸気圧は、少なくとも大気圧に対するエアクリーナの圧損が考慮されて測定又は算出される。 （もっと読む）

【課題】 高流量域における測定を行った場合に生じるセンサ出力信号のふらつきの影響を無くす。
【解決手段】 表示器１９３に流量を表示する際の表示分解能および、流路１２を通流する被測定流体の流量設定を行う際の分解能を流量に応じて変更するようにする。すなわち、表示部によって流量を表示する際の表示分解能を、表示値のふらつきが小さい低流量領域では表示分解能を小さくし、ふらつきが大きくなる流量域では表示分解能を大きくすることによって、表示値のふらつきをなくした流量計測が可能となる。流量設定を行う際の分解能も同様に設定することで、表示値のふらつきの影響をなくした流量制御が可能となる。 （もっと読む）

プラズマ処理システムの反応室における実ガス流量を決定する方法が提供される。方法は、質量流量コントローラ（ＭＦＣ）で制御されるガス流量供給システムによってガスを反応室の上流に位置するオリフィスに供給することを含む。また、方法は、ガスを加圧してオリフィス内にチョーク流れ状態を作り出すことを含む。さらに、方法は、一組のガスの上流圧力値を一組の圧力センサによって測定することを含む。さらに、方法は、一組の較正係数の較正係数を適用して実流量を決定することを含む。較正係数は一組の上流圧力値の平均値と一組の最良上流圧力値の平均値との比であり、一組の最良上流圧力値の平均値はＭＦＣの指示流量に関連している。 （もっと読む）

【課題】製品の製造コストを低減すること。
【解決手段】ボディ１１と付属部品の接続構造として従来のねじ込み方式を廃止してプレート１５による嵌め込み方式を採用し、ボディ１１に開口した導入口２１と排出口２２に溝部１２ａを有する配管接続用のアダプタ１２を差し込み固定し、溝部１２ａに嵌合する凹部１５ａを有するプレート１５をボディ１１の側方からスライド移動させ、プレートの凹部１５ａをアダプタの溝部１２ａに位置決めして嵌め込むことにより、ボディ１１にアダプタ１２を圧着固定する。 （もっと読む）

【課題】精度良く流量計測をすることが可能な多相流量計を提供する。
【解決手段】パイプライン２３から三相流の一部を抽出するために、パイプライン２３に設置したオリフィス１２の上下流に連結する一対の連通管１３と、気液抽出タンク１４とが用いられる。パイプライン２３にスラグ流等が流れることにより、オリフィス１２前後の圧力差が周期的に変化する。これに伴って一対の連通管１３と気液抽出タンク１４とでは、気液の抽出と気体を主とした排出とが同時に行われる。気液抽出タンク１４内においては、気液が左右、上下などに強制的に揺さぶられて撹拌され、これによって液相の比率が高い気液が残ることになる。そして、この液相の比率が高い気液から気体が除去されて混合液体が抽出され、液溜タンク１７に溜まるようになる。液溜タンク１７からは、コリオリメータ３８で必要な分の混合液体が流れ、コリオリメータ３８では、結果、精度の高い密度計測が行われる。 （もっと読む）

【課題】見かけ上差圧の生じない、コリオリ流量計による流量計測と流量制御装置を提供する。
【解決手段】コリオリ流量計２４と，コリオリ流量計２４の上流位置に配置されコリオリ流量計２４へ流体を輸送するポンプ２５と，ポンプ２５の上流側近傍位置とコリオリ流量計２４の下流側近傍位置との差圧を計測する差圧計測手段２６と，コリオリ流量計２４、ポンプ２５及び差圧計測手段２６が電気的に接続され、且つ差圧がゼロ若しくはゼロに近づくようにポンプ２５の吐出量を制御する制御手段２７と，を備えて流量計測・流量制御装置２１を構成する。 （もっと読む）

【課題】被制御流体の流量値を設定値（制御目標流量）に短時間に制御することが可能な、コリオリ流量計による流量計測と流量制御装置を提供する。
【解決手段】制御手段２７には、コリオリ流量計２４の流量−差圧特性が予め記憶されている。制御手段２７は、流量制御の開始時或いは流量制御目標値を変更した場合に、差圧計測手段２６からの差圧信号と上記流量−差圧特性に基づき所望の流量に相当する差圧を制御目標値としてポンプ２５の吐出量を制御するようになっている。また、制御手段２７は、流量が所望の流量、若しくはこの近傍に制御された時点でコリオリ流量計２４からの流量信号を制御目標値に移行させてポンプ２５の吐出量を制御するようになっている。 （もっと読む）

流体調製マニホールドとスラリー分配アームの間に位置決めされた超音波流量計と、比例弁と該スラリー分配アームの間に位置決めされた遮断弁とを備えるスラリー溶液の分配のための方法及び装置。また、流体調製マニホールドからの流体を受け取るように位置決めされた超音波流量計と、流量計と連通している比例弁とステッピングモータと、比例弁とスラリー分配アームと連通している逆方向流量リストリクターとを含むスラリー溶液の分配のための方法及び装置。 （もっと読む）

【課題】下流側の器具を利用開始とともに制御弁を開成し、利用していない時は制御弁を閉成して利便性と安全性を向上させる。
【解決手段】下流側の器具１７での流体の利用状態を流体から検出する器具利用検出手段１８と、器具利用検出手段１８の信号に基づき流体の利用開始を検出すると流体制御手段１６を開成させるとともに流体の利用停止を検出すると流体制御手段１６を閉成させる開閉動作制御手段１９を備え、流体を使用していない時は常時閉成して安全性を向上し、流体の利用状態を流体から検出して簡素化と施工性の向上ができる。 （もっと読む）