【課題】装置の損傷程度を検知し、損傷部位を特定する装置を提供する。
【解決手段】圧力調整器１０は流体流路に配置されて、流路内を移動可能な絞り要素２２を有している。軸３０が絞り要素２２に取りつけられている。その装置は、絞り要素の上流圧力を測定するための第一圧力センサ３４、絞り要素２２の下流圧力を測定するための第二圧力センサ３５および絞り要素２２の位置を検知するための作動センサ４４とを有している。測定された圧力と作動距離に基づいて流量を定めるためのアルゴリズムを備えたプロセッサ５２が提供される。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの交換や弁本体の交換を簡単に行えるようにする。
【解決手段】アクチュエータ２のメモリ２−２に特性テーブルＴ１〜Ｔｎ（取付先の候補として予め定められた弁本体１毎にその弁本体１の属性（例えば、口径）に対応して弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示すテーブル）を格納する。設定部２−４に取付先の弁本体１を指定する情報（例えば、製品型番）をセットする。アクチュエータ２のＣＰＵ２−１は、設定部２−４にセットされている情報から実際に取り付けられている弁本体１の属性を特定し、この特定した弁本体１の属性に対応するメモリ２−２内の特性テーブルを用いて流量Ｑの算出を行う。この流量制御弁１００において、例えば、アクチュエータ２を交換する場合は、新しいアクチュエータ２’の設定部２−４に、実際に取り付ける弁本体１を指定する情報を入力するだけでよい。 （もっと読む）

【課題】分流比の誤認を防止可能な分流式流量計を提供する。
【解決手段】主流路11、及び主流路11に通じる一対の分流孔4a, 4bが設けられた主流路保持体10と、一対の分流孔4a, 4bを介して主流路11と連通する分流路25が設けられた、主流路保持体10に着脱可能な分流路保持体30と、主流路11及び一対の分流孔4a, 4bの流路抵抗に依存する分流路25と主流路11との分流比に関する情報を識別するための、主流路保持体10に設けられた識別部と、分流路25を流れる流体の流量を検出するための流れセンサ8と、識別部から読み出された分流比に関する情報を保存するための、分流路保持体30に固定された第１の分流比記憶装置400と、分流路25を流れる流体の流量、及び分流比に関する情報に基づいて、主流路11を流れる流体の流量を算出する算出回路301と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガス配管内のガスの流れが電磁バルブを実際に開閉する前に表示されることで、誤った操作による電磁バルブの開閉し忘れ、或は誤ったガスの混合による危険を防止し、安全性の向上を図る。
【解決手段】ガス配管路１に設けられたバルブ２，３，３６，３８の開閉要求状態及び開閉状態を検出する状態検出部４４と、前記バルブの開閉要求状態により予測される前記ガス配管路を流れるガスの予測状態と、前記バルブを開いて前記ガス配管路を流れるガスの状態とを状態毎に識別表示する表示部４４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラにおけるＰＩ性能を向上させる。
【解決手段】マスフローコントローラにおいて、安定状態におけるＰＩＤ演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を、一次側圧力、当該一次側圧力の時間変化量、及び流量設定値の少なくとも２つに基づいて変更させる。 （もっと読む）

【課題】実流量に合わせて適切な測定範囲を選択可能な流量計を提供する。
【解決手段】主流路11、主流路11に通じる少なくとも三以上の複数の孔4a, 4b, 6a, 6b、及び前記複数の孔4a, 4b, 6a, 6bを介して前記主流路11と連通する分流路25が設けられた流路保持体10と、複数の孔4a, 4b, 6a, 6bから選択された二つの被選択孔6a, 6b以外の複数の孔4a, 4bを閉塞する閉塞部材21Aと、分流路25を流れる流体の流量を検出する流れセンサ8と、被選択孔を検出する被選択孔検出機構9A, 9Bと、被選択孔に応じた、分流路25と主流路11の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置400と、分流路25を流れる流体の流量、及び検出された被選択孔に応じた分流比に関する情報に基づいて、主流路11を流れる流体の流量を算出する算出モジュール300と、を備える。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】一の装置でありながら、計測対象である流体の清浄度に影響を与えることなく、簡便に複数の計測レンジの異なる流体流量を測定することができる流量測定装置を提供する。
【解決手段】被計測流体の流体圧力を検知する第１圧力検知部２０と第２圧力検知部２５とが圧力損失部３０を介して配置された差圧式流量測定装置１０Ａにおいて、前記第１圧力検知部２０と前記第２圧力検知部２５との間を単一の流路で接続する接続流路部４０と、前記接続流路部４０に配置され貫通孔６６が形成されたポペット弁体６５Ａを有する開閉弁部６０Ａと、前記開閉弁部６０Ａの開閉動作を制御する演算部８０とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】通水試験の作業効率を高め、労力の軽減を図り、配管への給水量を正確に把握し、設備工事の信頼性を高める。
【解決手段】本発明は、検査対象の配管内に通水して該配管からの漏水の有無を検査するための通水試験装置１０であって、水を貯留する貯水タンク１３と、貯水タンク１３内の水を圧送して前記配管内に給水するポンプ１４と、ポンプ１４からの給水量を検出する流量センサー２７と、ポンプ１４からの給水量を所定量に設定するリモートコントローラ１７と、流量センサー２７により検出された給水量がリモートコントローラ１７により設定された所定量に達すると判断した時にポンプ１４を停止させる制御器４２とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】制限フロー構成要素（１５）によって生成される圧力低下に基づいて、フロー速度を測定するための流体フロー測定および制御デバイスを提供すること。
【解決手段】本発明のデバイスは、流体入り口および流体出口を有する比例フローバルブ（１０）、ならびにこの比例バルブ（１０）を調節するためのアクチュエータ（１７）を備える。この制限フロー要素（１５）は、この比例フローバルブ（１０）と連絡状態にある流体入り口および流体出口を備え、制限フロー構成要素の流体入り口と出口との間での圧力低下を生成する。このデバイスはまた、圧力低下を測定するための手段（２４，２５）、圧力低下に基づいてフロー速度を計算するための手段（１６）、ならびに測定された圧力低下に応じて比例フローバルブ（１０）を通じて流体のフローを制御するために圧力低下測定手段（２４，２５）およびアクチュエータ（１７）と連絡する制御手段（示さず）を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定流体の整流効果を得ながら圧力損失を低減させることができる流量計及びこれを備える流量制御装置を提供する。
【解決手段】被測定流体が流れる流路５と、流路５内に配置される整流体２０と、を備え、被測定流体の流量を計測する流量計２であって、整流体２０は、被測定流体の整流用の孔を有するとともに、流路５の延在方向に対して垂直な方向における流路断面積よりも広い面積を有する。流量制御装置１は、流量計２と、制御弁３と、流量計２によって検出された流量に係る情報に基づいて制御弁３を制御することにより流量計２の流路５を流れる流体の流量を調整する制御手段４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】チャンバーへ供給されるプロセスガス等の流体の供給量（総量）を補正することができる流量制御装置を提案する。
【解決手段】流路の弁機構３０より下流側に設置され、設置箇所において流れる流体の圧力値を検出すると共に、検出された圧力検出値を表す圧力検出信号を出力する圧力検出手段４０を有し、弁機構制御手段Ｐ５が、予め流体を流路に流して流量設定値と流量検出値とが一致するように弁機構３０を制御したときに、圧力検出手段４０が検出した圧力基準値の時間変化を示した、圧力基準値−時間テーブルがＲＯＭ１２からなる記憶手段に記憶されている。制御手段１０の弁機構補正制御手段Ｐ６は、圧力検出手段４０からの圧力検出信号を受けて、この圧力検出信号が表す圧力検出値と、圧力基準値−時間テーブルにおける圧力検出値の検出時に対応する時間の圧力基準値とに基づいて弁機構３０を補正制御する。 （もっと読む）

【課題】オペレータの手を煩わさず、省電力を実現して、適切に排水を制御する監視制御装置を提供する。
【解決手段】雨量に応じてポンプ井の予測流入量を求めるための流入量予測データ１２を用いて、雨量計で測定された現在の雨量に応じた予測流入量を求める流入量予測手段２１１と、ポンプ井に流入する雨水の流入量に応じて、ポンプの起動又は停止のタイミングを補正する第１補正値を記憶する第１補正データ記憶部１５から予測流入量に応じた第１補正値を抽出し、この抽出した第１補正値によって、水位計で測定されるポンプ井の現在の水位を補正して、補正後の水位と、ポンプ井の水位に基づいてポンプの起動制御を判断するポンプ起動データで特定される水位とからポンプの起動が必要であるか否かを判定する第１判定手段２１３と、第１判定手段によってポンプの起動が必要であると判定されると、ポンプを起動するポンプ制御手段２１４とを備える。 （もっと読む）

流量センサであって、流体を受容するように構成された流体チャンバと、流体チャンバ内の流体が移動したときに変位するように構成されたダイヤフラムアセンブリと、ダイヤフラムアセンブリの変位を測定するとともに、流体チャンバ内の流体の移動量の少なくとも一部に基づいて信号を発するように構成された変換器アセンブリとを備える、流量センサ。 （もっと読む）

【課題】配管内に生ずる圧力等の状態変化に対応可能な比例制御を行うに際して、比例ゲインを自動的に更新し、良好な制御を行う。
【解決手段】オフラインにおいて、予め制御弁２の開度と流量の関係から得られる勾配の逆数と、制御弁２に付したロータリエンコーダ４で検出した最大開度での流量と、各開度の流量を最大開度の流量で正規化した正規化流量と、勾配を制御弁２の最大開度における流量により除して得られる正規化比例定数とを予め設定し、
オンラインにおいて、制御弁２の開度と流量を計測し、計測した開度に対応する正規化流量を記憶したデータから読み出し、計測した流量を読み出した正規化流量で除して、変動後の制御弁２の最大開度時の流量を求め、それに予め設定してあった正規化比例定数Ｋｚを乗じて新たな比例勾配を算出し、その逆数から適切な比例ゲインを求めて制御動作に使用する。 （もっと読む）

【課題】低真空領域における分流比の圧力依存性を考慮した質量流量計１及びこの質量流量計１を用いたマスフローコントローラＺを提供する。
【解決手段】試料ガスＧが流れるメイン流路２と、前記メイン流路２から分岐して前記試料ガスＧを分流させるものであり、前記試料ガスＧの流量を検出する流量検出機構４が設けられる測定路３Ａを有するセンサ流路３と、前記メイン流路２における前記センサ流路３の分岐点ＢＰと合流点ＭＰの間に設けられ、複数の内部流路５１を有する層流素子５と、を具備し、前記測定路３Ａの流路形状及び前記内部流路５１の流路形状が略同一である。 （もっと読む）

【課題】配管内に生ずる圧力等の状態変化に対応可能な比例制御動作を行うに際して、比例ゲインを自動的に更新し、良好な制御を行う。
【解決手段】オフラインにおいて、予め制御弁２の開度と流量の勾配の逆数と、勾配を制御弁２の最大開度における最大流量により除して得られる正規化比例定数Ｋｚと、最大開度での制御弁２の固有抵抗Ｒ０を初期値として設定し、
オンラインにおいて、制御弁２の入口４と出口５間の第１の圧力損失△Ｐと、流量計３による流量Ｆとから成る複数のデータを逐時に測定して、第１の圧力損失ΔＰと流量Ｆとから、制御弁２と流量計３の間に生ずる第２の圧力損失ΔＥと制御弁２の最大開度での全抵抗ｒとを演算により求め、予め設定してあった正規化比例定数Ｋｚとから新たな比例勾配Ｋｅを求め、その逆数から適切な比例ゲイン（１／Ｋｅ）を求めて比例制御動作に使用する。 （もっと読む）

【課題】装置構成を小型軽量にする。ストレーナのスクリーンの交換を容易にする。水平設置を必要条件としないようにする。アセチレンガス，酸素ガスの流量を正確，具体的に表示して目視によって容易に確認できるようにする。
【解決手段】アセチレンガス，酸素ガスの流量をそれぞれ計測する質量式の流量計５と、流量計５に接続され不純物を捕捉するストレーナ４と、流量計５が計測した流量をそれぞれ数字で発光表示する表示器８とを備え、アセチレンガス，酸素ガスの流通配管２，３がケーシング１の内部で作業空間Ｓを介して相対され、ストレーナ４のスクリーンの交換作業方向が作業空間Ｓ側に設定されている。 （もっと読む）

【課題】短時間でガスが漏れているか、圧力調整手段を備えるガス器具の使用中であるか、或いは圧力調整手段を備えないガス器具の使用中であるかを判別する。
【解決手段】ガス漏れ及びガス器具判別装置は、ガス流路内を流れるガスの圧力を所定時間間隔で繰返し検出する圧力検出部１と、ガス流路の下流側に接続されたガス器具がガスの使用を開始した時又はガス器具がガスの使用量を変化させた時、あるいはガス漏れが発生した時から一定時間内において圧力検出部１により繰返し検出された圧力の振動波形の特徴に基づいて、ガスが漏れているか、圧力調整手段を備えるガス器具の使用中であるか、或いは圧力調整手段を備えないガス器具の使用中であるかの少なくともいずれか１つを判別する制御部６とを備える。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率の面での問題の有無を定量的に判断させたり、省エネルギーへの取り組みを活発化させたりする。
【解決手段】実流量計測部２５Ｂによって管路１３を流れる流体の実流量ＱＲを計測する。超過流量積算部２５Ｄによって、流体の実流量ＱＲが設計流量ＱＤを超えている超過期間毎の設計流量ＱＤからの実流量ＱＲの超過分ΔＱを積算する。この超過流量の積算値ΣΔＱを超過流量積算値記憶部２１に記憶するとともに表示部１７に表示する。この超過流量の積算値ΣΔＱを参照することにより、システムがどの程度設計どおり運用されているのか、どの程度設計から外れて運用されているのかなどを定量的に知ることができる。また、超過流量の積算値ΣΔＱを解析することで、システムがどの程度エネルギーを無駄にしているのか、異常が起きていないかどうかなどを検証することができる。 （もっと読む）