【課題】低コストで計測システムを構築可能としつつ、センシングが可能な範囲を広げることを実現したセンサ用光ファイバの製造方法及びセンサ用光ファイバを提供することを目的とする。
【解決手段】移動ステージ３７上の位相マスク３２に光ファイバ３１が保持されている。位相マスク３２は、その一端３２ｃ側から他端３２ｄ側に向かって格子周期が漸次長くなる回折格子３４を有しており、回折格子３４を介して紫外線レーザビーム４０を光ファイバ３１に照射可能となっている。移動ステージ３７の移動速度は、紫外線レーザビーム４０の照射位置が位相マスク３２の一端３２ｃ側から他端３２ｄ側に向かうにつれて徐々に遅くなるように制御されており、紫外線レーザビーム４０の照射中に移動ステージ３７を移動させることにより、ＦＢＧ１０を有する光ファイバ１が製造される。 （もっと読む）

【課題】メモリサイズを増やすことなく、より遠方の温度測定を可能とする光ファイバ温度測定装置を実現する。
【解決手段】被測定対象に沿って所定長に敷設された光ファイバに、タイミング信号に同期して光パルスを入射させて得られる後方散乱光の２成分の夫々を受光した電気信号をＡ／Ｄ変換し、平均処理を実行する信号処理部を介してデータ記憶メモリに保持させ、このデータ記憶メモリから読み出される２成分のデータを演算して温度信号に変換する光ファイバ温度測定装置において、
前記タイミング信号の発生より所定の遅延時間経過まで、前記信号処理部の処理を停止させる遅延時間発生回路を備える。 （もっと読む）

【課題】ブリルアン散乱現象を利用した光センシング技術により、微細構造物である素子上又は素子中に存在する対象物の物理量を測定する測定方法及び制御方法を提供する。
【解決手段】素子上又は素子中に存在する対象物の物理量を測定する方法であって、光入射端と光出射端を有するとともに該光入射端から該光出射端まで連続した形状を有する光導波路であって、少なくとも一部が対象物に近接するよう素子上又は素子中に配置された光導波路を用意し、光入射端から光導波路内に光を照射するとともに、導波路内を伝搬した後に光出射端から出射された光を検出し、そして、光導波路中で発生するブリルアン散乱に起因した、検出光の特性変化に基づいて、対象物の物理量を間接的に測定する。 （もっと読む）

【課題】ユーザが温度分布を見ながら適切なＬｏｓｓ値をより容易かつ正確に設定できるような補助機能を備える光ファイバ温度分布測定装置を実現する。
【解決手段】所定長に敷設された光ファイバ１０の一端側から光パルスを入射し、前記光ファイバから得られる後方ラマン散乱光よりストークス光とアンチストークス光を抽出して夫々の強度を電気信号に変換した受信信号レベルと、前記一端側で測定される基準温度信号を入力する演算制御部８０により前記所定長の温度分布を演算し、前記温度分布を表示する表示手段９０と、前記温度分布を示す複数のデータに基づいて近似直線を演算して前記表示手段に表示させる近似直線生成手段１００と、前記ストークス光とアンチストークス光のファイバ伝送損失差を補正するための補正信号を入力して前記近似直線を既知の温度分布特性に一致させるための温度分布補正手段２００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
被測定用光ファイバのみを用いてブリルアン散乱を測定可能なブリルアン散乱測定装置を提供すること。
【解決手段】
プローブ光ａ_０とポンプ光ｂ_０とを生成する測定用光生成手段と、該測定用光生成手段で生成されたプローブ光とポンプ光とを、偏波面が異なる状態で合成する偏波合成手段４０と、該偏波合成手段からの合成光が一端に入射される被測定用光ファイバ４１と、該被測定用光ファイバの他端側に配置され、合成光の偏波面を回転すると共に、合成光中のプローブ光のみを反射させて該被測定用光ファイバの他端に再入射させる回転反射手段４２と、該被測定用光ファイバの一端側に配置され、該回転反射手段により反射したプローブ光ａ_３を検出するプローブ光検出手段とを有することを特徴とするブリルアン散乱測定装置である。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセスの正確な温度測定技術を提供する。
【解決手段】温度検知要素により、正確なその場温度測定を可能にする。温度検知要素は、プロセスチャンバ３０２内に配置される。温度検知要素は、空洞３０６を有しており、空洞の開口部を覆うように透明カバー３１０が配置されている。材料３０８が、温度検知要素の空洞内に配置され、センサ３１２が、透明カバーを通して材料の相変化を検知するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】波長可変レーザを用いてガスタービン内の高温ガス温度を測定すること。
【解決手段】ガスタービン（１０）に装着された燃焼ガス測定装置であって、該測定装置が、ガスタービン（１０）内の燃焼ガス通路（３０）を通過するレーザビームを放出（１１０）する波長可変ダイオードレーザ（２２）と、１３３４ナノメートル（ｎｍ）の波長の第１のレーザビームと、１３８０ｎｍ又は１３９１ｎｍの波長の第２のレーザビームとを放出するよう波長調整（１００、１０２）される波長可変ダイオードレーザ用のコントローラ（２０）と、燃焼ガス（３０）を通過する放射線ビームの各々を検知（１００）し、波長の各々において燃焼ガスによるビームの吸収を示す吸収信号（１１２）を生成するレーザセンサ（２２）と、を備え、コントローラ（２０）が、非一時的な記憶媒体上に格納され、第１のレーザビーム及び第２のレーザビームの吸収信号の比に基づいて燃焼ガス温度を決定（１１４）するプログラムを実行する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバにおける波長により異なる伝送損失の変化が生じてもその伝送損失の補正を行い、温度分布の校正を行うこと。
【解決手段】たとえばＬＤ駆動選択回路（半導体レーザ駆動選択回路）３から第１の光パルス（１１００ｎｍ）を発振し、反ストークス光波長損失測定用半導体レーザ（ＬＤ（３））５から第１の光パルスより発生する後方散乱の第１の反ストークス光と同波長の第２の光パルス（１０５０ｎｍ）を発振し、ストークス光波長損失測定用半導体レーザ（ＬＤ（２））４からから第１の光パルスより発生する後方散乱の第１のストークス光と同波長の第３の光パルス（１１５０ｎｍ）を発振し、信号制御処理部により、第２の光パルスの伝送損失により、第１の反ストークス光の伝送損失の補正を行い、第３の光パルスの伝送損失により、第１のストークス光の伝送損失の補正を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】光路長を設定するための煩雑な操作が不要で、且つ温度測定対象物の制約が少なく、適用範囲の広い温度測定用プローブを提供する。
【解決手段】低コヒーレンス光の干渉を利用した温度測定用プローブであって、温度測定対象物の表面に当接されて温度測定対象物と熱的に同化する当接部材７１と、当接部材７１に低コヒーレンス光からなる測定光７４を照射し、当接部材７１の表面からの反射光７５ａ及び裏面からの反射光７５ｂをそれぞれ受光するコリメータ７２と、当接部材７１及びコリメータ７２との間隔を所定の長さに規定すると共に、測定光７４及び反射光７５ａ、７５ｂの光路を測定対象物が置かれた雰囲気から隔離する筒状部材７３とを有する温度測定用プローブ。 （もっと読む）

【課題】温度測定誤差を低減させること。
【解決手段】 ファイバに出射されるパルス光により前記ファイバ内で生じる後方散乱光に含まれるラマン散乱光のうちストークス光およびアンチストークス光を検出して前記ファイバ内の温度を測定する温度分布測定装置において、前記ファイバに第１のパルス光を出射する第１の光源と、前記第１のパルス光によるストークス光またはアンチストークス光の光速と前記ファイバ内のアンチストークス光とストークス光の光速とが同じまたは相互近似する第２のパルス光を出射する第２の光源を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】設備の変更等に容易に対応することができる光ファイバプリロールアセンブリ、光ファイバプリロールカセット、及び光ファイバプリロールアセンブリを用いた温度測定方法を提供する。
【解決手段】光ファイバ２０の長さ方向に沿って複数の光ファイバプリロールカセット１０を取り付ける。カセット１０はカセット本体と蓋部とからなり、カセット本体には導入口１４ａ及び導出口１４ｂと、巻取部１２とが設けられている。導入口１４ａ及び導出口１４ｂに光ファイバ２０を固定し、それらの間の光ファイバ２０を導入口１４ａ及び導出口１４ｂに近い側から巻取部１２に同一方向に巻き付けている。蓋部には、導入口１４ａと導出口１４ｂとの間の光ファイバ２０をその折り返し部側から引き出す開口部（引出口１８）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】光ファイバの接続作業を行っても加熱装置を用いた測定ポイントの補正が不要な温度測定システム及び光ファイバ接続方法を提供する。
【解決手段】光ファイバ２４が切断されると、温度測定装置２０は光ファイバ２４の長さとクロック信号の周期により決まる計測ポイントの数をカウントする。また、切断箇所に最も近い計測ポイントを特定する。その後、計測ポイントの数が変化（減少）するまでクロック信号を遅延し、切断箇所を特定する。そして、切断箇所に最も近い計測ポイントから切断箇所までの距離を算出する。次いで、既設の光ファイバ２４に接続する光ファイバ５４の基準マーカ５３の位置から切断位置までの長さを計算する。その罫線結果に応じて光ファイバ５４を切断し、光ファイバ２４と融着等の方法により接続する。 （もっと読む）

【課題】データセンターのように複数の発熱源を有する場所の温度分布を光ファイバを用いて良好な精度で測定できる温度測定方法を提供する。
【解決手段】例えばラック４１の開閉扉４２ａの内側に光ファイバ４５を敷設する。ラック導入前の光ファイバ４５及びラック導出後の光ファイバ４５を同一の治具にそれぞれ１．５ｍ以上の長さにわたって巻回する。この巻回部４６の計測温度を基準にしてラック４５内の計測温度を補正する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、安価な構造で温度とひずみを同時に計測できる光ファイバセンサ装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、ＯＦＤＲ方式に適用される光ファイバセンサ装置であって、光ファイバのコアに形成したＦＢＧからなるひずみ検知用のセンサ部３と、該ひずみ検知用のセンサ部に接続されてその端部に反射部を備えた温度検知用光ファイバからなる温度検知用のセンサ部７とを具備した光ファイバセンサＳと、参照用反射端１６と、光源１２と、受光器１３とが備えられ、前記温度検知用光ファイバの光路長の変化量から温度変化を計測し、前記ＦＢＧのブラッグ波長のシフト量から前記計測された温度変化に相当するブラッグ波長のシフト量を減算することによりひずみを計測する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも測定感度が高い、導波音響波型ブリユアン散乱光を用いた光ファイバセンサを提供すること。
【解決手段】試験光を出力する光源と、石英系ガラスからなり、コア部と該コア部の外周に形成された外径が９０μｍ以下のクラッド部とを有し、前記試験光を少なくとも一方の端部において受け付け、前記試験光によって発生する導波音響波型ブリユアン散乱光を他方の端部から出力する少なくとも１つの測定用光ファイバと、前記測定用光ファイバから出力する前記導波音響波型ブリユアン散乱光を受け付け、該導波音響波型ブリユアン散乱光の周波数スペクトル上のピーク周波数を測定し、該測定したピーク周波数に基づいて前記測定用光ファイバの周囲温度または該測定用光ファイバにかかる応力を検出する検出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】計算機ルームの温度分布を効率的かつ精度よく測定できる光ファイバを用いた計算機ルームの温度計測方法、風量測定装置、並びに発熱量測定装置を提供する。
【解決手段】ピーク温度が比較的低温のフリーアクセスフロア１５のグリル近傍ａ、ラック１１内の吸気口近傍ｂを通るように第１の光ファイバ２４ａを敷設し、ピーク温度が比較的高温のＣＰＵ近傍ｃ、排気口近傍ｄ及びラック外側の天井近傍ｅを通るように第２の光ファイバ２４ｂを敷設する。このように敷設することにより、隣接する計測ポイントの温度差が少なくなり、良好な測定精度が得られる。 （もっと読む）

【課題】多数の機器（発熱源）が設置された部屋の温度分布測定に好適な光ファイバを用いた温度測定システム及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】光ファイバ２４を、１又は複数のラック１１毎にフリーアクセスフロア１５からラック１１内に入り、ラック１１内の複数の計測ポイントを通ってフリーアクセスフロア１５に戻るように敷設する。そして、光ファイバ２４にレーザ光を導入し、後方散乱光を光検出器５２で検出して温度分布を得る。その後、光ファイバ２４の温度計測の伝達関数を用いて、温度計測ポイント毎の温度をフリーアクセスフロア１５側から順番に補正する。 （もっと読む）

【課題】空間分解能を維持したまま測定距離や測定範囲、ダイナミックレンジを拡大することが可能な光ファイバ分布型センサ装置の提供。
【解決手段】光ファイバをセンシング媒体とする光ファイバ分布型センサであって、前記センシング媒体の光ファイバは、誘導ラマン散乱により発生するストークス光の波長の透過損失が、入射光やその他の散乱光の波長の透過損失に対して大きくなっていることを特徴とする光ファイバ分布型センサ装置。 （もっと読む）

【課題】測定装置本体の小型化を図った分布型光ファイバ温度センサを提供する。
【解決手段】温度の測定箇所に沿って配設される測定用光ファイバ２と、その測定用光ファイバ２に光を入射すると共に後方散乱光を検出して、測定用光ファイバ２に沿った温度分布を測定する測定装置本体３と、測定用光ファイバ２に形成された基準温度ファイバ部１１と、その基準温度ファイバ部１１に設けられた基準温度ファイバ部１１の近傍の温度を検出する基準温度センサ１２とからなり、測定装置本体３で求めた基準温度ファイバ部１１の温度を基準温度センサ１２からの検出温度で補正して、測定用光ファイバ２全体の温度分布を補正する分布型光ファイバ温度センサであって、測定装置本体３より離れた位置の測定用光ファイバ２に、基準温度ファイバ部１１が配置されているものである。 （もっと読む）

【課題】流路内の液体温度を精度良く制御することが可能であって、特に流路内に形成された複数の層流について個別に温度の測定と調整を行うことが可能な温度制御方法の提供。
【解決手段】流路Ｃ内を通流する液体中に、温度に依存して光学特性が変化する温度指標粒子１を含有させておき、前記温度指標粒子１に光Ｌ_１を照射して前記光学特性を測定し、得られた測定値に基づいて前記液体の温度を算出する温度制御方法を提供する。この温度制御方法は、さらに、前記液体中に光Ｌ_２の照射によって蓄熱される温度制御粒子２を含有させておき、前記蓄熱を利用して前記液体を加温することができる。 （もっと読む）