【課題】被測定物に対する面方向の分解能や測定位置の変更を容易に行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光源１０と、光源１０からの光を２つの光束に分割して、一方の光束を被測定物Ｔに照射し、他方の光束を参照ミラー４０に照射させると共に、これらから反射された光を合波させるスプリッタ２０と、スプリッタ２０によって合波された光により得られる画像を撮像するＣＣＤ５０と、２つの傾き状態に制御される複数の微小ミラーを有するＤＭＤと、複数の微小ミラーを制御して被測定物Ｔや参照ミラー４０への照射光等を絞り込み、その状態で撮像された画像に基づき、測定点の高さを測定する制御手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で広い計測レンジと高い計測精度とを実現した計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、第１光源、第２光源、第１検出器、第２検出器及び算出部を備える。第１光源は第１波長と第２波長との間で波長が走査された走査区間を含む第１光を生成する。第２光源は第３波長の第２光を生成する。第１検出器は第１光を参照面及び被検面に各々照射することで生成された第１干渉縞を検出する。第２検出器は第２光を参照面及び被検面に各々照射することで生成された第２干渉縞を検出する。第３波長は第１波長及び第２波長の合成波長より短い。算出部は第１時刻において第２干渉縞の位相のデータから第２干渉縞の次数が算出できなくなった場合に、第１時刻より後の走査区間における第１干渉縞の位相の変化に基づいて第１時刻以降における第２干渉縞の次数を算出し、該算出された第２干渉縞の次数を用いて第１時刻以降における被検面の形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】高精度に被検面と参照面の間の絶対距離を計測可能な計測装置および計測方法を提供する。
【解決手段】第１の基準波長λ_１と第２の基準波長λ_２との間で波長走査が可能な光源１１と、第３の基準波長λ_３の光を射出する光源１０を有する光波干渉計測装置は、各波長に対応した干渉光の信号に基づいて被検面と参照面との間の光路長に相当する位相の誤差を補正し、誤差が補正された位相に基づいて被検面と参照面の間の絶対距離を算出する処理部１９を有する。 （もっと読む）

【課題】計測装置の測長軸の調整を不要とし、簡便な取り付け及び光学素子の汚染防止の点で有利な技術を提供する。
【解決手段】参照面と被検面との間の距離を計測する計測装置であって、光源からの光を分割させる光分割素子と、前記参照面、前記被検面及び前記光分割素子を内部に収納すると共に、前記内部において前記参照面及び前記光分割素子を固定するハウジングと、前記ハウジングの外部に設けられ、前記光分割素子から前記参照面までの第１の光路長と前記光分割素子から前記被検面までの第２の光路長とが等しくなるときの前記被検面の位置を示す測長基点を表示する第１の表示部と、前記ハウジングの外部に設けられ、前記第２の光の光路に平行な軸を示す測長軸を表示する第２の表示部と、前記参照面と前記被検面からの反射光との干渉信号から前記参照面と前記被検面との間の距離を算出する処理部と、を有することを特徴とする計測装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】スペックル低減を、拡散板を動かすのではなく、ビームを動かして、質量及びモーメントだけでなく、付随する熱及び振動を低減することにより達成する。
【解決手段】コヒーレント光のスペックルを低減するシステム２５０において：拡散板２８６と；少なくとも１つのビームステアラー２７０および第１軸を有するビームステアリングシステムと；拡散板２８６とビームステアリングシステムとを相互接続する光学系であって、光を、少なくとも１つのビームステアラー２７０を介して拡散板２８６の連続する軸外領域に、そして拡散板２８６の連続する軸外領域から少なくとも１つのビームステアラー２７０に誘導することにより、拡散板２８６の連続する軸外領域からの光の角度分布が、第２軸を略中心とするようになり、かつ第２軸に略揃うようになって、スペックル低減システムから射出する光学系と；を備える。 （もっと読む）

【課題】対象物の変化量あるいは移動量を外乱の影響なく高精度に求めることが可能な変位計測方法とその装置を提供する。
【解決手段】４つの位相シフト光路を、４分割プリズムとアレイ状に配置したフォトニック結晶λ/４素子及びフォトニック結晶偏光素子とを組み合わせて空間的に並列生成する構成とすることにより、小形の光干渉変位センサを構築し、適用対象を拡大すると共に外乱の影響を受けることなく、対象物の微小変位や表面凹凸をサブナノメートル以下の分解能でかつ高い再現性で測定する。 （もっと読む）

【課題】参照光の位相設定精度に限界がある場合でも、測定対象物による位相シフト量を用いた計測する光位相測定装置を提供する。
【解決手段】コヒーレント光源８１、光源よりの光波を２分岐する光分岐手段８２、光波のうちの参照光波８９を周波数ωｍで位相変調する位相変調手段８３ａ、分岐された後に被測定対象物８５を透過又は反射した信号光波と位相変調された参照光波８９とを合成する光合成手段９７と、合成された干渉光の強度を測定する光強度測定手段８８を有する光干渉計を備えた光位相測定装置で、干渉光の強度を一定の時間に亘って取得し、取得した時系列の強度信号をフーリエ変換し、位相変調の周波数ωｍの整数倍の周波数成分のうち少なくとも２つの成分の光強度を演算して、位相変調手段の変調指数ｍを同定して、該変調指数ｍに基づいて前記被測定対象物８５による信号光波の位相変化量φを算出する演算手段９５を備えた光位相測定装置。 （もっと読む）

【課題】移動体の絶対位置を高い精度で求めること。
【解決手段】絶対位置測定装置は、移動体２に形成された２つの減圧空間部３，２３に個々に収容されて、中心波長が単一の光源を用いて移動体に光を照射して干渉信号を得る２つの干渉計６，２５と、２つの減圧空間部の少なくとも一方を減圧して、２つの減圧空間部を互いに異なる圧力にする真空ポンプ４及び真空排気流路５，２４と、２つの干渉計より得られる干渉信号の位相を検出する２つの位相検出器１７，３５と、２つの位相検出器で検出される位相を比較する位相比較器１９と、位相比較器１９における位相比較結果に応じて原点を設定する原点信号発生器２１と、原点信号発生器２１で設定される原点を基準として移動体の絶対位置を求める絶対位置算出器２２，３７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 複数波長による表面形状の測定方法およびこれを用いた装置によって測定する場合に発生するクロストーク現象のクロストーク補正係数を算出する。
【解決手段】 測定対象面の平面領域内から輝度の異なる６点以上の干渉輝度信号を取得し、前記輝度信号に干渉縞モデルとクロストークモデルとの組み合わせを適合（フィッティング）することにより、クロストーク補正係数を一括して算出するクロストーク補正係数算出方法、また、該方法を実行できる装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成からなる位置検出装置を得る。
【解決手段】所定の移動方向（矢印ＡＲ）に移動する板ばね部４１（被測定物）の位置を検出する位置検出装置７０は、受光部７２Ａと、受光部７２Ａに対向し受光部７２Ａに向けて測定光８０を投光する投光部７１Ａとを備える。受光部７２Ａおよび投光部７１Ａは、受光部７２Ａおよび投光部７１Ａの間で移動する板ばね部４１の移動方向（矢印ＡＲ）に対して、測定光８０が斜めに交差するように配置される。板ばね部４１の移動に伴って、測定光８０の一部は板ばね部４１に遮られるとともに、測定光８０の残部は受光部７２Ａに到達する。受光部７２Ａが受光する測定光８０の残部の受光量に基づいて、板ばね部４１の位置が検出される。 （もっと読む）

【課題】 干渉計測の応答速度を損なう事無く高精度な屈折率補正を実現可能な干渉計測方法を提供する。
【解決手段】 参照面で反射された光束と被検面で反射された光束との干渉信号を検出することによって被検光路の幾何学的距離を計測する干渉計測方法において、互いに波長が異なる複数の光束を用いて被検光路の光路長を算出する多波長光路長算出工程、多波長光路長算出工程で算出された被検光路の光路長から被検光路の空気の屈折率を算出する屈折率算出工程、屈折率算出工程で算出された屈折率を平滑化することによって平滑化屈折率を算出する平滑化屈折率算出工程、平滑化屈折率算出工程で算出された平滑化屈折率から被検光路の幾何学的距離を算出する幾何学的距離算出工程を有する事を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】空気組成に空間的な分布があっても高精度な屈折率補正が可能な測長干渉計を提供する。
【解決手段】干渉計測用の多波長光源１０を用いて、参照面５２と被検面５３の間の光路長差を計測して該光路長差の幾何学的距離を算出する光波干渉計測装置において、分圧計測用光源２０と、多波長光源の波長における空気の分散を計測する分散干渉計３０と、分散干渉計における空気の成分気体の分圧を計測する第１分圧検出器４０と、多波長光源の波長における参照面と被検面の間の光路長差を計測する測長干渉計５０と、測長干渉計における成分気体の分圧を計測する第２分圧検出器６０と、第１分圧検出器の検出結果によって分散干渉計における成分気体以外の空気分散比を算出し、成分気体以外の空気分散比と第２分圧検出器の検出結果から測長干渉計の空気の分散を算出し、参照面と被検面の間の光路長差の幾何学的距離を算出する解析器７０とを有する。 （もっと読む）

【課題】物体光について光路長を変えて何度も多数の干渉縞を撮影する必要なく、バンプの高さ測定や形状検査を、簡単かつ正確に行うことを可能とする。
【解決手段】２つの光源２１、２２からの互いに異なる波長の光を重ね合わせたビート光を、分割して、一方を参照ミラー２８で反射させて参照光とし、他方をバンプ２３に照射し反射させて物体とし、参照光と物体光を重畳し干渉させて生じる干渉縞をＣＣＤ３０で撮影して、干渉縞像からバンプの高さ測定又は形状検査を可能とし、ビート光の波長Λ／２は、測定すべきバンプ２３の設計仕様における高さより大きくなるように、２つの光源のそれぞれの波長λ１、λ２を設定する。 （もっと読む）

【課題】測定光および参照光の光軸を容易に一致させることが可能な斜入射干渉計を提供する。
【解決手段】斜入射干渉計１は、光源２と、光を平行光にするレンズ３，４と、平行光を測定光および参照光に分離し、測定光を被測定面Ｓに対して斜めに射出する光分離部５と、参照光、および被測定面で反射された測定光を合成して干渉光とする光合成部６と、干渉光を検出する検出部と、光源２から光分離部５までの光路内に設けられるとともに、光の光断面サイズよりも小さいサイズの光通過孔８１を有し、この光通過孔８１でのみ光を通過させるスポット形成部８と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに保持された半導体ウエーハ等の被加工物の上面位置を計測する計測装置および計測装置を装備したレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源からの光を第１の経路に導くとともに第１の経路を逆行する反射光を第２の経路に導く第１の光分岐手段と第１の経路に導かれた光を平行光にし、この平行光を第３の経路と第４の経路に分ける第２の光分岐手段と第３の経路に配設され第３の経路に導かれた光を被加工物に導く対物レンズと、第２の光分岐手段と対物レンズとの間に配設された集光レンズと、第４の経路に導かれた平行光を反射し、この反射光を逆行せしめる反射ミラーと、第２の経路に導かれた反射光を回折する回折格子と、回折光の所定の波長域における各波長の逆数の光強度を検出するイメージセンサーと、検出信号からの分光干渉波形と理論上の波形関数に基づくフーリエ変換理論による波形解析を実行する制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で高速に絶対距離計測が可能な光波干渉計測装置を提供する。
【解決手段】光波干渉計測装置は、第１基準波長λ_１と第２基準波長λ_２との間で周期的に波長走査をして光束を射出する波長可変レーザと、第３基準波長λ_３の光束を射出する波長固定レーザと、前記波長可変レーザおよび前記波長固定レーザから射出した光束を参照光束および被検光束に分割する光束分割素子と、前記参照光束を反射する参照面と、前記被検光束を反射する被検面と、前記参照光束と前記被検光束との干渉信号から位相を検出する位相検出部と、第３基準波長λ_３、第１合成波長Λ_１２、第２合成波長Λ_１３、波長走査の際の位相変化量の整数成分、および、第１合成波長と第２合成波長の干渉次数から逐次的に第３基準波長λ_３の干渉次数を決定し、被検面と参照面との間の絶対距離を算出する解析装置とを有する。 （もっと読む）

【課題】ステップ走査干渉計を、最適に機能させる方法を提供する。
【解決手段】いくつかの実施形態では、ステップ走査赤外線（IR）分光干渉計における路長差（遅延）は、ステップ変更に続く第1の期間について交流サーボ機構（サーボ）制御下で、および、第1の期間に続く第2の期間について直流サーボ制御下で維持される。データは、直流サーボ制御期間中および/または直流サーボ制御期間後に取得される。データ取得前に交流サーボ制御を停止することで、ディザー周波数ノイズを制限することができる。さもないと、ディザー周波数ノイズは、高速時間分解分光法（TSR）などの高速時間スケール用途で特に、対象となる信号に影響を与える可能性がある。鏡位置制御回路は、鏡位置ステップ、および、交流から直流への鏡サーボ制御の切り換えを制御する。 （もっと読む）

【課題】光学システムにおいて、位相および振幅情報を含む波面分析、ならびに３Ｄ測定を実行する方法および装置、特に、光学システムの画像面のような、中間面の出力の分析に基づく方法および装置を提供する。
【解決手段】 薄膜コーティング、または多層構造の個々の層が存在する表面トポグラフィの測定について記載する。多重波長分析を、位相および振幅マッピングと組み合わせて利用する。マクスウェルの方程式の解に基づき、仮想波面伝搬を用いて、波面伝搬および再合焦によって位相および表面トポグラフィの測定を改良する方法について記載する。このような位相操作方法によって、または広帯域およびコヒーレント光源の組み合わせを利用する方法によって、光学撮像システムにおいてコヒーレント・ノイズの低減を達成する。本方法は、集積回路の分析に適用され、コントラストを高めることにより、または１回のショット撮像における３Ｄ撮像によってオーバーレイ測定技法を改善する。 （もっと読む）

【課題】 光干渉信号出力をセンサ信号とするセンサでは、光干渉信号方式として、ホモダイン干渉方式があり、構成は簡単であるが、その入力となる参照光と計測光との位相関係が同位相または逆位相付近にある時にその干渉出力の歪が大きくなり、そこを避けるためには、干渉計の光路長に関係する部品には、参照光と計測光の位相関係を良好に保つために、高い工作精度と、熱膨張対策が必要であった。
【解決手段】干渉計の入力となる参照光の位相を９０度変化させて、２つの位相の参照光とすることにより、一方の位相の参照光と計測光との位相関係が同相または逆相付近にあった場合には、他方の参照光と計測光の位相関係は９０度近く異なることになり、必ずどちらかが歪の少ない干渉出力となることにより、前後の干渉出力から判別処理し、センサ出力とすることで、光部品の工作精度や熱膨張による位相変動を許容した光ファイバセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】計測物体の変位分布を高速に計測するとともに小型化が可能な変位分布計測方法、装置及びプログラムを提供する。
【解決手段】本発明による変位分布計測装置（１）は、所定の波長の光を照射するレーザ光源（１１）と、照射された光を物体光と参照光とに分離するビームスプリッタ（１４）と、参照光の位相を所定量だけシフトさせるミラー付きＰＺＴステージ（２０）と、位相シフトされた参照光を複数に分岐するペリクルビームスプリッタ（１７，１８）と、計測物体（２３）により散乱された物体光と、分岐された参照光との干渉縞を撮影するＣＣＤセンサ（１５，１６）とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）