【課題】 複数の３次元形状計測法、表面計測手法を相補的に組み合わせることで、測定対象の形状によらず高い計測精度を確保した３次元形状検査方法およびその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、検査対象の参照モデルの形状データである参照データを格納する格納部と、前記参照データから第１の形状データを取得する領域を特定する領域特定部と、前記領域特定部で特定した領域について前記第１の形状データを取得する第１の３次元形状センサと、前記領域特定部で特定した領域以外の領域について前記検査対象の前記第１の形状データとは異なる第２の形状データを取得する第２の３次元形状センサと、前記第１の形状データと前記第２の形状データとを統合する相補的統合部とを備えることを特徴とする３次元形状検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】被検出形状に縁部における輝度変化を除去し、欠けや異物の検出を確実に行える孔形状検査方法および孔形状検査プログラムを提供する。
【解決手段】孔形状良否を判定する孔形状検査方法およびプログラムであって、前記孔の孔形状撮像工程と、前記孔形状画像の２値化画像形成工程と、前記孔の面積が既定値であるかを判定する孔面積判定工程と、前記孔の内形状の孔重心を求める孔重心演算工程と、前記孔形状画像に前記孔重心を中心とする同心フィルターをかけ、前記孔重心を中心とする同心形状上の画素の平均輝度と、１画素の画素輝度と、の差によるフィルタリング画像形成工程と、前記フィルタリング画像の２値化フィルタリング画像形成工程とを有し、前記２値化フィルタリング画像の画素数が所定の値以下である場合、前記孔を良品と判定する良否判定工程を有する孔形状検査方法、およびその検査方法をコンピューターに実行させるプログラム。 （もっと読む）

【課題】ノズル穴に生じる欠陥の種類を特定可能なノズル外観検査装置、およびノズル外観検査方法を提供すること。
【解決手段】ノズル外観検査装置１００は、ノズル穴の開口部の画像を取得する画像入力手段６０と、画像の二値化画像を生成する二値化手段６１と、二値化画像からノズル穴の内輪郭および外輪郭を検出する輪郭検出手段６２と、内輪郭の近似円である内輪郭近似円および外輪郭の近似円である外輪郭近似円を算出する近似円算出手段６３と、内輪郭および外輪郭と内輪郭近似円および前記外輪郭近似円とを比較して、内輪郭および外輪郭の形状の特徴を示す特徴フラグを内輪郭および外輪郭上の各点に対して設定するフラグ設定手段６４と、特徴フラグに基づいて欠陥の種類を示す欠陥フラグを設定し、欠陥の種類とその位置を検出する欠陥検出手段６５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】従来よりもガラス基板の欠陥の検査感度を向上可能であり、かつ、欠陥を検査する時間を短縮できるガラス基板の欠陥検査方法及び欠陥検査装置、並びに、前記欠陥検査方法又は前記欠陥検査装置を用いたガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本ガラス基板の欠陥検査方法の一形態は、第１主平面及びその対向面である第２主平面を有するガラス基板に、複数方向から光を順次照射し、前記ガラス基板の画像を順次撮像する順次撮像工程と、前記順次撮像工程で順次撮像した各ガラス基板の画像に基づいて、前記ガラス基板の前記第１主平面及び前記第２主平面の欠陥の有無を検査する欠陥検査工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ素線の切断面の被覆寸法に関する特性値の測定において、ばらつきの極めて小さい、真の値を得ることである。
【解決手段】光ファイバ切断面測定方法は、光ファイバ素線１０をカッティング器により切断する切断工程と、切断された光ファイバ素線１０の切断面１０ａを加熱器３０により加熱する加熱工程と、加熱された光ファイバ素線１０の切断面１０ａの被覆寸法に関する特性値をエンドビュー測定器により測定する測定工程と、を含む。前記加熱工程において、光ファイバ素線１０の切断面１０ａの被覆表面温度を４７［℃］以上にする加熱を７［秒］以上の加熱時間で行う。 （もっと読む）

【課題】断面外径が円形の計測対象物の真円度をリアルタイムで計測できる真円度計測システムを提供すること。
【解決手段】 断面外形が円形の連続的に移動する計測対象物Ｔの表面に、移動方向Ｐに対して直角な方向に線状の光を照射する光源Ｕ１ａ〜Ｕ４ａと、前記測定対象物Ｔにおける前記光の照射領域を、前記搬送方向Ｐに対して直角で無い角度方向から撮像する撮像手段とＵ１ｂ〜Ｕ４ｂ、前記各撮像手段Ｕ１ｂ〜Ｕ４ｂからの画像情報に基づいて、前記計測対象物Ｔの断面外形の真円度を計算する計算手段Ｃを備え、前記光源Ｕ１ａ〜Ｕ４ａと撮像手段Ｕ１ｂ〜Ｕ４ｂとが少なくとも２組設けられ、これら２組の光源Ｕ１ａ〜Ｕ４ａと撮像手段Ｕ１ｂ〜Ｕ４ｂは前記計測対象物Ｔの移動方向Ｐの上流から下流に向かう方向から見た場合に、前記測定対象物Ｔの中心軸に関して相互に等角度間隔に配置されている。 （もっと読む）

【課題】２つの表面領域を同期測定できるクロマティックポイントセンサ装置（ＣＰＳ装置）の動作方法を提供すること。
【解決手段】２光束アッセンブリが取り付けられた１光束ＣＰＳ光学ペンを用いたセンサ装置の第１測定光束および第２測定光束を、それぞれ第１表面領域および第２表面領域に位置合わせする。２つの反射光が２光束ＣＰＳの共焦点開口部を通過する。第１測定光束および第２測定光束にそれぞれ起因する第１測定および第２測定を含んだ少なくとも１の測定セットを実行する。様々な位置での測定セットの実行のため、少なくとも第１表面領域を移動させる。各測定結果は、極めて良好な分解能（例えば、少なくとも１０ｎｍの分解能）で決定される。本センサ装置と動作方法は、干渉計または他の高額で複雑な構成要素を使わないで、高い分解能と精度を必要とする測定に適用できる。 （もっと読む）

【課題】 シート状細胞培養物の品質を、簡便迅速に判定する方法およびシステムを提供する。さらに、本方法に特に適したシート状細胞培養物を提供する。
【解決手段】 シート状細胞培養物を円形に製造し、シート状細胞培養物の輪郭を画像センサーで検出し、輪郭の真円度を求め、真円度によりシート状細胞培養物の品質の判定をおこなう。また、輪郭線を２つの同心の幾何学的円で挟んだとき、同心円の間隔が最小となる場合の、２円の半径の差を外側の同心円半径で除した値が、０．２０以下であるシート状細胞培養物を提供する。 （もっと読む）

【課題】被検円錐面と球面測定用干渉計とのアライメント調整を高精度に行い、被検円錐面の径測定の精度を向上させることが可能な円錐面測定装置を得る。
【解決手段】平面測定用干渉計２０、２軸傾き調整ステージ３２、ＸＹステージ３４およびＺステージ３５により、被検円錐面９１と球面測定用干渉計１０とのアライメント調整を行うとともに、基準レンズ１２のキャッツアイポイントが被検円錐面９１上に位置する基準位置に、被検レンズ９０を配置する。球面測定用干渉計１０からの測定光の一部が被検円錐面９１上の円弧状の領域に対し垂直に入射する被検円錐面測定位置に、被検レンズ９０を移動させ、基準位置と被検円錐面測定位置との間の距離をレーザ測長機４１の検出値により求め、その距離に基づき被検円錐面９１の径の測定値を算出する。 （もっと読む）

【課題】レンズ素子の嵌合面およびフランジ面の形成精度、表面状態を、被検面を傷付けることなく、ニュートン縞を利用して簡便に観察できるようにしたレンズ素子のニュートン縞観察装置を得る。
【解決手段】嵌合式レンズ素子１のレンズ嵌合部２の嵌合面２Ａおよびフランジ面２Ｂに密着可能な嵌合面用ゲージ面２０Ａおよびフランジ面用ゲージ面２０Ｂと、光軸Ｌと平行に入射された観察光１１を反射して嵌合面用ゲージ面２０Ａに直角方向から照射するためのミラー面２０Ｅとを有するニュートン原器２０を交換可能に備え、ゲージ面２０Ａ、２０Ｂで反射した参照光と、レンズ素子１の嵌合面２Ａおよびフランジ面２Ｂで反射した測定光との干渉によるニュートン縞を得て、レンズ素子１の嵌合面２Ａおよびフランジ面２Ｂの評価を行う。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の形状測定の精度と測定の作業効率を向上させることができる、ガラス基板の形状測定装置を提供すること。
【解決手段】ガラス基板Ｗを載置可能な載置部１１と、ガラス基板Ｗの被測定部位Ｗａの測定基準となる基準形状１２ａが形成された基部１２と、被測定部位Ｗａと基準形状１２ａを被写体とするカメラ１４と、カメラ１４による被写体の撮像画像に基づいて、基準形状１２ａに対する被測定部位Ｗａの相対位置を検出する相対位置検出部３１と、基準形状１２ａの絶対位置と相対位置検出部３１によって検出された相対位置とに基づいて、被測定部位Ｗａの絶対位置を検出する絶対位置検出部３２とを備える、ガラス基板の形状測定装置。 （もっと読む）

【課題】 エンドミルやツイストドリル等の複雑な形状を有する旋削工具の測定において、被測定工具の軸線と被測定工具が連結され駆動手段により回動されるチャック部軸線とが同軸に連結されなくても簡単、迅速に、かつ高精度に測定可能な工具検査方法とその装置を提供する。
【解決手段】 被測定工具支持具と被測定工具押付具とで被測定工具のシャンク部を該シャンク部の軸線が振れることなく回動可能に挟持させる工程と、被測定工具と被測定工具を回動させる駆動手段とをたわみ軸継手を介して着脱自在に連結する工程と、前記駆動手段を駆動させて前記被測定工具支持具と被測定工具押付具とで挟持された被測定工具を回転させる工程と、前記回転する工具の外径等所要な部位を非接触で測定する工程とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 高速生産される球状体の直径不同を、生産速度に合わせて迅速、正確かつ安価に測定する方法と、その測定方法を用いた球状体の選別方法及び選別装置を提供する。
【解決手段】 揺動している球状体１１の外形画像を、垂直方向と水平方向から複数回撮影する。（ア）垂直方向から撮影した画像について、各画像における直径の最大値（最大径）を求め、全画像を通して最大径の最大値（直径最大値）を求め、最大直径ｄ_ｍａｘとする。（イ）水平方向から撮影した画像について、各画像における直径の最小値（最小径）を求め、全画像を通して最小径の最小値（直径最小値）を求め、最小直径ｄ_ｍｉｎとする。（ウ）最大直径ｄ_ｍａｘと最小直径ｄ_ｍｉｎとの差、Δｄ＝ｄ_ｍａｘ−ｄ_ｍｉｎを直径不同とする。 （もっと読む）

【課題】 一体構造の装置で任意の形状の軸体の各部の諸元，精度等を効率的に、かつ高精度に測定できる軸体測定装置及びそれによる軸体の諸元及び精度の測定方法を提供する。
【解決手段】 軸体測定装置１００は軸体２００の外径，真円度，振れ，偏芯，キズ等を測定する光学式測定機構部１と、軸体２００の幅寸法や振れ等を測定するタッチプローブ型測定機構部２と、軸体２００を支持する軸体支持機構部３と、これ等の制御部４等を一体構造に配置したものからなる。また、タッチプローブ型測定機構部２の接触子２ａ等の位置調整等を行う接触子補正具７が設けられている。また、測定方法の１つとして外径寸法は軸体２００に光学式測定機構部１の投光部１ａから光線を当てて通過光線を受光部１ｂで測定することにより容易に求められる。 （もっと読む）

【課題】横方向の補正を可能とした光学式測定装置、光学式測定方法、及び光学式測定処理プログラムを提供する。
【解決手段】光学式測定装置１は、測定対象物Ｗが配置される測定領域Ｒにて焦点を結ぶビームＬＢ２を成形すると共に測定領域ＲにてビームＬＢ２を走査する送光部３と、測定領域Ｒを通過したビームをＬＢ２受光してその受光したビームＬＢ２に基づく受光信号Ｓｇを出力する受光部５と、受光信号Ｓｇに基づき測定対象物Ｗの寸法を示す測定値Ｄを算出する制御部７を備える。制御部７は、ビームＬＢ２を走査する単位時間に対する受光信号Ｓｇの強度の変化量に基づき、測定値Ｄを補正する。 （もっと読む）

【課題】被検体の表面および裏面の各形状を、互いの相対的な位置関係を正確に把握しつつ高精度に測定する。
【解決手段】回転軸Ｒ_２回りに回転せしめられる被検レンズ９に対し、顕微干渉計１の相対姿勢を変えながら行う形状測定を、被検レンズ９が裏面側から支持された状態で行う表面部の測定と、被検レンズ９が表面側から支持された状態で行う裏面部の測定とに分けて行う。表面部の測定により求められたコバ部側面９７の第１の形状情報と、裏面部の測定により求められたコバ部側面９７の第２の形状情報とを互いに照合することにより、被検体表面と被検体裏面との相対位置関係を求める。 （もっと読む）

【課題】オンライン搬送中の棒鋼の真円度を棒鋼全長にわたって高精度に測定できる真円度測定装置を提供する。
【解決手段】棒鋼２の搬送方向15に直交する一平面から棒鋼通材部分を除いた残りの面内に投受光式の外径計１を３台、各台による棒鋼のエッジ検出可能に配置して１組のセンサユニット５となし、該センサユニットの少なくとも４組を、異組間でエッジ検出可能位置を相異させて棒鋼搬送方向に直列に配置してなり、センサユニットごとに検出したエッジ位置３点を通る円の直径を求め、それらの最大値と最小値の差に基づいて真円度を導出する３点マイクロ法演算を、棒鋼の全長にわたって実行可能とした。 （もっと読む）

【課題】切削加工後の長尺シャフトなどの管状部材の内面を簡単に検査できる内面検査装置を提供する。
【解決手段】管状部材１の内面２を加工する内面検査装置であって、管状部材１を固定する固定装置１０と、固定装置１０により固定された管状部材１の内面２を加工する加工機２０、３０、４０と、内面２に区画された管状部材の内部空間に位置した状態で、加工機に加工された内面２を検知する内面検査ヘッド１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】駆動機構の発熱、プローブの重量増や大型化などの問題を解消できるとともに、能率的な測定を実現できる非接触形状測定機および測定方法を提供する。
【解決手段】非接触プローブ１０と、被測定物Ｗ１，Ｗ２を載置するＸＹステージ２と、非接触プローブ１０とＸＹステージ２とを相対移動させる相対移動機構とを備え、非接触プローブ１０は、同軸上でかつ互いに離れる方向に測長光Ｌ２を出射し、その測長光Ｌ２が被測定物Ｗ１，Ｗ２によって反射した反射光を用いて、被測定物Ｗ１，Ｗ２までの距離を求める干渉計からなる一組の測長手段１１Ａ，１１Ｂを含んで構成されている。 （もっと読む）

【課題】噴霧粒子を撮像し、画像処理を行い、粒子径および粒度速度を同時に測定する噴霧粒子撮像解析システムおよび解析方法を提供すること。
【解決手段】噴霧粒子撮像解析システムは、噴霧粒子の集合（Ｍ）に光を照射する光源部（１、２）と、噴霧粒子の前記集合を所定の時間間隔で撮像する撮像部（３、４）と、撮像部によって撮像された画像を記録する記録部と、制御部（８）とを備え、制御部が、画像から粒子を検出し、粒子の粒子径及び円形度を求め、円形度が所定のしきい値以上である粒子を焦点深度内の粒子の候補として選択し、連続測定した２枚の画像の相互相関から平均速度を求め、連続測定した２枚の画像における全粒子の組み合わせについて粒子速度を求め、粒子速度と平均速度の方向が一致し、粒子径が一致し、且つ、粒子速度が平均速度に対して所定範囲内にある粒子を対応する粒子として決定する。 （もっと読む）