【課題】操作を簡単にし、しかも測定時間の短縮を図る。
【解決手段】ワークとしてのＬＳＩパッケージのバンプの平面度を測定するため、ＣＡＤデータ図形１２´をＣＲＴ上に表示させ、レーザプローブを用いてこの多数のバンプを連続で測定するための測定ルートをＣＡＤデータに基いて自動生成する。また、ＣＡＤデータ図形１２´と測定ルートとを照合し、レーザプローブがこの測定ルートに従って制御されることにより得られる検出信号から、このバンプの部分に関わる信号のみを抽出し、この抽出結果に基づいてＬＳＩパッケージの平面度を求める。 （もっと読む）

【課題】撮像装置に設けたシールドケースの脚部の先端位置の良否を容易に検査することができる撮像装置用検査装置。
【解決手段】撮像レンズと、撮像素子を内包し所定のプリント配線基板と半田接合するための複数の半田ボールを格子状に配設したパッケージセンサと、金属板から形成され前記パッケージセンサを被覆するシールドケースと、を備えた撮像装置を検査する撮像装置用検査装置において、前記半田ボールを当接させて前記撮像装置を載置する平滑な載置面を有する検査治具と、少なくとも、前記シールドケースに設けた前記プリント配線基板と半田接合するための脚部を撮像する検査用カメラと、前記検査用カメラで撮像した前記脚部を表示すると共に、前記脚部が所定の範囲内にあるか否かを判別するための２本の平行な判別線を予め設けた表示装置と、を備えたこと。 （もっと読む）

【課題】従来の、ワークのはんだ付け部形状と予め登録されたはんだ付け部形状とをパターンマッチングさせてはんだ付け状態を検査する方法では、実際は良品であるのに不良品とする過剰判定が生じてしまう恐れがあり、はんだ付け状態を判別分析により検査する方法では、はんだ付け部の形状が予め登録できない不良モード等に属する形状であると誤判定が生じる恐れがあった。
【解決手段】はんだ付け状態の良否を、はんだ付け部のパターン形状により判定する、はんだ付け状態の検査方法であって、検査対象となるワーク内に存在する複数の同一パターンのはんだ付け部のうち、あるはんだ付け部のパターン形状を示す、はんだ付け部の形状を撮像したパターン画像等の情報と、他のはんだ付け部のパターン形状を示す前記情報とを比較することにより、前記はんだ付け部のはんだ付け状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の複数の検査部位の表面高さを共焦点法により一括して測定する際に、各検査部位からの反射光線の干渉を防止できる。
【解決手段】広帯域波長の光線を複数に分割する伝送手段２と、分割された各光線の波長を異ならせるように選択する第１波長選択手段３と、波長選択された各光線を各検査部位に集光し、反射光線を受光する送受信手段５と、各検査部位からの反射光線を集光させる集光手段７ａ、７ｂと、集光された各反射光線を通過させる開口手段８と、各反射光線の波長を選択して他との干渉を避ける第２波長選択手段１０と、波長選択後の各反射光線の光量を検出する光検出器１１と、共焦点の原理により、検査部位の位置が送受信手段の焦点と一致した場合に反射光線の集光径が最小となり、光量が最大となるため、検出光量が最大となる送受信手段の位置を表面高さとして、各検査部位の表面高さを求める表面高さ演算手段１２とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】バンプ欠落を含む半田転写後の電極状態の良否を判定する電極状態判定装置および電極状態判定方法を提供する。
【解決手段】バンプ１６の形成箇所における輝度が第１の閾値ＴＨ１を上回っているときに半田不良状態であると判定し、第１の閾値ＴＨ１と第２の閾値ＴＨ２の間にあるときに半田良好状態であると判定し、第２の閾値ＴＨ２を下回っているときにバンプ欠落状態であると判定する。このように輝度に基づいてバンプ欠落を含むペースト転写の良否を判定することができるので、判定に係る装置や工程を簡略化することが可能となり、コストの低減と生産効率の向上を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】照射角度の異なる複数の光源により正反射光と乱反射光を受けて、これまで正反射光だけでは受けにくい陰の部分の変位測定精度を改善できる技術を提供する。
【解決手段】
被測定部物の表面の対象位置を照射する第１の光源ＯＳ１と、対象位置にて該第１の光源の第１の光軸に対して第１の角度θ１で形成される第１の散乱光路上に配置された第１の受光手段Ｄ１と、第１の光軸に対して第１の散乱光路と反対側に第２の角度θ２で形成される第２の散乱光路上に配置された第２の受光手段Ｄ２と、第１の光軸に対して斜めの角度θ３で対象位置を照射する第２の光源ＯＳ２と、対象位置にて該第２の光源の第２の光軸に対して第３の角度２θ３で形成される正反射光路上に配置された第３の受光手段Ｄ３と、を相互の位置を定めて一つの筐体内に備えた。 （もっと読む）

【課題】目視判定における良否判定の基準を安定させ、検査効率を高める。
【解決手段】本発明の外観検査装置１は、プリント基板Ｐを撮像するカメラ５２と、プリント基板Ｐの状態の良否を判定するための基準となる基準画像データを記憶する記憶部６１と、カメラ５２により撮像されたプリント基板Ｐの撮像画像の画像データと記憶部６１に記憶された基準画像データとを比較して差分をとり、この差分に基づく差分画像を作成するコントロールユニット６０と、差分画像を表示する液晶モニタ４とを備えている。図８は表示画面の一例であって、左上の表示領域に左側ずれ限度画像を、右上の表示領域に差分画像（差分領域Ｄ２）及びプリント基板Ｐの撮像画像を、左下の表示領域に標準画像を、右下の表示領域に差分画像（差分領域Ｄ１）及びプリント基板Ｐの撮像画像をそれぞれ同時に表示させたものである。 （もっと読む）

【課題】教示が簡単で低廉なコストの３次元クリームはんだ印刷自動検査を実現する。
【解決手段】水平姿勢の基板と、その上方から１次元イメージセンサカメラの横長視野に沿って幅広く基板を照明する拡散光光源と、基板に対してカメラ視軸が斜め角度を取る姿勢に設置した１次元イメージセンサカメラとが構成する３次元撮像幾何光学配置において、カメラのピクセル配置に直交する方向に基板を移動することによって、基板全面の３次元画像を獲得し、検体クリームはんだ印刷基板の３次元画像と基準クリームはんだ印刷基板の３次元画像との差分画像処理を行い、クリームはんだの広がりや高さの異常によって生じた教示閾値を超える差分のある画素を、異同画素として検出する。 （もっと読む）

【課題】タクトタイムを長くすること無く部品実装装置の吸着ノズルに保持された部品の３次元の位置検出を行うことが可能な部品認識方法を提供する。
【解決手段】実装ヘッドに保持された部品１２１を撮像する認識カメラ１０６ａ及び１０６ｂとを備える部品実装装置における部品１２１の３次元位置の認識方法であって、部品１２１に対して第１位置にある認識カメラ１０６ａにより部品１２１に対して第１角度で撮像し、さらに部品１２１に対して第２位置にある認識カメラ１０６ｂにより部品１２１に対して第２角度で撮像し、２つの撮像結果から、撮像が行われた部品１２１の３次元位置を認識する。 （もっと読む）

【課題】多数の半導体チップが形成された半導体基板において、各半導体チップに形成された部材の高さ測定を精度よく行う。
【解決手段】半導体基板に形成された多数の半導体装置１における、各半導体装置に形成された被測定部材２の高さを測定する半導体基板の高さ測定方法であって、上記半導体装置に設けられている基準部材３の高さを測定する第１測定工程と、当該半導体装置に設けられている被測定部材の高さを測定する第２測定工程と、上記基準部材の高さの測定結果に基づいて基準高さを設定する基準設定工程と、上記基準高さに対する上記被測定部材の相対高さを算出する算出工程とを含むことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 従来プリント基板毎に特別注文により、設計されていた検査装置を用いていたのに対し、画像取り込み装置とデジタル画像処理ソフトウェアを用いて、ボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）を搭載するクリームはんだ印刷の未はんだを容易に検査できる方法の提供がプリント基板製造現場から求められている。
【解決手段】
デジタルカメラでクリームはんだの印刷状態範囲全体を撮影し、はんだすべき部位を残して他の場所をマスクし、かつ、所定面積以上の部位を選定して残すデジタル処理の後、２値化処理により得られるクリームはんだ印刷画像上のピクセル数から未はんだ部分の有無の判定を行う検査方法及びかかる方法を使用可能とする検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】回路基板のスクリーン印刷部分の印刷状態をカメラのみで検査可能にする。
【解決手段】スクリーンマスク１２上に半田ペーストを供給する前に、該スクリーンマスク１２をカメラで撮像してマスク開口部４２の画像を取り込む。そして、スクリーン印刷前に回路基板１１の印刷対象面をカメラで撮像して印刷前基板画像を取り込む。スクリーン印刷後に回路基板１１の印刷済み面をカメラで撮像して印刷後基板画像を取り込む。そして、印刷前基板画像から印刷後基板画像を差し引いた差分画像を作成する。印刷前基板画像と印刷後基板画像との相違は、半田印刷部分４４の有無のみであるため、両者の差分画像は、半田印刷部分４４の画像に相当する。そして、差分画像（半田印刷部分４４の画像）とマスク開口部４２の画像とを比較して、両者の一致度合いによって半田印刷部分４４の印刷状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】測定要素が異なる所要数の複数の測定データを用いて所定の評価値を導出する測定作業を支援し、その作業効率を充分に向上させる。
【解決手段】色測定を行う測定対象物画像５１０をグラフィック表示させる。この測定対象物画像５１０上で区画された第１測定領域Ｒ１〜第６測定領域Ｒ６を、各々の領域について測定の開始指示を受け付ける部位として機能させる。これら測定領域には、各測定領域の測定が実行済みであるか否かを識別させるために識別表示部Ｎ１〜Ｎ６が付随されている。第１測定領域Ｒ１〜第６測定領域Ｒ６の全ての測定データが揃ったことが確認されると、これら測定データを読み出して所定の評価値が導出される。 （もっと読む）

【課題】経時変化にかかわらず、クリームはんだの状態を検出することができる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】設定部９５ｂは、はんだ相関データ９６ｄおよびＬＥＤ相関データ９６ｅに基づいて、照明装置５から照射される赤外光の強度を設定する。これにより、撮像装置６は、クリームはんだの所定の厚さに対応する画素が所定の光強度を有する基板表面からの反射光を検出することができる。この撮像装置６による画像に基づいて、クリームはんだの断面を検出することができる。したがって、クリームはんだや赤外線ＬＥＤ５ａの経時変化にかかわらずクリームはんだの状態を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】クリームはんだの３次元形状を検出することができる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】照明装置５は、クリームはんだが塗布された基板に対して複数の異なる強度の赤外光を照射する。撮像装置６は、赤外光が照射された基板を赤外光の強度毎に撮像する。これにより、基板に照射された赤外光の強度が異なる複数の画像を取得するができ、これらからクリームはんだの３次元形状を検出することができる。このため、クリームはんだの内部の状態に応じて、基板を搬出したり警告を行ったりすることにより、不良のクリームはんだが塗布された基板が搬出されるのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 画像認識において、背景による各種外乱の影響を取り除き安定したパターン検出を可能とし、パターンマッチングの処理負荷を削減し処理時間を短縮させる。
【解決手段】 対象物と背景とを分離しそれらの濃度として各原画像の平均濃度を指定する。予めパターン画像の自己相関係数の計算を行う。パターン画像によるスキャン過程で、入力画像の自己相関係数とパターン画像・入力画像間の相互相関係数を計算する。パターン画像から背景部分を除外して対象部分のみでパターンマッチングを行うことにより、背景の外乱の影響が取り除け、計算時間も短縮する。
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【課題】クリームはんだの組成にかかわらず、クリームはんだの状態を検出することができる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】照明設定部９５ｂは、クリームはんだの組成に応じて照明装置５により照射する赤外光の強度を設定する。撮像装置６は、照明装置５により設定された光強度の赤外光をクリームはんだが塗布された基板に照射する。撮像装置６は、照明装置５により赤外光が照射された基板を撮像する。これにより、基板表面からの反射光の像を含む画像を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】クリームはんだ内部の状態を明確に検出することができる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】照明装置５は、クリームはんだが塗布された基板に対して所定の強度の赤外光を照射する。撮像装置６は、その赤外光が照射された基板を撮像する。主制御部９５の２値化部９５ｂは、基板から反射された赤外光の強度分布を表す画像データに対して所定の閾値により２値化を行う。主制御部９５の面積算出部９５ｃは、２値化された画像データに基づいて、基板から離間した面に沿ったクリームはんだの断面積を測定する。このように画像データが２値化されているため、クリームはんだの断面形状をより明確に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】クリームはんだ内部の状態を検出することができる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】照明装置５は、クリームはんだが塗布された基板に対して所定の強度の赤外光を照射する。撮像装置６は、その赤外光が照射された基板を撮像する。制御装置９の主制御部９５は、撮像装置６の取込画像の画像データから、基板から反射された赤外光の強度分布に基づいてクリームはんだの断面形状を検出することができる。また、除去部９５ｃによりクリームはんだ表面からの反射光を除去することができるので、はんだの断面形状をより正確に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】異なる言語圏に属する複数のユーザーが、それぞれ自分の指定した言語により情報の入力や表示を行えるようにして、検査装置の使い勝手を向上する。
【解決手段】言語指定受付部１０２は、日本語、英語、中国語のいずれかの指定を受け付け、文字入力受付部１０１は、指定言語による文字情報の入力を受け付ける。入力された文字情報は、表示画面作成部１０５の作成したＧＵＩ上に表示されるとともに、翻訳処理部１０８により翻訳される。入力された文字情報や翻訳後の文字情報は、文字情報記憶部１０４の対応する言語用の情報記憶部に格納される。既に入力された文字情報を含むＧＵＩを表示する際には、検索処理部１０７によりその時点での指定言語に対応する情報記憶部から表示対象の情報に対応する文字情報が抽出される。表示画面作成部１０５は、抽出された文字情報を元の文字情報に差し替えたＧＵＩを作成する。 （もっと読む）