【課題】 観察物体の位相変化量等を微分干渉顕微鏡により得た微分干渉画像から短時間で検出する装置を提供する。
【解決手段】 光源と、光源からの光を２つの偏光成分に分離し観察物体に導く照明光学系と、照明光学系内で分離された２つの偏光成分を再構成し観察物体の像を形成する結像光学系を有する微分干渉顕微鏡と、２つの偏光成分のリターデーション量を変化させる手段と、リターデーション量を検出する手段と、観察物体の像を撮像する手段を備え、リターデーション量が等しく符号の異なる観察物体の２つの微分干渉像を撮像手段で撮像する検出装置において、２つの微分干渉像の画像において夫々対応する画素毎に差演算及び和演算を行って差画像情報と和画像情報を取得し、以下の式を用いて観察物体面上の位相量を検出する演算手段を備える。
∂Φ（ｘ，ｙ）／∂ｒ＝ｋ・｛（１−ｃｏｓθ）・Ｄ（ｘ，ｙ）｝
／｛２ｓｉｎθ・Ｓ（ｘ，ｙ）｝ （もっと読む）

【課題】電子部品の外周部に充填される充填物、特に、樹脂のフィレット幅を的確に求めることのできる電子部品のフィレット幅検査装置を提供する。
【解決手段】電子部品１００の外周部の境界検出に適した同軸落射照明２と樹脂フィレット１０１の外周部の境界検出に適した斜方照明３とを選択的かつ独立的に作動させ、同軸落射照明２が作動する間に撮像された同軸落射画像と斜方照明３が作動する間に撮像された斜方画像とを画像記憶手段６に記憶させる。電子部品１００の外周部の境界を同軸落射画像の輝度変化から求める一方、樹脂フィレット１０１の外周部の境界を斜方画像の輝度変化から求めることで、電子部品１００の外周部の正確な境界と樹脂フィレット１０１の外周部の正確な境界に基いて電子部品１００の外周から樹脂フィレット１０１の外周部の境界に至る樹脂幅すなわちフィレット幅ｈを求める。 （もっと読む）

【課題】測定可能な高さレンジを大きくでき、かつ、高精度な計測を実現することができるとともに、撮像回数を最小限に抑制することができ、ひいては、計測（或いは検査）効率の向上を実現することのできる三次元計測装置及び基板検査機を提供する。
【解決手段】基板検査機１はクリームハンダの印刷されたプリント基板Ｋを載置するためのコンベア２と、斜め上方から所定の光パターンを照射する照射手段３と、前記照射された領域を撮像するＣＣＤカメラ４と、制御装置７とを備える。位相シフト法により計測対象部の高さが計測されるのであるが、これに先だって、空間コード化法によって、計測対象部に対応する縞に相当する空間コード番号が特定される。また、予めライブラリデータが読み込まれ、計測対象部のおおよその高さに基づいて空間コード化法用の撮像回数が決定される。最小限の撮像回数で精度の高い三次元計測を実現できる。 （もっと読む）

【課題】カラーハイライト照明で検出が難しいはんだの急峻な面や平坦面を判別できるようにするとともに、はんだ以外の部位を白色照明下で撮像できるようにする。
【解決手段】基板Ｓの上方に、カラーカメラ１Ａと赤外線カメラ１Ｂとを各受光面が基板面に対向するように配備する。またカメラ１Ａ，１Ｂと基板Ｓとの間には、赤、緑、青の各可視光をそれぞれ異なる方向から照射する第１照明部２Ａと、カメラ１Ａの光軸１１に沿って赤外光を照射する第２照明部２Ｂとを設ける。カメラ１Ａでは、第１照明部２Ａからの光に対する基板Ｓからの反射光の入射によるカラー画像を生成し、カメラ１Ｂは、赤外光に対する反射光の入射による濃淡画像を生成する。フィレット以外の部位を検査する場合には、カラー画像の対応箇所の画像を処理し、フィレット検査の際には、カラー画像および濃淡画像を用いて５段階の傾斜レベルに相当する部位を特定する。 （もっと読む）

【課題】設計情報を基に無駄な走査を防止しするとともに、走査中であっても部分的にでも早く検査を開始する技術の提供である。
【解決手段】
走査ルート形成手段３６が、予め、測定対象とする前記プリント板について、該プリント板内で前記はんだ印刷された領域及び基準位置を示す複数のマークが付された領域をＸ−Ｙ直交座表系で表した基板設計情報を受けて、主走査すべき測定領域を決定するとともに、その測定領域の全部を走査する走査ルートを決定し、走査ルート情報を形成しておいて、測定時に、走査制御部２５ａが生成された走査ルート情報に基づいて主走査機構及び副走査機構を制御し、検知手段２５ｃは主走査機構が少なくとも２つのマークが付された領域を走査したことを検知して検査部に対して通知して走査制御部による残りの主走査に拘わらず検査部に検査動作を開始させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】既知の設計情報を基に無駄な走査を防止して検査対象とするエリアを走査できる技術の提供である。
【解決手段】投影範囲算出手段３１はプリント板内ではんだ印刷された測定領域をＸ軸―Ｙ軸の座標で表したレイアウトを受けて、測定領域をＸ軸に投影したときのＸ軸投影範囲と、Ｙ軸に投影したときのＹ軸投影範囲を算出し、走査範囲決定手段３２ａがＸ軸投影範囲と所定距離［Ｌ―δ］とから、全測定領域を測定するための主走査回数及び各主走査回のＸ軸方向の主走査位置を決定し、かつ、各主走査回におけるＹ軸方向の主走査範囲をＹ軸投影範囲から決定する。そして、走査制御部２５ａは、決定された主走査位置を基に副走査機構制御し、決定されたＹ軸方向の主走査範囲を基に主走査機構を制御する構成とした。 （もっと読む）

【課題】印刷半田の状態を的確に検査することができる印刷半田検査方法及び装置を提供することにある。
【解決手段】基板１０に印刷された半田１０ｘの２次元画像を撮像する光学系２０、３０と、当該印刷半田の３次元画像を撮像する光学系２０、３０と、撮像した２次元画像及び３次元画像を処理して、該印刷半田の底部面積、パッド面積等の２次元性状の項目６１を測定すると共に断面積、突起面積、平均高さ、ピーク高さ、体積等の３次元性状の項目６２を測定し、当該測定項目に基づいて該印刷半田の形状を決定し、また、少なくとも２つの前記測定項目をマトリックス状に組み合わせて該印刷半田の形成合否を判定する検査部５０、６０、８０とを備える。これにより、２次元測定と３次元測定をそれぞれ単独で実施するよりも、正確に印刷半田の形状を決定することが可能となると共に正確に印刷半田の形成合否を判定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤのような指向性の高い点光源を用いた照明装置を拡散板を導入せずに使用しても、表面の傾斜状態の判別を安定して行って、検査の精度を確保する。
【解決手段】基板Ｓの上方に、カラーカメラ１を受光面が基板面に対向するように配備するとともに、このカメラ１と基板Ｓとの間に照明装置２を設け、基板Ｓ上のフィレット７１に対する検査を実行する。照明装置２は、同心円状に配備されたＬＥＤ２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂにより、赤、緑、青の各色彩光がカメラ１の視野に対しそれぞれ異なる方向から入射するように構成されるが、光出射面には拡散板が設けられていない。検査の際には、カメラ１により生成された画像から各照明色による高輝度領域を抽出し、これらの領域がＬＥＤ間の距離に応じた間隔を隔てて分布する範囲全体を、照明色に対応する色領域として特定し、各色領域の構成画素の数を所定の基準値と照合する。 （もっと読む）

【課題】はんだフィレットの外観形状を高精度に測定する実装基板の検査装置および検査方法を提供すること。
【解決手段】検査装置１００は，３本のラインレーザＬ１，Ｌ２，Ｌ３を，はんだフィレット５の所定の領域に照射する。各レーザ光源８，９，１０は，各ラインレーザＬ１，Ｌ２，Ｌ３がＹ軸方向から見てそれぞれ異なる角度ではんだフィレット５に入射するように配置されている。すなわち，ラインレーザＬ１，Ｌ２，Ｌ３は，Ｙ軸方向上の同一の領域内にそれぞれ異なる角度で照射される。そして，カメラ１１によって，はんだフィレット５上に映し出されるラインレーザＬ１，Ｌ２，Ｌ３がそれぞれ撮像される。そして，判定部１５によって，ラインレーザＬ１，Ｌ２，Ｌ３ごとに，当該ラインレーザが映し出された範囲内のはんだフィレット５の表面高さを測定する。 （もっと読む）

【課題】測定範囲外で測定に必要な主走査の位置の変更に係る時間を短縮する。
【解決手段】走査制御部２５ａは、主走査機構１１を駆動させて測定範囲を距離Ｌの間隔を置いてＮ回、前記第１方向に平行な主走査をさせるとともに、測定範囲外で主走査機構による主走査の延長線上における延長副走査と、副走査機構３による第１方向と直交する第２の方向への副走査とを、ほぼ同時に実行させて距離Ｌの間隔をＮ−１回に亘って主走査位置を変更させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】半田ごてなどの半田溶融手段で溶融された半田を正確に検出しながら半田付けする半田付け方法及び半田付け装置を提供する。
【解決手段】半田付けが行われる半田付け領域に半田ごてなどの半田溶融手段を配置し、半田溶融手段に半田を供給して行う半田付け方法及び半田付け装置において、半田溶融手段で溶融された半田をカメラで所定のタイミングで逐次撮影して、半田から反射してきた赤色よりも長波長の光による画像データを生成し、画像データのうち、撮影のタイミングが異なる少なくとも２つの画像データの差分をとって差分画像データを逐次生成し、差分画像データを逐次互いに重ね合わせて合成して合成画像データを生成し、合成画像データの半田付け領域における半田の面積を検出し、半田の面積に基づいて半田溶融手段に供給された半田の供給量を検出することとする。 （もっと読む）

【課題】二次反射による誤判別のない検査を実行できるようにする。
【解決手段】カラーハイライト方式の基板検査装置において、赤、緑、青の光源をすべて点灯して撮像を行うことにより生成されたＲ−ＯＮ画像と、赤色光源を消灯し、その他の光源を点灯して撮像を行うことにより生成されたＲ−ＯＦＦ画像との間で、対応する画素毎に色差を求める。この色差が所定のしきい値Ａを上回る画素の組のうちＲ−ＯＦＦ画像における明度が所定のしきい値Ｂを上回るものを、二次反射によるノイズ領域５０として特定する。そして、ノイズ領域５０内の画素についてはＲ−ＯＦＦ画像のデータを、その他の画素についてはＲ−ＯＮ画像のデータを、それぞれ選択し、選択されたデータを集合させた処理対象画像を生成する。さらに、この処理対象画像中の各色彩領域の検出や計測を行い、得られた計測値に基づきフィレットの良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】検査環境による検査対象物の形状の良否判定の精度が検査環境によって低下することを防止する。
【解決手段】形状検査装置は、検査対象物を照明するための検査光源と、撮像手段と、前記検査光源を点灯した状態において前記検査対象物の反射光を受光することによって前記撮像手段が出力する画像データである検査データを取得する検査データ取得手段と、前記検査光源を消灯した状態において前記検査対象物の反射光を受光することによって前記撮像手段が出力する画像データであるオフセットデータを取得するオフセットデータ取得手段と、前記検査データと前記オフセットデータの差分を示す差分データを取得する差分データ取得手段と、前記差分データに基づいて前記検査対象物の形状の良否を判定する良否判定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査装置がはんだ形状の良否判定に用いた測定値に基づく三次元形状の画像データを集中管理する管理装置側で速やかに表示し、虚報か否かの判定に供することのできる集中管理技術を提供することである。
【解決手段】複数の検査ラインに配置された印刷はんだ検査装置１００は、プリント基板のはんだ状態を測定し、その良、不良を判定し、さらに、判定結果が不良であるときは該検査を一時停止させるとともに、一時停止中であることの知らせと、不良と判定されたはんだ箇所の形状を表す三次元画像とを含む状態情報を、管理装置へ送信する。管理装置は、各印刷はんだ検査装置から状態情報を受信し、各検査ラインでの検査が一時停止しているか否かを識別可能に表示手段の画面に一覧表示させ、次に、一時停止中の検査ラインがある場合は、不良と判定されたはんだ箇所の三次元画像を表示する対策画面に切り替える表示制御手段２２を備えた。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の雰囲気温度を反映させて高精度に形状測定ができるようにする。
【解決手段】光の強度が周期的に変化する縞状の光パターンを検査対象物１００の表面上に照射する光パターン照射装置２と、光パターンが照射された検査対象物１００の画像を撮影する撮影カメラ３と、検査対象物１００と光パターンとの相対位置関係を変化させる変位装置４と、検査対象物１００の雰囲気温度を制御可能な温度制御装置５と、撮影カメラ３及び温度制御装置５からの情報に基づいて検査対象物１００の各部位の高さ情報を算出する形状計測手段２１とを備え、形状計測手段２１は、温度制御装置５により検査対象物１００の雰囲気温度が予め決められた温度となった状態で、撮影カメラ３により検査対象物１００の画像を撮影させ、その少なくとも３つの画像上の光の強度分布に基づいて位相シフト法により検査対象物１００の各部位の高さ情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】基板に実装され表面にコーティング剤が塗布された部品を撮像してその画像データにより実装欠陥を誤判定することなく容易に且つ確実に検査することが可能な実装検査装置およ実装検査方法を提供する。
【解決手段】基板１に実装され表面にコーティング剤が塗布された部品２を異なる位置から撮像し取り込み、この撮像した各取り込み画像データＧｂ、Ｇｃを所定の位置Ａから撮像した変換画像データＧａｂ、Ｇａｃに変換処理し、この変換画像データＧａｂ、Ｇａｃに基づいて部品２の実装欠陥を判定する。変換画像データＧａｂ、Ｇａｃに基づく部品２の実装欠陥の判定は、各変換画像データＧａｂ、Ｇａｃの互いに異なる部分を抽出した差分画像データ｜Ｇａｂ−Ｇａｃ｜を演算し、差分画像データ｜Ｇａｂ−Ｇａｃ｜を変換画像データＧａｂまたはＧａｃから差し引いた判定画像データＧａによる。 （もっと読む）

【課題】撮像対象領域に対し検査対象物がどの位置にある場合でも、その被検査面の傾斜状態を正しく判別できるようにする。
【解決手段】基板Ｓの上方に、９種類の色彩光を、それぞれ入射角度αが異なる方向から基板Ｓに照射する照明装置２を配備し、光軸を鉛直方向に沿って配備したカメラ１により基板Ｓを撮像する。ティーチング時には、基板上の部品種毎に、フィレットの正しい傾斜角度を求め、さらに基板上の各部品について、９種類の色彩光の中から、フィレットに照射されたときの正反射光がカメラ１に入射するものを特定し、その特定された色彩光に対応する色彩を抽出色として検査のために登録する。 （もっと読む）

【課題】転写材転写不良の見落としを防止でき、簡単かつ短時間で転写材転写の良否を判定することのできる電子部品装着装置における転写材転写検査方法を提供する。
【解決手段】半田３１が転写されるバンプ４２をボディ４１上に有する電子部品４０を基板に装着する電子部品装着装置１００における転写材転写検査方法である。電子部品４０に半田３１を転写するステップＳ１１と、半田３１が転写された電子部品４０を位置決めするステップＳ１２と、電子部品４０を撮像するステップＳ１３、Ｓ１４、Ｓ１５と、ステップＳ１３、Ｓ１４、Ｓ１５により得られた電子部品４０の位置データに基づいて、バンプ４２の輝度を測定する範囲（ウインドウＷ１）を特定し、バンプ４２ごとの輝度を取得するステップＳ１６、Ｓ１７と、バンプ４２ごとに、バンプ４２の輝度と電極輝度基準値とを比較して、半田転写の良否を判定するステップＳ１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】コストの増加や検査効率を低下させることなく、被検査面の傾斜角度を従来よりも細かい単位で検出できるようにする。
【解決手段】半球状の筐体２０を具備する照明部２と撮像面を真下に向けて配備したカメラ１により基板を撮像する。筐体２０には、周方向および上下方向をそれぞれ等角度間隔をもって区分けすることにより複数の領域が設定される。各領域には、それぞれ１２個のＬＥＤ２２ａが３×４のマトリクスを構成するように配置される。これらのＬＥＤ２２ａのうち、マトリクスの４隅を除く８個のＬＥＤ２２ａは、その点消灯のパターンによって、基板に対する照明の方向を示すバイナリコードを表示する。検査の際の画像処理では、画像に現れた反射パターンからそのパターンに対応する照明光の方向を特定して、フィレットの傾斜角度を求める。 （もっと読む）

【課題】操作を簡単にし、しかも測定時間の短縮を図る。
【解決手段】ワークとしてのＬＳＩパッケージのバンプの平面度を測定するため、ＣＡＤデータ図形１２´をＣＲＴ上に表示させ、レーザプローブを用いてこの多数のバンプを連続で測定するための測定ルートをＣＡＤデータに基いて自動生成する。また、ＣＡＤデータ図形１２´と測定ルートとを照合し、レーザプローブがこの測定ルートに従って制御されることにより得られる検出信号から、このバンプの部分に関わる信号のみを抽出し、この抽出結果に基づいてＬＳＩパッケージの平面度を求める。 （もっと読む）