【課題】測定対象物の表面に発生するひずみを、直接測定すること無く離れた位置から簡易に、かつ、高精度に計測可能なひずみ計測方法及びひずみ計測システムを提供する。
【解決手段】ひずみ計測システム１は、測定対象物２の表面の計測対象領域Ｓを正面から撮像する第１撮像装置３と、測定対象物２の側面を撮像する第２撮像装置５と、第１撮像装置３及び第２撮像装置５により撮像された画像に基づいて測定対象物２に発生するひずみを算出する計測装置１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置を高精度に制御しつつ、物体上の複数のマークの検出時間を短縮する。
【解決手段】 露光装置は、ウエハＷを保持してＸＹ平面内で移動するとともに、上面にＹ軸方向を周期方向とする格子を有する一対のＹスケール３９Ｙ_１、３９Ｙ_２が設けられたウエハステージＷＳＴと、Ｘ軸方向に関して検出領域の位置が異なる複数のアライメント系ＡＬ１、ＡＬ２_１〜ＡＬ２_４と、Ｘ軸方向に関して前記複数の検出領域の両外側に１つずつ配置される一対のＹヘッド６４ｙ_１、６４ｙ_２を含む複数のＹヘッド６４を有し、一対のＹスケールの少なくとも一方と対向するＹヘッドによって、ウエハステージＷＳＴのＹ軸方向の位置情報を計測するＹエンコーダと、を備えている。このため、ウエハステージＷＳＴのＹ軸方向の移動の際に、ウエハ上の複数のマークを複数のアライメント系で同時に計測可能になる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、多レンズ光学系（６２）の光学面（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）の曲率中心（Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３）の位置を測定する方法に関する。
【解決手段】最初に、光学面（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）の間隔が、干渉計（２４）を用いて参照軸（３４）に沿って測定される。次に、光学面（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）の曲率中心（Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３）が、光角測定デバイス（２２）を用いて測定される。光学系（６２）内のある光学面（Ｓ２、Ｓ３）の曲率中心の位置の測定の間に、この光学面（Ｓ２、Ｓ３）及び光角測定デバイス（２２）の間にある光学面（Ｓ１、Ｓ２）の曲率中心（Ｋ１、Ｋ２）の測定された位置と、光学面（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）の以前測定された間隔とが、計算的に考慮される。このように、測定の特に高い精度が達成される。なぜなら、望まれる間隔が当てにされる必要がないからである。 （もっと読む）

【課題】画像処理の処理効率の向上と共に相対的位置角度スケールを確実に検出できる３次元形状認識装置を実現することが求められる。
【解決手段】本実施形態によれば、３次元形状認識装置は、入力部と、幾何学的要素抽出部と、幾何学的要素対応付け処理部と、位置角度推定処理部とを備えた構成である。入力部は、同一の３次元形状の認識対象に対する複数の形状データを入力する。幾何学的要素抽出部は、前記各形状データのそれぞれから幾何学的要素を抽出する。幾何学的要素対応付け処理部は、角度または距離の比を含む相似不変量をキーとするハッシュテーブルを使用し、前記各幾何学的要素間で位置関係が合致する組み合わせを選出する。位置角度推定処理部は、前記選出される複数の組み合わせに基づいて前記各形状データ間で前記認識対象の相対的位置角度スケールを示す相対的位置角度情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】 複数波長による表面形状の測定方法およびこれを用いた装置によって測定する場合に発生するクロストーク現象のクロストーク補正係数を算出する。
【解決手段】 測定対象面の平面領域内から輝度の異なる６点以上の干渉輝度信号を取得し、前記輝度信号に干渉縞モデルとクロストークモデルとの組み合わせを適合（フィッティング）することにより、クロストーク補正係数を一括して算出するクロストーク補正係数算出方法、また、該方法を実行できる装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】溶接線の径が多様に変化する筒形状部材であっても、計測機器の種類を増やすことなく、また、計測作業時間の増大を極力抑制する。
【解決手段】カメラ装置４が第１の撮影位置での溶接裏波８の全周にわたる撮影を終了すると、その装置本体４１は移動ステージ４２により第２の撮影位置に移動され、同様に、溶接裏波８の全周にわたる撮影を行う。このときの第１の撮影位置から第２の撮影位置までの距離Ｌは、第１の撮影位置におけるカメラ装置４と、撮影対象地点である溶接裏波８との間の距離Ｈに応じて設定される。そして、これら２個所の撮影位置で撮影された画像情報により、三角測量の原理に基づき溶接裏波８の３次元形状情報が演算され、この３次元形状情報に基づき突き合わせ溶接部の溶接品質が評価される。 （もっと読む）

【課題】正確性が向上した表面形状測定方法および測定装置を提供する。
【解決手段】このような表面形状測定方法は、少なくとも二以上の方向でパターン光を測定対象物に照射し、測定対象物から反射されたパターンイメージを取得する段階と、前記パターンイメージを用いて前記方向における高さを取得する段階と、前記方向における前記高さの増加率を表すベクトル場を取得する段階と、前記方向における前記高さに対する信頼指数を取得する段階と、前記信頼指数及び前記ベクトル場を用いて、統合ベクトル場を取得する段階及び前記統合ベクトル場を用いて測定対象物の各座標値に対する高さを測定する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】低コストで取り扱いが容易な３次元計測システムにおけるキャリブレーション用校正治具であって、対象物を両面から三次元計測する場合にも精度高く簡易にキャリブレーションを行うことができるキャリブレーション用校正治具を提供する。
【解決手段】本発明による校正治具は、３次元計測システムに用いられる校正治具であって、二つの平面を有する本体にキャリブレーションの基準となるキャリブレーションパターンとして、一又は二以上の角錐台形状の貫通穴を形成することで両平面にキャリブレーションパターンが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】施工ブロック毎に分割して構築されるコンクリート構造物のひずみを効率の良い作業で精度良く計測する。
【解決手段】施工ブロック毎に順次コンクリートを打設して構造物を構築するものとし、一つの施工ブロックのコンクリートを打設した後、隣接する施工ブロックのコンクリートを打設するための型枠内には、先の施工ブロックに埋設された可撓管に接合して連続する可撓管を配置する。複数の施工ブロックのコンクリートの打設が終了すると可撓管１６内に光ファイバケーブル１８を挿入するとともにグラウト１７を注入し、光ファイバケーブルとコンクリート１ａとを一体化する。その後、光ファイバケーブルの一端にひずみ測定器を接続し、光パルスを入射して後方散乱光を検知する。後方散乱光の周波数の変化及び後方散乱光を検知した時間から橋桁の各位置に生じたひずみの大きさを計測する。 （もっと読む）

【課題】管状部材の内周面にひずみ検出部を簡単に接着してこの管状部材のひずみを容易に測定することができるひずみ測定装置とその製造方法及び載荷試験装置を提供する。
【解決手段】ひずみ検出部５Ａ〜５Ｌは、模型鏡ボルトＢの各検出位置Ｐ_A〜Ｐ_Lに発生するひずみを検出する光ファイバ式のひずみゲージである。挿入部材１０は、模型鏡ボルトＢの内周面にひずみ検出部５Ａ〜５Ｌを接着するために、このひずみ検出部５Ａ〜５Ｌを接着剤層１１によって外周面に保持した状態で、この模型鏡ボルトＢに挿入される。挿入部材１０は、ひずみ検出部５Ａ〜５Ｌを模型鏡ボルトＢ内に案内し検出位置Ｐ_G〜Ｐ_Lに位置決めするための治具として機能する。接着剤層１１は、挿入部材１０の外周面に装着された多孔質材に流動性接着剤を含浸させて形成されている。 （もっと読む）

【課題】２軸の角度調整の操作性と小型化とをバランス良く達成することができる。
【解決手段】基準プレート１１と、ＣＣＤ素子面において走査方向に直交する方向の中心を通る走査方向の第１軸線Ｏ１を中心にして回転するあおり調整用プレート２０と、あおり調整用プレート２０上に搭載され、このあおり調整用プレート２０を回転させるためのあおり調整機構２１と、ＣＣＤ素子面に対する法線方向に平行な第２軸線Ｏ２を中心にして回転する回転調整用プレート３０と、回転調整用プレート３０上に搭載されるとともに、この回転調整用プレート３０を回転させるための回転調整機構３１とを備え、あおり調整用プレート２０がカメラ本体５に固定され、回転調整用プレート３０に対して回転可能に支持され、回転調整用プレート３０が基準プレート１１に固定され、各プレート１１、２０、３０がその順で重なって配置された角度調整装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】動的な環境下においても、効率的にマップ更新処理を可能とする。
【解決手段】３次元環境復元装置１０は、環境を３次元で計測する環境認識センサ５と、計測された計測データから、観測物体の３次元形状を表す３次元点群を生成する３次元点群生成処理部１１と、３次元環境を表現するデータ構造であって、当該３次元環境が格子領域に区切られて観測物体が存在する格子領域に直方体が配置された３次元環境マップを多段マップとして、生成された３次元点群データを用いて多段マップを時分割で生成し、当該生成した多段マップを記憶手段に規定時間分蓄積する時分割多段マップ生成／蓄積処理部１２と、蓄積された規定時間分の多段マップと、新たに生成された多段マップと、を合成することで、新たな環境情報を反映させた全体多段マップを生成する全体多段マップ生成処理部１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光を用いて物体までの距離を測定した測定結果において、所定の対象物に関する測定結果を特定することを可能とすること。
【解決手段】物体までの距離を光の照射によって測定点毎に測定する測定装置であって、測定点毎の距離情報と測定点毎の受光量情報とを取得する光学式距離測定部と、受光量情報において、光量が閾値を超える複数の測定点の並びが所定のパターンを形成している場合に、これらの測定点を、光源方向に対して多くの入射光を反射する反射面を有する対象物に対応する測定点であると判定する対象判定部と、判定された測定点の距離に基づいて、対象物の位置を測定する位置測定部と、対象判定ステップによって判定された測定点の距離に基づいて、自装置の基準点を原点とするローカル座標系における対象物の位置を算出し、同一の対象物のローカル座標系における位置及びグローバル座標系における位置に基づいて較正を行う較正部とを備える。 （もっと読む）

【課題】計測精度を高精度化し、また計測時間を高速化することができる３次元寸法を計測する装置及び方法を提供する。
【解決手段】基準プレート６上方に配置された位置計測カメラ２で基準プレート６とその上の計測対象物１を撮影し、計測対象物１の基準プレート座標系での２次元座標を演算する。２次元座標上において複数の探査領域ＳＡ１〜ＳＡ４の位置を特定し、３次元計測カメラ３の撮影位置である複数の視点位置を画像認識にて演算する。視点位置から、基準プレート６と計測対象物１とを含んだ画像を３次元計測カメラ３で撮影する。３次元計測カメラ３で撮影した画像から、３次元計測カメラを基準とした複数の３次元座標を演算する。この座標を、基準プレートを基準とした世界座標系に統合する。世界座標系での３次元座標に基づき、計測対象物１の取付け具１２、１３相互間の寸法を演算する。 （もっと読む）

【課題】２次元状に受光素子が配置された光学式変位計において、ワークに応じて安定した受光量を得ることを可能とする。
【解決手段】測定対象物ＷＫに光を照射するための投光部３と、受光光量の強い領域での出力信号が飽和せずに抑えられるような受光特性曲線を有し、測定対象物ＷＫからの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子１５と、２次元受光素子１５の受光特性曲線を調整するための受光素子制御部５２と、受光素子制御部５２により受光特性曲線が調整された２次元受光素子１５からの受光信号を増幅するための増幅器と、投光部３からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において増幅器で得られた増幅信号に基づき、測定対象物ＷＫのプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算部５４とを備える。 （もっと読む）

【課題】カメラの取り付け位置や取り付け姿勢の情報を迅速かつ精度良く得ることを課題とする。
【解決手段】設定部２３２は、４個のマーカーが映し出された画像平面上の４個に対応するカメラ座標系における仮想的な４つの対応点の中から基準マーカーとする点Ｍを選択する。そして、設定部２３２は、基準点Ｍまでの距離Ｌ_０に所定の値を設定する。作成部２３３は、基準点Ｍ以外の点、つまり基準マーカー以外のマーカーに対応する点１〜点３までの各距離Ｌ_１，Ｌ_２，Ｌ_３を表す数式を作成する。導出部２３４は、設定部２３２により設定された基準マーカーで採用する全ての符号パターンを導出する。棄却部２３５は、導出部２３４により導出された符号パターンの中から、距離Ｌ_１、Ｌ_２、Ｌ_３の値の少なくとも１つが相応しい値となり得えない符号パターンを棄却する。 （もっと読む）

【課題】構造物の撮影画像に基づいて、構造物の面及び交線の位置を自動計測し、構造物モデルを自動的に作成し、表示可能な構造物モデル作成装置を提供する。
【解決手段】本発明による構造物モデル作成装置１は、コード付き標識ＣＴを配置した測定対象面２の撮影画像３を取得する画像データ取得部４と、同一測定対象面に配置されたコード付き標識ＣＴが同一グループに属するようにコード付き標識ＣＴをグループ分けする標識グループ化部７１と、測定対象面２の面方程式を算出する面方程式算出部７２と、測定対象面間の交線を求める交線算出部７４と、１つのグループに対応する測定対象面２に隣接する隣接測定対象面を特定する隣接面特定部７３と、各グループに対応する測定対象面と隣接測定対象面との交線とを表示する表示部１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】凸レンズの周縁の形状を簡易な構成で精度良く検出することができるエッジ検出方法およびエッジ検出装置を提供すること。
【解決手段】凸レンズ１００を撮像する撮像部２を用いて凸レンズ１００の周縁の形状を検出させるためのエッジ検出方法であって、出射開口１１ａが形成されたマスク１１の出射開口１１ａを通じて撮像部２へ向けて拡散光を発し、出射開口１１ａと撮像部２との間の撮像光学系３の被写界深度内に凸レンズ１００を配置し、撮像部２の撮像面４ａに、拡散光が凸レンズ１００を透過して撮像部２へ入射した第一拡散光Ｌ１と、拡散光が凸レンズ１００の外部を通って撮像部２へ入射した第二拡散光Ｌ２とによってマスク１１の像を投影させ、第二拡散光Ｌ２による明部とマスク１１の像による暗部との境界の形状に基づいて凸レンズ１００の周縁の形状を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定のスループットが低下するのを防ぎ、測定感度の高い半導体計測装置を提供する。
【解決手段】一定の偏光状態の光を多入射角に分解する第１のレンズ３１と、第１のレンズ３１から出射される光が計測対象物で反射した、多反射角の反射光を同軸の平行光に変える第２のレンズ３２と、第２のレンズ３２を透過した光の所定の成分を波長および入射角に対応して分光する分光器４０と、分光器４０から照射される光の波長および入射角をパラメータとして表される光強度分布を検出して電気信号に変換する２次元検出器５０と、２次元検出器５０から受信する電気信号に基づく光学パターンを解析し、計測対象物の構造を特定する情報処理装置７０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 基板を検査するにおいての所要される時間を節減することができ、空間を確保することのできる検査装置を提供する。
【解決手段】基板上に形成された測定対象物の良否を判断する検査装置はワークステージ部、光学モジュール及び光学モジュール移送部を含む。光学モジュール移送部は光学モジュールの上部に配置されて光学モジュールと結合され、光学モジュールを移送する。それにより、基板を検査するに所要される時間を節減することができ、空間を確保することができる。 （もっと読む）