【課題】高速道路や普通の道路等の路面を走る自動車に、通常の走行速度で走行させつつ路面の平坦性が測定できるようにした路面平坦性測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の路面平坦性測定装置は、自動車の走行方向に沿った３個所に、それぞれ路面までの高さを測定するレーザ測距器を備え、該レーザ測距器のうち、前後２つの測距値を結んだ基準線に対する中間の１つの測距値の変動により路面の形状を測定することを特徴とし、自動車を通常の走行速度で走らせながら路面の平坦性を測定でき、しかも、車上や車内にパソコン等のデータ処理ユニット及びその付属機器を搭載でき、測定する路面上の距離に限界がなく、測定が短時間で済み、時間と労力が大いに節約できるようにしている。また、各レーザ測距器はトラックの荷台下の空間に設置し、機器類を荷台上に搭載できるようにし、自動車の車輪を距離測定エンコーダに利用できるようにしている。 （もっと読む）

【課題】微小径ワイヤーボンドの接合状態の良否検査に先立ち、当該ワイヤーボンドの三次元的位置決めを迅速且つ精確に行うことができるワイヤーボンドの三次元位置決め方法及び装置を提供することを課題とする。
【解決手段】カメラ５とラインレーザー３、４を用いて、可動ステージ２上に載置されたワイヤーボンド１の三次元位置決めを行うための方法であって、 ラインレーザー３、４を、カメラ５の向きに対して角度を持たせて配置することにより、照射されたレーザーラインがワイヤーボンド照射部分において他の照射部分と一直線状にならないようにし、カメラ５で取り込んだレーザーラインが照射された状態のワイヤーボンド１の画像データにおいて、ワイヤーボンド１上におけるレーザーラインの位置と基準位置とのずれとラインレーザーの傾斜角度とから演算して求めた数値を基に、可動ステージ２を移動制御する （もっと読む）

【課題】パターンの形状測定において、対象構造が計測可能か、又はどの程度の誤差が生じるかを分光反射率測定により事前に知る。
【解決手段】繰り返しパターンを分光検出して分光反射率を求めるとともに検出時に生じる検出波長ごとのノイズの量を求め、分光反射率の情報及び検出時に生じる検出波長ごとのノイズの量の情報と、繰り返しパターンの屈折率と消衰係数とを含む光学的材質の情報及び繰り返しパターンの形状の情報とを用いて繰り返しパターンの形状を算出して所定の精度で繰り返しパターンを計測することが可能かを評価し、評価した結果所定の精度で計測可能と判定した場合に繰り返しパターンと同一のパターンが形成された基板を順次分光検出してパターンの形状を検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】安価に測定誤差を校正し高精度且つ高速なコントラスト式のオートフォーカスを実現する。
【解決手段】画像測定装置は、ワークを撮像してその画像情報を転送するカメラと、カメラの合焦位置を制御してこれをＺ軸方向の位置情報として出力する位置制御部と、画像及び位置情報に基づいてワークの画像測定を行う画像測定機とを備える。位置制御部は、カメラの所定の撮像タイミングで位置情報を取得保持し、画像測定機は、合焦軸方向に沿って移動速度及び移動方向の少なくとも一つが異なるように複数回のＡＦサーチを行い、各ＡＦサーチのカメラからの画像情報及び位置制御部からの位置情報に基づき撮像タイミングと位置情報の取得タイミングとのずれ量を求め、このずれ量に基づいてＡＦサーチで求められた合焦位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】パネル上に穴加工の基準となる目標点の座標を短時間で検出することが可能な位置検出装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る位置検出装置１は、被測定面と交差する方向の高さを有する基準ボルトＢの頭部Ｂｔに直線光を照射し、その反射光から基準ボルトＢの頭部Ｂｔまでの距離を測定する光学センサ２と、直線光を照射方向と交差する２つの方向へ移動させる回転支軸３と、光学センサ２により所定の値の距離が測定された時点の回転支軸３の移動位置を検出する位置センサと、この位置センサから得られた複数の位置データから２つの移動方向により規定される平面において、基準ボルトＢの略中心にあるボルト穴Ｐｂの中心の座標を演算する演算部と、を有するものである。 （もっと読む）

【課題】 複雑な演算を行うことなく、二種類以上の方向性を持つ線パターンが存在する撮像画像から、同一の方向性を持つ線パターンのみを容易に抽出する為の技術を提供すること。
【解決手段】 投影パターン画像上には、第１の方向に沿って平行に並んでいる単色の第１の線分群と、第１の方向とは異なる第２の方向に沿って平行に並んでいる単色の第２の線分群と、が配置されている。第１の線分群のそれぞれと第２の線分群のそれぞれとの交点位置における画素の輝度値は、該交点位置以外の位置における画素の輝度値と異なる。 （もっと読む）

【課題】オーバーレイ測定、非対称性測定、およびインダイオーバーレイターゲットの再構築を可能にする。
【解決手段】四分くさび光デバイス（ＱＷ）は、基板から散乱した放射の回折次数を別々に再誘導し、第１方向および第２方向の各々に沿って照明から回折次数を分離する。例えば、０次（０、０’）および１次（−１、＋１’）を、各入射方向について分離する。マルチモードファイバ（ＭＦ）での捕捉の後、スペクトロメータ（Ｓ１−Ｓ４）を使用して波長（Ｉ_０’（λ）、Ｉ_０（λ）、Ｉ_＋１’（λ）、およびＩ_−１（λ））の関数としての空間的に再誘導された回折次数の強度を測定する。そして、これをオーバーレイエラーの計算、または単一格子の非対称パラメータの再構築に用いる。 （もっと読む）

【課題】高精度且つ高速なコントラスト式のオートフォーカスを実現する。
【解決手段】画像測定装置は、ワークを撮像してその画像情報を転送するカメラと、カメラの合焦位置を制御してこの合焦位置をＺ軸方向の位置情報として出力する位置制御部と、画像情報及び位置情報に基づいてワークの画像測定を行う画像測定機とを備える。位置制御部は、カメラによるワークの撮像期間における所定のタイミングで、カメラ及び位置制御部のいずれか一方から他方に出力されるトリガ信号に基づき位置情報を取得保持し、画像測定機は、カメラから転送された画像情報及び位置制御部から出力された位置情報に基づき画像情報のＺ軸方向の位置情報を算出し、算出された位置情報を用いてオートフォーカス制御を行う。 （もっと読む）

【課題】半田の撮像画像の欠落を無くすことが可能な印刷半田検査装置を提供することにある。
【解決手段】印刷半田検査装置の撮像素子７０は、走査方向の垂線に対してなす角θが０度を超え９０度未満となるように傾けられ、その撮像領域の長手方向とスリット照明の長手方向が平行となるように照射し走査したとき、そのときの角度を存在率の低いもしくは存在しない長方形や楕円形等の前記半田の回転角度に設定されている。これにより、照射光の長手方向中心軸と、半田の短手方向中心軸を平行にならないようにし、明るさが落ち込む場所が非常に長くなる現象の発生を防ぎ、また、サチュレーション部の欠落画像の補間を可能となる。 （もっと読む）

【課題】物体の位置を高速に且つ高精度に検出する。
【解決手段】位置検出装置３０は、微細な軸穴とこの軸穴を含むマーカーとを設けたオブジェクトを含む画像データを取得する画像データ取得部３１と、マーカーをゴール位置に対応付けたマーカーゴール画像データを記憶するマーカーゴール画像記憶部３２と、軸穴の軸中心をゴール位置に対応付けたターゲットゴール画像データを記憶するターゲットゴール画像記憶部３６と、マーカーゴール画像データを用いて、画像データ取得部３１が取得した画像データからマーカーを検出するマーカー検出部３３と、ターゲットゴール画像データを用いて、画像データ取得部３１が取得した画像データにおける、マーカー検出部３３が検出したマーカー内から軸穴を検出するターゲット検出部３７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】Ｃ形フレームの機械的なドリフトによる距離検出器間の距離の変位を瞬時に測定し、厚さ測定誤差を補正する厚さ測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】Ｃ形フレーム３の腕部に設けられる第１の距離検出器１と第２の距離検出器２との出力から厚さを求める厚さ測定装置であって、Ｃ形フレーム３の腕部の下部に設けられ、腕部空間内に、レーザビームの光路にハーフミラーを設けて、当該ハーフミラーの反射した第１のレーザビームの位置の変化を検出する第１のビーム位置変位検出器４ａと、当該第１のビーム位置検出器の出力から第１のレーザビームの入射角度の変位と記第１の距離検出器と第２の距離検出器間の距離検出器間の距離の変位と、を求める第１のビーム位置変位処理部４ｂとを備え、厚さ測定値を自動的に補正するようにした厚さ測定装置。 （もっと読む）

【課題】計測対象物の三次元形状を容易に、且つリアルタイムに得ることができる表面形状計測装置、及び表面形状計測方法を提供する。
【解決手段】道路８の表面にレーザビーム９を走査させて、道路８の表面に照射したレーザビーム９の方位毎の測距データを出力する測域センサ１と、レーザビーム９の投光面の一部を含んだ道路８の表面を撮像するカメラ３と、測域センサ１、及びカメラ３を道路８の表面に沿って車輪７を回転させて移動させる走行台車５と、走行台車５により測域センサ１、及びカメラ３を移動させた時に測域センサ１から得られた測距データを演算処理してｚ軸方向の位置座標を求め、カメラ３から得られた画像データを演算処理してｘ軸方向、並びにｙ軸方向の位置座標を求める位置座標検出手段と、位置座標検出手段により求められた各軸方向の位置座標に基づいて道路８の三次元形状を演算するＰＣ４と、を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】単純な形状に限らず認識対象物を的確に抽出する。
【解決手段】形状認識装置１２０は、軸を有する３次元モデル１２２を示す３次元モデル情報を保持するモデル保持部２１０と、認識対象物１１２の３次元形状を示す認識対象情報を取得する認識対象情報取得部２３０と、認識対象情報と３次元モデル情報とに基づいて、認識対象物または３次元モデルを対称的に配置した２つの姿勢候補を示す姿勢候補情報を生成する姿勢候補情報生成部２３４と、認識対象物の姿勢候補情報と３次元モデル情報とに基づいて、または、認識対象情報と３次元モデルの姿勢候補情報とに基づいて認識対象物の位置および姿勢を特定する認識対象物特定部２３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 パターン画像を高速に投影して撮像する為の技術を提供すること。
【解決手段】 ストライプ状の模様が記されたパターン画像を定期的に送信するＰＣ２０１から、該パターン画像を受信する。パターン画像の送信周期内に、パターン画像におけるそれぞれ異なる水平ラインごとに、該水平ライン上の画素群を繰り返し用いて形成される投影画像を投影部２０７に入力する。投影部２０７が投影画像を投影する毎に、該投影のタイミングでカメラ１０３に撮像させる。 （もっと読む）

【課題】軌道輪表面の仕上がりの良否を簡易にかつ自動的に判断可能であり、製造コストが安価であると共に検査処理が簡単でありしかも精度の高い検査が可能な転がり軸受の表面検査装置を提供する。
【解決手段】検査表面に対しレーザ光を照射し、表面で反射したレーザ光を受光するレーザ光送受手段と、受光した光強度に対応する電気信号を出力する光電変換手段と、レーザ光照射部を軌道輪の軸と同軸で回転させる周方向走査手段と、レーザ光送受手段を軌道輪の軸に沿って移動する軸方向走査手段と、周方向走査の各位置において、光電変換手段から出力される電気信号出力の、軸方向における最大値を取得する最大値取得手段と、取得した最大値のうち、ハレーション状態に対応する最大値の個数を計数するハレーション個数計数手段と、ハレーション個数計数手段により計数されたハレーション個数に応じ、軌道輪の良否を判断する判断手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板表面に薄膜を形成する基板処理で、処理の進行具合をリアルタイムで把握して処理の終了時点を精度よく検出できる方法を提供すること。
【解決手段】基板１上に絶縁膜２を形成する基板処理装置１０であって、絶縁膜２を波長可変単色光ｓで照射し、絶縁膜２および基板１からの各反射光を干渉させる干渉光発生手段１２と、所望膜厚での干渉光強度Ｉが極小になるように単色光ｓの基準波長λ_０を設定する基準波長設定部２８と、基準波長を挟む２波長（λ_１、λ_２）間で単色光ｓを波長変調する変調部２６と、これに応じた干渉光強度Ｉを検出する干渉光検出器１８と、絶縁膜２が所望膜厚に達する直前から所望膜厚に達するまでの干渉光強度Ｉの変化に基づいて、最大波長（λ_２）時と最小波長（λ_１）時の干渉光強度の差分ΔＩが零または所定値になる時点を基板処理の終了時点として検出する終了時点検出手段２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】タイヤが走行しているときの接地形状及び接地面近傍を含むタイヤの表面形状を精度よく計測する。
【解決手段】タイヤＴを路面１１の走行路１１ａを構成する透明な強化ガラス板Ｇ上に接地させるとともに、強化ガラス板Ｇの表面に設けられた路面プールに白色の液体Ｌを投入し、移動機構１６３のボールねじ１６３ａを回転させて路面１１を保持するガイド部材１６２をガイドレール１６１に沿って前後方向に移動させながら、強化ガラス板ＧのタイヤＴが接地する側とは反対側に設けられたＣＣＤカメラ１４により液体Ｌ中を走行するタイヤＴの形状を撮影し、この撮影された画像からタイヤＴの形状を計測するようにした。 （もっと読む）

【課題】干渉計の撮像素子から出力される被検面のシェア像を利用し、被検面の形状に関わりなく其の実面形状を直接的に把握すること。
【解決手段】波面分布面Ｗを区画して得た各微小セルＷ_１〜Ｗ_Ｃ１毎の波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１の各々が干渉計１による測定時に被検体１３の球心Ｏに収束する光路を辿って被検面１３ａに入射した照明光（入射光）の何れかの反射光の光路と一致することに基いて、波面分布面Ｗの微小セルＷ_１〜Ｗ_Ｃ１における波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１すなわち被検面１３ａからの反射光に相当する波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１毎に、これに対応する照明光波面側法線l_１〜l_Ｃ１つまり入射光の光路を突き止め、これら２つの光路すなわち波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１と照明光波面側法線l_１〜l_Ｃ１の交点位置Ｒ（１）〜Ｒ（Ｃ１）を求めて被検面１３ａの実面形状のデータとする。 （もっと読む）

【課題】簡便に且つ精度上の制限を受け難い状態でコレットの位置を検出し得るコレット位置検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】基準座標系において、半導体チップＴのピックアップステージ４とボンディングステージ５との間の所定の座標に光センサ９を配置し、一方向にコレット８０を移動させながら、コレットまたはその装着部の縁部を光センサ９で検知することにより、２つの縁部の中心である第一中央位置の座標値を検出し、一方向に直交する方向に同様の移動及び検知を行なって２つの縁部の中心である第二中央位置の座標値を検出し、第一中央位置及び第二中央位置からコレット中心の検出座標値を求め、該検出座標値に基づいてコレットの設定座標値を補正することを特徴とするコレット位置検出方法及び該方法を実施するための検出装置。 （もっと読む）

【課題】中央部に円孔を有する円盤状基板の内周と外周の中心ずれを測定する時間を短縮可能な、中心ずれ測定装置及びその方法を提供すること。
【解決手段】中央部に円孔を有する円盤状基板Ｗの内周と外周の中心ずれを測定する中心ずれ測定装置であって、内周端面Ｃ１と外周端面Ｃ２に挟まれた主平面Ｓの半径方向幅Ｂを、投光部と受光部との間に形成された計測領域ＤＡ内で円盤状基板の全周にわたって非接触で計測する計測部と、前記計測部によって計測された半径方向幅Ｂの最大値Ｂｍａｘと最小値Ｂｍｉｎの差Ａを演算して該差Ａを用いて中心ずれを演算する演算部とを備えることを特徴とする、中心ずれ測定装置。 （もっと読む）