【課題】本発明は、マイクロ波透過部材の寿命を正確に検知することができるプラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の検査方法を提供する。
【解決手段】マイクロ波により励起させたプラズマを用いてプロセスガスからプラズマ生成物を生成し、被処理物の処理を行うプラズマ処理装置であって、前記プラズマが励起される領域にマイクロ波を導入するためのマイクロ波透過部材と、前記マイクロ波透過部材の厚み寸法を直接検出する厚み検出手段と、を備えることを特徴とするプラズマ処理装置が提供される。 （もっと読む）

媒体の減衰及び他の光学的特性を利用して、センサーとターゲット面との間の該媒体の厚さを測定する。本明細書には、種々の画像形成状況において、これらの厚さ測定値を取得して、ターゲット面の３次元画像を得るために使用可能な種々の媒体、ハードウェアの配列、及び処理技術が開示されている。これには、内面／凹面並びに外面／凸面を撮像するための一般的な技術、並びに、外耳道、人間の歯列などの画像形成へのこれらの技術の具体的な適用が含まれる。
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【課題】皮膜付き合金化溶融亜鉛めっき鋼板の皮膜付着量を精度良く測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る皮膜付着量測定装置１００は、ｐ偏光反射強度測定手段１とｓ偏光反射強度測定手段２と信号処理手段３とを備える。各反射強度測定手段は、皮膜の特性吸収が生じる第１波長帯域の赤外光と皮膜の特性吸収が生じない２つ以上の第２波長帯域の赤外光とを皮膜に入射させて、各波長帯域の赤外光のｐ偏光及びｓ偏光の反射強度を測定する。信号処理手段は、各波長帯域のｓ偏光に対するｐ偏光の相対反射強度に基づいて各波長帯域の実測吸光度を算出し、第２波長帯域の実測吸光度に基づいて第１波長帯域のバックグランド吸光度を推定し、第１波長帯域の実測吸光度と第１波長帯域のバックグランド吸光度とに基づいて第１波長帯域の実質吸光度を算出し、算出した実質吸光度に基づいて皮膜の付着量を算出する。 （もっと読む）

【課題】 気泡を用いた洗浄装置において、洗浄水の洗浄能力を測定可能な洗浄装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 洗浄装置１は、洗浄水２が入れられた洗浄槽３と、この洗浄水２の中の気泡４の径および密度を測定する超音波センサ１５と、この超音波センサ１５に洗浄水２を送り込む計測管１６と、計測管１６に洗浄水２を吸い上げる吸引ポンプ１７と、洗浄センサ１５からの信号を受信解析するために設けられた制御装置１８と、この制御装置１８により、洗浄槽３に添加剤を供給する添加剤タンク１９と、この添加剤タンク１９から添加剤を必要量供給するための添加剤供給ポンプ２０と、により構成されている。これにより、超音波センサによって気泡の径および密度を測定して洗浄水の洗浄能力を把握し、必要に応じて添加剤を補充供給し、高い洗浄能力を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】流体と共に固体粒子を輸送する場合において、固体粒子を含む流体が流れる管路に堆積する固体粒子の堆積厚さをリアルタイムに計測することができる流体中における堆積厚さ計測装置および方法を提供する。
【解決手段】固体粒子１を含む流体２が流れる管路１２と、管路の計測部１２ａに電磁波３（可視光または紫外線）を照射する電磁波照射装置１４と、計測部１２ａを透過した電磁波の強度分布４を計測する強度分布計測装置（ＣＣＤカメラ）１６と、電磁波の強度分布から計測部における固体粒子の堆積厚さを演算する演算装置１８とを備える。予め、既知の堆積厚さに対して、透過した電磁波の強度分布を計測し、これから、堆積厚さと電磁波の強度分布の関係式を得る。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサ等の撮像素子を移動させて画像取得する方式において、取得画像の品質の劣化を抑制しつつ、生体情報取得装置の薄型化を図る。
【解決手段】生体情報取得装置７０は、ヒトの指に対する光照射に基づいてヒトの指の静脈像を取得する。生体情報取得装置７０は、ライトガイド１６を介して発光素子８からの出射光をヒトの指に照射する光照射部と、複数の画素の配置により形成された１列以上の画素列を有する撮像部９と、画素列に含まれる画素の配置方向に交差する方向に光照射部及び撮像部を直接的又は間接的に移動させる駆動機構と、を備える。ライトガイド１６を介して発光素子８からの出射光をヒトの指に照射する光照射部を採用し、かつこの光照射部を撮像部とともに移動させる。 （もっと読む）

【課題】透明に近い細胞などの生体材料を非染色状態で試料とし、コントラストの低い試料を可視化する顕微鏡などの観察装置に最適な三次元画像取得装置およびその方法とこれを利用した加工装置の提供。
【解決手段】試料空間内の計測点に集光する光束を照射し、透過光量を計測する。透過光信号と参照信号から微弱な光吸収量を測定する。三次元走査しながら光吸収量を立体画素とする三次元マップを得る。この三次元マップに、計測点付近の光強度分布像をコンボリューション・カーネルとするデコンボリューション処理を行ない、非染色状態で透明に近い試料の三次元画像を得る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、少ないセンサの数で物品の長さＬと物品の幅Ｗに加えて物品の高さを検知できる物品計測方法およびその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】物品１３の移動方向と直角な方向に水平に光軸を配置した第１光センサ２２と、前記移動方向と直角な方向とは第１所定角度α傾けて水平に光軸を配置した第２光センサ２３と、前記移動方向に沿って、垂直な方向から斜めに第２所定角度β傾けて光軸を配置した第３光センサ２４とを備え、第１光センサの光軸２２ａが、移動している物品１３により遮光されている間の移動量と、第２光センサの光軸２３ａが、移動している物品１３により遮光されている間の移動量と、第３光センサの光軸２４ａが、移動している物品１３により遮光されている間の移動量を計測し、前記計測した移動量により物品長Ｌと物品幅Ｗと物品高さＨを演算式により求める検出装置２５を備える。 （もっと読む）

【課題】木材の端部をねらって正確に寸法検査ができる木材の寸法検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象の木材１０を、長手方向に直交する四角形の断面で見た状態において、四つの角Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄをねらってレーザ光を放射する４組の投受光装置１〜４を設ける。各投受光装置１〜４は、角Ａ〜Ｄの１つによって光束の一部が遮光され、残部が通過するようにレーザ光を放射する投光器１ｓ，２ｓ，３ｓ，４ｓと、通過した残部の光束を受光する受光器１ｒ，２ｒ，３ｒ，４ｒとを有する。プログラマブルコントローラ６は、４組の各受光器からの出力の和を閾値と比較することにより木材１０の幅及び厚みの欠損の有無を判断する。 （もっと読む）

【課題】外光による光センサの誤判定を防止するプリンタを提供する。
【解決手段】発光素子３，１１及び受光素子４，１２を有し、所定の検出対象を検出する光センサ２Ａ，２Ｂは、制御手段１５により発光素子３，１１の発光を予め定められたパターンにより制御する。そして、検出手段１４は、受光素子４，１２の受光レベルを検出する。検出手段１４により予め定められたパターンを検出したか否かに基づいて、判定手段１６は所定の検出対象の有無を識別することにより記録紙６の有無を判定する。外光を発光素子３，１１からの光と明確に区別できるため、誤判定を防止でき、プリンタの誤動作を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】傾倒操作だけでなく、プッシュ操作を検出することができ、また、コストを抑制することができる位置検出装置を提供する。
【解決手段】位置検出装置１は、ＥＣＵ２と、第１〜第３の光センサ１４ａ〜１４ｃと、筐体１０内に設けられ、粒子１３０が混合された光透過性部材１３とを備え、操作部１１の傾倒操作等に基づいて光透過性部材１３に粒子１３０の密度が密になる低光透過率領域１３１が形成される。発光部１２から発せられた光が、この低光透過率領域１３１によって遮蔽されるとき、低光透過率領域１３１付近に設けられた光センサは受光することができないので、ＥＣＵ２は、第１〜第３の光センサ１４ａ〜１４ｃが出力する出力電圧の組み合わせに基づいて操作部１１の位置を判定することができる。 （もっと読む）

【課題】反射光干渉法では、波長に対する反射率を示す分光曲線について、スペクトル全体のフィッティングを実施するために測定時間が長くなったり、干渉次数に起因して膜厚の算出に関する処理負荷が大きくなったりしていた。また、干渉光の変化を検出できる光量を得るために、膜厚の測定対象領域の面積を狭くすることができず、平面積の小さい薄膜形状部分については、膜厚の測定が不可能であった。
【解決手段】定在波波長検出部３０は、基準領域および測定対象領域について、カメラ３から出力されるＲ，Ｇ，Ｂの各画素データから、色相を取得する。そして取得した色相に対応する波長を、それぞれ基準領域および測定対象領域における定在波の波長として検出する。膜厚算定部４０は、検出された基準領域と測定対象領域における定在波の波長、および、既知である基準領域の膜厚とを用いて、所定の演算を行って測定対象領域の膜厚を算定する。 （もっと読む）

基板内の堆積インクを測定するシステム及び方法が提供される。本発明は、光を、基板上の堆積インクを透過させるように構成された光源と、ＣＣＤセンサアレイを有するカメラとを含み、前記カメラは、前記堆積インクを透過する光の量を測定するように構成される。多数の他の態様が提供される。
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【課題】極薄セラミックスフィルムの厚さを非接触で高速度に、連続的に測定する方法と装置を提供する。
【解決手段】フィルムの製造ラインで厚さをスキャン測定する本体と、操作・表示をするノートパソコンと、電源・通信部箱を組合せて構成し、投光光源の角度を、計測軸より一定の角度をずらせて投光して、直接光の透過減衰率を測らず、透過拡散放射率の強度のみを測定し、透過波長と厚さによる拡散透過放射率の違いを利用して極薄セラミックスフィルム厚さを測定する。 （もっと読む）

【課題】発光源からの光を効率的かつ均一に計測管へ照射し、光検出器によって透過光を検出するために十分な光を得ることができる汚泥容量測定装置を実現することを目的とする。
【解決手段】側面と底面で構成された計測槽１の側面外側の一方に光源２からの光を発光させる発光部５を、他方に光センサー８を備え、計測槽１は発光部５の光を光センサー８へと透過する部分を有し、計測槽１に汚泥混合液を一定液位まで導入し、所定時間経過後に、発光部５から計測槽１を透過し光センサー８へと到達する光を光センサー８で検出し、光センサー８で検出する光の検出量から、汚泥混合液の汚泥容量を測定する装置であって、光源２からの光を第１の集光手段３で集め、導光手段４で発光部５へと導くようにした。 （もっと読む）

【課題】導電性ポリマー層形成後に導電性ポリマー層の膜厚不良を効率よく検査できるようにした有機ＥＬパネル基板の導電性ポリマー層の膜厚不良検査装置及びそれを用いた膜厚不良検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】有機ＥＬパネル基板の導電性ポリマー層の膜厚不良検査装置１００は、想定される導電性ポリマー層の膜厚範囲から最低３水準の膜厚での分光反射率を予め測定する分光反射率測定手段１０と、該分光反射率測定定手段１０により得られた結果から最も反射率に差が生じる波長を透過するバンドパスフィルタ２２を備えた撮像手段２０と、撮像したアナログデータ画像をデジタルデータ画像に変換するＡ／Ｄ変換手段３０と、デジタルデータ画像を処理する画像処理手段４０と、膜厚の正常、不良を判断処理する膜厚不良判断処理手段５０と、各手段の制御を司る制御手段６０と、から構成されている。 （もっと読む）

【課題】 設定された領域におけるサンプルを透過あるいは反射したテラヘルツ波の時間波形を取得することができる装置の提供。
【解決手段】 １４は、発生部１２が発生させたテラヘルツ波１０がサンプル１９を透過したテラヘルツ波１１を検出するための検出部１３が検出するタイミングを変化させるための遅延部である。
１５は、前記遅延部１０４を用いて得る、前記透過したテラヘルツ波の時間波形を取得するための波形取得部である。
前記記憶部１６が予め記憶しているサンプル１９に関する情報に基づいて設定される前記時間波形に関する領域で、前記検出部１３が前記透過したテラヘルツ波を検出するように前記遅延部１４、２４を制御する。
そして、前記領域における前記透過したテラヘルツ波の時間波形を取得する。 （もっと読む）

【課題】 レーザー光の反射を利用してシート材料の厚みを測定できる非接触型厚み測定装置を用いる場合において、測定精度を高めることができるシート材料の厚み測定方法を提供する。
【解決手段】 ローラ１の外周面にシート材料２が接触する直前または外周面から離れる直後の位置において、非接触型厚み測定装置６のレーザー光照射源７からレーザー光をシート材料に照射して厚みを測定する。 （もっと読む）

【課題】例えば帯状ワークをその長手方向に沿って走行させる際の蛇行修正制御に用いるに好適なエッジ検出装置を提供する。
【解決手段】物体のエッジ位置を検出するエッジセンサと、このエッジセンサにて検出されたエッジ位置が予め設定された読み飛ばし条件を満たすとき、検出したエッジ位置の情報の出力を禁止して、先に検出されたエッジ位置の情報を継続して出力する出力制御手段とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吸光性膜の厚さを広範囲にわたって干渉の影響を受けることなく解析可能な方法を提供する。
【解決手段】ガラスからなる透明基材９０にアモルファスシリコンからなる吸光性膜９１が被膜されている。この吸光性膜９１に照射部１０Ｘから検査光Ｌ１を照射し、反射検出部１０Ｙで反射率（Ｒ）を検出するとともに、透過検出部２０Ｘで透過率（Ｔ）を検出する。これら検出結果からＸ＝Ｔ／（１−Ｒ）を算出し、その算出値と、記憶部３３に格納した膜厚とＸとの関係データとに基づいて、吸光性膜９１の膜厚を解析する。 （もっと読む）