【課題】簡単な装置構成で、非接触および非破壊で試料表面の平坦度を高精度に検出すること。
【解決手段】本発明は、測定対象となる試料Ｓに向けてレーザ光を出射する半導体レーザ１０と、半導体レーザ１０と試料Ｓとの間の光路上に配置されるビームスプリッタ１３と、半導体レーザ１０からレーザ光を試料Ｓに出射し、試料Ｓからの戻り光によって半導体レーザ１０が影響を受けた状態で出射されるレーザ光をビームスプリッタ１３を介して取得し、そのレーザ光の周波数特性を検出する周波数解析部１２と、周波数解析部１２で検出したレーザ光の周波数特性に基づき試料Ｓの平坦度を算出する算出部１４とを備える平坦度測定装置１である。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡単な構成で、長時間に渡って蒸着膜厚を正確に計測できるようにすることを目的とする。
【解決手段】 蒸着材料を蒸着基板２に真空蒸着するようにした真空蒸着装置において、真空槽１内に透明フィルム７が巻回されたリール６Ｓ、６Ｔと蒸着窓９と検出窓１０とを有するカセット４と、このカセット４のリール６Ｓ、６Ｔを回転駆動する駆動装置１３と、このカセット４内の透明フィルム７に蒸着された膜厚を計測する膜厚計測装置１２とを具備し、この透明フィルム７に蒸着された膜厚を計測し、この透明フィルム７の蒸着位置とこの蒸着基板２の蒸着位置とからこの蒸着基板２の膜厚を算出して、この蒸着基板２の膜厚を計測するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】光学膜として作用する層を有する透明高分子フィルム上に薄膜が成膜された試料を用いた場合であっても、試料中の薄膜の膜厚および／または光学定数を従来よりも正確かつ少ないばらつきで評価することが可能な薄膜評価方法を提供する。
【解決手段】第１の透明高分子フィルムの一方面に光学膜として作用する層を有し、その他方面に評価対象となる薄膜が形成された試料中の薄膜の膜厚および／または光学定数を求めるにあたり、光学膜として作用する層面側に、中間層を任意に介して、第１の透明高分子フィルムと同等の屈折率を有する第２の透明高分子フィルムを貼り合わせ、この第２の透明高分子フィルム付き試料の反射率および透過率を少なくとも用い、薄膜の膜厚および／または光学定数を求めるようにする。 （もっと読む）

【課題】光学膜として作用する層を有する透明高分子フィルム上に薄膜が成膜された試料を用いた場合であっても、試料中の薄膜の膜厚および／または光学定数を従来よりも正確かつ少ないばらつきで評価することが可能な薄膜評価方法を提供する。
【解決手段】透明高分子フィルムの一方面に光学膜として作用する層を有し、その他方面に評価対象となる薄膜が形成された試料中の薄膜の膜厚および／または光学定数を求めるにあたり、光学膜として作用する層を剥離した試料の反射率および透過率を少なくとも用い、薄膜の膜厚および／または光学定数を求めるようにする。 （もっと読む）

【課題】光学膜として作用する層を有する透明高分子フィルム上に薄膜が成膜された試料を用いた場合であっても、試料中の薄膜の膜厚および／または光学定数を従来よりも少ないばらつきで評価することが可能な薄膜評価方法を提供する。
【解決手段】透明高分子フィルムの一方面に光学膜として作用する層を有し、その他方面に評価対象となる薄膜が形成された試料中の薄膜の膜厚および／または光学定数を求めるにあたり、光学膜として作用する層面側に、光学膜として作用する層と同等の屈折率を有し、かつ、光学膜として作用しない厚みの透明基板を貼り合わせ、この透明基板付き試料の反射率および透過率を少なくとも用い、薄膜の膜厚および／または光学定数を求めるようにする。 （もっと読む）

【課題】光学補償フイルム等の僅かな厚みムラや塗工ムラまでを検出できるようにする。
【解決手段】連続的に搬送されるフイルム７の下側の面に光源部１５を配してあり、フイルム７に光を照射する。フイルム７からの透過光を受光する受光器１６は、フイルム７を俯瞰するように配置されており、その光軸Ｐとフイルム７に垂直な基準線（法線）Ｌｎと交差角度θ１が３０°≦θ１≦５０°となっている。また、受光器１６は、基準線Ｌｎを回転中心として搬送方向Ｓを基準に回転角度θ２だけ回転してあり、−６０°≦θ２≦＋６０°を満たすようになっている。 （もっと読む）

【課題】黒鉛等のように赤外線の吸収量が大きい素材や、基材の素材と赤外線の吸収量に対して同じような性質を有する素材によって形成された膜の厚さであっても測定することができる膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】被測定対象Ａの加熱面ＨＳにおける温度の時間変動特性と、温度測定手段によって測定された被測定対象Ａの加熱面ＨＳの温度とに基づいて、被測定対象Ａの膜厚Ｄを算出する演算手段５とを備えており、温度測定手段がガルバノミラー走査型の赤外線サーモグラフィ２であり、演算手段５は加熱手段１０による加熱によって被測定対象Ａの加熱面ＨＳの温度上昇が開始したタイミングを算出する加熱タイミング検出部６と、加熱タイミング検出部６によって検出された被測定対象Ａの加熱面ＨＳの温度上昇開始タイミングＴ０と、被測定対象Ａの加熱面ＨＳの温度に基づいて、被測定対象Ａの膜厚Ｄを算出する膜厚算出部７とを備えている。 （もっと読む）

【要 約】
【課 題】簡易な構成で、種々の測定対象に対応して、高精度の測定が可能で、かつ工数を低減し時間ロスの少ない光学的測定装置を提供することである。
【解決手段】光源の光を測定対象に投光して測定対象の材質、厚さ、成分、水分等の性状を測定する光学的測定装置において、測定対象の形状に対応した開口形状を有する複数種類のスリットを回転セクタの光学フィルタに近接して設け、スリットの位置は光源から出た光の結像位置に配置した。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、種々の測定対象に対応して、高精度の測定が可能で、かつ工数と時間ロスを低減できる光学的測定装置を提供することである。
【解決手段】光源の光を測定対象に投光して測定対象の材質、厚さ、成分、水分などの性状を測定する光学的測定装置において、前記測定対象の形状に対応した開口形状の複数のスリットを有する投光スポット制御手段を前記光源からの光の結像位置に配置した。測定対象の形状に相当するスポットとすることで、測定対象の必要部分からの無駄のない大きな測定光量が得られ、測定精度の向上が図れる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、高精度の測定が可能な光学的測定装置を提供することである。
【解決手段】光源の光を測定対象に投光して測定対象の材質、厚さ、成分、水分などの性状を測定する光学的測定装置において、測定対象の形状に対応した開口形状を有するスリットを回転セクタの光学フィルタ上に設け、スリットは光源からの光の結像位置に配置した。このことにより、スリット用のスペースが不要となり、回転セクタ用の設置部品と共用することでスリット設置専用の部品などが不要となり、簡易な装置構成となる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、安価で小型の光学式センサを提供すること。
【解決手段】光学式センサ１０は、内部に空間を有する管１２と、上記管１２の中に、上記管１２の長手方向に移動自在に保持される透明カプセル１４と、上記管１２の長手方向の一方の端部に設けられたフォトトランジスタ２８と、上記管１２の短手方向から上記管１２内の透明カプセル１４に向けて光を照射するＬＥＤ２２と、上記透明カプセル１４に設けられ、上記ＬＥＤ２２から照射された光を反射して上記フォトトランジスタ２８に導く反射部材３２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】使用する偏光素子数を減らしてコストダウンを図りつつ、トナーの付着量を正確に測定する方法を実現すること。
【解決手段】像担持体上に付着したトナー像へ測定光を照射する光照射手段と、その反射光を受光する受光手段とを有するトナー量測定装置において、測定光の照射角度が像担持体に対するブリュースター角に設定されていることを特徴とする。そして、前記測定光がＰ偏光に偏光されていることを特徴とする。又、前記反射光のＰ偏光成分を選択して受光する受光手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 目視測定を行わずに隠蔽膜厚を得ること。
【解決手段】 本発明は、（ｉ）白色被塗物および黒色被塗物の分光反射率を測定する工程、（ｉｉ）塗料を前記被塗物に塗布して塗膜を形成する工程、（ｉｉｉ）白色被塗物および黒色被塗物を下地にした塗膜の分光反射率を測定する工程、（ｉｖ）塗膜の膜厚を測定する工程、（ｖ）工程（ｉｖ）で得られる膜厚ならびに工程（ｉ）および（ｉｉｉ）で得られる分光反射率から、白色被塗物および黒色被塗物を下地にした任意の膜厚（Ｘ_{ｉ＝1,2,3…}）を有する塗膜の分光反射率をアルゴリズムを用いて求める工程、ならびに（ｖｉ）工程（ｖ）で得られる任意の膜厚を有する塗膜の分光反射率から、白色被塗物および黒色被塗物を下地とする任意の膜厚の塗膜の色差ΔＥを求める工程を含んで成り、色差ΔＥと任意の膜厚との相関関係から隠蔽膜厚を推定することを特徴とする方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板の部分的な傾斜や振動の影響を受けることなく安定に薄膜の膜厚測定ができる薄膜の膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】薄膜の膜厚測定装置は、光源１と、光源１からの光を基板３上の複数箇所（ここでは２箇所）に導き、それぞれの箇所における基板３からの反射光を受光する分岐型光ファイバ２と、基板３の複数箇所に導く入射光と、基板３の複数の反射光とを選択的に遮断する光制限シャッタ４と、分岐型光ファイバ２によって導かれた反射光を波長ごとの光強度に分解する分光器５と、波長ごとの光強度を解析して薄膜の膜厚を算出する計算機６とを含む。光源１には、たとえば可視光線波長域（４００〜８００ｎｍ）に近い波長域（４００〜８５０ｎｍ）を有するハロゲンランプを用いる。ただし、他のランプをハロゲンランプと同一の光源室内または別の光源室内に設けてもよい。 （もっと読む）

対象物（６）を少なくとも一次元で非接触で測定する方法であって、対象物（６）を走査ビームフィールド（１）の空間的に制限された有効範囲内で走査し、走査ビーム（Ｌ）の１本又は複数本の遮断を検出して測定次元での対象物（６）の大きさを推定するようにした前記方法を提案する。走査ビームフィールド（１）は直接アドレス化可能な複数本の個々のビーム（Ｌ）から構成されている。走査ビームフィールド（１）の空間的に制限された有効範囲のビームによる走査は、予め設定可能なステップのパターンにしたがって非線形ソーティング方法を使用して行なう。好ましい方法は二等分探索方法の適用にある。
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【課題】 どのような形状の検査対象に対しても非破壊でその表面に形成された薄膜の状態を判定できる薄膜検査装置および薄膜検査方法を提供する。
【解決手段】 照射部２から照射された測定光は、積分球２２を通過して、検査対象へ入射する。そして、測定光は、検査対象の基部５２または薄膜５４で反射する。さらに、その反射光は、積分球２２へ入射し、積分球２２内で均一化される。その後、均一化された反射光は、光ファイバ１０を介して分光部１２へ導かれる。分光部１２は、反射光を波長順に分光し、強度スペクトルに応じた電気信号を演算処理部１４へ与える。演算処理部１４は、分光部１２から受けた電気信号に基づいて、検査対象の表面に形成された薄膜５４の状態を判定する。 （もっと読む）

従来技術による部材の貫通孔の検査方法は一般にサーモグラフによる詰まり検出に高温ガスを使用する。本発明による部材（１０）の貫通孔構造の検査方法によれば、これは、カメラ（１３）の波長範囲に少なくとも１つの吸収端を有する媒体が使用され、この媒体がカメラ画像（１３）において不透明にて現われるようにすることによって簡単化される。
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【課題】スチールベルトを装備した輪転機で印刷しても、剥離等の発生を防ぐことができ、しかも、経済性に優れた新聞用紙を提供する。
【解決手段】古紙質Ｖを含む原料から製造された新聞用紙Ｐであって、新聞用紙Ｐにおける一方の面から光を照射した場合において、新聞用紙Ｐの観察面ＰＡに投影された、粘着物質Ｖが形成する影ＳＢの面積を積算した総積算面積が、新聞用紙Ｐの紙面１ｍ^２あたり５ｍｍ^２未満である。スチールベルトを装備した輪転機で印刷したときに、スチールベルトと新聞用紙Ｐに含まれる粘着物質Ｖとが接触する確率を低くすることができるので、新聞用紙Ｐの剥離等を防ぐことができる。剥離と粘着物質Ｖとの関係を表す明確な指標となるから、新聞用紙Ｐに使用されるＤＩＰの過剰品質も防ぐことができ、コストアップを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 液滴吐出装置から吐出される液滴などの被計測物の物理量を計測することを容易にすること。
【解決手段】 計測装置は、光ビームを発生する光発生器と、前記光ビームを受光する光検出器と、前記光発生器と前記光検出器との間の前記光ビームの光路上に位置して、前記光路に垂直な第１方向に沿って前記光ビームの幅を細くする光学部と、を備えている。ここで、前記第１方向への速度成分を有する被計測物が前記光学素子と前記光検出器との間の前記光路の所定部分を通過するように、前記光路が配置されている。また、前記所定部分での前記光ビームの前記第１方向に沿った幅は、前記被計測物の前記第１方向に沿った幅以下である。そして、前記所定部分での前記光ビームの第２方向に沿った幅は、前記被計測物の前記第２方向に沿った幅よりも大きい。なお、前記第２方向は前記光路および前記第１方向の双方と異なる。 （もっと読む）

【課題】 凹凸状態の表面上に電極が形成されたＬＥＤチップにおいて、外観検査の自動化を図ることが可能なＬＥＤチップの検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 凹凸状態の表面上に電極が形成されたＬＥＤチップ１を所定位置に保持する工程と、前記ＬＥＤチップ１に、その裏面側より第１の光４ｂを照射し、前記ＬＥＤチップ１の表面側への透過光より第１の画像データを取得する工程と、前記第１の画像データを演算処理し、良否判定をする工程と、前記ＬＥＤチップ１に、その表面直上より第２の光５ｂを照射し、前記ＬＥＤチップ１表面からの正反射光より第２の画像データを取得する工程と、前記第２の画像データを演算処理し、良否判定をする工程と、前記ＬＥＤチップ１に、その斜め上部からの光を含む第３の光７ｂを照射し、前記ＬＥＤチップ１表面からの乱反射光より第３の画像データを取得する工程と、前記第３の画像データを演算処理し、良否判定をする工程を備える。 （もっと読む）