【課題】 凹凸状態の表面上に電極が形成されたＬＥＤチップにおいて、外観検査の自動化を図ることが可能なＬＥＤチップの検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 凹凸状態の表面上に電極が形成されたＬＥＤチップ１を所定位置に保持する工程と、前記ＬＥＤチップ１に、その裏面側より第１の光４ｂを照射し、前記ＬＥＤチップ１の表面側への透過光より第１の画像データを取得する工程と、前記第１の画像データを演算処理し、良否判定をする工程と、前記ＬＥＤチップ１に、その表面直上より第２の光５ｂを照射し、前記ＬＥＤチップ１表面からの正反射光より第２の画像データを取得する工程と、前記第２の画像データを演算処理し、良否判定をする工程と、前記ＬＥＤチップ１に、その斜め上部からの光を含む第３の光７ｂを照射し、前記ＬＥＤチップ１表面からの乱反射光より第３の画像データを取得する工程と、前記第３の画像データを演算処理し、良否判定をする工程を備える。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現し、距離バタツキや水平方向角度バタツキや垂直方向角度バタツキに対する耐性を付与することにより、例えば半導体製造プロセスやＦＰＤ製造プロセス等におけるインライン計測に好適な分光計測装置を提供すること。
【解決手段】透過位置によって透過光波長を次第に変化させる光干渉式の分光素子を前記光電変換部アレイ手段の直前に備えると共に、試料からの反射光の偏光状態の変化を検出する機能を有する受光側光学系と、前記光電変換部アレイ手段の各光電変換部から得られる一連の受光量データに基づいて偏光解析し、実測波形と理論波形とのフィッティングにより膜厚または膜質を求める。 （もっと読む）

内臓脂肪の量などを求めるために皮下脂肪を計測する際、計測時の計測部位の変形や計測者の計測方法の違いにより、計測結果がばらつき、安定した計測値を得ることがむずかしかった。 生体表面１に所定の面部を圧着させて皮下脂肪厚を計測する皮下脂肪計測部２、皮下脂肪計測部２から生体表面１へ加わる圧力を計測する押し当て圧力計測部６、生体表面１への圧力の無い状態での複数種類の皮下脂肪厚の値と、その複数種類の皮下脂肪厚のそれぞれについての生体表面へ加わる圧力と、その圧力が加わっている状態での皮下脂肪厚との関係についての情報を持つデータベース２５、皮下脂肪計測部２で計測した皮下脂肪厚と、押し当て圧力計測部６で計測した生体表面１へ加わる圧力に基づいて、データベース２５を利用して、生体表面１への圧力が無い状態での皮下脂肪厚を算出する演算部７と、算出された皮下脂肪厚から内臓脂肪の量を算出する内臓脂肪演算部５１を備えた。
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【課題】 記録材種類の判別精度を向上させる。
【解決手段】 ＣＭＯＳエリアセンサ２１１により撮像され処理された画像データに基き求めたしきい値があらかじめ設定される。印刷枚数と表面粗さ検出値とから導かれた印刷枚数としきい値との関係を表す近似式に、ＣＰＵ２１０により、計数された印刷枚数を代入して、前記しきい値を補正し、補正されたしきい値に基き、当該記録材の種類を判別する。 （もっと読む）

【課題】
特にＣＭＰ後の膜厚管理として、チップ内の様々な部分での膜厚計測実現のニーズが高まっているが、４５ｎｍノード以降ではデバイスパターンが非常に微細となったとしても、パターン上での膜厚計測を容易に可能にした。
【解決手段】
可視光を用いて光学的に膜厚を求める場合、４５ｎｍノード以降では対象パターンが検出波長の１０分の１程度の大きさとなり解像度以下となるため、被計測対象を均一な層構造と仮定することができ、仮定したモデルを用いることにより短時間での膜厚計測を実現することができる。また、被計測対象のパターンの大きさによって、膜厚計測アルゴリズムを選択する。 （もっと読む）

【課題】 位相シフトマスクの位相欠陥を高速に検出するレチクル検査装置。
【解決手段】 レーザ１、光偏向器２、集光レンズ３を備えた走査型顕微鏡方式の走査光学系を有し、レンズ５が走査微小集光スポットの作るフォトマスク（レチクル）４の位相欠陥透過像をフーリエ変換像に変換する。空間フィルタ６がフーリエ変換像を強度変化に変換して、簡易かつ高速に位相欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】 低コスト且つ誤謬の少ない欠陥探索並びにその型分類を自動的に行なう基板検査装置とその方法、特にマスク・レチクル等の基板に於いて欠陥粒子及び設計者の意図とは異なる欠陥図形を探索発見する自動検査と、それ等欠陥の型の自動分類とを行なう基板検査装置及びその自動検査方法を提供する。
【解決手段】 光ビームを発生し、その光ビームをして一定の光路を通過せしめ検査基板の上の表面にほぼ実質的に直角入射するようにする照明系、その光路に対して同軸になるように調整して透過光を集めて検出する透過光検出器３４、同様に反射光を集めて検出する反射光検出器３６とそれぞれの電気信号を互いに比較して比較値を提供する為の比較器、別にその比較値の期待値を得て比較値とその期待値との一致性を判定するプロセッサにて構成する。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、スペクトルの透過および／または反射の測定によって光学層または層組織の物理的特性を決定するための方法に関する。
【解決手段】 スペクトルの透過および／または反射の測定に従って、波長に依存する屈折率ｎ₀および／または消衰係数ｋ₀に関する基準値が既知の値から選択されるかまたは実験的に求められ、層を特徴付ける変分は、屈折率および吸光係数に関する波長依存変分定数Ｋ_nおよびＫ_kにより記述される。 （もっと読む）

【課題】
すり板側面のみが摩耗しておりすり板上面が摩耗していない場合、その部分のエッジを測定しすり板の厚さにすると、すり板の幅方向に連続して摩耗している本来求めたいすり板の厚さと異なってしまう。
【解決手段】
平滑化処理を行い、すり板側面のみが摩耗しておりすり板上面が摩耗していないすり板のエッジは検出しないようにし、その後、検出したすり板のエッジ上部とエッジ下部の輝度を測定し、輝度差が所定値以内の場合に荒損と判定する機能を設けた。 （もっと読む）

【課題】１回の測定で複数のデータを処理して１個の基板の膜厚測定の短時間化を図ることが可能な分光膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】液晶カラーフィルタ基板Ｂのカラーパターン内部及びパターン無し部のレジスト等の膜厚を測定及び分光特性を測定する分光膜厚測定装置である。一つの光源装置１から複数の測定部へ測定光Ｌ１を照射する。複数の測定部からの各反射光Ｌ２がイメージング分光器１２に入射して、各反射光をそれぞれ独立に分光する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で測定精度の高い光学式物理量測定装置とすることができる。
【解決手段】 光源１１からの光をスラント型グレーティング１３で受光して波長が長くなるのに応じて傾斜波長範囲内で透過光強度が傾斜状に変化するようにし、スラント型グレーティング１３からの光をブラッググレーティング１５で受光して傾斜波長範囲内で所定波長幅の透過特性が１つある光を透過させ、ブラッググレーティング１５からの光を受光部１７で受光して受光強度に変換することで、ブラッググレーティング１５に加わる物理量の変動を受光部１７により受光強度に変換する。 （もっと読む）

【課題】 小型化および薄型化が可能でかつ入射光の方向を正確に検出することができる方向検出素子を提供することである。
【解決手段】 基板上の４つのＰＩＮフォトダイオード上に４つの矩形のコンタクトパッド２０１〜２０４が配置されている。コンタクトパッド２０１〜２０４間には基準点Ｐを中心として互いに９０度の角度をなして放射状に延びる壁部３０１〜３０４が設けられ、壁部３０１〜３０４上には光吸収体８が設けられる。壁部３０１〜３０４の一方の側辺に沿って凹部１０が形成され、他方の側辺および端部の周囲の辺に沿って溝１１が形成される。壁部３０１〜３０４に隣接するようにＰＩＮフォトダイオードの矩形の受光領域１０１〜１０４が形成される。壁部３０１〜３０４が湾曲することにより壁部３０１〜３０４が垂直に起立する。壁部３０１〜３０４に照射された光が光吸収体８により吸収され反射しない。 （もっと読む）

【課題】 環境の条件に限定されず、対象物までの距離を推定する。
【解決手段】 ロボット１０は、白色ＬＥＤ２３と、カラーカメラ２４と、右アーム２６と、カラーカメラ２４が撮像した複数の画像および白色ＬＥＤ２３がワーク１４に照射した光の光量を対応付けて記憶するメモリ１０４と、同一の位置でワーク１４を複数回撮像するように制御し、光量が変化するように白色ＬＥＤ２３を制御し、２種類以上の画像中にあるワーク１４上の同じ位置を表わす画素を特定し、その画素の輝度差および光量差を算出し、白色ＬＥＤ２３からワーク１４までの距離の推定値を算出し、白色ＬＥＤ２３およびカラーカメラ２４がワーク１４に近づくように、右アーム２６を制御する制御用コンピュータと、右アーム２６に白色ＬＥＤ２３およびカラーカメラ２４の移動に従属して移動するように取付けられ、かつワーク１４を把持する第１指３４〜第３指２８とを含む。 （もっと読む）

【課題】従来のシステムより計測点数が多く、リアルタイムな計測ができる光ファイバセンシングシステムを提供する
【解決手段】光源と、受光部と、歪みを受け屈曲すると透過光が減衰する光ファイバセンサとを備えた光ファイバセンシングシステムにおいて、前記光ファイバの両端にそれぞれ異なる波長帯域の光を透過または反射する光学フィルタを備え、これら光学フィルタの透過光または反射光の光量の差分を光ファイバに掛かる歪み量として計測する。 （もっと読む）

材料の中の歪みの測定のための装置。この装置は、受動的な光ファイバのリングと、予め決められて形状をもち、前記のリングと一列に配置され、基板に組み合わされる、少なくとも１つのセンサと、(i)放射源により放出された放射の一部を前記の受動的な光ファイバのリングの中に導入し、そして、(ii)受動的な光ファイバのリングにおいて共鳴する放射の一部を受け取る、結合手段と、結合手段により受け取られた放射のレベルを検出し、それに対応した信号を生成する検出器と、検出器に結合され、受動的な光ファイバのリングにおける放射の減衰の割合に基づいて、基板に誘起された歪みのレベルを決定するプロセッサとからなる。
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【課題】 保護層形成後のプリント回路板の光学式検査において、保護層に影響による誤検出を減らす。
【解決手段】 保護層の光学特性を利用し、照明の波長を切り替えるなどして輝度分布の異なる複数枚のプリント回路板表面画像を撮影する。これらの画像の輝度の差より保護層形状を認識する。保護層形状を認識することにより、プリント回路板の保護層形成部分とそれ以外の部分を画像上で分離し、それぞれに適した条件で画像処理を行うことにより、誤検出の少ない検査が可能となる。 （もっと読む）