【課題】封止レジンの厚みの可否を目視以外の方法で検査できるようにする。
【解決手段】半導体チップのレジン封止部の側面の厚みを、レジン封止部の側方からの光照射に基づく半導体チップの光起電力による電流−電圧特性の変化で、その可否を判断する。逆方向電流−逆方向電圧特性において、レジン封止部の厚みが薄い程、電流値が大きくなるため、適当に対照に基づく電流値を閾値として設定することで、閾値と測定電流との大小を比較してレジン封止部の厚みの可否を判断することができる。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、プラスチックのブロー成形された容器の直列型検査システムのシステム及び方法に関する。各エミッタアセンブリは、容器が検査領域を通過する際に、容器に向けて、少なくとも２つの異なる狭い波長帯域にて光エネルギを周期的に発する。システムはまた、縦並びに配列された複数の広帯域光検出器を含み、各光検出器は、その間に検査領域を設けた少なくとも１つのエミッタアセンブリに対向し、光検出器は容器が検査領域にあるときに、該容器を通る光エネルギを感知することができる。システムはまた、光検出器に繋がって光検出器からの信号に基づいて容器の特性を決定するプロセッサを具える。 （もっと読む）

【課題】レーザ光学系に付着した異物を、安価にかつ容易に検査できるレーザ光学系の検査装置を提供する。
【解決手段】レーザ光学系としての走査光学ユニット１００の走査するレーザビームＬＢの光エネルギを測定可能なフォトダイオードＰＤ、走査光学ユニット１００の走査するレーザビームＬＢにフォトダイオードＰＤを追従させる移動機構８０，９０と、フォトダイオードＰＤからの信号に基づいて異物の有無を検出する検出手段としての信号処理回路３０及び演算装置１０とを有する。 （もっと読む）

【課題】電子写真感光体の両端基体面と、帯電ロール両端の間隔をスペーサーで規制することにより電子写真感光体と帯電ロールのギャプを保つ帯電方式に供する浸漬塗工で製造した電子写真感光体の基体面の検査を行い、帯電ギャップが正確に保てる電子写真感光体を提供する。
【解決手段】電子写真感光体の端部外面に波長２５０ｎｍ〜４２０ｎｍの紫外光を照射し、該電子写真感光体端部外面に残存する電荷輸送層塗工液の固化物が、該紫外光あるいは近紫外光を受けて出す蛍光を測光することにより、電子写真感光体の端部外面に存在する電荷輸送層塗工液の固化物の付着状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】透過率の差が小さい複数の部材が交互に配列されている検査対象においても端部材長を正確に検査できる光拡散体検査方法および装置を提供する。
【解決手段】計測波形記憶部１０１は透過光の画像を記憶する。処理位置決定部１０２は検査の基準位置となる現在処理位置を、予め決められた検索範囲について順に検索し、検査の基準位置となる現在処理位置を決定する。特徴量Ｊ検出部１１０は平均変化量比率Ｅ検出部１０６が検出した平均変化量比率Ｅと部材レベル面積差比率Ｆ検出部１０９が検出した部材レベル面積差比率Ｆとを加算することにより特徴量Ｊを検出する。最大特徴量Ｊ検出部１１１は処理位置決定部１０２が検索する予め決められた検索範囲について特徴量Ｊ検出部１１０が検出した特徴量Ｊが最大となる位置を決定する。端部材長検出部１１２は最大特徴量Ｊ検出部１１１が検出した特徴量Ｊが最大となる位置より端部材長を検出する。 （もっと読む）

【課題】身長、体重、年齢、生体インピーダンス、皮下脂肪厚より内蔵脂肪面積を演算することで精度よく内臓脂肪面積を求めることができると共に構成も簡略化できる。
【解決手段】手や脚に接触させる電極１と、前記電極１に印加した電流から生体インピーダンスを測定するインピーダンス測定手段２と、赤外光や可視光を発する発光部３と発光した光を受ける受光部４を備えた皮下脂肪厚を測定する皮下脂肪厚測定手段５と、被験者の身体データ入力や前記インピーダンス測定手段２や皮下脂肪厚測定手段５を操作する操作手段６と、前記入力値、測定値から身体の各体組成値を演算する演算手段７と、測定値や演算値、入力値を表示する表示手段８と、測定値や演算値、入力値、演算式を記憶する記憶手段９とを備えた体組成計１０である。身長、体重、年齢、生体インピーダンス、皮下脂肪厚より内蔵脂肪の指標を演算する。 （もっと読む）

【課題】精度の高い振動検出が可能な振動検出装置を提供する。
【解決手段】本体部１から光伝送路３を介してセンサ部２へ周期的に波長が変化する第１の光信号が伝送され、センサ部２において外部から受けた振動に応じて、第１の光信号が第２の光信号に変換される。そして、変換された第２の光信号は、光伝送路４を介して本体部１へ伝送され、本体部１の光電気変換部３０で第１のパルス信号が生成される。また、本体部１において、分岐部２２により分岐された光信号が光フィルタ２４に与えられ、所定波長の第３の光信号に変換される。光電気変換部２６は、第３の光信号の入力において第２のパルス信号が生成される。パルス検出回路２８は、第２のパルス信号を基準として入力される第１のパルス信号のタイミング差を検出し、出力部３１は、その結果に基づく振動情報を検出信号として出力する。 （もっと読む）

【課題】動く被測定物、又は被測定物を動かしながら、その被測定物の空間情報及び時間情報をリアルタイムに取得できる電磁波測定装置を小型に実現する技術を提供する。
【解決手段】プローブ光が入力され、前記プローブ光の異なる周波数成分にそれぞれ異なる遅延を与えることによって、チャープ化プローブ光を出力するパルス伸長器４０１と、前記チャープ化プローブ光と被測定電磁波とを重畳するシリコンミラー１１５と、前記重畳されたチャープ化プローブ光と被測定電磁波とを入射され、前記チャープ化プローブ光を前記被測定電磁波の電界に応じて変調する電気光学素子１１６と、前記変調後のチャープ化プローブ光を、前記チャープ化プローブ光のそれぞれ異なる周波数成分に透過性を有するフィルタが設けられた複数の画素で検出するイメージセンサ４１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】動く被測定物、又は被測定物を動かしながら、その被測定物の空間情報及び時間情報をリアルタイムに取得できる電磁波測定装置を小型に実現する技術を提供する。
【解決手段】通過する光に対してその光の進行方向に垂直な面内で光学長が異なる複数の領域を有し、前記複数の領域にプローブ光１３８が入射され、各領域から遅延が異なる複数の時間差プローブ光１３９を出力する遅延時間変調素子２１と、前記複数の時間差プローブ光１３９とテラヘルツ波１３６とが重畳して入射され、各時間差プローブ光１３９を前記テラヘルツ波１３６の電界に応じて変調する電気光学素子１１６と、前記変調後の各時間差プローブ光を、それぞれ異なる画素で検出するイメージセンサ１１９とを備え、前記遅延時間変調素子は、前記テラヘルツ波の１波長に含まれる大きさの複数の部分にそれぞれ前記複数の領域を有する。 （もっと読む）

本発明は、半導体ウェハ、光学薄膜、ディスプレイスクリーンなどの基体における欠陥の物理的特性を決定して、特定して位置を定める方法に関する。方法は、基体を撮像するためにＰＣスキャナの使用を伴う。特に、透過モード撮像において用いられるＰＣスキャナは、基体の体積に関する情報を決定することを可能にする。方法は、干渉法技術の使用により、層厚、曲率および光学定数などの特性の決定を可能にし、偏光撮像の使用により、複屈折率および歪みの決定を可能にする。方法はまた、例えば、光ルミネセンスおよびエレクトロルミネセンスなどの基体におけるルミネセンスに刺激を与え、ルミネセンスマッピングのために刺激を与えた基体を走査することに関する。
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本方法は、物品の一端部（Ｐ）の外形に近似する曲線（ＰＦ）を発生するステップと、前記曲線が前記第１端部又は第２端部の外形に近似しているかどうか決めるため前記曲線を処理するステップとを含む。 （もっと読む）

本発明はプリントされたモチーフ(5)を備えた製品(20)の製造のための連続材料ウェブ(2)の同期化された位置決めのための方法に関し、ウェブは基準分離長さ(LN)となるように分離されかつ規則的な間隔(LS)で繰り返す同期化マーク(6)を有し、この方法はウェブを第１の速度(vi)で製造装置(9)内へ供給すること、ウェブを第２の速度(v2)で前方へ供給すること、製造に関する処理ステップを伴う製造装置内で処理を行うこと、各製品上の所与の位置へのモチーフの位置決めのためのマークの検出、製品当たりの周期数(T)または周期当たりの製品数が整数である場合に周期クロックからなるような仮想主関数(21)の実際の位置(実測値)(23)の読み取り、実際の位置と関数の予想位置(目標値)(22)との比較、およびそれらの間の偏差を最小化するためのウェブの伸長を有する。また本発明はそうした位置決めのための装置に関する。
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【課題】共焦点光学系および共焦点光学系を用いる高さ測定装置において、試料の高さ方向に対して十分な検出精度を得る。
【解決手段】光源２により試料１１の表面と共役な位置に配したピンホール４を照明し、ピンホール４を透過した照明光は対物レンズ９を介して試料１１の表面にピンホール４の像を投影する。試料１１の表面で反射された信号光は逆の経路を辿り、対物レンズ９の焦点面近傍からの信号光だけが試料１１の表面と共役な位置に配した第２のピンホール１２を通過して可飽和吸収体１３に入射する。可飽和吸収体１３は入射光が強くなると、可飽和吸収により出射する光がより強く出射されるレーザ媒質であり、可飽和吸収体１３を透過した信号光は光検出器１４で結像して光電変換される。 （もっと読む）

【課題】直火加熱炉入側での溶剤の塗布量と、直火加熱炉出側での鋼板表面の酸化膜厚とを計測することが可能であり、且つ、高精度な計測を実施することができる鋼板表面の酸化膜厚計測方法及びその装置を得る。
【解決手段】直火加熱炉の入側で、鋼板１に赤外光を照射し、その反射光の強度を測定し、直火加熱炉の出側で、鋼板１から自発放射される放射光の強度を測定し、鋼板１に赤外光を照射し、鋼板１から自発放射される放射光と、照射した光の反射光とが合成された反射・放射光の強度を測定し、反射光の強度と、反射光の強度が測定された鋼板１の同位置の放射光の強度及び反射・放射光の強度とに基づき、鋼板１の表面に生成される鉄系酸化物の膜厚ｄ及び鋼板１に塗布された溶剤の塗布量Ｗの少なくとも１つを求めるものである。 （もっと読む）

【課題】太陽電池における積層された複数の電池層の各々の膜厚分布及び膜質を検査する。
【解決手段】非晶質膜に吸収される第１光及び結晶質膜に吸収される第２光を薄膜へ照射する照射部３と、薄膜を透過した第１光及び第２光の透過光を受光する検出部２と、第１光の透過光及び第２光の透過光に基づいて薄膜中の非晶質膜成分及び結晶質膜成分の膜厚を算出する制御部７とを具備する光電変換層評価装置である。基板１１の非晶質膜上に結晶質膜が積層されているとき、照射部３は、第１光を第１照射光とし、第２光を第２照射光として、非晶質膜及び結晶質膜へ照射する。検出部２は、第１照射光の第１透過光及び第２照射光の第２透過光を受光する。制御部７は、第１透過光に基づいて非晶質膜の第１膜厚を算出し、第２透過光に基づいて結晶質膜の第２膜厚を算出し、第１膜厚、第２膜厚及び結晶質膜が形成される前の非晶質膜の当初膜厚に基づいて、結晶質膜の膜質を評価する。 （もっと読む）

【課題】より有利なコストで製造することができ、より簡易かつ小型の構造を有する光学式検知装置を提供する。
【解決手段】第１及び第２部分部材１６、１８と、光学式検知装置を、パネル２２のうち対向する片面、特に、自動車のワイドスクリーン、に連結するための結合面２０と、を有する光伝導体構造、を備え、更に、光ビームを第１部分部材１６に接続する光学式送信部１０と、第２部分部材１８から出射する光ビームを受ける光学式受信部１２と、光学式送信部１０及び光学式受信部１２が配置されたプリント回路基板１４と、を含む。プリント回路基板１４は、結合面２０に対して平行に配置され、光学式送信部１０の中心光２８が、結合面２０に対して垂直に第１部分部材１６内へ入射し、結合面２０に対して垂直に第２部分部材１８から出射するように、光伝導体構造は構成されている。 （もっと読む）

【課題】成膜中における基板上の表面温度を正確に測定することができる表面温度測定方法及び表面温度測定装置を提供すること。
【解決手段】ウエハＷの放射光を所定波長領域にわたって複数の波長範囲に分ける分光器１４と、分光器１４によって得られた複数の波長範囲の光の強度をそれぞれ検出するアレイセンサ１５と、アレイセンサ１５によって検出された複数の波長範囲毎の強度を累積加算して放射強度の積分値を算出するとともに、温度と積分値との関係が予め関連付けられたリファレンスデータに基づいて積分値から表面温度を算出するコンピュータ１７とを具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】 擬似パターンを用いることなく、パターンが存在しない測定対象物であっても合焦点位置を確実かつ高速に検出できるオートフォーカス手段を具備したセル内膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】 薄膜パターンを形成した試料の位置決め及び測定対象セルの識別を行うための観察用照明及びその照明光学系とは別に、測定対象セルのセル内における膜厚を測定するための測定用照明及びその照明光学系を設けた。そして、測定用の照明を試料に照射して常に画像信号に微分成分を形成させることにより、測定対象物が微分成分の無いリファレンスである場合や、視野内にパターンが存在しない場合であっても、合焦点位置を確実かつ高速に検出する。 （もっと読む）

【課題】従来のＮＢＰＦの製造工程におけるＮＢＰＦ作成時の膜厚制御法とＮＢＰＦ作成後の評価法が異なるための問題点を解決する。
【解決手段】所望の光学特性を得るための膜設計に基づき、各層の種々の膜厚における分光特性を理論値として予め計算し、前記理論値と成膜時における分光特性の実測値とを逐次比較し膜厚制御を行うために、成膜基板に投光する測定光を波長掃引し、成膜基板の分光特性を実測する。具体的には、成膜基板に投光する測定光を波長掃引する波長可変レーザーを、成膜基板を透過または反射した光を受光し、波長可変レーザーの波長掃引に同期して受光した光を光電変換し出力する分光特性測定用受光器と、分光特性測定用受光器の出力に同期して成膜基板の透過率または反射率を計測し出力する光パワーメータと、光パワーメータの出力する透過率または反射率から成膜基板の分光特性を読込み、前記理論値との比較を行う。又、単色測定法と分光特性法とを択一的に選択する手法も提供している。 （もっと読む）

【課題】電子写真感光体の導電性基体上に形成された電荷発生層等の層の膜厚情報を高精度に評価する。
【解決手段】導電性基体上に層が形成された電子写真感光体の評価を行う電子写真感光体の評価装置及び評価方法において、電子写真感光体表面に斜め周方向から光を照射し、反射光のうち正反射方向以外の散乱光を集光して強度を検出して、層の膜厚に関する情報を得ることにより、電子写真感光体の導電性基体上に形成された電荷発生層等の層の膜厚を高精度に評価することができる。 （もっと読む）