【課題】吸光度に基づいて膜厚を測定する方法において、膜厚と吸光度との相関が強い波長範囲を指定することにより、正確な膜厚の測定ができる着色膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】測定対象となる膜（サンプル）を特定し、前記サンプルと同一成分、同一構造の膜であって、膜厚が既知の膜（リファレンス）を用意し、前記リファレンスに対して、波長ごとに、膜厚と吸光度との相関度を求め、相関度の大きな波長範囲を指定し、当該指定された波長範囲で、膜厚と吸光度との関係を記述した検量線を作成して記憶し、前記サンプルの吸光度を測定し、前記指定された波長範囲の吸光度を前記検量線に当てはめることによって、サンプルの膜厚を求める。 （もっと読む）

【課題】被検査物の顕著な欠陥などにより一時的にＰＭＴへの入射光量が過大となった際に、後続の正常な被検査物に対する異常判定を低減できる光学式検査装置、ピンホール検査装置、膜厚検査装置、および表面検査装置を提供する。
【解決手段】光学式検査装置は、被検査物に光を照射し、該被検査物を通過、透過もしくは反射した被検出光Ｐ２をＰＭＴ３により検出することによって被検査物を検査する装置であって、ＰＭＴ３からの出力電流Ｉを電圧信号Ｖ１に変換するＩ／Ｖ変換回路１１と、電圧信号Ｖ１から所定周波数より小さい低周波成分を抽出するローパスフィルタ回路１３と、ローパスフィルタ回路１３を通過した信号とローパスフィルタ回路１３を通過していない信号との差を出力する演算器１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 被測定膜を形成するための基板がホウケイ酸ガラス基板等のように赤外光の吸収が大きい基板であっても、被測定膜の実用的な赤外吸収スペクトルを得ることができるようにする。
【解決手段】 第１の試料１の基板１１上に形成された被測定膜１２および赤外光を半透過するＩＴＯ膜１３に赤外光を照射し、それによって反射された赤外光を検出し、この検出結果から第１の赤外吸収スペクトルを得る。また、第２の試料２の基板１１上に形成されたＩＴＯ膜１３に赤外光を照射し、それによって反射された赤外光を検出し、この検出結果から第２の赤外吸収スペクトルを得る。そして、第１の赤外吸収スペクトルから第２の赤外吸収スペクトルを差し引くと、第１の試料１の被測定膜１２の正味の赤外吸収スペクトルが得られる。 （もっと読む）

【課題】海苔が傾斜姿勢で撮像手段に搬送された場合であってもシンプルな判別処理によって欠けの有無検査が行える海苔の外観検査方法及びその装置を提供することを技術的課題とするものである。
【解決手段】各海苔画像を搬送方向（撮像画素Ｐの配列方向）に対して同方向になるように画像回転処理を行った後に、該海苔画像について、四辺の外辺接線となる水平接線及び垂直接線から任意画素内側に検査領域線を設定し、該検査領域線で囲まれた検査領域内に欠けがあるか否かを判別するようにしたので、海苔の欠け判別は、海苔周縁部分の凹凸形状の影響を受けずに海苔の全周縁部分に亘って的確に行え、また、前記検査領域線は、撮像画素Ｐの配列方向に沿った単純な垂直基準線及び水平基準線によって構成することができる。このため、シンプルな判別処理によってよって広い検出範囲の海苔の欠け判別が行えるようになる。 （もっと読む）

【課題】測定媒体がフィルムのような薄い透明体でも、挿入状況に影響されることなく、また測定空間内の周囲温度が変動する条件下においても、正確なエッジ部分の検出ができるや構成する各部品の製造ばらつきによらず、容易に遮蔽物のエッジ誤検知を回避できるエッジ検出装置を得る。
【解決手段】単色光を発生するレーザ光源と、レーザ光源からの単色光を単色平行光に変換する投光レンズと、単色平行光を放射する投光窓を有する投光器と単色平行光を受光する受光窓と、複数の受光セルを長手方向に配列したラインセンサと、受光窓から侵入した単色平行光を受光セルに対して垂直方向の複数の光路に変更する光路変更部と、光路変更部を介して発生した投光窓と受光窓の光路に存在する遮蔽物のエッジ部における単色平行光のフレネル回折によるラインセンサの光強度分布から遮蔽物のエッジ位置を検知する検知部を備える。 （もっと読む）

【課題】 薄いフィルムなどの測定において、フィルムの表裏面での干渉や分子配向の影響を受けず、精度よく測定できる赤外線厚さ計を提供する。
【解決手段】 偏光した光をフィルム表面に対して斜め方向の角度から入射し、吸収による光の減衰量に基づいてフィルム厚さを測定する赤外線厚さ計において、フィルム表面に照射した光の散乱分布を検出する分子配向検出部２０と、分子配向検出部２０から出力される検出信号に基づいて配向指数を演算する配向演算部４２と、配向指数に基づいて前記フィルム厚さを補正演算する補正演算部４３とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ブリスターパックのポケットを満たす粉末物質の薄層の形態にある材料の体積を検査する方法を提供する。
【解決手段】測定システム(3)の測定領域(9)に、反射性で粉末物質の薄層で満たされた複数のポケット(11)をもつブリスターパック(5)をもたらす段階(40)；粉末物質(13)を近赤外放射にさらす段階(42)；ポケット(11)から反射される放射を検出し、ポケット(11)に対する実際の反射スペクトル(25b)の少なくとも一部の範囲を記録する段階(44)；実際の反射スペクトル(25b)の少なくとも一部の範囲に対して、実際の反射スペクトル(25b)で表示された強度に関連した実際の値を計算する段階(46)；実際の反射スペクトル(25b)の少なくとも一部の範囲において、計算された実際の値と基準値とを比較する段階(48)；比較結果の関数として粉末物質(13)の濃度に対する層厚さの比を検査する段階(50)を含む。 （もっと読む）

【課題】印刷回路基板の光を照射する対象部分に均一に光を当て、かつ印刷回路基板への光の入射を均一とすることで、微細配線パターンにおける突起や凹みといった三次元的な欠陥の検出を可能とする。
【解決手段】印刷回路基板の配線パターンの光学的検査に使用される装置であって、印刷回路基板の上方に設けられ該基板に向けて光を照射する光源と、照射された光を印刷回路基板上に導く円筒状の導光手段を有し、該導光手段の内壁面が、光の反射率が０％以上２０％以下である部材で構成されていることを特徴とする印刷回路基板の光学検査装置、および光学検査方法。 （もっと読む）

【課題】 、基板に溶液を塗布するに際し、今後予想される要望に対応すべく、液滴の吐出量を算出する速度、精度の更なる向上を図ること。
【解決手段】 基板１に溶液を塗布する溶液の塗布方法において、基板１に塗布された液滴Ｌの厚さと、該液滴Ｌを透過する光を該液滴Ｌが吸収する吸光度との厚さ／吸光度関係を予め定め、基板１に塗布された液滴Ｌに対して照射した光の吸光度を測定し、上記液滴Ｌの厚さ／吸光度関係に基づいてこの測定した吸光度に対応する液滴Ｌの厚さを算出し、この算出した液滴Ｌの厚さに基づいて該液滴Ｌの吐出量を算出するもの。 （もっと読む）

【課題】より簡易な構成でより簡単に薄膜が除去できたか否かの判断を行うことができ、より低コストの薄膜除去検出装置および薄膜除去検出方法を提供する。
【解決手段】シリコンウェーハ１０上の薄膜を除去する際に該薄膜が除去されたか否かを検出する薄膜除去検出装置であって、光源２０からシリコンウェーハ１０に光を照射して、シリコンウェーハ１０からの反射光のうち特定波長光のみを干渉透過フィルタ２２を介して透過させ、受光センサ２４により干渉透過フィルタ２２からの透過光を受光して該透過光の光強度を測定し、情報処理装置３０の処理部３６により、特定波長光の反射または吸収光強度が所定強度若しくは該所定強度の所定割合に達したか否かに基づきシリコンウェーハ１０上の薄膜が除去されたか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】 フィルムの膜厚測定に関するものであり、フィルムの製膜上に起因するフィルムの波状の撓みによる影響を解消し、フィルムにキズを付けることなく高精度な測定方法、及び測定装置を実現する。
【解決手段】フィルムの厚みを連続的に非接触で測定する方法において、膜厚を計測するセンサーで前記フィルムの膜厚を測定する範囲周辺の表面に、表と裏側、またはどちらか片側より空気を吹き付けるノズルを備え、フィルムの幅方向の膜厚を測定する際に該膜厚測定センサーと該吹き出しノズルをその位置や速度を同期させてフィルムの幅方向に移動させることを特徴とするフィルム厚み測定方法、およびフィルム厚み測定装置。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面に形成された被膜の膜厚の分布を精度良く測定することが可能な膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供するとともに、表面に被膜が形成された対象物の表面温度の分布を当該被膜の膜厚の分布によらず精度良く測定することが可能な表面温度検査装置および表面温度検査方法を提供する。
【解決手段】波長帯が異なる二種類の赤外線の強度分布から算出される測定温度分布の差分値に基づいて鍛造用金型１０のキャビティ面１０ａに形成された被膜１１の膜厚分布を算出する。また、被膜１１の膜厚に基づいて鍛造用金型１０のキャビティ面１０ａの放射率分布を補正し、波長帯が異なる三種類の赤外線の強度分布および補正された鍛造用金型１０のキャビティ面１０ａの放射率分布に基づいて鍛造用金型１０の表面温度分布を算出する。 （もっと読む）

【課題】膜厚の計測誤差を低減すること。
【解決手段】薄膜の膜厚計測に用いられる波長を選択する波長選択方法であって、膜質状態及び膜厚が異なる薄膜が基板上に製膜された複数のサンプルに対して異なる波長の照明光を照射し、各波長の照明光を照射したときの透過光の光量に関する評価値をそれぞれ計測し、該計測結果に基づいて、波長毎に、各膜質状態における膜厚と評価値との相関関係を示す膜厚特性を作成し、各膜厚特性において、膜質状態による評価値の計測差が所定範囲内にある波長を選択する波長選択方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】路面状態を定量的に検知可能に装置を構成し、好適な車両制御を実現すること。
【解決手段】車両制御システム１は、第一発光デバイス１１１から波長λ１のレーザ光を発射して路面に照射し、第二発光デバイス１２１から波長λ２のレーザ光を発射して路面に照射する。また、第一受光デバイス１１７で第一発光デバイスから発射されたレーザ光の反射光を受光し、受光強度Ｒ１を第一受光処理回路１１８からマイコン１３０に入力すると共に、第二受光デバイス１２７で第二発光デバイスから発射されたレーザ光の反射光を受光し、受光強度Ｒ２を第二受光処理回路１２８からマイコンに入力する。そして、強度比Ｓ＝Ｒ１／Ｒ２と、入射角度θｖと、波長λ１での水の吸収係数α１と、波長λ２での水の吸収係数α２と、に基づき、式ｄ＝ｌｎＳ／｛２×｜α２−α１｜／ｓｉｎθｖ｝に従って、道路表面の水の層厚ｄを算出し、これに基づき、ブレーキ油圧等を制御する。 （もっと読む）

【課題】被検査体のモデルを構築することが困難になっても、高精度に表面欠点の特徴量を算出する表面欠点検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査体に光を照射する光照射手段と、前記被検査体を介した透過光または反射光を受光する受光手段と、前記受光手段の受光信号に基づいて前記被検査体の表面欠点を検出する欠点検出手段とを備えた表面欠点検出装置において、前記欠点検出手段は、統計処理に基づいて予め取得した補正情報を用いて前記受光信号を処理することにより、前記表面欠点の特徴量を算出することを特徴とする表面欠点検出装置。 （もっと読む）

【課題】フィルム配向の影響を除去し、薄いフィルムの厚さを測定する。
【解決手段】赤外線厚さ・配向計は、２つ以上の異なる角度のそれぞれから赤外光線をシート状のフィルムに透過させる透過手段と、前記透過手段により透過した透過光を前記フィルムの相対する側に設けた反射用ミラーで反射させる反射手段と、前記反射手段で反射した透過光を再び前記フィルムを透過させる再透過手段と、前記再透過手段で透過した光を前記赤外光線に対応するそれぞれの検出手段で受光すると共に、それぞれの検出手段で受光した減衰量から吸光指数を算出する算出手段と、を有し、前記算出手段で算出されたそれぞれの吸光指数の平均値が前記フィルムの厚さであると共に、前記算出手段で算出されたそれぞれの吸光指数の最大値と最小値の比が配向の度合いを示す配向指数であることである。 （もっと読む）

【課題】対象物にエネルギーを投入するために、対象物の表面に向けてエネルギーを放出するエネルギー源を備える、特に歯科医療分野において、仮想三次元模型を生成するために、対象物の表面輪郭を把握するためのシステムを提供する。
【解決手段】本発明によれば、対象物(2)から出てくるエネルギーの強度を把握するために、センサ(6)が対象物(2)のエネルギー源(1)とは反対の側に設けられている。対象物(2)へのエネルギー入射面(4)に関する高さ情報としての層厚を用いて当該表面輪郭(10)を記述するために、参照ユニット(9)において、対象物(2)の層厚が、エネルギー差モジュール(8)で決定される、対象物で吸収されたエネルギーと関係付けられる。 （もっと読む）

【課題】形状検出感度と形状検出精度が高く、電磁波照射方向の形状寸法を検出できる方法及び装置を提供すること。
【解決手段】検査対象部材を透過する波長のテラヘルツパルス光を検査対象部材の少なくとも二つの異なる部位に照射する照射工程と、照射工程で照射され検査対象部材の複数の異なる部位を透過したテラヘルツパルス光の電場振幅時間分解波形をそれぞれ部位毎に検出する検出工程と、を有し、検出工程で検出された電場振幅時間分解波形の位相情報から検査対象部材の形状を検査することを特徴とする形状検査方法。 （もっと読む）

【課題】光源と光学系の配置と調整が簡単な形状測定装置を提供する。
【解決手段】シリコンを含む半導体材料からなる物１００の形状を測定する形状測定装置１０は、４００ｎｍ〜８００ｎｍの波長を有する可視光１７を出射する光源１５と、９００ｎｍ〜１２００ｎｍの波長を有する近赤外光１８を出射する光源１８と、物に第１の光と第２の光を一つの光軸１９に沿って同一の方向から入射する光学系１４と、２つの光１７，１８に感度を有し、光１７，１８の反射光を受光する撮像素子２２を有する。 （もっと読む）

【課題】外観装置スペースの拡大や、余分な設備投資を必要としない板状体の板状体の検査方法、検査装置、およびクリーニングブレードを提供する。
【解決手段】本発明の検査装置は、
投光装置１５と、１つの撮像装置１３と、記憶装置および処理装置１６とを有する。投光装置１５と撮像装置１３とは対向して配置されており、これらの間の撮像範囲に透光性を有する板状体１２が配置される。投光装置１５により光が照射された状態の板状体１２を１つの撮像装置１３が撮像する。１つの撮像装置１３は板状体１２のエッジを含めるようにして撮像する。処理装置は、１つの撮像装置１３が撮像した画像と、記憶装置に予め記憶しておいた板状体１２の寸法の基準となるゲージの画像とを比較して板状体１２の寸法を検査するとともに、１つの撮像装置１３が撮像した画像中の影を板状体１２の欠陥として判定する。 （もっと読む）