【課題】 どのような形状の検査対象に対しても非破壊でその表面に形成された薄膜の状態を判定できる薄膜検査装置および薄膜検査方法を提供する。
【解決手段】 照射部２から照射された測定光は、積分球２２を通過して、検査対象へ入射する。そして、測定光は、検査対象の基部５２または薄膜５４で反射する。さらに、その反射光は、積分球２２へ入射し、積分球２２内で均一化される。その後、均一化された反射光は、光ファイバ１０を介して分光部１２へ導かれる。分光部１２は、反射光を波長順に分光し、強度スペクトルに応じた電気信号を演算処理部１４へ与える。演算処理部１４は、分光部１２から受けた電気信号に基づいて、検査対象の表面に形成された薄膜５４の状態を判定する。 （もっと読む）

【課題】 装置取付けの手間を軽減し，各測定対象物に測定光を通すための孔を形成することなく，複数の測定対象物の温度又は厚さを一度に測定可能とする。
【解決手段】 各測定対象物Ｔ_１〜Ｔ_ｎを透過し反射する波長を有する光を照射する光源１１０と，光源からの光を測定光と参照光とにスプリットするためのスプリッタ１２０と，スプリッタからの参照光を反射するための参照光反射手段（例えば参照ミラー）１４０と，参照光反射手段から反射する参照光の光路長を変化させるための光路長変化手段（例えば参照ミラーを駆動する駆動手段１４２）と，スプリッタからの参照光を参照光反射手段へ向けて照射する際に参照光反射手段から反射する参照光と，スプリッタからの測定光を複数の測定対象物へ向けて各測定対象物を透過するように照射する際に各測定対象物から反射する各測定光との光の干渉を測定するための受光手段１５０とを備えた。 （もっと読む）

走査線に沿って対象物体の流れを提供する選別機のビジョン観察器のための照明装置に関する。照明装置は、その中に複数の光源を有した細長円筒形状の包囲体を有する。複数の光源は、包囲体内に横長に設けられ、また包囲体の内側周囲に沿って角度的に間隔を置いて設けられる。包囲体軸に平行に走る直線状スロットが、対象物体が包囲体に入りそして出るために、包囲体に設けられる。包囲体軸に平行に走る直線状スロットが、受光器が包囲体内を通過する対象物体を観察するために設けられる。シリンダーの内側は、均一であり且つ光反射性になっている。包囲体の代替実施例は、対象物体が通過できるための間に開口を有した二つの個別円弧状包囲体部品からなる。
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【課題】
本発明は、外的要因による影響を受けにくく、かつ、安価とすることが可能な、位置検出装置及び方法を提供しようとするものである。
【解決手段】
投写部１から、２次元平面上の位置に応じて異なる特徴を持つマーカーを構成する光を投写する。
受光部２は、投写部１から投射された光の少なくとも一部を受光する。受光部で得られた光の特徴は算出部に送られる。
算出部３は、受光部２で受光された光の特徴に基づいて、受光部２の位置を算出する。これにより、受光部２の位置を検出することができる。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明の光ファイバ式多元センサシステムは、少なくとも一つの光信号強度の変化に変換するセンサと少なくとも一つの信号波長の変化に変換するセンサとを組み合わせた複合センサにより構成している。光信号強度の変化に変換するセンサには光ファイバの曲げや破断を利用して光を減衰させたり遮断できるセンサを用い、信号波長の変化に変換するセンサにはＦＢＧセンサを用いる。光信号強度の変化に変換するセンサはＦＢＧセンサに対して常に光源側に配置する。
【効果】 本発明によれば、光信号強度の変化に変換するセンサと信号波長の変化に変換するセンサとを組み合わせて構成したので、簡易な構成でかつ安価にシステムを構築でき、しかも高精度で異常発生の箇所や発生量を計測することができる。 （もっと読む）

【課題】高速かつ正確に複数の同一形状物をカウントできる同一形状物のカウント方法を提供する。
【解決手段】コンピュータを用いて以下のステップにより検査対象中における同一形状の複数の目標物をカウントする方法である。
検査対象の原画像を取得する。原画像に対して所定のしきい値で二値化処理を施し、目標物を本来の大きさ以下のサイズで検出する。二値化ステップで検出された複数の目標物のうち、基準サイズ以上の大きさの目標物のみを選択して、その位置情報を抽出する。抽出ステップで選択された各目標物を膨張してマスク画像を形成する。生成したマスク画像を原画像上に被せて、選択された目標物を原画像上から除去する。前記しきい値とは異なるしきい値を選択し、その異なるしきい値で、マスク画像を被せた原画像に対して、二値化ステップから抽出処理ステップまでを必要回数分繰り返す。 （もっと読む）

【課題】 検査の手間を省き、且つ、アセンブリを分解することなく、しかも、検査結果の再現性を高めるようにした無端ベルト用エレメント検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 ベルト式無段変速機に用いられる無端ベルト（１）の構成部品であるエレメント（３ａ）の検査装置（１０）において、前記無端ベルトに周回運動を与える運動付与手段（１３）と、周回運動中の前記無端ベルトのエレメントの積層周期を計測する計測手段（１５、１７）と、前記計測手段の計測結果を所定の基準周期と比較して前記エレメントの積層異常箇所を判定する判定手段（１８）とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ＸＹ面内とＺ方向において、プローブ先端をサンプル表面に形成されたエバネッセント場のスポットの強度が最大の場所に正確かつ簡便に位置決めし、高い散乱効率が得られるような散乱型近接場顕微鏡の測定方法を提供する。
【解決手段】 プローブ2側に設けたＸＹ微動機構14によりサンプル28表面に発生させたエバネッセント場のスポットを走査し、プローブ2で散乱された散乱光強度を測定することでスポットの強度分布を求め、エバネッセント場の強度が最大となる部分に、ＸＹ微動機構14によりプローブ2を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】搬送路の水平方向の長さを短縮して二台以上の撮像カメラを設置してもテンション機構が簡単でテープに長いスパンでテンションを加える必要がなく、また回路パターンのピッチに応じて下降搬送領域と上昇搬送領域のカメラ間のテープ長さを調整することができるようにしたパターン自動検査装置を提供する。
【解決手段】搬送手段２２によりＴＡＢテープ４を略Ｕ字状に屈曲した搬送路２１に沿って搬送する。ＴＡＢテープ４の回路パターン５を撮像する４台の撮像カメラ５５Ａ〜５５Ｄを、搬送路２１の下降搬送領域２１Ａと上昇搬送領域２１Ｂにそれぞれ２台ずつ配設する。搬送手段２２は、テンションスプロケット２５、ドライブスプロケット２６および高さ調整自在なピッチ調整用ローラ２７とからなり、ピッチ調整用ローラ２７によって撮像カメラ５５Ｂから撮像カメラ５５Ｄまでのテープ長さを調整する。 （もっと読む）

【課題】 パッシブ方式にて、被写体にコントラストがない場合も距離計測可能とする。
【解決手段】 被写体撮像光学系１２は、平行平面板の繰返し反射干渉により光束の波長帯域を狭帯域化する繰返し反射干渉フィルター２０と、集光レンズ２２と、バンドパスフィルター２４と、受光素子２６とを有する。回転ステージ１４は、被写体撮像光学系１２を回転させる。距離計測部１６は、回転ステージ１４による被写体撮像光学系１２の回転に伴い受光素子２６の面内を移動する同一被写体像の強度変化のコントラストを計測し、被写体までの距離演算を行う。 （もっと読む）

【課題】 被検光学系の透過波面を高精度に計測できる干渉計を提供する。
【解決手段】 披検レンズの物体面上に光束を集光させる集光光学系と前記披検レンズの像面上に曲率中心が配置された反射光学系と干渉縞を観察する為の検出光学系と前記干渉縞を検出するCCDから構成される透過波面測定装置において、前記検出光学系は披検波面の空間周波数成分を選択する第１空間フィルターと異なる空間周波数成分を選択する第２空間フィルターと前記２つの空間フィルターを光路中に切り替えるための空間フィルター切り替え装置と前記第１及び第２の空間フィルターで得られた第１及び第２の波面収差をから前記披検レンズの波面収差を計算する波面収差演算部を有することを特徴とした波面収差測定装置。 （もっと読む）

【課題】 計測精度が向上された３次元計測方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 ３次元計測装置システムの画像処理装置４に、位相値信頼性判定部４３を設ける。位相値信頼性判定部４３は、輝度飽和領域、コントラスト低下領域、コントラスト低下領域の境界領域、位相エラー領域を抽出する。位相値の計測値が信頼できない、これらの領域においては、別途再測定を行うなどして、信頼性の高い位相値を計測し、全体として、精度の高い３次元計測を行う。 （もっと読む）

【課題】 厚さムラに起因する欠陥の検査を的確に行うことができる光学フィルムの検査方法を提供すること。
【解決手段】 本発明は、液晶をハイブリッドネマチック配向させた液晶フィルム２を含む光学フィルム１の検査方法であって、光学フィルム１に対し、光源２０から偏光板１８ａを通して光を照射し、液晶をハイブリッドネマチック配向させた液晶フィルム３１と偏光板１８ｂを積層した素子２９を、液晶フィルム３１を光学フィルム１側に向け且つ液晶フィルム３１の配向軸４３を液晶フィルム２の配向軸４２と非平行となるように配置して光学フィルム１を検査する方法である。この場合、光源２０からの光が偏光板１８ａ、光学フィルム１を透過すると、無欠陥部分と欠陥部分とで位相差に差をつけることができ、無欠陥部分と欠陥部分との間にコントラストを生じさせることができる。 （もっと読む）