【課題】透明な平板状の物体の一方主面を、他方主面側から該物体を介して撮像する技術において、特に対象物が薄い場合でも支障なく撮像を行うことのできる技術を提供する。
【解決手段】ブランケットＢＬを吸着保持する吸着ステージ５１の上面５１０と、アライメントパターンＡＰ２を下方から撮像するための石英窓５２ａの上面５２０とを同一平面とせず、石英窓５２ａの上面５２０を下方に後退させて配置する。ブランケットＢＬと石英窓５２ａとが部分的に接触することにより生じる干渉縞が画像に写り込むのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】撮像素子の受光面とその前方に配置されたカバーガラス等の透明体の前面及び背面のうちのいずれかの表面に存在する異物の位置、大きさ、形状を特定することができる撮像素子の異物検出方法及びその装置を提供する
【解決手段】本発明に係る異物検出装置は、撮像素子パッケージ２を装着部５０に装着し、光源部６０から照明光を照射して、撮像素子１０の受光面の像を撮像する。光源部６０から受光面１０Ａに照射する照明光は、例えば、平行光と、点光源からの拡散光とで切り替えられ、各々の照明光により照明している状態で撮像した撮影画像を制御・検査部８０に取り込み、それらの画像を比較することによって、異物の３次元的な位置、大きさ、形状を特定する。 （もっと読む）

【課題】対象物体の２次元的な位置を１台の装置で光学的に検出することは困難であること。
【解決手段】光学的位置検出装置は、光を照射する光照射部と、対象物体からの反射光を受光する受光部とを有する。受光部は、受光面が２次元に分割された分割フォトダイオードと、対象物体からの反射光を集光し分割フォトダイオードの受光面に対象物体の像を結像する受光レンズと、分割フォトダイオードの分割された受光面の各々に対応するフォトダイオードの出力信号電流に基づいて、受光レンズの光軸と直交する２次元方向における対象物体の位置を検出する演算部とを有する。 （もっと読む）

【課題】ベッドを基準にして監視すべき領域を自動的に検出することにより、監視対象の人の動作を正確かつ再現性よく検出することを可能にした監視装置を提供する。
【解決手段】距離画像センサ１０は、画素値が物体までの距離値である距離画像を生成する。距離画像センサ１０の視野領域には、監視対象であるベッドの全体を含む。ベッド認識部２１は、距離画像センサ１０が出力した距離画像を用いてベッドの位置を抽出する。人認識部２２は、距離画像センサ１０が出力した距離画像のうちベッド認識部２１により認識したベッドの範囲内と範囲外とにおいて人が占有する領域を検出する。行動判定部２３は、ベッド認識部２１により検出したベッドと人認識部２２により検出した人の領域との組み合わせによりベッドに対する人の動作を判別する。 （もっと読む）

【課題】 半導体チップの尖端バンプの高さを測定する。
【解決手段】 尖端バンプを含む複数の半導体チップが形成された半導体ウェハ２１の上方に面照射装置３３が配置されて、面照射装置３３が半導体ウェハ２１の上面に光を照射する。一対の撮像装置３４，３５が、半導体ウェハの斜め上方に配置されて、半導体ウェハ２１上の尖端バンプを含む半導体チップを斜め上方から撮像する。コンピュータ３６は、一対の撮像装置３４，３５によって撮像された一対の画像に基づいて尖端バンプの底から先端までの長さをそれぞれ検出して、前記検出した一対の長さと、一対の撮像装置３４，３５の光軸が半導体ウェハ２１の上面となす角度を用いて尖端バンプの高さを計算する。 （もっと読む）

【課題】
簡単な構成を用いて検査範囲の照度を均一化して検査領域を広範囲とし、溶接部の円形輪郭の全周を抽出し高精度に溶接部の位置を検出することで、所望の位置に溶接が施されているかを検査すること。
【解決手段】
本発明は、上記課題を解決するために、検査対象表面の２次元検査領域に対して傾斜した角度で異なる少なくとも２方向から前記２次元検査領域を照明すると共に、該２次元検査領域に対向した位置から前記異なる少なくとも２方向から照明された複数の画像を取得し、該複数の取得した画像から溶接部のくぼみ傾斜部分に対応する輪郭情報をそれぞれ抽出し、該抽出した複数の輪郭情報を合成することで円形の輪郭を得、該円形の輪郭に円を当てはめて前記溶接部として認識し、該溶接部として認識した円の中心座標を溶接位置とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検出空間を拡張した場合でも、装置を大型化せずに対象物体の位置を精度よく検出することができる光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、光源部１２から検出光を出射した際、受光部１３は対象物体Ｏｂからの反射光を第１受光素子１３１および第２受光素子１３２で受光する。第１受光素子１３１および第２受光素子１３２は、第１受光素子１３１の受光面１３１ａに対する法線方向と第２受光素子１３２の受光面１３２ａに対する法線方向との交差角度θｃが９０°を超え、１８０°未満となる値、好ましくは、１２０°を超え、１４０°未満となる値に設定されている。 （もっと読む）

【課題】画像端の位置を正確に検出することのできる画像位置検出装置と、この画像位置検出装置を備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】中間転写ベルト上に形成される補正用パターンのパターン画像の端部の位置を検出する位置検出装置であって、補正用パターンに向けて光を照射する発光部１７Ｄと、このパターン画像の表面で正反射する正反射光を受光する正反射光受光部１７Ｈｓと、その表面で拡散反射する拡散反射光を受光する拡散反射光受光部１７Ｈｒとを備え、正反射光受光部１７Ｈｓの正反射光受光信号値と、拡散反射光受光部１７Ｈｒの拡散反射光受光信号値に一定係数を乗じた乗算値とに基づいてパターン画像の端部の位置を求める。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の凹凸パターンのサイズ変動を検査するマクロ検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物２の表面の凹凸パターンのサイズ変動を検査するマクロ検査装置１００である。マクロ検査装置１００は、被検査物２を乗せるためのステージ１と、被検査物２の表面に対して所定の角度方向から被検査物２側に光を照射する拡散光源５と、被検査物２の表面からの反射光を受光可能なラインセンサ９と、被検査物２とラインセンサ９との間に設けられ、反射光のうち拡散光源５のエッジ部からの光束に起因する反射光束が、ラインセンサ９の両端の少なくとも一方に設けられた所定領域でのみ受光されるように、反射光をラインセンサ９に導くための光学系と、を備える。 （もっと読む）

【課題】１つまたは複数の物体の画像から得ることができる、距離測定の予測精度を反映している信号を提供する。
【解決手段】物体１４までの距離１２を測定するためのシステム１０が、ある位置に配置されたカメラ１６と、カメラ１６の設定を反映した信号３０，３２，３４とを備える。カメラ１６に作動可能に接続された制御装置１８が、信号を受信し、信号に基づいて精度信号３６を生成する。精度信号３６は、距離測定の予測精度を反映している。制御装置１８に作動可能に接続された表示器３８，４２が、精度信号３６を反映している表示を提供する。距離測定の方法は、カメラを配置するステップ、距離測定の予測精度を反映している信号を生成するステップ、信号を反映している表示を提供するステップ、その位置で物体の１つまたは複数の画像を撮影するステップと、その１つまたは複数の画像に基づいて、物体までの距離を計算するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で距離を測定可能なレーザ変位計を提供する。
【解決手段】レーザ光を出射する光源部１１、出射光の光束径を拡張し、拡張後の出射光が反射手段３０で反射された反射光を集光する光束径変更部１４、反射光を受光する受光部１６、出射光と反射光を用い、反射手段３０までの距離を算出する算出部１８、その距離の変位を検出する変位検出部２１、検出された変位に関する出力を行う変位出力部２２、拡張前の出射光と、光束径変更部１４からの反射光との一方を透過させ、他方を反射させることによって、光源部１１からの出射光を、中心領域を介して光束径変更部１４に透過または反射させ、光束径変更部１４からの反射光を、中心領域の外側の領域である外側領域を介して受光部１６に反射または透過させる反射部１７ａを備え、光束径変更部１４は、反射光に対する有効口径が出射光の光束径より大きい。 （もっと読む）

【課題】地盤変位の測定に於いて拡散レーザ光を用い、レーザ光の単位面積当たりの光量を減少し、人、動物への眼に対する影響を減少する。また、雨、霧、雪等の影響を少なくした観測を可能とする。また、地盤変位の発生が予測される位置への設置作業を迅速にし作業者の安全性を確保できる。また、測定機構により測定した位相のズレが一定の許容範囲を超えたときに警報発生機構によって警報を発生させる。
【解決手段】照射先のビーム直径を照射元のビーム直径よりも大きくした拡散レーザ光４を発振するレーザ光発振部１と、地盤変位の発生予測位置に設置するレーザ光反射板６と、反射される反射波７を受光する検出器８と、この検出器８によって受光した反射波７とレーザ光発振部１の照射波１０の位相のズレからレーザ光発振部１とレーザ光反射板６の距離を計測する測定機構１１と、位相のズレが設置時における基準値の許容範囲を超えたときに警報を発生させる警報発生機構１４とから成るものである。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の欠け等の検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、容器フィルムのポケット部に収容された錠剤に対し光を照射可能な照明装置２２と、照明された範囲内の錠剤を撮像可能なカメラ２３と、カメラ２３から出力される画像信号を処理する画像処理装置２４とを備える。画像処理装置２４は、目標となる錠剤の輪郭に関し、重心を原点とする各角度毎の複数の各点の接線の向き情報を目標向き情報として記憶しておき、検査に際し、抽出された錠剤の輪郭に基づき重心を特定するとともに、前記各角度毎の対応する各交点の接線の向き情報を求め、当該接線の向き情報と目標向き情報とを比較する。そして、１の交点の接線の向き情報が、対応する目標向き情報に対し許容範囲を逸脱している場合に、不良候補として判定する。 （もっと読む）

【課題】物体が高速で移動し、物体の大きさによって必要とされる分解能が異なる場合でも、当該物体の形状認識を精度良く行うことができる形状認識方法を提供する。
【解決手段】物体の形状認識方法であって、基準光を物体上の投影領域に投影する基準光投影ステップ（Ｓ１０２）と、基準光が投影された投影領域のうちライン状の領域を撮像する基準光撮像ステップ（Ｓ１０４）と、輝度の傾斜方向に輝度が異なる輝度傾斜量を有する光である輝度傾斜光を投影領域に投影する傾斜光投影ステップ（Ｓ１０６）と、輝度傾斜光の投影方向と異なる撮像方向で、輝度傾斜光が投影された投影領域のうち、輝度傾斜光の輝度の傾斜方向と異なる方向に延びて配置されるライン状の領域を撮像する傾斜光撮像ステップ（Ｓ１０８）と、基準光撮像ステップ（Ｓ１０４）と傾斜光撮像ステップ（Ｓ１０８）での撮像結果を用いて物体の形状を認識する形状認識ステップ（Ｓ１１０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】マスクの歪の影響によらずパターンの良否を正確に判定することのできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】マスク上の任意の少なくとも４点の座標を測定する（Ｓ１０１）。次いで、これらの少なくとも４点について、それぞれ対応する設計データの各座標との差を求め、最も差の大きい１点を選択する（Ｓ１０２）。次に、選択した１点と設計データの座標との差が予め設定した閾値を超えるか否かを判定する（Ｓ１０３）。閾値以下であれば、少なくとも４点全てを用いて、光学画像と参照画像との位置合わせを行う（Ｓ１０４）。一方、閾値を超える場合には、この点を除外し、残りの少なくとも３点を用いて位置合わせを行う（Ｓ１０５）。 （もっと読む）

【課題】複数の奥行計測装置が近傍で動作している場合、近傍の奥行計測装置が発光する平面パターンが妨害して平面パターンの認識ができず奥行計算ができない場合があった。
【解決手段】平面パターンの発光を間欠的にして、ほぼ発光期間のみを露光期間とすることにより、近傍の奥行計測装置が発光する期間に露光する確率を減らす。
これにより平面パターンが認識できなくなる確率が減じる。また、平面パターンが認識できないことを検出して発光のタイミングを変える。 （もっと読む）

【課題】被計測物を搬送するとともに、被計測物の３次元形状の全周を搬送の途中で停止させることなく非接触で計測することのできる３次元計測装置を提供する。
【解決手段】搬送経路の途中に被計測物Ｗの搬送方向Ａに対して直交する左右方向に沿って計測隙間１３が設けられた搬送装置３と、計測隙間１３を通過する被計測物Ｗのステレオ画像を少なくとも計測隙間１３の上方および下方のそれぞれで予め設定された計測周期毎に光学的に読み取ってステレオ画像を撮像し、そのステレオ画像の画像データを撮像し、それぞれのステレオ画像を画像データに変換してデータ処理装置５に出力するステレオカメラ２１を有する撮像装置４と、ステレオカメラ２１により計測周期の１周期毎に撮像されたそれぞれの画像データを合成する処理を連続して行うデータ処理装置５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】対象物体が検出用光源を配置した領域の外側に位置しても内側に位置しても対象物体の位置を検出できる光学式位置検出装置を提供する。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、検出用光源部１２が検出光Ｌ２を射出した際に対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出部３０で検出して対象物体Ｏｂの座標を検出する。検出空間１０Ｒからみたときに、光検出部３０は、複数の検出用光源部１２より内側に位置するとともに、複数の検出用光源部１２は各々、第１の発光素子１２Ａ１〜１２Ｄ１と第２の発光素子１２Ａ２〜１２Ｄ２とを備えている。従って、第１の発光素子１２Ａ１〜１２Ｄ１が点灯した際の光検出部３０での受光強度と第２の発光素子１２Ａ２〜１２Ｄ２が点灯した際の光検出部３０での受光強度との比較結果に基づいて対象物体Ｏｂが検出用光源部１２より外側に位置しても内側に位置しても対象物体Ｏｂの位置を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の外観検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、照明装置２２、カメラ２３及び画像処理装置２４等を備え、まず照明装置２２から錠剤に対し照射される光の光量を段階的に変更し、当該錠剤を透過する透過光をカメラ２３により撮像することにより、複数通りの輝度画像データを取得する。そして、当該複数通りの輝度画像データにおける各座標毎の輝度値をそれぞれ合算して、錠剤の表面に係る三次元データを作成する。これに基づき、錠剤の外観形状が検査される。 （もっと読む）