【課題】 観察物体の位相変化量等を微分干渉顕微鏡により得た微分干渉画像から短時間で検出する装置を提供する。
【解決手段】 光源と、光源からの光を２つの偏光成分に分離し観察物体に導く照明光学系と、照明光学系内で分離された２つの偏光成分を再構成し観察物体の像を形成する結像光学系を有する微分干渉顕微鏡と、２つの偏光成分のリターデーション量を変化させる手段と、リターデーション量を検出する手段と、観察物体の像を撮像する手段を備え、リターデーション量が等しく符号の異なる観察物体の２つの微分干渉像を撮像手段で撮像する検出装置において、２つの微分干渉像の画像において夫々対応する画素毎に差演算及び和演算を行って差画像情報と和画像情報を取得し、以下の式を用いて観察物体面上の位相量を検出する演算手段を備える。
∂Φ（ｘ，ｙ）／∂ｒ＝ｋ・｛（１−ｃｏｓθ）・Ｄ（ｘ，ｙ）｝
／｛２ｓｉｎθ・Ｓ（ｘ，ｙ）｝ （もっと読む）

【課題】試料の厚さ方向に沿った運動が不要で高速に試料内部のすべての厚さ方向に合焦した情報を得て試料の体積観察を行うこと。
【解決手段】顕微鏡１は、試料が内在する透明基板３０と、焦点面３１の光を読み取り試料の画像に基づく三次元情報を取得する画像光学系１０と、画像光学系１０から透明基板３０に向けて照射される光を焦点面３１に結像する対物レンズ２１と、透明基板３０の上面３２上の画像光学系１０側に配置される楔形補正板４０とを備える。画像光学系１０は、光軸１０ａおよび焦点面３１が透明基板３０の上面３２に対してそれぞれ所定の傾斜を持って配置される。楔形補正板４０は、画像光学系１０からの光の入射面４１が焦点面３１と平行となるとともに、透明基板３０への光の出射面４２が透明基板３０の上面３２と平行となる楔形の形状で形成され、透明基板３０と同等の屈折率ｎを有する。 （もっと読む）

【課題】凹んだ部分に設けられた外径を測定可能な外径測定装置の実現。
【解決手段】光ビームを走査する光ビーム走査手段21と、走査面を通過した光ビームを集光して対応した電気信号を出力する受光手段23と、走査光ビームの途中に被測定物を配置した時の電気信号から被測定物の幅を算出する処理手段74と、を備える外径測定装置において、光軸が平行になるように対向して配置された２個の梯子型プリズム31,32と、２個の梯子型プリズム31,32を保持する保持ブロック33と、を備える走査面移動素子を備え、２個の梯子型プリズムの間の光ビームが走査される空間で、保持ブロックにより一方が限定される空間に、被測定物が配置される。 （もっと読む）

【課題】光学系を簡単にした上で、熱膨張、振動、機構の運動の変動等の外乱を除去し、信頼性の高い高精度な微細形状の測定を実現する。
【解決手段】単色光６を、測定面１３方向に進行する測定光８と、該測定光に直交する方向に進行する参照光９とに分割する分割手段７と、該参照光を測定光と平行な方向に反射する反射手段１７と、前記測定面に反射された後、前記分割手段７により前記参照光９とは反対の方向へ反射された測定光１５と、前記測定面で反射された測定光１４と平行な方向に戻ってきた前記参照光１９とを合成する合成手段１６とを備えたマイケルソン干渉計を基本とした微細形状測定装置であって、前記測定面１３を直角三面鏡のコーナポイントＯに対応させ、前記反射手段１７により反射された参照光１８の光路に、該直角三面鏡に対応する各鏡面部Ｍ_１、Ｍ_２、Ｍ_３を配置した。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡観察下における微粒子の３次元位置を、速やかに高精度で検出する。
【解決手段】３次元位置検出装置１０においては、対物レンズ１２と第２対物レンズ１５の間の瞳面に、平行光束を分割・偏向する偏向光学部材１３および分割・偏向される前の平行光束の偏向光学部材１３への透過を制限するマスク１４が設けられている。マスク１４は、偏向光学部材１３で分割された各々の光束に対し、結像光学系の瞳面における光束断面形状を所定の形状にするために設けられている。マスク１４は、所定値以上の透過率を有する開口２１を有する。本発明は、顕微鏡観察下における微粒子３次元位置を検出する光学系に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】基準レンズを必要とせずコンパクトであって振動等の外乱の影響を受けにくく非球面レンズ（自由形状レンズ）の測定を低コストで実現できる干渉縞生成方法および干渉計を提供する。
【解決手段】光源２から出た光Ｓ０を複屈折光学素子７で出射角度が微小に異なる２つの光束Ｓ１，Ｓ２に分割して第一，第二の検査光として被検体１３の被検面１３ａに垂直に照射し、その反射光を照射時の経路に沿って逆行する向きで複屈折光学素子７に透過させることで再び重ね合わせ、重ね合わせた光を受光面１２に投影することで干渉縞を生成する。第一，第二の検査光と其の反射光の往復経路が光源２から受光面１２に至る区間で完全に共通となり振動等に対しては相対運動が行われるので測定精度が向上し、温度差や空気の揺らぎ等による光路の微妙な変化、あるいは、干渉計の設置環境下で生じる振動や光学部品の経年変化等の影響を受けにくくなり、干渉縞の生成と維持が容易となって特殊な防振対策も不要となり簡単なもので済むようになる。 （もっと読む）

【課題】被検物の散乱強度によらず、少ない回数の測定で三次元形状を計測できる測定器を提供すること。
【解決手段】複数の波長成分を含む光を射出する光源と、前記光源から射出される前記光の光強度を前記波長成分ごとに独立して調節可能な調節装置と、前記光源から射出された前記光をパターン光に変換する変換装置と、前記パターン光を被検物に投影する投影光学系と、前記被検物に投影されたパターン光に含まれる前記複数の波長成分のうち少なくとも１種類の波長成分を選択する選択装置と、前記被検物に投影され前記選択装置によって選択された波長成分を有する前記パターン光の画像を前記波長成分ごとに取得可能な取得装置と、前記取得装置によって取得された前記各画像に基づいて、前記被検物の三次元形状を測定する測定装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面粗さの程度によらず、その測定対象寸法を正確に測定できる寸法測定装置及び寸法測定方法を提供する。
【解決手段】寸法測定装置１は、白色光源２からの光を、被測定物に向かう第１の光束と第２の光束に分岐し、第１の光束と第２の光束の間に被測定物の測定対象寸法に対応する第１の光路差を生じさせる第１の干渉計３と、被測定物で散乱された光を検出する受光素子３８と、第１の干渉計３を出射した光束を、参照鏡４３に向かう第３の光束と光路に沿って移動可能な移動鏡４４に向かう第４の光束に分岐して、第３の光束と第４の光束との間に第２の光路差を生じさせる第２の干渉計４と、第３及び第４の光束を受光し、第１の光路差と第２の光路差とが略等しい場合に生じる干渉信号を検出する検出器５と、被測定物の測定対象寸法を測定し、得られた測定値を受光素子３８で受光した散乱光の光量に基づいて補正するコントローラ６を有する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の測定対象寸法を、短時間で測定可能な寸法測定装置及び寸法測定方法を提供する。
【解決手段】寸法測定装置１は、白色光源２からの光を被測定物に向かう第１の光束と第２の光束に分岐し、第１の光束と第２の光束の間に被測定物の測定対象寸法に対応する第１の光路差を生じさせる第１の干渉計３と、第１の干渉計３から出射した光束を、参照鏡４３に向かう第３の光束と光路に沿って移動可能な移動鏡４４に向かう第４の光束に分岐して、第３の光束と第４の光束との間に第２の光路差を生じさせる第２の干渉計４と、第３及び第４の光束を受光して干渉信号を検出する検出器５と、移動鏡４４の複数のサンプリング点で取得した干渉信号群に対して、予め被測定物のマスタについて求めたマスタ特性曲線をフィッティングして被測定物に対する干渉信号のピークを推定し、そのピークに対応する第２の光路差から測定対象寸法を求めるコントローラ６を有する。 （もっと読む）

【課題】環境ノイズなどの影響を受け難い寸法測定システムを提供する。
【解決手段】寸法測定システム１は、白色光源２１からの光を被測定物に向かう第１の光束と第２の光束に分岐し、第１の光束と第２の光束の間に被測定物の測定対象寸法に対応する第１の光路差を生じさせる測定装置２と、測定装置２から出射した光束を、参照鏡４３に向かう第３の光束と光路に沿って移動可能な移動鏡４４に向かう第４の光束に分岐して、第３の光束と第４の光束との間に第２の光路差を生じさせる干渉計４と、第３及び第４の光束を受光して干渉信号を検出する検出器５と、干渉信号が最大値となる移動鏡の位置を求めて被測定物の測定対象寸法を求めるコントローラ６を有する。またコントローラ６は、測定装置２と通信回線７を通じて接続され、被測定物の位置及び白色光源２１を遠隔制御する。 （もっと読む）

【課題】白色干渉縞のピーク位置を正確に検出可能な寸法測定装置及び寸法測定方法を提供する。
【解決手段】寸法測定装置１は、白色光源２からの光を、被測定物１０に向かう第１の光束と第２の光束に分岐し、第１の光束と第２の光束の間に被測定物１０の測定対象寸法に対応する第１の光路差を生じさせる第１の干渉計３と、第１の干渉計３を出射した光束を、参照鏡４３に向かう第３の光束と光路に沿って移動可能な移動鏡４４に向かう第４の光束に分岐して、第３の光束と第４の光束との間に第２の光路差を生じさせる第２の干渉計４と、第３及び第４の光束を受光し、第１の光路差と第２の光路差とが略等しい場合に生じる干渉信号を検出する検出器５と、移動鏡４４の複数の位置での検出器５の出力の時間平均値又は移動平均値から干渉信号が最大値となる移動鏡４４の位置を決定し、その位置から第２の光路差を求めて、測定対象寸法を求めるコントローラ６を有する。 （もっと読む）

可撓性ウェブの変位を表示するための方法及びシステムについて記載する。細長い可撓性ウェブは、目盛り構造を有する一体的な目盛りを含み、その目盛り構造は、ウェブに向けられたエネルギーを変調するように構成される。移送構造は、ウェブと変換器との相対運動をもたらす。変換器は、目盛り構造によって変調されたエネルギーを検知し、変調されたエネルギーに基づいて連続的なウェブの変位を表示する信号を生成する。
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【課題】疵の検査対象である薄鋼板等の帯状体のエッジの位置を精度良く特定して帯状体表面の疵を適切に検出する疵検査装置及び疵検査方法を提供すること。
【解決手段】移動する帯状体１を幅方向に横切る照射領域４００に帯状光を照射し帯状体１の表面の疵を検査する疵検査装置が提供される。この疵検査装置１００は、帯状体の移動方向Ｖに対して帯状体の幅方向の一側に所定の第１角度θ１だけ傾いた第１方向３１１に出射される第１帯状光と、帯状体の移動方向に対して帯状体の幅方向の他側に所定の第２角度θ２だけ傾いた第２方向３２１に出射される第２帯状光とを、照射領域に照射する照明手段１１０と、照射領域における第１及び第２帯状光の反射光を撮像して照射領域の画像を出力する撮像手段１２０と、撮像手段により撮像した反射光の強度に基づいて、照射領域の画像における帯状体１の幅方向の両エッジの位置を特定する画像処理手段１３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
位相シフト光干渉を用いて対象物の変位を測定する際、４つの位相シフト光路の生成に３つのビームスプリッタを用いていたため、干渉計が大きくなり、適用対象が限られていた。また、位相シフト光路間に温度分布、湿度分布、気圧分布、密度分布、気流変化などの外乱が重畳されると測定誤差となってしまうという本質的な問題を抱えていた。
【解決手段】
４つの位相シフト光路を、４分割プリズムとアレイ状に配置したフォトニック結晶λ/４素子及びフォトニック結晶偏光素子とを組み合わせて空間的に並列生成する構成とすることにより、小形の光干渉変位センサを構築し、適用対象を拡大すると共に外乱の影響を受けることなく、対象物の微小変位や表面凹凸をサブナノメートル以下の分解能でかつ高い再現性で測定する。 （もっと読む）

【課題】分光エリプソメータにおいて基板の傾斜角を測定するとともに小型化する。
【解決手段】分光エリプソメータ１の照明部３は測定用光源部３１および補助光源部３４を有し、補助光源部３４からの補助光は測定用光源部３１からの光と共にポーラライザ３２を介して基板９上へと導かれる。基板９にて反射された補助光はアナライザ４１を介して遮光パターン撮像部４４にて受光され、遮光パターンの像が取得される。演算部５では、遮光パターンの像に基づいて基板９の傾斜角が求められ、傾斜角を利用しつつ偏光解析が行われる。分光エリプソメータ１では、基板９の傾斜角を測定するための光学系の一部と、偏光状態を取得するための光学系の一部とが共有されるため、小型化可能とされる。 （もっと読む）

【課題】光学的変位測定装置において、測定対象物の表面が平坦でない場合でも、高精度の変位測定を可能とすることである。
【解決手段】光学的変位測定装置１０は、光源２０と、コリメートレンズ２２と、ミラー２４と、円錐台形状プリズム３０とを有し、さらに、測定対象物８から円錐台形状プリズム３０を介して戻される光のうち入射光７２の光軸に平行な光のみを抽出するための結像レンズ４０とピンホール光学素子５０と、光位置検出センサ６０とを有する。円錐台形状プリズム３０は、頂角に応じたある一定の角度で円錐面に戻された光のみが入射光の光軸に平行になるという光学的性質を有する。この平行な戻り光は、測定対象物８と円錐台形状プリズム３０との間の変位に応じて、入射光７２の光軸８０からオフセットする。光位置検出センサ６０はオフセット量を検出して測定対象物８の変位を測定する。 （もっと読む）

【課題】音響に関わる振動の検出を高感度に行えるマイクロフォンを提供する。
【解決手段】本発明のマイクロフォン１Ａは、音圧を受けて振動する振動板２と、振動板２の裏側に一体化されたボビン２１に取り付けられ、振動板２が振動する方向に沿って移動する回折格子片３０Ａと、可干渉光が出射される光源からの光が回折格子片３０Ａに入射され、回折格子片３０Ａで回折された２つの回折光を干渉させ、振動板２の振動で移動する回折格子片３０Ａの移動量に応じて変化される干渉光の位相変化から、振動板２の変位量を検出する回折格子干渉計３Ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】測定精度を向上させた形状測定装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る形状測定装置Ｍ１において、撮像部１０は、投影部１によりスリット光５が投影された被検物２０の像を結像させる結像レンズ１１と、結像レンズ１１により結像された被検物２０の像を撮像する撮像器１３とを有し、撮像器１３の撮像面１３ａが結像レンズ１１の光軸と直交する面１１ａに対し傾斜して配置されるとともに、撮像面１３ａが結像レンズ１１を介して被検物２０側で結像する焦点面ＦＳは、投影部１から被検物２０へ向けてスリット光５が進む面上に配置されるように構成されており、結像レンズ１１の光軸と直交する面１１ａに対する撮像面１３ａの角度であるあおり角を小さくする楔形プリズム１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】スライダに対向する透明板に向けて斜め方向から複数波長の光を出射し、スライダに反射した光を受光して、光学位相差を検出し、透明板と前記スライダとの対向間距離を算出するときに、光学位相差と対向間距離との関係を示す理論式によれば不感帯で算出される対向間距離を、精度良く測定することができる対向間距離測定装置及び対向間距離測定方法を提供する。
【解決手段】スライダ７に対向する透明板３に向けて斜め方向から複数波長の光を光源８より出射し、スライダ７に反射した光を受光して、光学位相差を検出し、検出した複数波長それぞれの光学位相差と、理論式により決定された複数波長それぞれの光学位相差との差分を算出し、算出した差分に基づいて、透明板３と前記スライダ７との対向間距離を算出する構成とした。 （もっと読む）

【課題】測定点のアライメント作業を容易に行える安価な顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡装置は、対物レンズ１１を上下移動させるＺステージ１５と、被検体２１に測定光を照射して合焦検出する焦点検出系３０と、合焦検出結果に基づいてＺステージ１５を制御する信号処理部４１と、対物レンズ１１の移動量を測定する測定部４２とを有する。２つのウェッジプリズム５１ａ，５１ｂは測定光の光路上に配置され、回転機構５２ａ，５２ｂにより光軸周りに回転される。演算部６２は、指示部６３によって指示された測定位置に測定光の照射位置を一致させるウェッジプリズム５１ａ，５１ｂの配置角を繰り返し算出する。ドライバ６１は算出された配置角に従って回転機構５２ａ，５２ｂを駆動する。これにより測定光の照射位置は指示された測定位置を追従する。演算部６２は、指示された測定位置に応じて測定光の照射位置の追従性を変える。 （もっと読む）