【課題】 温度変動や波長変動に起因する検出誤差の発生を抑えて、被検面の面位置の変位を高精度に検出することのできる変位検出装置。
【解決手段】 測定対物レンズ（４）を介して被検面（２０ａ）に光源（ＬＳ）からの光を投光し、測定対物レンズを介した被検面からの反射光に基づいて、被検面の面位置の変位を検出する変位検出装置。光源からの光を複数の光に分割し、複数の光のうちの第１の光を測定光として測定光路に沿って導き且つ複数の光のうちの第２の光を参照光として参照光路に沿って導く光分割部材（２）と、被検面で反射された測定光が含む測定情報と参照光が含む参照情報とに基づいて被検面の面位置の変位を検出する検出系（１３，１４）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】被検面の形状を簡易かつ低コストで高精度に測定し得るようにする。
【解決手段】撮像系４において第１撮像手段４０と第２撮像手段７５とを設ける。第１撮像手段４０は、第１の結像面Ｐ_１上において回転走査される１次元イメージセンサ４１を備え、該１次元イメージセンサ４１により、第１の干渉縞において縞の密度が高い第１領域の縞画像情報を取得する。第２撮像手段７５は、第２の結像面Ｐ_１上に配される２次元イメージセンサ７６を備え、該２次元イメージセンサ７６により第２の干渉縞において縞の密度が低い第２領域の縞画像情報を取得する。第１撮像手段４０および第２撮像手段７５からの画像信号に基づき、形状解析手段７１において被検非球面８ａの形状情報を求める。 （もっと読む）

【課題】光学的変位測定装置において、光源から測定対象物に光を導入する鏡筒部の長さの自由度を増して測定対象物の変位測定を行うことができるようにすることである。
【解決手段】光学的変位測定装置１０は、光源７０からの光を往路光８２として対物光学系に誘導する鏡筒部２２と、往路光８２の光路を変更して測定対象物である筐体８の側面６に導き、側面からの正反射光を屈折させて往路光８２に平行な復路光８４として鏡筒部２２に戻す対物光学系としてのプリズム光学素子２６とミラー光学素子２８と、往路光８２に平行な光軸８６を有し復路光を集光する結像レンズ７６と、結像レンズ７６の焦点位置に配置され、往路光８２に平行な復路光８４のみを通すピンホール光学素子７８と、ピンホール光学素子７８を通過した光の位置を検出する光位置検出デバイス８０とを含む。 （もっと読む）

【課題】短時間で、広い測定レンジにおいて表面形状を測定することができる表面形状測定装置を提供すること
【解決手段】本発明の一態様に係る表面形状測定装置１００は、波長の異なる第１波長の光と第２波長の光とを含む照明光を出射する光源部と、照明光から参照面に照射する参照光を生成するとともに、照明光を試料２０に照射し、その反射光と前記参照光とを合成して干渉光を生成する干渉光学系１３と、試料２０と参照面との光路差を複数回調整する制御部と、制御部による同じ調整状態で光路差を与えたときの干渉光に含まれる第１波長の光による第１干渉光を受光する第１受光部と、第２波長の光による第２干渉光を受光する第２受光部とを備える光検出器１６と、光検出器１６により取得された第１干渉光による第１干渉画像と、前記第２干渉光による第２干渉画像とに基づいて、試料２０の表面形状を求める処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】孔内形状あるいは孔内面の欠陥を高速で測定することができる孔内形状測定方法及びその装置を目的とする。
【解決手段】 コーンプリズム５を通じてスリット光を投光する円環状光ファイバー群３と、コーンプリズム５によって導光されるリング状の光像を結像レンズ７で撮り込んで投影する画像伝達光学系８とを挿入し、視差視に基づくリング状の光像に表れる凹凸により孔内形状を測定する方法であって、逆円錐部６から投光されるスリット光のコーンプリズム５の軸線に対してなす角度と、リング状の光像の逆円錐部６への受光光がコーンプリズム５の軸線に対してなす角度とを異ならせた方法及び逆円錐部６から投光されるスリット光の投光角を設定するコーンプリズム５への入射角を決定する屈曲部を円環状光ファイバー群３の先方部に形成し、投光角と異なる受光角を有する結像レンズ７をコーンプリズム５の後方に配置した装置。 （もっと読む）

【課題】複屈折性を有する被測定対象の膜厚を安定して連続的に測定することができる膜厚測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】膜厚測定装置１は、被測定フィルムＦに白色光を照射して得られる反射光を分光して反射分光スペクトルを測定するスペクトル測定部１０と、測定された反射分光スペクトルに対して所定の演算を施して被測定フィルムＦの膜厚を測定する演算部２０とを備える。演算部２０は、反射分光スペクトルのうち予め設定された波長帯域における反射分光スペクトルを所定の波数間隔に並べ直した波数域反射分光スペクトルに変換する波数変換部２３と、波数域反射分光スペクトルをパワースペクトルに変換するフーリエ変換部２４と、パワースペクトル中に現れるピークの重心位置を求め、この重心位置に基づいて被測定フィルムＦの厚みを求める算出部（ピーク検出部２５、加重平均部２６、及び膜厚算出部２７）とを備える。 （もっと読む）

【課題】表裏のレンズ面周縁にそれぞれ環状平面部を有する被検レンズの波面収差を干渉計により測定する波面収差測定方法において、被検レンズを実装するときの環状平面部（Ｒ２平面部）を基準にして、被検レンズの光軸を干渉計光軸と一致させ、その後に干渉計による透過波面収差の測定ができる方法及び装置を得る。
【解決手段】試料台に載置した被検レンズの表裏の環状平面部のうち、該被検レンズを実装するときにレンズホルダに当接させる載置基準環状平面部に向けて傾き測定光を入射させ、該傾き測定光の被検レンズからの反射光により被検レンズの干渉計光軸からの傾き量を検知するステップと；
この傾き検知量に基づき、上記試料台の傾きを調整し、被検レンズ光軸を干渉計光軸に一致させるステップと；
この光軸一致状態で干渉計による波面収差測定を行うステップと；
を有する被検レンズの透過波面収差測定方法。 （もっと読む）

【課題】微小角度センサのダイナミックレンジの増大と、センサ出力の安定性の向上のために、ディジタル読みの角度センサを提供する。
【解決手段】目的の光線をセンサ内で２分して、同じ光路長を経た後、所定の交差角で干渉面に入射させて両スポットを重ねることで生成されるスポット内の干渉縞を目盛として用いる。目的の光線のセンサへの入射角が変わるとその微小角変位に比例して干渉面上のスポットが干渉縞を維持したまま移動し、スポット内の干渉縞がエンコーダにおける目盛移動と同様の効果を現出する。 （もっと読む）

【課題】撮像された映像をマーカが妨害することなく、かつ、精度よくマーカを検出・識別することが可能なマーカ検出識別装置を提供する。
【解決手段】マーカ検出識別装置３は、不可視マーカごとに、当該不可視マーカが配置されている位置の近傍領域における色特徴量を予め記憶する記憶手段３１と、不可視光撮像系で撮像した不可視光画像において、予め定めた輝度値を閾値として不可視マーカを検出するマーカ検出手段３４と、マーカ検出手段３４で検出された不可視マーカの位置に対応する可視光撮像系で撮像された可視光画像の位置の近傍領域における色特徴量を生成する検出マーカ色情報生成手段３５と、検出マーカ色情報生成手段３５で生成された色特徴量と、記憶手段３１に記憶されている色特徴量との類似の度合に基づいて、不可視マーカを個別に識別するマーカ識別手段３６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】白色干渉を用いた円筒状の被測定物の内径寸法測定において、小さな内径を有する被測定物についても内径を測定可能な内径測定装置を提供する。
【解決手段】内径測定装置１は、白色光源２からの入射光から分割された第１の光束を被測定物で反射させ、入射光から分割された第２の光束との間に被測定物１０の内径に対応する第１の光路差を生じさせる表面反射素子３と、球面反射素子３から出射した光束を、第３の光束と移動鏡４４に向かう第４の光束に分岐して、第３の光束と第４の光束との間に第２の光路差を生じさせる干渉計４と、第３及び第４の光束を受光する検出器５と、第１の光路差と第２の光路差とが略等しい場合に生じる干渉信号の最大値に対応する移動鏡４４の位置を測定して第２の光路差を計算することにより、被測定物の内径を求めるコントローラ６を有する。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置において使用されるアラインメントシステムを提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態によるリソグラフィ装置が、基板またはレチクルを位置合わせするためのアラインメントシステムを備える。アラインメントシステムは、基板上またはレチクル上のアラインメントマークを照明する放射源を備え、アラインメントマークは、最大長シーケンスマークまたは多重周期的粗アラインメントマークを含む。アラインメントマークから生成されるアラインメント信号が、検出システムにより検出される。プロセッサが、アラインメント信号に基づいて基板またはレチクルのアラインメント位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】各光成分の偏向調整作業が簡単で、出力されるレーザ光の各光成分の平行度を向上させることができ、ロール方向の位置偏差の測定精度を向上させる。
【解決手段】２枚の平面鏡４，５を有する反射鏡２と、互いに直交する２つの直線偏光を入力して分光する偏光ビームスプリッタ８及び分光した各光成分を平面鏡４，５に対して垂直に入反射するように屈折させるバイプリズム６を有し、各光成分をバイプリズム６と反射鏡２との間で２往復させてから出力するレーザ干渉部３とを備えたレーザ干渉計１において、レーザ干渉部３は、各光成分が最初に往復する際に一方の光成分が通過し、各光成分が次に往復する際に他方の光成分が通過するよう、偏光ビームスプリッタ８とバイプリズム６との間に配置され、通過する光成分の偏向方向を調整自在とする一対のウェッジプリズム１５ａ，１５ｂを有する偏向部１５を備えた。 （もっと読む）

【課題】 装置の機械的な動きを伴うことなく３次元の形状を測定することが可能な３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】形状測定装置１は、所定の波長帯域の中で波長を変えて光を出力することができる光源２と、繰り返しパターンを有する２次元チャート３と、所定の量の色収差を有し、光源２から出力された光によって照明された２次元チャート３の像を被測定体Ｓに投影する対物光学系７と、被測定体Ｓで散乱された２次元チャート３の投影像を撮像する撮像装置１０〜１２と、保存されたチャートデータ及び対物光学系７の色収差量に基づいて被測定体Ｓの３次元形状を算出する制御ユニット１３とを備える。撮像装置１０〜１２はまた、２次元チャート３の投影像を得た際の光源２からの出力光の波長に対応させて、撮像された２次元チャート３の投影像をチャートデータとして保存領域に保存する。 （もっと読む）

部分コヒーレンス干渉計は、測定の不明瞭性を解決するためのフォーカシング系を組み込んでいる。焦点検知ビームは、干渉計の測定ビームと共用の対物レンズを通して試験面まで送られ、試験面から戻される。明瞭な測定範囲は、所定の焦点誤差範囲と一致する。
（もっと読む）

【課題】 歯車の歯面に沿って移動しながら歯面粗さの測定を行うことができる粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】 歯車における歯面の粗さおよび前記歯面との間の距離の変動の和を測定する測定光学系１２Ｓと、歯面と測定光学系１２Ｓとの間の距離の変動を検出する変動検出光学系１２Ｄと、測定光学系１２Ｓおよび変動検出光学系１２Ｄを、歯面に沿って導くガイド部１５と、が設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】円板体の外周部が水平方向や垂直方向に急速に変位しても、光照射装置からの照射光の焦点が外周部の表面やその内部の位置に合った状態を維持することが可能な光照射装置を提供する。
【解決手段】円板体Ｗの外周部の表面Ｗｓに光を照射する光源２を備える光照射装置１において、表面Ｗｓの円板体Ｗの径方向への変位量ΔＸと円板体Ｗの円板面Ｓｗに直交する方向への変位量ΔＹとを検出する変位量検出装置５と、第１ミラー３１で反射された照射光Ｌａの反射光を照射光Ｌａの光軸に平行逆向きに反射する第２ミラー３２を備えるミラー部３と、照射光Ｌａを表面Ｗｓに角度θ（下向き正）方向から照射する場合、ミラー部３を照射光Ｌａの光軸方向及び直交方向に夫々（ΔＸ×cosθ−ΔＹ×sinθ）／２及び（ΔＸ×sinθ＋ΔＹ×cosθ）／２だけ移動させるアクチュエータ４とを備える。 （もっと読む）

【課題】ウエハ端面部の画像取得において、複数の場所の像の向きがそろう光学系の装置の提供。
【解決手段】結像光学系は、集光レンズ２、視野絞り４、リレーレンズ５、ロンボイドプリズム６Ａ、および落射照明ユニット１０から構成され、ウエハ１の端面部である、上側周辺部＋上ベベル部、下側周辺部＋下ベベル部の像の偏向後の光が１つに合成されるように複数配置される。このとき、複数の結像光学系のそれぞれにおける光を偏向する回数は、偶数回または奇数回でそろっており、撮像素子７は、複数の結像光学系のそれぞれによる、偏向後の端部の各部位の像を同一の面で撮像する。 （もっと読む）

本発明は、以下を有する対象物（10）のイメージ作成のための検出装置に関する。
−原波長で原光信号（３）を対象物(１０)に送出し、対象物(１０)表面に一過性の波を生成するように構成されたレーザーキャビティ（２）；
−前記一過性波を、出力波長を持つプログレシブ信号に変換するように構成された変換手段(１１)；
−レーザーキャビティに前記プログレシブ信号をインジェクトし、レーザーキャビティの中でプログレシブ信号と原光信号との間の干渉を生成するように構成された再インジェクション手段；
−前記干渉を検出し、前記対象の少なくとも１の物理的特性を決定するように構成された検出手段。
但し、前記装置は、前記レーザーキャビティにインジェクトされたプログレシブ信号の波長は原波の波長とは異なるように構成された波長変調手段（７、７ａ、７ｂ）を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成でありながら収差の発生を極力抑え、光線の入射角を高精度に検出することが可能な光学ユニットを提供する。
【解決手段】光源１と、受光素子列３と、光源１からの出射光を試料配置部２ａ₁に入射させると共に試料配置部２ａ₁からの全反射光を受光素子列３に導くプリズム２とを有する。プリズムは、試料配置部２ａ₁を有する放物形状の光学面２ａと、放物形状の光学面２ａの焦点Ｐからこの光学面２ａに入射しこの光学面２ａで全反射した光をプリズム２の外部に垂直に出射させる出射面２ｂを有する。受光素子列３の各受光素子は、出射面２ｂから垂直に出射した光を受光面で垂直に受光するように配置される。さらに、光源１からの出射光が、放物形状の光学面２ａの焦点Ｐを中心として発散する発散光となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 位置決めの正確さおよび／または強健性が改善されたリソグラフィ投影装置のアライメント・システムを提供する。
【解決手段】 リソグラフィ装置の位置決めシステムは、位置決め放射線源１、第１検出器チャネルおよび第２検出器チャネルを有する検出システム、および検出システムと連絡する位置決定ユニットを有する。位置決定ユニットは、第１および第２検出器チャネルからの情報を組み合わせて処理し、組み合わせた情報に基づいて、第２オブジェクト上の基準位置に対する第１オブジェクト上の位置決めマークの位置を決定する。 （もっと読む）