【課題】縦振動を引き起こしている状況下でも、凹凸形状を精度高く読取ることができるようにする。
【解決手段】凹凸形状が施され且つ該凹凸形状の凹凸方向に沿った振動を起こしている刻印面から、凹凸形状を抽出するための画像処理方法であって、刻印面に対して一方向に走査することで、凹凸形状の高さデータを有する２次元形状データを取得する走査ステップと、高さデータの変化度合いを求めるために、２次元形状データを微分する微分ステップと、微分ステップの結果を基に、２次元形状データから高さデータの変化度合いが急峻なものを除去するスパイク除去ステップと、スパイク除去ステップの結果を積分して振動波形を推定する積分ステップと、２次元形状データから、積分ステップで推定した振動波形を減じることで凹凸形状に相当する刻印波形を算出する凹凸検出ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】ガラス容器中の応力曲線に加えて応力層の厚さおよび壁厚の両者を迅速かつ正確に確定するために蛍光発光を使用する、ガラス容器壁中の応力および壁の厚さを測定するための装置および方法が開示される。
【解決手段】本装置および方法を、ガラス容器の全周囲にわたるガラス容器側壁中の応力および側壁の厚さの両者を迅速かつ正確に測定するために使用することができる。本装置および方法は、大規模ガラス容器製造に適合され、ガラス容器の側壁中の応力および側壁の厚さの高速測定が可能である。 （もっと読む）

【課題】ロボット等の装置の周辺に存在する物体の位置、姿勢および形状等、当該物体を対象とする当該装置の動作のために必要な情報を高精度で認識することができるシステム等を提供する。
【解決手段】本発明の環境認識システムによれば、３次元画像センサ１１および２次元画像センサ１２のそれぞれのカメラパラメータを用いて、被写体の３次元情報および物理情報（色情報など）が対応付けられる。その結果、ロボットＲの周囲にある被写体に関する位置、姿勢および形状、ならびに、被写体の物理情報が取得される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で一律の安定した精度で測定することができる操作性に優れた分岐器検査装置を提供する。
【解決手段】軌道上を走行可能な台車２１と、台車２１の走行距離を測定する距離センサ２５と、測定対象物の形状を測定するレーザ式変位センサ２９と、レーザ式変位センサ２９を測定対象側レール１１の軌間測定点Ｐの鉛直線上に常に位置させるスライドガイド２７と、測定制御装置４０とを有する。測定制御装置４０は各測定位置情報、測定情報を記憶する基本データ記憶部、測定データ記憶部、入力部、表示部及び制御部を備える。制御部は台車２１の走行距離が測定位置情報に一致した時に測定情報、走行距離を表示部に表示させ、入力部からの入力によりレーザ式変位センサ２９を作動させて測定を行わせ、測定データを表示部に表示させると共に測定データ記憶部に格納する。 （もっと読む）

【課題】多数のアライメントヘッドのキャリブレーションを改良し、オーバレイ精度及び製品歩留まりを向上させる。
【解決手段】物体のアライメントを測定するための装置を備えるリソグラフィ装置であって、アライメント検出領域にてアライメントマークの位置を測定するためのアライメント検出器を各々が備える複数のアライメントセンサと、レベリングセンサ検出領域において物体の高さ及び／または傾斜を測定するためのレベリングセンサと、レベリングセンサとアライメントセンサとの間のフィードフォワード接続部と、を備えるリソグラフィ装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】白色干渉法を用いた非接触測定器において、長さが１メートル以上あるくびれ形状を持つような細い管内の内面形状をミクロンオーダの高精度で計測できる測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】白色光源３を参照光と測定光に分割して参照光を参照光路長スキャナ部７に送り測定光をセンサー部８に送る光カプラ４と、参照光路長スキャナ部から返った参照光とセンサー部から返った測定光の白色干渉を検出する光検出器５とからなり、測定対象の細管内に通した透明管内でセンサー部を移動させることで、透明管を透過する測定光により非接触で前記細管の内面形状を測定することを特徴とする白色干渉法による管内面の形状測定装置１の構成とした。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハの位置認識及び位置決めの精度を向上でき、信頼性を高めることができるようにすること。
【解決手段】位置認識装置１１は、半導体ウエハＷの端縁の位置を検出可能な複数のセンサａ１、ａ２、ｂ１、ｂ２を備えた検出手段１６と、半導体ウエハＷと検出手段１６とを直線方向に相対移動可能な移動手段１７と、検出手段１６の検出データから半導体ウエハＷの中心位置を算出可能な制御手段１８とを備えて構成されている。検出手段１６は、前記相対移動する直線方向に対して直交する方向に、所定間隔を隔てて少なくとも４か所にセンサａ１、ａ２、ｂ１、ｂ２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】鋼管の横断面内の複数箇所における外径や肉厚を簡易にかつ十分な測定精度で自動測定を行う。
【解決手段】外径、肉厚測定用の第１の外側、内側レーザ距離計１，１Ａを第１の直線１３上に、位置合わせ用の第２の外側レーザ距離計２を第１の直線１３と直交する第２の直線１４上に、かつこれらを同心円上に、配置して、枠体３で支持し、枠体３を枠体回転手段、枠体移動手段、および、前後進手段で、全てのレーザ距離計の同心回転、第２の直線１４の方向、および、同心円の直交方向の移動を可能とした。 （もっと読む）

照明デバイスと、対象物を受容する対象物スライド面を有する対象物スライド部と、を備えるプレート形状の対象物の処理システムを改良するために、照明デバイス及び対象物スライド部は、対象物スライド部に対するプレート形状の対象物の位置が正確に決定されうるように互いに対して移動可能である。本発明によれば、少なくとも一つの縁部照射ユニットを備える縁部取得デバイスが形成されており、縁部照射ユニットは、対象物縁部領域の少なくとも一部において照射領域を備えており、該照射領域内において、各対象物縁部領域に配置される対象物縁部は、光を面状に放出する対象物スライド部の複数の側面によって照射される。対象物スライド部の反対に配置される対象物の側面において、対象物スライド面から或る距離において、少なくとも１つの縁部画像取得ユニットが形成されており、該縁部画像取得ユニットは、照射領域に配置される対象物縁部の縁部区域を、縁部画像として画像面に像形成する。各縁部画像は、少なくとも1つの縁部画像取得ユニットを使用することにより、対象物スライド部に対する位置的な正確さを伴って取得されうる。
（もっと読む）

【課題】第８世代や第１０世代のガラス基板に対する欠陥検査や欠陥修正に対応できる基板保持装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板保持装置は、固定端とテンション端との間に張架されると共に第１の方向に沿って延在する支持ワイヤ（７〜１０）を含む複数のワイヤ支持機構（３〜６）と、ワイヤ支持機構の各支持ワイヤに対して第１の方向に沿って移動可能に連結されたステージ（３０）と、ステージを第１の方向に案内するガイド手段（４４）と、ステージを第１の方向に沿って移動させる駆動装置（５１，５３）とを具える。ワイヤ支持機構の各支持ワイヤは、同一の平面内において互いに平行に張架され、複数の支持ワイヤ上に基板が載置された際、当該ステージは、支持ワイヤ上に載置された基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動する。ステージは、基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動するので、支持ワイヤによる影響を受けることなく各種処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】三次元形状計測装置のキャリブレーションを、カメラ解像度や移動分解能に依存せずに高精度に行う。
【解決手段】階段形状部に４つの段上平面を設け、各段上平面には、輝線ＬＬに対して平行ではない輪郭を有し、その輪郭を境にして反射率の異なるパターンを形成したキャリブレーション用ブロック４０と、キャリブレーション用ブロック４０の底部からの高さ寸法とパターンの位置座標とのリファレンスデータを記憶した記憶部６０と、キャリブレーション用ブロック４０を載置する載置台３０と、輝線ＬＬを撮像する撮像部２０と、載置台３０を移動させる載置台駆動部９０と、撮像された輝線ＬＬから特徴点を検出する特徴点検出部７０と、検出された特徴点の撮像画像における特徴点座標から幾何学的パターンの頂点座標を計算し、この頂点座標とリファレンスデータとに基づいて校正用データを生成する校正用データ生成部８０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】正確な測定を安定的に行うことができる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】回転ステージ１３の下部構成部材１４の軸部２２を固定部１２の凹部２３内に挿入し、軸部２２を軸受け２４を介して凹部２３の内周面２５に支持することによって、回転ステージ１３を固定部１２に回転自在に支持する。回転ステージ１３の上部に直動ステージ７１を設け、直動ステージ７１を回転ステージ１３の径方向７３に延設する。直動ステージ７１にカメラ８１を支持し、回転ステージ１３にセットされたワーク２の径方向７３に延在する直線８２上を移動できるように構成する。 （もっと読む）

【課題】次世代の道路ネットワークデータを容易に生成できるようにする。
【解決手段】車線中心点群算出部１１０は、各車線の側線上に位置する複数点を示す車線側線点群データ１８１に基づいて、各車線の中心線上に位置する複数点を示す車線中心点群データ１９１を生成する。車線毎道路線形データ生成部１２０は、車線中心点群データ１９１に基づいて、各車線の線形を示す車線毎道路線形データ１９２を生成する。停止線／横断歩道ノードデータ生成部１３０は、車線中心点群データ１９１と各停止線および横断歩道上に位置する複数点を示す停止線／横断歩道点群データ１８２とに基づいて、停止線／横断歩道ノードデータ１９３を生成する。道路ネットワークデータベース生成部１４０は、車線毎道路線形データ１９２と停止線／横断歩道ノードデータ１９３とに基づいて、道路の線形および停止線／横断歩道を車線毎に示す道路ネットワークデータ１９４を生成する。 （もっと読む）

表面、たとえば鉄道線路軌道の昼間の検査のためのシステムおよび方法が開示されている。開示されるシステムはレーザ、カメラ、およびプロセッサを含む。レーザは表面に隣接して配置される。レーザは、表面の幅の１インチあたりの強度が少なくとも０．１５ワットの合成強度で表面全体に光のビームを放出し、カメラは、表面上に放出される光のビームを有する表面の画像を取り込む。カメラは、日射内のディップ（ｄｉｐ）に対応する光の帯域だけを通過させる帯域フィルタを含む。レーザはディップでの日射より強い、放出される光ビームを提供するように選択される。プロセッサは、画像が表面の様々な測定できる様態を決定するために分析されることができるように、画像をフォーマットする。システムおよび方法は、表面のそれらの測定できる様態を決定するための１つまたは複数のアルゴリズムを含む。
（もっと読む）

【課題】剛体電車線の幅方向の摩耗に関する情報を得ることが可能で、剛体電車線の状態を高精度で簡易に測定する剛体電車線測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、レール上を移動する保守用車に搭載されて剛体電車線１０の測定を行う剛体電車線測定装置であって、ローラー支持部材１３１によって回動可能に支持されると共に、前記剛体電車線１０に接触し前記保守用車の移動に伴い回転する摺接ローラー１３２と、前記摺接ローラー１３２の回転を検出するロータリーエンコーダー１３３と、前記剛体電車線１０の幅方向にわたる形状を計測するラインレーザ型２次元形状計測センサ１４０と、前記ラインレーザ型２次元形状計測センサ１４０を移動可能に搭載するリニアレール１４１と、前記ローラー支持部材１３１と前記リニアレール１４１とが搭載される計測基台１３０と、前記摺接ローラー１３２を一定の荷重で前記剛体電車線１０に接触させる定荷重バネ１２３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサーの台数を増やすことなく、帯状部材の形状を精度よく検出する方法とその装置を提供する。
【解決手段】所定の速度で回転する成型ドラム２１に貼り付けられた帯状のタイヤ構成部材４０の位置座標を二次元変位センサー１１を用いて計測する際に、二次元変位センサー１１のラインビームの延長方向を帯状のタイヤ構成部材４０の長手方向とし、二次元変位センサー１１で計測した異なる計測角度で撮影した、始端４０ａもしくは終端４０ｂなどの同一箇所の変位量のデータを抽出するとともに、前記同一箇所の座標データを、前記同一箇所がラインビームの中心にくるように座標変換し、これら座標変換された複数の異なる計測角度で算出した同一箇所の座標データを合成することで、前記同一箇所の座標を特定するようにした。 （もっと読む）

【課題】形状測定装置を高速で動作させる場合に、定盤の強度を確保しつつ、安全性を向上せる。
【解決手段】形状測定装置１１のコラム２３−１には、エアベアリング３２が固定された支持部３３が設けられており、エアベアリング３２と、エアベアリング２４とが対向するように配置されている。これにより、コラム２３がより定盤２１に押し付けられて、コラム２３の転倒が防止される。また、コラム２３が倒れたとしても、エアベアリング３２がガイド２９に引っ掛かり、コラム２３が完全に転倒することはない。さらに、コラム２３の移動方向に沿って設けられるガイド２９が、定盤２１に一体的に固定されているので、定盤２１に溝を設けるなどの加工を施す必要がなく、定盤２１の強度が確保される。本発明は、形状測定装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で容易に撮像面の傾斜状態を検出可能な傾斜検出方法、および傾斜検出装置を提供する。
【解決手段】傾斜検出方法は、載置部に均等間隔でパターンを有するパターン画像を設けるパターン設置工程と、撮像部の焦点位置を順次変化させてパターン画像を撮像するパターン撮像工程と、撮像画像におけるパターン位置を検出してパターン領域を設定するパターン領域設定工程と、パターン領域における各画素の輝度値を検出し、検査方向に沿って画素間の輝度変化量を算出する輝度変化量算出工程と、各パターン領域における輝度変化量の積算値を算出する変化量積算工程と、この積算値が最大となる撮像画像に対応した焦点一致位置を検出する焦点一致検出工程と、焦点一致位置に基づいて、撮像部の入射光軸に対する載置部の傾斜状態を検出する傾斜検出工程と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】被検体の表面および裏面の各形状を、互いの相対的な位置関係を正確に把握しつつ高精度に測定する。
【解決手段】回転軸Ｒ_２回りに回転せしめられる被検レンズ９に対し、顕微干渉計１の相対姿勢を変えながら行う形状測定を、被検レンズ９が裏面側から支持された状態で行う表面部の測定と、被検レンズ９が表面側から支持された状態で行う裏面部の測定とに分けて行う。表面部の測定により求められたコバ部側面９７の第１の形状情報と、裏面部の測定により求められたコバ部側面９７の第２の形状情報とを互いに照合することにより、被検体表面と被検体裏面との相対位置関係を求める。 （もっと読む）

【課題】エレベータ昇降路内にレーザ光を遮断する障害物が存在したとしても、正確な昇降路内の位置情報を取得することができるエレベータ昇降路内の位置情報取得装置と、この位置情報取得装置のガイド装置とを提供する。
【解決手段】エレベータの昇降路１内の被測定物の位置情報を取得する装置であって、昇降路１内の被測定物をレーザ光で走査して、走査されたレーザ光の被測定物からの反射光を受光して被測定物までの距離を計測し、計測された被測定物までの距離と被測定物へのレーザ光の照射角度とに基づいて被測定物の位置情報を測定するレーザスキャナ１０と、レーザスキャナ１０により測定された被測定物の位置情報を記憶する記憶部５３と、を有してなり、レーザスキャナ１０は、昇降路１内を昇降するかご３０に設けられたガイド部材３０ａ，４１，４２，４３に移動可能に支持されている。 （もっと読む）