【課題】操作者の手間が少なく、測定を迅速且つ確実に行うことのできる画像測定装置及び画像測定方法を提供する。
【解決手段】ワークを撮像する撮像ユニット１７と、撮像されたワークの画像を取り込む取り込みプログラム４３１と、取り込まれた画像を２値化する２値化プログラム４３３と、２値化された画像内に存在する図形情報を認識し、当該図形情報の輪郭線を検出する輪郭線検出プログラム４３４と、検出された輪郭線に基づいて図形情報の角点を検出する角点検出プログラム４３６と、検出された角点を含む輪郭線上に、エッジ検出ツールを設定する設定プログラム４３７と、設定されたエッジ検出ツールにより、図形情報の測定を行う測定プログラム４３８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】一度のスリット光の走査により、任意の断面線における断面形状を検査することができる形状検査装置及び形状検査方法を提供する。
【解決手段】撮像光学系１２を用いて被検査物２０の形状を検査する形状検査装置１０であって、被検査物２０にスリット光を投射する投射手段１３と、スリット光の走査により被検査物２０上に順次形成される形状線を撮像する撮像手段１４と、順次形成された各形状線の撮像データに基いて、被検査物２０の三次元形状を点群データとして取得する点群データ取得手段と、点群データに基いて表示された被検査物に、入力に応じて切断線を設定する切断線設定手段と、切断線に対応した点群データにより、切断線における被検査物２０の断面形状を算出する断面形状算出手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡便な光源を利用した場合であっても光の反射による外乱の影響を抑えて光透過性薄膜の厚さを確実に算出できるようにする。
【解決手段】光透過性薄膜１０２の表面にレンズが合焦した状態では基板１０１の表面をフォーカスアウトさせて基板１０１から反射される光が合焦判定の外乱として作用することを防止する一方、基板１０１の表面にレンズが合焦した状態では光透過性薄膜１０２の表面をフォーカスアウトさせて光透過性薄膜１０２から反射される光が合焦判定の外乱として作用することを防止し、基板体１００の平面上の同一箇所（ｘｉ，ｙｉ）で光透過性薄膜１０２を含めた基板体１００の厚さと光透過性薄膜１０２を除いた基板１０１のみの厚さの差分に基いて光透過性薄膜１０２の厚さを適切に算出する。 （もっと読む）

【課題】
ヘッド先端部に接触センサを搭載し欠陥との接触によりこれを検出する方法によっては、欠陥検出時に欠陥を引きずりウエハ表面に傷をつける可能性がある。
【解決手段】
試料の表面に照明光を照射するプリスキャン照射工程と、散乱光を検出するプリスキャン検出工程と、該散乱光に基づき該試料の表面に存在する所定の欠陥の情報を得るプリスキャン欠陥情報収集工程と、を備えるプリスキャン欠陥検査工程と、該試料の表面と近接場ヘッドとの距離を調整して該試料の表面を照射する近接場照射工程と、近接場光応答を検出する近接場検出工程と、該近接場光に基づき所定の欠陥の情報を得る近接場欠陥情報収集工程と、を備える近接場欠陥検査工程と、該所定の欠陥の情報をマージして該試料の表面に存在する欠陥を検査するマージ工程と、を有する試料の表面の欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】例えば自走式電線点検装置を使用したビデオ映像に適した処理を行う。
【解決手段】撚られた複数の素線が表面に露出している電線に沿って撮像手段を移動させながら撮影した電線の複数の連続画像に基づいて電線の異常を検出する異常検出方法において、複数の連続画像４のうち、１枚の基準画像中の基準となる素線境界の位置情報及び素線の幅情報の入力を受け付け記憶する初期値設定処理（ステップＳ４３）と、連続画像の各々について素線の境界を検出して素線表面画像を切り出す画像切り出し処理（ステップＳ４４，Ｓ４５）と、素線表面画像中の素線の表面の明るさの変化に基づいて素線の異常を検出する異常検出処理（ステップＳ４６〜Ｓ４８）を備えている。 （もっと読む）

【課題】作業員の技量にかかわらず短時間で精度高く車輪外周面形状を測定することが可能な車輪形状測定装置を提供する。
【解決手段】車輪１におけるフランジ及び踏面を含む外周面２の形状を測定する車輪形状測定装置１００であって、筐体（基部）１０と、該筐体１０内に取り付けられて車輪１の径方向外側から車輪１の外周面２に向かって光線を照射し、その反射光によって該外周面２までの距離を検出する距離測定部３０と、筐体１０を車輪１に対して位置決めして固定する位置決め手段２０と、距離測定部３０を筐体１０に対して車輪１の軸線Ｏ方向にスライド移動可能とさせるスライド手段４０と、外周面２における光線の反射にて生じる乱反射光を吸収する乱反射光吸収手段６０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】円筒状ワークの外径寸法を、迅速かつ正確に取得することが可能な円筒状ワークの寸法測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】測定対象となる円筒状ワークＷの中心軸線と平行に配置された固定軸Ｐと、該固定軸Ｐの径方向に離間して平行に配置され、固定軸Ｐを中心とした円の周方向に回動可能とされた可動軸Ｑと、可動軸Ｐと固定軸Ｑとの対向方向に延びる基準直線ｌ上における円筒状ワークＷによる遮蔽距離を検出する距離センサ５０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】測定ワーク側に別部品の反射手段を設置する必要がなく且つ微小な測定ワークの内面も測定可能な非接触形状測定装置を提供する。
【解決手段】Ｘ軸と平行なレーザー光Ｌをプローブ８よりクランク状に折り曲げるため、レーザー光Ｌを折り曲げるための別部品を必要とせず、プローブ８をそのまま測定ワーク１の内面の内部に挿入するだけで、測定ワーク１の内面形状が測定可能となる。プローブ８を小さくすれば微小な測定ワークの内面も測定可能となる。 （もっと読む）

【課題】 コンベアに投入される多品種のワークを誤りなく識別するための識別装置及び識別方法の提供。
【解決手段】 本発明の識別装置は、ワーク（４Ａ）の表面までの距離を計測する計測装置（８Ａ）と、その計測装置（８Ａ）をワーク（４Ａ）の長手方向に移動させる移動装置（１０Ａ）と、これらを制御する制御装置（１４Ａ）とを有しており、前記ワーク（４Ａ）には所定領域に種類を判別するため浮き出し文字（２２Ａ）が印字されており、前記制御装置（１４Ａ）は、計測装置（８Ａ）を移動装置（１０Ａ）により移動させながらワーク（４Ａ）表面までの距離を計測し、計測装置（８Ａ）で計測されたワーク（４Ａ）の所定領域における浮き出し文字（２２Ａ）による隆起の有無とその位置及び形状を特定し仕様の照合を行って種類・仕様の判断をする制御機能を有する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳミラーを用いてレーザ光を走査する３次元形状測定装置において、使用開始から長期間が経過してもミラーの回転角度を精度よく取得でき、測定精度を一定に保つことができるようにする。
【解決手段】
回転可能に支持されたミラー１４ａと供給される電気信号に応じてミラー１４ａを回転させて変位させる駆動回路とが一体的に形成された第１ミラー１４を設ける。ミラー１４ａは、それぞれレーザ光を反射可能な第１反射面及び第２反射面を有する。第１反射面に測定装置と測定対象物ＯＢとの距離を測定するためのレーザ光を照射する。第２反射面にミラー１４ａの回転角度を検出するためのレーザ光を照射する。第２反射面からの反射光を受光する受光センサ２６を設ける。受光センサ２６における反射光の受光位置からミラー１４ａの回転角度を計算するミラー角度検出回路４２を設ける。 （もっと読む）

【課題】回転対称な線織面で構成される被検面の形状等を短時間で測定することが可能な光波干渉測定装置を得る。
【解決手段】回転軸Ｒ_２回りに回転せしめられる被検レンズ９の被検面（コバ部表面９５、嵌合面９８、嵌合部底面９９）に対し、顕微干渉計１から測定光軸Ｌに沿って収束しながら進行する低可干渉性の測定光を照射し、被検面の回転位置毎に対応した各回転位置別干渉縞を第１撮像カメラ２４の１次元イメージセンサ２３により撮像する。この各回転位置別干渉縞の画像データに基づき被検面の形状が解析される。 （もっと読む）

【課題】オフセット量を正確かつ容易に取得する。
【解決手段】第１の位置情報に基づいて特定される位置Ｏｂ上にビーム照射部が位置するように移動させた後に、照射部をＸ方向（矢印Ａ１，Ａ２の向き）に移動させながらレーザービームを照射させたときのレーザービームの反射光量の変化、およびＹ方向（矢印Ｂ１，Ｂ２の向き）に移動させながら照射させたときの反射光量の変化に基づいてマーク２１の位置Ｍｘ１，Ｍｘ２，Ｍｙ１，Ｍｙ２を取得すると共に、位置Ｍｘ１，Ｍｘ２，Ｍｙ１，Ｍｙ２と、第２の位置情報とに基づいて基板保持機構によって保持されているオフセット量取得用基板におけるマーク２１の位置Ｍｂを特定し、位置Ｍｂ，ＯｂのＸ方向に沿った位置ずれ量Ｘｂ、およびＹ方向に沿った位置ずれ量Ｙｂを、照射部のＸ方向に沿った移動量、およびＹ方向に沿った移動量をそれぞれ補正するためのオフセット量として特定する。 （もっと読む）

【課題】使い勝手の良い長寸法測定装置を提供すること。
【解決手段】長寸法測定装置１は、試料２が載置し、配置位置が固定されている試料台１０と、試料２に形成されたパターンに照明光を照射する照明ユニット２０と、照明光から得られたパターンの像を撮像する撮像ユニット３０と、試料台１０の平面度を調整し試料台１０を支持する平面度調整機構１２と、エアを試料台１０に送気し、試料台１０からエアを吸引する送気吸引部１６と、試料台１０にて浮上している試料２に吸着する吸着機構４０と、撮像ユニット３０をＺ方向に移動させるＺステージ５１と、撮像ユニット３０をＸ方向に移動させるＸステージ５２と、吸着機構４０を介して試料２をＹ方向に移動させるＹステージ５３と、試料２に形成されたパターン上の２点間の距離を測定する干渉測定ユニット６０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】拡散性を抑制する光学系を用いて低水分から高水分にわたって高精度の測定が可能な水分計を提供する。
【解決手段】光源から出射した光を斜め方向から被測定物に照射し、該被測定物を透過した透過光をなだらかな曲率を有するミラーで反射させて集束し、再度前記被測定物を透過させて赤外線に感度のある検出器に入射させるように構成した。 （もっと読む）

【課題】振動の影響による３次元形状の測定誤差を低減した形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被測定物をライン光で照明して撮像するプローブと、プローブと被測定物とを相対移動させるリニアモータ１７と、照明の状態と撮像の状態から被測定物の形状を測定する形状演算部３４と、プローブの振れを検出する振れ検出部２８とを備え、振れ検出部２８に検出された振れに基づいて測定の補正を行うようになっている。 （もっと読む）

【課題】物体表面に摩耗や撓み等が存在する場合、表面上に障害物が存在するような場合に１回の計測範囲を超える長さに渡って計測する場合においても物体表面の傷を高精度で測定することが可能な物体表面傷の計測方法を提供する。
【解決手段】物体３の両端間に部材２を設け水平板６を押しつけて変形硬化させ、水平板を取り外し物体両端と部材表面とを結ぶ基準線を設定し、計測器を設置し、計測器を基準線に沿って移動させ物体表面までの距離を測定して傷の分布を示す第１の計測データを取得し、計測器を次の計測範囲内に設置し、計測器を移動させ物体表面までの距離を測定して第２の計測データを取得し、第１の計測データと第２の計測データとを連結させたデータを取得する。 （もっと読む）

【課題】実際に路面上でタイヤが転動状態にあるときのトレッド部のブロックの変形状態を正確に測定することができるタイヤ形状計測装置を提供する。
【解決手段】カメラユニット１３は、クロスローラリング（ベアリング）を備えた連結手段１７を介して、車輪を転動可能にして車輪の車軸に取り付けられ、車輪を構成するタイヤ１１のブロック部を撮像する。レーザ変位計２１は、路面との距離を測定する。リニアアクチュエータ２２は、レーザ変位計２１の測定結果を用いて、カメラユニット１３と路面との距離を一定に保つ。 （もっと読む）

【課題】ワイヤロープのピッチを正確に測定することのできるワイヤロープピッチの測定方法とワイヤロープピッチ測定装置を提供し、さらに、ワイヤロープピッチに関する品質不良の発生を抑制できるワイヤロープの製造方法を提供する。
【解決手段】ワイヤロープ３０の側面に対向させたレーザ変位センサを用いて、ワイヤロープの径方向断面に沿ってワイヤロープ３０の側面にレーザ光３２を照射して該側面の変位の計測を行いつつ、レーザ変位センサをワイヤロープ３０の長さ方向に相対移動させ、レーザ変位センサのワイヤロープ３０に対する前記長さ方向の相対位置と前記変位の計測値との関係から前記ワイヤロープのピッチを算出する。 （もっと読む）

【課題】蒸気タービンの構成部品位置を計測する際に、計測用の冶具の製作や取り付け等の手間が不要であり、構成部品位置を直接計測することで測定精度並びに信頼性の高い計測が可能な部品位置の計測装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】レーザ光３を照射するレーザ発振器１と、レーザ発振器１からのレーザ光３の照射方向に沿って走行することが可能な装置本体５と、装置本体５に設けられ、レーザ光３を所望の角度へ屈折して照射する光学部品と、装置本体５に設けられ、光学部品により屈折され照射されたレーザ光３が構成部品により反射されたレーザ反射光の受光量を検出する受光素子８とを備える。 （もっと読む）

【課題】並列スライダ装置において、二つのスライダが相互に干渉することなくスムーズな動きをもって移動することを実現すること。
【解決手段】
前側リニアサーボモータ７２のための前側サーボコントローラ１１０と後側リニアサーボモータ８０のための後側サーボコントローラ１３０とに互いに同一の位置指令を与える一方で、前側リニアサーボモータ７２は比例要素と少なくとも積分要素と微分要素の何れか一方を含むＰＩ制御あるいはＰＤ制御あるいはＰＩＤ制御を行い、後側サーボコントローラ１３０は比例要素のみを含むＰ制御を行い、前側サーボコントローラ１１０と後側サーボコントローラ１３０とで制御ゲインを互いに相違させる。 （もっと読む）