【課題】ワーク表面等の微小凹凸の密集度合を定量的に評価することができる表面評価装置を提供する。
【解決手段】シリンダボア２表面の凹凸データに基づいてシリンダボア２表面を評価する表面評価装置２０において、前記シリンダボア２表面の凹凸データをフーリエ変換して周波数スペクトルを求める手段と、前記周波数スペクトルから所定のしきい値に基づいて周波数成分を抽出する手段と、前記抽出された周波数成分を逆フーリエ変換して凹凸データに復元する手段と、前記復元された凹凸データから所定のしきい値に基づいて凹凸座標データを抽出する手段と、前記凹凸座標データより座標の数と座標値の分散を求める手段と、前記座標値の分散よりシリンダボア２表面品質を評価する手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】光学式のセンサー部によって測定する、被検物の形状測定の測定精度を向上させる。
【解決手段】被検物にライン光を照射する光照射部（９１）およびライン光の照射方向とは異なる方向から被検物に照射されたライン光を検出する検出部（９２）を有するセンサー部（２０）と、互いに直交する座標系の座標軸方向それぞれに、センサー部（２０）を移動させる移動部と、移動部に対してセンサー部（２０）を回転可能に支持する回転機構と、座標系の基準位置を示す球を検出することにより、移動部に対するセンサー部（２０）の回転方向を算出する回転方向算出部（３５９）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】撮像手段で撮像された被測定対象の画像の撮像視野範囲外にあるエッジを簡単且つ確実に検出する。
【解決手段】画像測定装置は、ワーク１２を撮像するＣＣＤカメラ１８で撮像された撮像視野範囲２５ａ内のワーク１２の画像を表示する。撮像視野範囲２５ａ内のワーク１２のエッジ１２ａは、所定のサンプリング間隔Δで設定された複数のエッジ検出ツール５０によって検出される。ワーク１２及びＣＣＤカメラ１８は、オペレータにより指示された撮像視野範囲２５ａ外の方向に測定テーブル１３や撮像ユニット１７の相対的な移動により移動し、撮像視野範囲２５ａ外の画像を撮像する。ＣＰＵ３５は、撮像視野範囲２５ａ内の複数のエッジ検出ツール５０のうちの、少なくとも２つにおいてエッジ１２ａが検出された場合に、測定テーブル１３や撮像ユニット１７の移動を停止させる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の表面や欠陥の形状に関わらず、欠陥を精度良く検出できるようにする。
【解決手段】検査対象物の表面に生成される照射パターンが少なくとも十字形状及びリング形状となる２種類以上のパターン光を発光部６０１から検査対象物の表面に照射する。そして、所定の方向に走査しながら前記検査対象物の表面にパターン光を照射するようにする。一方、撮像部６０２は、照射されたパターン光により生成される照射パターンを含む画像を撮影し、画像処理部６０３は、前記撮影された画像に含まれる照射パターンの形状の変化に基づいて前記検査対象物の表面の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】ボイラ設備の装置を分解あるいは開放することなく、フィンチューブの腐食及び減肉状況を評価することができる伝熱管又は蒸発管の減肉状態監視装置を提供する。
【解決手段】伝熱管又は蒸発管の減肉状態監視装置１０Ａは、伝熱管又は蒸発管の減肉状態を監視する監視装置であって、伝熱管又は蒸発管のフィン１１に沿って移動する移動手段１２と、前記移動手段１２に設けられ、伝熱管又は蒸発管の表面の減肉状態をレーザ計測するレーザ計測手段１３と、レーザ計測手段１３にレーザ光を導入する導光路及び反射光を伝達する導出路を備えたケーブル手段１４と、前記レーザ計測のデータを過去のデータ又は標準データと比較して、現在の減肉状態を判定する減肉状態判定手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】水圧試験機の一連の試験工程の中に検尺機能を付加することにより、次工程条件の最適化に反映させることを可能にする。
【解決手段】水圧試験時の両ヘッド部１，２の移動距離をパルスジェネレータ方式で計測可能とし、各ヘッド部に前記鋼管の管端位置を検出するためのレーザ式位置センサ４_１，４_２を設置し、鋼管３のセット前に各ヘッド部を移動させてそのレーザ式位置センサのレーザ光路を所定の原点に一致させ、その時点から、水圧試験を経て各ヘッド部を鋼管から離間させる際に各レーザ式位置センサが鋼管の管端位置を検出した時点まで、各ヘッド部の移動距離を計測し、この計測結果を用いて鋼管の管長を算出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の広範囲にわたる画像を取得できる撮像装置を提供する。
【解決手段】可視光線を検出して画像を取得する撮像素子と、測定対象物の被照射領域に可視光線を照射し測定対象物における被照射領域の隣接部分に対して被照射領域が反射する可視光線の色彩を画像により識別可能に異ならせる発光部、および被照射領域からの可視光線を検出する受信部を有し被照射領域における発光部からの距離を測定する測定部と、画像の所定範囲を抽出画像としたとき、２つの抽出画像Ｐ１、Ｐ２であって、一方の抽出画像中に発光部により可視光線を照射されている被照射領域Ｗ１の像が含まれているとともに、他方の抽出画像中における被照射領域に対応する対応領域Ｗ３が発光部により可視光線を照射されていないものを測定対象物Ｗが連続するようにつなぎ合わせて結合画像Ｑ１を作成する画像結合部とを備え、画像結合部は他方の抽出画像中の対応領域の像を用いる。 （もっと読む）

【課題】レール分岐部分において、作業者の勘に頼らなくても高い精度でトングレールの先端を含めたこれの基本レールに対する接触状態でのレール頭面形状を効率的かつ連続的に測定できるトングレール接触状態測定装置およびトングレール摩耗量測定装置を提供することにある。
【解決手段】この発明は、ブリッジ部材の端部を第２のレールにクランプ固定するクランプ部材を設けることで第１のレールと第２のレールとの間のブリッジ構造で直線移動機構を第２のレールに支持しかつ第１のレールに対して固定状態で支持することができる。これによって、直線移動機構の移動台を移動させる二次元変位センサによって第１のレールとこれに接触するトングレールとの頭面形状についての測定信号をレール長さ方向に連続的に得ることができる。この測定信号によってトングレール摩耗量測定をも測定することができる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を用いたレール変位の測定に於いて、降雨時の雨滴による光路遮りを低減し且つ降雨時の雨侵入によるガラス汚染を低減して測定精度を向上する。
【解決手段】フード手段とレールとの間にさらに筒型フード手段を設け、筒型フード手段の先端部とレールとの間の間隙をより小さくすると共に筒型フード手段の開口面積すなわち外気に接する箇所を極力小さくすることによって雨滴による照射光及び反射光の光量低下という影響を減ずるようにした。この筒型フード手段は、照射光及び反射光を通過させるためにフード手段に設けられているスリットの開口面を含む大きさの内壁面を備えていれば十分である。従来のフード手段を設けることなく、検出器本体に直接、上記筒型フード手段と同様のものを設け、筒型フード手段の先端部とレールとの間の間隙をより小さくする。 （もっと読む）

【課題】 透過性膜の膜厚を算出する際に用いられる撮影データの最大値に関する信頼性を評価して、信頼性の高い膜厚測定が行えるようにする。
【解決手段】 固定長の焦点距離を備える撮影部２を種々の高さに位置させて、基材と透光性膜とを含む基板を撮影した際の撮影画像の合焦度を算出する合焦度算出部６ａと、撮影部２の位置に対する合焦度からなる合焦度曲線の極大値を検出する極大値検出部６ｂと、極大値の信頼度を算出して、極大値が適正値か否かを判断する信頼度算出判断部６ｃと、信頼度算出判断部６ｃにより適正と判断された極大値に対応する撮影部２の位置を境界位置として算出する境界位置算出部６ｄと、境界位置に基づき透光性膜の膜厚を算出する膜厚算出部６ｅと、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の波長毎の反射率を精度良く測定することができる反射率測定装置及び反射率測定方法、並びに本発明による反射率測定装置を備えた膜厚測定装置及び本発明による反射率測定方法を含む膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】
反射率測定装置１は、照射光Ｌ１を測定対象物へ供給する測定光源３０と、照射光Ｌ１の強度及び測定対象物からの反射光Ｌ２の強度を波長毎に検出する分光検出部８０と、照射光Ｌ１の波長毎の強度の検出値を、基準測定対象物からの反射光Ｌ２の波長毎の強度の検出値に相当する値に変換する変換係数Ｋ（λ）を記録する係数記録部９２と、照射光Ｌ１の波長毎の強度の検出値及び変換係数Ｋ（λ）より求まる、基準測定対象物からの反射光Ｌ２の波長毎の強度に相当する値に基づいて、波長毎の反射率を算出する反射率算出部９３とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＳＰＭを用いた観察において、観察者が位相等、高さ以外の物理量について試料上の関心領域を指定する際の作業性を向上させる。
【解決手段】試料観察表示画面３０中のナビゲーションウインドウ３３には試料上の観察可能範囲を示す範囲指示画像３４が表示され、該画像３４には拡大観察範囲を指示するための関心領域設定指示枠３５が重ねて表示される。また、画像履歴一覧表示ウインドウ３２には同試料に対してそれまでに取得された拡大画像のサムネイルが一覧表示され、観察者が任意の画像を選択指示すると、そのサムネイルが範囲指示画像３４上にマッピング表示される。これを参照して観察者がマウス操作により関心領域設定指示枠３５の位置、大きさ、角度を変更すると、それに応じた試料上の拡大画像が新たに取得される。 （もっと読む）

【課題】タイヤサイド部におけるマークを打点すべき位置に凹凸が存在する場合であっても、マーク不良を起こすことなくマークを打点し、かつ、打点されたマークを迅速に検査することが可能なマーク打点方法及びマーク打点装置を提供する。
【解決手段】タイヤサイド部の表面におけるマーク打点予定領域を撮像手段により撮像し、当該撮像されたマーク打点予定領域における基準面に対する凸部表面の高さが予め規定された閾値を下回るときにマーク打点予定領域にマークを打点する。 （もっと読む）

【課題】自由度の高い画像測定装置及び画像測定方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る画像測定装置は、撮像手段と、撮像手段によって被測定対象を撮像して得られた画像情報から被測定対象の座標情報を算出する演算手段とを有し、演算手段は、撮像手段によって被測定対象を撮像して得られた画像情報を、撮像手段に固有の誤差情報によって補正して補正画像情報を得る誤差補正手段と、補正画像情報から被測定対象の座標情報を算出する座標算出手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】トロリ線の連続したエッジ検出を行うことができるトロリ線検査装置を提供する。
【解決手段】トロリ線検査装置において、トロリ線４を照らす照明３と、前記照明３の両脇に１台ずつ設置してトロリ線４を撮影する左カメラ１０及び右カメラ１１と、前記左カメラ１０及び右カメラ１１により撮影した画像中の前記トロリ線４の軌跡の下側のエッジを検出して前記トロリ線４の高さと偏位を測定する画像録画及び画像処理部２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】反り量を搬送途中で正確に能率よく測定でき、カケの発生を防止するセラミック基板の反り検査装置を提供する。
【解決手段】所定の位置に搬送させる搬送手段と、搬送中のセラミック基板１１の全幅を測定対象として通過させながら２次元レーザ変位計１２で検出させる検出手段と、検出値を、フィルタを通して整理した反り量を算出させる算出手段とを備え、搬送手段は、セラミック基板１１を吸着ヘッド１７で吸着して複数の測定テーブル１８のそれぞれの上面に連続して載置させるロータリーアクチュエータ１３と、測定テーブル１８を水平間欠割出回転させながらその上のセラミック基板１１の反り量を検出手段と算出手段で測定させるインデックステーブル１４と、測定テーブル１８の近傍に反り量測定後のセラミック基板１１を反り量のランク別に測定テーブル１８上から排出させる掻き出し体１５を有する。 （もっと読む）

【課題】任意の画像を用いてジャギー発生量を適切に測定すること。
【解決手段】画像読み取り装置における画像読み取り部を移動方向に移動させ任意の画像
を読み取り、画像データーを取得することと、前記画像データーに基づいて、前記任意の
画像においてジャギー発生量を測定するための測定領域を特定することと、前記測定領域
における画像データーに基づいて、前記画像読み取り装置におけるジャギー発生量を測定
することと、を含むジャギー発生量の測定方法。 （もっと読む）

【課題】 反射基材の製造工程においてインラインでも評価可能であり、簡易な方法で確実に輝度ムラの発生原因となる基材表面性状を評価することが可能な反射基材の評価装置および反射基材を提供する。
【解決手段】 レーザ変位計３により反射基材の７の表面形状情報を取得する。次に、得られた凹凸情報をフーリエ変換し、反射基材の表面凹凸形状について、周波数と強度との関係を得る。次に、算出された周波数と強度との関係と、あらかじめ設定された基準データとを比較する。所定範囲の周波数領域において、強度が０．６を超える場合には不合格判定を行い、当該判断領域において０．６を超えるデータがなければ合格判定を行う。 （もっと読む）

【課題】２つの表面領域を同期測定できるクロマティックポイントセンサ装置（ＣＰＳ装置）の動作方法を提供すること。
【解決手段】２光束アッセンブリが取り付けられた１光束ＣＰＳ光学ペンを用いたセンサ装置の第１測定光束および第２測定光束を、それぞれ第１表面領域および第２表面領域に位置合わせする。２つの反射光が２光束ＣＰＳの共焦点開口部を通過する。第１測定光束および第２測定光束にそれぞれ起因する第１測定および第２測定を含んだ少なくとも１の測定セットを実行する。様々な位置での測定セットの実行のため、少なくとも第１表面領域を移動させる。各測定結果は、極めて良好な分解能（例えば、少なくとも１０ｎｍの分解能）で決定される。本センサ装置と動作方法は、干渉計または他の高額で複雑な構成要素を使わないで、高い分解能と精度を必要とする測定に適用できる。 （もっと読む）

【課題】表示パネルと光学手段との相対的な位置精度を低コストかつ高速に検出できる、実装精度検査方法及びその検査方法を用いる検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象となる表示装置は、複数の画素群が配列された表示パネルと、画素群から複数のＮ（Ｎは２以上の自然数）視点に向けた画像表示を提供するための光学手段と有する。検査装置は、視点毎に異なる画像信号を有する検査パターンを表示装置に出力する画像出力手段と、表示装置から表示された検査画像の境界線分の傾きと位置を抽出する抽出手段とを備え、抽出手段が抽出した傾きと位置に基づいて表示パネルと光学手段との位置精度を検出する。 （もっと読む）