【課題】簡単な装置構造で、目視検査に近い多数の条件にて外観異常部と表面深さ異常部を総括的に評価して検査できる。
【解決手段】円柱周面検査装置１０は、円柱体１の周面に明視野から暗視野の縞模様を映す照明部１２と、円柱周面に投光するラインレーザ投光器と、円柱周面を撮像するカメラ１４と、撮像画像データから円柱体１の異常部を抽出する画像処理装置３０を備えている。画像処理装置３０は、照明条件及び撮像角の違う複数の展開画像を位置を合わせて仮想画面階層配列に再構成し、層別画像データより円柱体１の外観異常部を抽出する外観異常検査部と、画像データよりラインレーザ光が投光された円柱周面の位置を割り出して表面深さ異常部を抽出し、位置を合わせて階層の仮想画面配列にマッピングする表面深さ異常検査部と、目視検査に似せて異常抽出条件の違った多数のデータから総括的に円柱体１の合否判定する判定部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】フォーカスの精度を良好に維持できる光学式測定装置を提供すること。
【解決手段】投影板にはサイズの異なる複数のパターンＰ１〜Ｐ３が形成され、小さなサイズのパターンＰ１〜Ｐ３ほど投影板を透過する光束の中心軸Ｌ近くに配置されている。そのため、低倍率の時には、光束の中心軸Ｌから離れた位置にある大きなサイズのパターンＰ３が用いられ、高倍率の時には、光束の中心軸Ｌに近接配置される小さなサイズのパターンＰ１が用いられることとなるので、ズーミングに伴うパターンＰ１〜Ｐ３のサイズの変化を抑制でき、フォーカスの精度を良好に維持できる。 （もっと読む）

【課題】３次元方向（奥行き方向）の動きベクトルを検出することが可能な移動ベクトル検出装置を提供する。
【解決手段】距離画像を用いて移動ベクトルを検出する移動ベクトル検出装置において、撮像素子を用いて、所定タイミングごとに、画素値が測距対象物までの距離値である距離画像を生成する距離画像生成手段と、前記距離画像生成手段により異なるタイミングで生成された二枚の距離画像それぞれに含まれる特定の測距対象物までの距離値及び前記特定の測距対象物の前記二枚の距離画像中それぞれの位置に基づいて、前記特定の測距対象物の奥行き方向の移動ベクトルを算出する第１ベクトル算出手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】誤検出を低減して欠陥検出の精度を高め、しかも検査時間の短縮とコスト低減とを同時に図る。
【解決手段】照明光学系は、光を焦点面上に集光して被検査物１００に照射するとともに前記焦点面上の集光点を走査させる。光分割部２０は、被検査物１００から得られる光を分割する。第１の光検出部２１Ａは、集光レンズ３１Ａ、光制限部３２Ａ及び光検出器３３Ａを有し、分割後の一方の光を検出する。第２の光検出部２１Ｂは、集光レンズ３１Ｂ、光制限部３２Ｂ及び光検出器３３Ｂを有し、分割後の他方の光を検出する。光制限部３２Ａと共役な平面と光制限部３２Ｂと共役な平面とは、前記焦点面の付近において、互いに光軸方向にずれている。 （もっと読む）

【課題】ＳＤ−ＯＣＴ方式において、測定範囲を確保し、かつ低コストで高分解能化を可能とする。
【解決手段】低コヒーレンス光を射出する光源と、前記光源から射出された光を測定光と参照光とに分割する光分割手段と、前記測定対象からの測定光の反射光と前記参照光とを合波する合波手段と、前記合波された前記反射光と前記参照光との干渉光の方向を時間に応じて変化させる光線偏向手段と、前記偏向された干渉光を分光する複数の異なる波長帯域を有する分光手段と、前記分光された干渉光を検出する干渉光検出手段と、前記検出された干渉光に基づいて前記測定対象の断層画像を取得する画像取得手段とを備え、前記光線偏向手段により前記干渉光の方向を時間に応じて変化させ、前記分光手段が前記干渉光を分光する波長帯域が時間に応じて変化するようにした。 （もっと読む）

【課題】
レーザ光源からの光束で物体表面を走査し、その反射光で物体表面形状を観察する装置で、倍率の変換と広範囲の走査を高品質で行う。
【解決手段】
レーザ光源１からの光束を光偏向器４、ｆθレンズ７を経て一旦、一次結像面１４に結像する。その光束を交換光学系２２を介して物体８に向かわせて走査していく。走査した反射光は往路に戻して受光部に１１に送られ、制御部１２から表示部１３に伝えられて表示される。この表示された画像を観察する。前記の交換光学系２２は中継レンズ２０と結像レンズ２１が鏡筒２３に収容された両側テレセントリックレンズとして構成される。そしてこの鏡筒２３を倍率ごとに準備し、交換自在として必要倍率の鏡筒２３をセットする。


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【課題】短時間のうちに光沢面の表面形状を正確に測定できる形状測定装置およびその形状測定方法を提供する。
【解決手段】形状測定装置１は、顕微鏡用試料台１６に載置された試料１５の表面像を撮像する撮像部２５と、撮像部２５の撮像光学系の光軸に沿って、撮像光学系を試料１５に対して周期的に相対移動させ、移動量を記憶して出力するピエゾ駆動制御装置と、表面像に試料１５の表面の凹凸を反映した試料１５の表面からの反射光の強度ムラを重ねる二光束干渉対物レンズ１４と、ピエゾ駆動制御装置から出力される撮像部２５の移動距離値の中、二光束干渉対物レンズ１４により反射光の強度ムラが重ねられた表面像を撮像する撮像部２５により撮像される複数の表面像の合焦度が最大となる移動距離値に基づいて、試料１５の表面の相対高さを演算して試料１５の表面形状を求める制御用プロセッサ２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】被測定面の面粗度の影響による測定誤差を緩和させ、測定目的に適した精度で被測定面の変位を検出することが可能な変位検出装置を提供する。
【解決手段】変位検出装置１０Ａは、光源１０２から出射された光を第１の対物レンズ１１４で集光して被測定面ＴＧに結像させる照射光学系１０３ａと、被測定面ＴＧで反射した光を集光して受光素子１２０に入射させる受光光学系１０３ｂを有した非接触センサ１００Ａを備え、非接触センサ１００Ａは、光源１０２と第１の対物レンズ１１４との間に、被測定面ＴＧに照射される光を分光して複数点に結像させる回折格子１３０Ａを備える。被測定面ＴＧに複数のビームを照射することで、被測定面ＴＧの変位を平均化して、面粗度の影響を受けにくくする。 （もっと読む）

【課題】波面測定方法および装置において、被測定面および参照面の相対移動の位置決め精度による測定誤差を低減して、波面測定の測定精度を向上することができるようにする。
【解決手段】被測定面および参照面の光軸方向の相対位置を測定基準位置が含まれる範囲で、一定の位相増分よりも細かいピッチで変化するように移動させて、相対位置の情報とｎ個の干渉縞画像の候補となるｍ個（ｍはｎより大きい整数）の候補画像とを取得する候補画像取得工程（ステップＳ１）と、ｍ個の候補画像のうちから解析候補画像群として、一定の位相増分を有すると見なすことができるｎ個の候補画像の組を複数選出する解析候補画像群選出工程（ステップＳ２〜Ｓ４）と、各組の解析候補画像群に応じた波面を算出する波面算出工程（ステップＳ５）と、各解析候補画像群の取得位置の位置ずれ量が最小となる波面を選択する波面選択工程（ステップＳ６）とを備える波面測定方法とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、指示体以外から投射された光であるノイズ光の有無を検出することが可能な位置検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明による位置検出装置は、同期信号投射手段５、６によって投射された非可視光を表示スクリーン１１の前面１１ａ側から受光することにより、非有効期間を認識する間、表示スクリーン１１の前面１１ａ側に光を投射して指示することが可能な指示体２と、指示体２から投射された光と指示体２以外から投射された光とを表示スクリーン１１の背面１１ｂ側から撮影して電気信号に変換する撮像手段３と、撮像手段３にて変換された指示体２以外から投射された光の電気信号を解析し、表示スクリーン１１上における指示体２以外から投射された光の有無を検出する画像処理手段４Ｂとを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ネジの首部のネジ山を正確に検査しながら、回転円筒のネジの吊り下げ片を十分な強度として、変形などの弊害を確実に防止する。
【解決手段】ネジの検査装置は、ネジ１の雄ネジ部１Ｂを案内してネジ頭１Ａを上面に引っかけて移送するスリット３を所定の間隔で設けている回転円筒２と、回転円筒２を回転させる回転機構１０と、回転円筒２のスリット３にネジ１を供給する供給機構４と、回転円筒２で移送されるネジ１を検査する検査機構６とを備える。検査機構６は、光源７とカメラ８と演算検査器９とを備える。検査装置は、光源７の光をスリット３に透過させてカメラ８で受光し、カメラ８から出力される映像信号を演算検査器９で演算処理してネジ１を検査する。回転円筒２は、スリット上端の両側に一対の吊り下げ片２０を一体構造に設けている。一対の吊り下げ片２０は、その内面を、上端に向かってスリット幅を狭くするように傾斜または湾曲している。 （もっと読む）

【課題】距離カウンタＰと幅カウンタＷのサンプリング周波数のみに依存せずに形状測定装置と測定対象物との表面との間の距離測定の精度を向上させることができる３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】ＣＣＤラインセンサ部による反射光の分布に複数の閾値を設定し、各閾値のそれぞれに基づき距離カウンタ値Ｐと幅カウンタ値Ｗを取得する。そして、各距離カウンタ値と前記各幅カウンタ値とを足し上げて、ＣＣＤ素子の信号の揺らぎによって得られる複数の閾値による各値を利用し実質的にサンプリング周波数を高めた場合と同等の分解能を獲得し、より正確な測定対象物との距離を算出することができる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の照射位置における戻り光の正確な光量を測定することにより、正確な位置情報及び輝度情報に基づく正確な３次元画像を生成可能な３次元画像走査装置を提供すること。
【解決手段】レーザダイオード２と、第１光学系と、照射位置移動手段と、エンコーダ６ａと、第２光学系と、ＣＣＤラインセンサ部１３と、入射光量測定手段とを有し、検知手段から出力された検知信号により所定時間の間隔を有する複数のタイミング信号が生成され、タイミング信号によってＣＣＤのリセットタイミングが制御し、一のタイミング信号後に確認用レーザ光の光量を入射光量測定手段により測定し、この確認用レーザ光の光量から測定用レーザ光の発光量が決定され、入射光量測定手段からの出力に基づくデータ（一定光量出力の確認用レーザの光量）を陰影情報に利用して３次元画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】ＣＣＤ本来の感度を得る事と、積分等の歪の無い生波形の後処理ができる事と、その例として測定対象物の角（エッジ）部分においても正確な距離情報を取得することができる３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る３次元形状測定装置は、マッピングデータの処理を用いることにより、デジタル最高値を中心にして、デジタル最高値を示すＣＣＤから徐々に離れた位置に配設されているＣＣＤのデジタル値がこのデジタル最高値よりも徐々に低い値を示すという分布状態を把握することができ、これにより正確に測定対象物の表面に反射したレーザ光が本来収束すべきＣＣＤを特定する。アナログ回路が減る、部品点数が減る、発熱が減る、消費電力が減る、エコである。 （もっと読む）

【課題】光の反射率が異なる複数の測定対象部位を有する試料に対しても精度の高い測定を可能とする。
【解決手段】メモリ６５には、試料３０の第１及び第２の測定対象部位に応じた光量設定データを予め記憶されている。制御ユニット６０の第１の画像取得制御部６２は、第１の光量設定データで表される光量の光により、共焦点顕微鏡の各焦点位置で得られた各画像の中で輝度が最も高い画素のみが選択された画像を取得し、その画像をメモリ６６に記録する。続いて、第２の画像取得制御部６３は、第２の光量設定データで表される光量の光により、共焦点顕微鏡の各焦点位置で得られた各画像の中で輝度が最も高い画素のみが選択された画像を取得し、その画像をメモリ６６に記録する。そして、３次元測定装置は、第１及び第２の画像取得制御部６２，６３により取得された画像から輝度が最大の画素が撮像されたときの焦点位置から第１及び第２の測定対象部位の高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】 被検物の三次元画像の取得及び三次元計測の時間の短縮化を図ることができる共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】 被検物１１に照射される照明光束を射出する光源１２から被検物１１に至る光路上に、対物レンズ１３を経た照明光束が集光する複数の集光点２４，２５，３９，４０，４１を対物レンズ１３の光軸上に形成するための集光点形成部材２０を配置する。 （もっと読む）

【課題】測定可能な内面条件を広く確保し、より高精度な測定結果が得られる内面測定装置を提供する。
【解決手段】スリット光を照射された被測定物の内面を撮像する撮像手段５を備えた内面測定装置１。撮像光軸を前記スリット光照射内面に偏向するための撮像プリズム４が配置され、スリット光照射内面でのスリット光の反射光量が全測定範囲において撮像手段５の最小感度光量以上でかつ飽和光量内となるようにスリット光の照射方向と撮像プリズム４の配置位置とが調整され、スリット光の照射角度と撮像光軸の撮像角度とに応じて、撮像面５１ａが撮像光軸に対して傾けられている。 （もっと読む）

【課題】対物レンズを切り替えても精度良くセクショニングが可能で標本の画像取得後に所望のセクショニング分解能の正確な共焦点画像を得る。
【解決手段】光源５の光を走査する走査手段１６と、走査手段１６を経た光を標本３に集光する対物レンズ１３と、観察光の光路を分割する分割手段１９と、対物レンズ１３の焦点と略共役な位置で分割手段１９で分割された一方の光路上に配置された開口径を変更可能な第１ピンホール手段２０と、該手段２０と開口径が異なり対物レンズ１３の焦点と略共役な位置で分割手段１９で分割された他方の光路上に配置された第２ピンホール手段２２と、これらのピンホール手段２０，２２を通過したセクショニング分解能の異なる２つの光束から得た２つの共焦点画像のデータに基づき前記共焦点画像とセクショニング分解能の異なる共焦点画像を作成する演算手段３７を有する共焦点顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の照射位置における戻り光の正確な光量による計測が可能な形状測定装置を有する３次元形状測定器を提供すること。
【解決手段】レーザダイオード２と、第１光学系と、照射位置移動手段と、エンコーダ６ａと、第２光学系と、ＣＣＤラインセンサ部１３と、入射光量測定手段とを有し、検知手段から出力された検知信号により所定時間の間隔を有する複数のタイミング信号が生成され、タイミング信号によってＣＣＤのリセットタイミングが制御されており、一のタイミング信号後に確認用レーザ光をレーザダイオード２から照射し、確認用レーザ光の光量を入射光量測定手段により測定し、入射光量測定手段により測定された確認用レーザ光の光量から測定用レーザ光の発光量が決定される。 （もっと読む）

【課題】光トモグラフィー計測を用いた光断層画像化システムにおいて、干渉信号のＳ／Ｎ比を向上させる。
【解決手段】一定の周期で波長を掃引した光を用いた光トモグラフィー計測において、反射光Ｌ３と参照光Ｌ２との干渉光Ｌ４が光分岐手段５により第１干渉光Ｌ４ａと第２干渉光Ｌ４ｂとに分岐される。第１干渉光Ｌ４ａと第２干渉光Ｌ４ｂとは、干渉光路長調整手段６０Ａ、６０Ｂにより光路長が同一になるように調整された後、干渉光検出手段７０においてバランス検波される。 （もっと読む）