【課題】第８世代や第１０世代のガラス基板に対する欠陥検査や欠陥修正に対応できる基板保持装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板保持装置は、固定端とテンション端との間に張架されると共に第１の方向に沿って延在する支持ワイヤ（７〜１０）を含む複数のワイヤ支持機構（３〜６）と、ワイヤ支持機構の各支持ワイヤに対して第１の方向に沿って移動可能に連結されたステージ（３０）と、ステージを第１の方向に案内するガイド手段（４４）と、ステージを第１の方向に沿って移動させる駆動装置（５１，５３）とを具える。ワイヤ支持機構の各支持ワイヤは、同一の平面内において互いに平行に張架され、複数の支持ワイヤ上に基板が載置された際、当該ステージは、支持ワイヤ上に載置された基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動する。ステージは、基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動するので、支持ワイヤによる影響を受けることなく各種処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】道路を高解像度で表す三次元モデルを生成できるようにすることを目的とする。
【解決手段】画像処理部１１０はカメラ画像を選択し、所定の処理範囲を処理範囲画像１９１として抽出し、処理範囲画像１９１のレンズ収差を補正する。画素点群生成部１２０はカメラ画像と三次元点群１９８とに基づいて処理範囲画像１９１の各画素に対応する三次元座標値および色情報を示す画素点群１９２を生成する。画素補間点群生成部１３０は画素点群１９２に基づいて画素点が低密度である部分を補間する画素補間点群１９３を生成する。道路三次元モデル生成部１４０は画素点群１９２と画素補間点群１９３とを含んだデータを道路三次元モデル１９４として生成する。 （もっと読む）

【課題】角度分解能を損なうことなく微小な被測定物の傾斜角度を広い角度範囲で高精度に測定することができる角度測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物６に光ビーム１３を出射する光出射手段１１と、被測定物６からの反射光ビーム１３Ａを受光する光受光手段１２と、光出射手段１１から出射した光ビーム１３を被測定物６に照射し、被測定物６の測定面からの反射光ビーム１３Ｂを光受光手段１２に導く光ファイバ１４と、光ファイバ移動機構１９と、被測定物移動機構２１と、光ビーム１３のスキャン角度と結像位置の関係に線形性を付与するレンズ２０と、光受光手段１２によって受光した反射光ビーム１３Ｂの強度から被測定物６の傾斜角度を算出する測定部１５等を備えている。レンズ２０としては、テレセントリックＦ−θスキャンレンズが用いられる。 （もっと読む）

【課題】
高速に任意の形状を測定し得る物体形状測定装置を提供する。
【解決手段】
被測定体を囲む枠体１内面に一定間隔で発光素子２と受光素子３を配置し、発光素子２をひとつずつパルス発光する。そして光を検出した受光素子３をスキャンして被測定体に対する接線上にある発光素子と受光素子の組を選択し記憶する。
被測定体の全周に渉り以上の処理を繰り返した後に求めた発光素子と受光素子の組から接線の式を求め、接線の交点を演算して補間することにより被測定体の外形データを得ることが出来る。 （もっと読む）

【課題】管状品の内表面検査を行うに際に、カメラおよび光源の設置スペースを最小限に抑えつつ、有害な凹凸欠陥と無害な模様を確実に判別し、凹凸欠陥のみを検出することができる内表面検査方法を提供する。
【解決手段】管状品の中心軸に対して傾斜した光学中心軸を有し、管状品の開口端から管状品の内表面の所定領域を撮像するカメラと、カメラの光学中心軸および管状品の中心軸を含む面を挟んで対称に配置され、開口端から所定領域を照明する一対の光源と、を用い、光源からの照明を順に切り替えて同一の所定領域をカメラにより撮像し、それぞれの画像の同一画素間で濃淡の差分を演算し、その濃淡差分の情報に基づいて、凹凸欠陥５、６により出現した影５ａ、５ｂ、６ａ、６ｂを認識し凹凸欠陥５、６を検出する。 （もっと読む）

【課題】物体判断システム、物体判断方法およびプログラムを提供する。
【解決手段】所定方向に電磁波を発する第１の電磁波発生装置と、前記第１の電磁波発生装置から発せられる電磁波と交差する方向に電磁波を発する第２の電磁波発生装置と、前記第１の電磁波発生装置から発せられる電磁波と前記第２の電磁波発生装置から発せられる電磁波の交差範囲に存在する物体を撮像する撮像装置と、前記第１の電磁波発生装置および前記第２の電磁波発生装置による電磁波の発生を切替える制御装置と、前記第１の電磁波発生装置による電磁波の発生時に撮像された第１の画像、および、前記第２の電磁波発生装置による電磁波の発生時に撮像された第２の画像に基づき、前記物体の物理的形状に関する判断を行なう判断部、を有する判断装置と、を備える、物体判断システム。 （もっと読む）

バンド付き領域及び非バンド付き領域を含有するシガレット紙を検査するためのシステム。システムは、シガレット紙の特性を表す電気信号を形成する短波赤外線カメラ（２２４）と、電気信号を解析して解析結果を提供するプロセッサとを含み、プロセッサは、各連続ピクセルが非バンド付き領域又はバンド付き領域に対応するか否かを判断するためにピクセルを連続的に調べるための論理と、連続的に調べるための論理によって提供された結果に基づいて、シガレット紙上の隣接するバンド付き領域間の間隔を計算するための論理と、連続的に調べるための論理によって提供された結果に基づいて、シガレット紙上のバンド付き領域の幅を計算するための論理とを含む。バンド付き領域及び非バンド付き領域を含有する紙を検査するためのオンライン方法も提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、集積回路ダイ又はチップを特徴とする半導体ウェーハのパターン化構造において、ランダムに存在する製造欠陥を電気光学的に検出するための方法及びシステムに関する。
【解決手段】パルス式レーザの短い光パルスで、顕微鏡レンズを有する電気光学カメラシステムの視野を照射し、各々４つの二次元ＣＣＤマトリックス光検出器のアレイを含む６つの検出器集合体から形成された光学撮像システムの焦点面に光検出器の表面を光学的に形成する焦点面アセンブリ上に移動中のウェーハを撮像する。二次元ＣＣＤマトリックス光検出器の各々が、２００万ピクセルのマトリックス電子画像を作成し、異なるＣＣＤマトリックス検出器の同時作成画像を画像処理技術により並行処理し、撮像視野を、基準となる別の視野と比較し、対応ピクセルの差異を、ウェーハダイ欠陥の存在を示すものとして検出する。 （もっと読む）

【課題】撮影範囲に対してスリット光に照らされた部分が占める割合が大きい場合であっても、画像処理の処理時間を短くすることができる顔向き検出装置を提供する。
【解決手段】スリット光画像１０内のスリット光１１部分を特定して、スリット光１１を抽出し、スリット光１１の大きさと位置を算出し、スリット光１１の大きさに応じてその後に撮像されるスリット光画像１０の画像処理範囲を縮小させるよう画像処理範囲を設定することで、スリット光１１の部分を確実に画像処理し、かつ、画像処理時間を短縮する。 （もっと読む）

【課題】画像取り込み速度が変化した場合でも、解析に必要な枚数の干渉縞画像を取得し、精度の高い解析を行う。
【解決手段】光束を測定光と参照光とに分割して干渉縞を形成し、フリンジスキャニングによって画像取得部に取得した複数の干渉縞画像から選択した解析画像を用いて被測定面の形状を算出する干渉縞計測方法は、画像取得部の画像取得速度を計測する画像取得速度計測工程Ｓ１０と、参照面を移動させながら複数の干渉縞画像を候補画像として取得する候補画像取得工程Ｓ２０と、各候補画像の輝度変化データから、各候補画像の位相変化を算出する位相変化算出工程Ｓ３０と、位相変化に基づいて、候補画像の中から解析画像を選択する画像選択工程Ｓ４０とを備え、画像取得部の画像取得速度は、画像取得速度計測工程Ｓ１０における計測結果に基づいて所定速度に設定され、参照面の移動速度は、画像取得部に設定された所定速度に基づいて設定される。 （もっと読む）

被験物体からの試験光と参照光とを合成して、検出器上に干渉パターンを形成する光学系を含む広帯域走査干渉計システムから構成される装置。本装置は、共通の光源から検出器への試験光と参照光との間の光路差（ＯＰＤ）を走査するように構成されたステージと、一連のＯＰＤ増分の各々に対する干渉パターンを記録する検出器を含む検出系であって、各ＯＰＤ増分の周波数がフレームレートを定義する、検出系とを含む。光学系は、走査時のＯＰＤの変化を示す少なくとも２つの監視干渉信号を生成するように構成され、検出系は、監視干渉信号を記録するように構成される。本装置は、フレームレートより高い周波数において、ＯＰＤ増分への摂動に対する感度でＯＰＤ増分に関する情報を決定するように構成されたプロセッサを含む。
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深さ方向に間隔を空けられた異なる対象領域を目視顕微鏡法および光干渉断層法によって検査可能にする画像化システムが提供される。軸方向視野および方位分解能は、画像化システムによってどの対象領域を検査するかに依存して変更される。提案される画像化システムは、人間の目の完全な検査に特に適用可能である。
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【課題】プロファイルラインの指定と関心領域の指定との相互間の位置関係を容易に把握できるようにする。
【解決手段】画像表示領域１０８での試料の平面画像の表示に対してなされる、試料のプロファイルを表すプロファイル画像における当該プロファイルの表示範囲の指定を、演算部１０３が取得する。プロファイル描画部１０５は、当該表示範囲のプロファイル画像をプロファイル表示領域１０９に表示させる。演算部１０３は、画像表示領域１０８での平面画像の表示に対してなされる関心領域の指定を取得し、プロファイル描画部１０５でのプロファイル画像での表示において、当該関心領域に対応する範囲を判別する。プロファイル描画部１０５は、プロファイル表示領域１０９でのプロファイル画像における、当該関心領域の範囲内の画像と当該範囲外の画像とを、異なる態様にして表示させる。 （もっと読む）

【課題】駆動機構による光センサの移動速度の変化に拘わらず変位データを取得し、その後に一定距離間隔の変位データだけ抽出する構成とすることで、測定時間の短縮を図る。
【解決手段】移動機構手段４２により基板１０に対する光センサ３１の位置を速度が変化しながら移動させる。その移動中に、光センサは光学的に基板１０の表面の高さ方向の変位を検出する。Ａ／Ｄ変換手段３２ｂ及び変位算出手段３２ａは、光センサからの変位をクロックでデジタルの変位データに変換して出力する。データ取得部５０は移動機構手段が移動するときの移動量を基に、移動量の所定間隔毎に、前記変位算出手段３２ａからの前記変位データを抽出する。画像生成手段６０は所定間隔毎の変位データを基に、基板の表面上の形状を示す画像データを生成する構成とした。 （もっと読む）

【課題】追従部の摺動抵抗が可動部の位置精度へ与える影響を小さくすることができる同期移動装置を提供すること。
【解決手段】架台２にビーム支持体５１を介して支持されたＸ軸ビーム５２に移動可能に設けられた可動部であるＸスライダ５３と、Ｘ軸ビーム５２に回転自在に支持された送りねじ軸５４１と、これに螺合されたナット部材５４２と、Ｘスライダ５３およびナット部材５４２を連結するフローティングユニット７と、架台２に移動可能に設けられてフローティングユニット７に接続された追従部である追従スライダ８２とを備える。フローティングユニット７は、Ｘスライダ５３に固定された第１の部材７１と、ナット部材５４２に固定された第２の部材７２と、これらに介在して設けられ送りねじ軸５４１の振れ運動を吸収する中間部材７３とを有し、追従スライダ８２は第２の部材７２にワイヤ８３により接続されている。 （もっと読む）

【課題】 受光器や受光器が出力する信号を処理する回路の数の増加をせずに、２次反射による反射光の影響を除外することができる３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 異なった照射角度で２回の測定が行われ、そのときの反射光は同一の受光器に受光される。１回目の測定により求められた第一形状データに属する座標値が対象座標値とされ、２回目の測定により求められた第二形状データに属する座標値が比較座標値とされる。全ての対象座標値のそれぞれについて、その対象座標値により表される点を中心とした所定空間範囲内に存在する座標点を表す比較座標値の数Ｃがカウントされる。ＣがＭ以下であれば、その対象座標値が除外される。除外されなかった対象座標値が正規の座標値として抽出される。抽出された座標値を用いて精度の良好な３次元画像が生成される。 （もっと読む）

【課題】白色干渉を用いた被測定物の表面高さの測定において、短時間で測定光束の焦点位置を調節可能な寸法測定装置を提供する。
【解決手段】寸法測定装置１は、白色光源２と、白色光源２から放射された光を、被測定物の表面高さに応じた光路長を有する測定光束と参照光束とに分割する光線分割素子３と、光線分割素子３から出射された参照光束の光路長を変化させる参照光走査光学系５と、測定光束内に配置された焦点可変レンズ４１と、測定光束の光路長と参照光束の光路長が略等しい場合に生じる干渉信号を検出し、その干渉信号に対応する信号を出力する検出器６と、参照光束の光路長と測定光束の光路長が等しいときに測定光束が反射される位置において測定光束が焦点を結ぶように、焦点可変レンズ４１の焦点距離を調節し、かつ干渉信号の最大値に対応する参照光束の光路長を求めることにより、被測定物の表面高さを求めるコントローラ７とを有する。 （もっと読む）

【課題】 検者が所望する部分を高感度で観察できる。
【解決手段】 被検物に照射された測定光と参照光との干渉光によるスペクトル情報を検出するために配置された干渉光学系であって、光路長を変化させるために配置された駆動部と、を有する干渉光学系と、表示手段と、スペクトル情報をフーリエ解析して断層画像を取得し，表示手段に断層画像を表示する制御手段と、を備える光断層像撮影装置において、制御手段は、光路長が一致する深度位置より奥に被検物の表面が位置されるように駆動部の駆動を制御して被検物の断層像の正像を取得し、前記深度位置より手前に被検物の表面が位置されるように駆動部の駆動を制御して被検物の断層像の逆像を取得し、正像及び逆像に対応する分散補正処理，及び正像と逆像の両画像に対する画像合成処理，の少なくともいずれかを行い、処理後の画像を表示手段の画面上に表示する。 （もっと読む）

【課題】分解能を高めた画像処理方法を提供する。
【解決手段】物体を撮像装置に対して相対移動させながら当該撮像装置により得られた、物体の表面の複数の画像に基づく画像処理方法であって、複数の画像から物体の表面における同一箇所に該当する部分を抽出するとともに、当該抽出した部分の信号強度から物体の表面高さを求めて、表面高さの度数分布を求めるステップ（Ｓ１０１〜Ｓ１０２）と、度数分布に基づいて表面高さの確率密度関数を算出し、確率密度関数が最大となる表面高さを表面高さの真値として求めるステップ（Ｓ１０３）とを有している。 （もっと読む）

【課題】従来、分光器を用いて断層を計測する手法においては、離散フーリエ変換を用いていたため、断層の値は離散的な値しか表現できなかった。そのため、断層の計測精度の向上が求められていた。
【解決手段】本発明に係る断層像計測方法は、波数スペクトルから、層厚の光学距離に対応した情報を計算する第１の工程と、前記光学距離に対応した情報から、各層の情報を分離して抽出する第２の工程と、各層の情報をそれぞれ再度波数スペクトルに変換する第３の工程と、第３の工程の結果から干渉波数を求める第４の工程と、干渉波数と各層の光学距離とから干渉次数を算出する第５の工程と、干渉次数が整数であることを利用して各層の光学距離を計算する第６の工程と、を含む。 （もっと読む）