【課題】 構造が簡単で、高速で撮像できる光コヒーレンストモグラフィー装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 光コヒーレンストモグラフィー装置は、光源１６と、光源光を、参照光２９と被計測試料２２に照射する計測光２８とに分ける光分割部１９と、計測光２８と、参照光２９とを干渉させて干渉光とする干渉部１９と、干渉光を計測する光検出部２６と、運動可能な計測ヘッド２０１であって、その運動によって計測光２８が被計測試料２２に照射される位置が変化する計測ヘッド２０１と、計測ヘッド２０１の運動を測定する力学量センサ３８と、光検出部２６で計測された干渉光と、力学量センサ３８で測定された計測ヘッド２０１の運動に基づいて、被計測試料２２の情報を求める演算部２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 基板の表面に異物が存在するか否かを検査する。
【解決手段】 基台１上に設けられた口金部２と、図示しない駆動源によって所定方向に往復動可能な基板支承台３と、基板支承台３に吸着状態で支承される基板４と、口金部２と平行に半導体レーザー光を、所定の広がりを有する状態で照射する投光器５と、この半導体レーザー光を受光する受光器６とを有している。 （もっと読む）

【課題】 測定誤差の少ない変位センサを提供することを目的とする。
【解決手段】 変位センサ１０は検出光を出射するレーザダイオード１１と、検出光を収束させて被測定対象物Ｗに照射させる光学部２１と、被測定対象物Ｗからの反射光を受光するためのフォトダイオード２５と、検出光の焦点位置を光軸方向に振動させるための加振部３１並びにＣＰＵ３５を主体として構成されるとともに、これら全体が合焦装置、すなわち検出光の焦点が被測定対象物Ｗ上に生じた場合に、フォトダイオード２５の受光量が最大となるような光学系を形成している。そして、ＣＰＵ３５は対物レンズ２３の振動曲線Ｓを位置センサ４１からの位置信号Ｓｃから直接的に算出せず基準点ｔｏ、振幅Ｔ、周期Ａから決定する。そのため、位置センサ４１の信号波形がひずんだ波形であっても振動曲線、ひいては被測定対象物Ｗの変位量を正確に特定できる。 （もっと読む）

増分干渉計を使用することなく、移動外部再帰反射器またはそのほかの移動目標表面の１またはそれを超える次元の絶対距離測定および／または表面走査および／または座標測定が可能なレーザ・デバイスおよび方法。
（もっと読む）

【課題】 測定誤差の少ない変位センサを提供することを目的とする。
【解決手段】 変位センサは検出光を出射するレーザダイオード１１と、検出光を収束させて被測定対象物Ｗに照射させる光学部２１と、被測定対象物Ｗからの反射光を受光するためのフォトダイオード２５並びに、検出光の焦点位置を光軸方向に振動させるための加振部３１並びにＣＰＵ３５を主体として構成され、これら全体が合焦装置を構成している。そして、ＣＰＵ３５は対物レンズ２３の振動の周期Ｔ、振幅Ａから対物レンズ２３の振動曲線Ｓｏを特定するとともに、主としてフォトダイオード２５の受光信号Ｓｄから振動曲線の位相を決定する。その後、位相の調整を行って正規位相の振動曲線Ｓを算出し、これから合焦時における対物レンズ２３の位置を算出することとしている。このように、対物レンズ２３の位相を受光信号Ｓｄに基づいて決定すれば応答遅れの排除可能で、測定誤差の少ない変位センサを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 平面を有する対象物に異物などが混入した欠陥、特に異物による平面上の膜厚変動の欠陥を自動的に検出することのできる、欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 検査光を検査対象物に照射し、検査対象物において偏光分離された反射光を受光し、受光した反射光の光成分を光電変換して各偏光成分の値を示す干渉データを生成し、干渉データに基づいて、検査対象物の表面の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】発光ダイオードを用いて移動する対象物上の所定領域の画像を精度よく取得する。
【解決手段】画像取得装置１は、対象物９を連続的に移動するコンベア２、および、コンベア２の上方に設けられたヘッド部３を備える。ヘッド部３は、フラッシュ光を出射するＬＥＤ３１、対象物９にフラッシュ光を導くとともに対象物９からの光が入射する顕微鏡３２、および、顕微鏡３２により所定の倍率で結像された対象物９の像を電気信号に変換する撮像デバイス３３を有する。画像取得装置１では、連続点灯時の許容電流を超える電流がＬＥＤ３１に入力されて、コンベア２により移動する対象物９に対してフラッシュ光が照射され、対象物９上の検査領域の画像が取得される。これにより、ＬＥＤ３１を用いて移動する対象物９上の検査領域の画像を精度よく取得することができる。 （もっと読む）

【課題】昇降路内の形状を作業員が容易かつ安全に測定して的確に把握することができるエレベータの昇降路内寸法測定装置する。
【解決手段】エレベータのかご３が昇降路１内で昇降する間に、かご３から昇降路１の内壁に向けてレーザスリット光Ｌを連続照射するレーザスリット投光器２５と、昇降路１の内側に生じたレーザスリット光Ｌを撮影するレーザ照射面Ｌ１に対し所定の角度で配置されたＣＣＤカメラ２６と、かご３の高さ位置を検知する高さ位置検知手段３０と、ＣＣＤカメラ２６により取得した画像情報に基づいてレーザスリット光Ｌの位置での昇降路１内の形状を数値化する画像処理手段及び計算手段とを具備し、ＣＣＤカメラは所定の時間間隔で撮影を繰り返し、取得した画像情報を画像処理手段と計算手段と高さ位置検知手段による高さ位置の情報をもって３次元の情報を有する平面値に基づく３次元表示を可能にする。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は固定側と回転側間の信号伝達を非接触で行うことのできる検出器回転型の表面性状測定装置を提供することにある。
【解決手段】 固定側（１２）に対して非接触で回転運動する回転側（１４，１６）に設置され、被測定物の表面の凹凸による変位情報を検知する変位検知手段（１８）と、
固定側（１２）に設置され、光源（２２）からの光を測定光と参照光とに分割し、測定光を変位検知手段へと送り、光路長変化として変位情報を取得した変位測定光と参照光とを干渉させて光路長情報を取得する光波干渉手段（２０）と、
回転側（１４，１６）に設置され、変位検知手段と光波干渉手段とを結ぶ光の通路となる導光路と、を備え、
光波干渉手段からの測定光は導光路を通り変位検知手段へと至り、変位検知手段にて前記変位情報を取得した変位測定光とされ、変位測定光は再び導光路を通り光波干渉手段へと戻り、そこで検知した干渉縞情報から変位情報を得ることを特徴とする表面性状測定装置（１０）。 （もっと読む）

【課題】対象物の検出精度の低下を防止しつつ、作業者の負担を軽減することを目的とする。
【解決手段】基板処理装置に検出センサ４５０を構成する投光部４５０ａと受光部４５０ｂとを設ける。受光部４５０ｂを、投光部４５０ａから照射されるレーザー光の直接光を受光する位置から（＋Ｚ）方向にずらし、対象物によって反射される反射光を受光する位置に配置する。基板処理装置は、受光部４５０ｂがレーザー光を受光した場合には、対象物が存在すると判定して、スリットノズルの移動機構を制御する。 （もっと読む）

【課題】フォーカス調整装置を備える顕微鏡と光波干渉計とを備えた光学的測定装置においてより高い精度の測定が実現すること。
【解決手段】 顕微鏡が共焦点オートフォーカス顕微鏡として形成されるとともに、光源から発したフォーカスビームが対物レンズ１２を経て物体１とフォーカス検出器８とにフォーカスされるとともに、フォーカス調整装置１８とフォーカス検出器８とに連携しているフォーカス制御装置１７に前記フォーカス検出器８が測定信号を出力することで、この測定信号に応じてフォーカス制御装置１７が物体１の測定点が対物レンズ１２の焦点に位置するようにフォーカス調整装置１８を制御するように構成され、かつ光波干渉計はフォーカスビームをつくり出すための光源である。 （もっと読む）

コンポーネントの光精密測定装置及び方法。本方法では、光プローブがコンポーネントに対してある場所に設けられ（１２０）、光源ビームがコンポーネントに向けられる（１２２）。偏差が検出され（１２０）、コンポーネント特性データセット内に記憶される（１２６）。光源はコンポーネントに対して他の場所に移動され、追加的なデータが得られる（１３０）。本装置は、光源ビーム（３８）をもたらす光プローブ（２４）と、光プローブ（２４）をθ軸について回転するよう動作可能なプローブステージ（２２）と、コンポーネント（２８）をφ軸について回転するよう動作可能なコンポーネントステージ（２６）と、位置反応検出器とを含む。プローブステージ（２２）は、光源ビーム（３８）をコンポーネント（２８）に向け、光源ビーム（３８）は、コンポーネント（２８）から結果として生じるビームを生成し、位置反応検出器は結果として生じるビームを検出する。

（もっと読む）

試験物体に対する走査干渉データが得られる走査干渉法および関連するシステムについて説明する。データには通常、複数の走査位置のそれぞれに対して試験物体の異なる空間箇所のそれぞれに対する強度値が含まれる。各空間箇所に対する強度値によって通常、空間箇所に対する干渉信号が規定される。共通の走査位置に対する強度値によって通常、その走査位置に対するデータ・セットが規定される。各走査位置に対する走査値を得る。一般に、種々の走査値間の走査値増分は非一様である（たとえば、異なっている）。走査干渉データおよび走査値に基づいて、試験物体についての情報を決定する。通常、この決定には、干渉信号の少なくとも一部を、走査値に関して周波数ドメインに変換することが含まれる。
（もっと読む）

本発明は、表面の３次元検査及び測定用の両用（共焦点干渉）方式光学側面計に関する。本発明は、光源（ＬＥＤ）、ビームスプリッタ（少なくとも一つは偏光性）、照明パターン発生手段（ＬＣｏＳマイクロディスプレイ）、及び標準のレンズの形状では共焦点像が得られ干渉レンズでは干渉像が得られる交換可能な顕微鏡レンズを備える。本発明によれば、マイクロディスプレイは、共焦点像を得るために一連の光パターンを発生するか又は干渉像を得るために全ての光画素の全開口を生成することができる。本発明の側面計は小型に設計されており、異なる材質を含む組織化又は層状化された試料を含むミクロン及びナノメートルスケールの任意の型の表面の形状及びテクスチャの迅速及び非接触の測定が可能である。
（もっと読む）

【課題】 １若しくは複数の方向パラメータ及び特に先端が接点で表面に接触している長寸の物体の第２及び第３のオイラー角θ，ψを決定するためのステレオ視の原理を利用した装置及び方法を提供する。
【解決手段】 装置は、第１の視点から既知のパターンでプローブ放射線により表面を照明するための長寸の物体上に取り付けられた投光器と、第２の視点から表面から長寸の物体に戻るプローブ放射線の散乱部分を検出するための長寸の物体上に取り付けられた検出器とを有する。方向パラメータは、投射されたプローブ放射線によって生成される特徴部の形状と検出器によって検出される特徴部の形状との差などの、投射されたプローブ放射線と検出されたプローブ放射線の差から決定される。プローブ放射線のパターンは、１若しくは複数の方向パラメータの決定のための情報を供給するように選択され、線、楕円、矩形、多角形などの非対称パターン、または円、正方形、正多角形を含む対称の場合を含むことができる。パターンを生成するために、投光器は、ホログラフィック素子、回折素子、屈折素子、または反射素子及びこれらの任意の組合せなどの構造化された光学部品、または走査装置を用いることができる。本発明の装置は、ペン、鉛筆、またはスタイラスなどの筆記具の方向を決定するのに適している。 （もっと読む）

少なくとも一つの波長を有する光を分析するための装置であって、光を偏向して光の少なくとも一つの波長に相当する少なくとも一つの波長依存角度を特徴とする偏向された光ビームを与える偏光器（１２）と、偏向された光ビームを符号化して少なくとも一つの波長依存角度に相当する少なくとも一つの角度依存偏向状態を特徴とする符号化された光ビームを与えることができる符号器（２０）と、符号化された光ビームを復号して光の少なくとも一つのスペクトル成分を決定するための復号器（２４）とを含む。 （もっと読む）

本発明は、目の網膜の画像データの取得に特に有用な光学測定システム及び光学測定方法を提供する。データの取得はＯＣＴ測定によって行われ、これらの測定の品質は、能動光学素子をビーム経路内に配置することによって改善される。 （もっと読む）

例えばレーザに基づく座標測定装置、レーザトラッカ、又はその他の座標測定装置であり得る座標測定装置を補償する装置及び方法が提供される。一つの例示的な方法では、そのような補償は、埋め込まれたトラッカターゲットによるペイロードパラメータの自己補償を包含する。別の例示的な実施形態では、そのような補償は、埋め込まれた温度センサによるペイロード、アジマスポスト、軸、又はＲ0パラメータの自己補償を包含する。
（もっと読む）

試料特に（製薬）錠剤を調査するための方法及び装置である。放射体及び/又は試料は、最初は、放射体が所定の距離にあり、試料表面の最初に照射した点の法線方向に位置する。放射体は25GHz〜100THzの範囲で複数の周波数を持つ光を試料の複数の点に照射する。放射体と試料とは相対的に位置を変えることが可能である。ただし、その位置の変更は、放射体と試料との間では所定の距離（試料表面と放射体との）を保存し、放射体は各照射点の法線と一致させ、透過又は反射した光を各点で検出することが可能になるようにする。この特徴的な応用として（製薬）錠剤のコーティングの形状及び組成を画像化するというのがある。
（もっと読む）

【課題】本発明は、クロストークの低減された高精度な距離情報を取得可能にする距離情報入力装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様によると、輝度変調光源によって輝度変調された光が照射された前記対象物からの反射光を受光し、光電変換を行うと共に、前記輝度変調光源と同期して感度変調可能な受光素子を備えた距離情報入力装置において、前記受光素子は、光電変換部と、二つの電荷蓄積部と、二つの電荷振り分けゲートと、二つの電荷検出部と、二つの電荷転送部とを有し、前記受光素子のリセット動作と前記電荷蓄積部に蓄積された電荷を読み出す読み出し動作との間に、前記電荷振り分けゲートをオフして前記電荷蓄積部のポテンシャルを上げることによって飽和電荷量以上の余剰電子を排出する動作を少なくとも一回行なうことを特徴とする距離情報入力装置が提供される。 （もっと読む）