【課題】使い勝手の良い長寸法測定装置を提供すること。
【解決手段】長寸法測定装置１は、試料２が載置し、配置位置が固定されている試料台１０と、試料２に形成されたパターンに照明光を照射する照明ユニット２０と、照明光から得られたパターンの像を撮像する撮像ユニット３０と、試料台１０の平面度を調整し試料台１０を支持する平面度調整機構１２と、エアを試料台１０に送気し、試料台１０からエアを吸引する送気吸引部１６と、試料台１０にて浮上している試料２に吸着する吸着機構４０と、撮像ユニット３０をＺ方向に移動させるＺステージ５１と、撮像ユニット３０をＸ方向に移動させるＸステージ５２と、吸着機構４０を介して試料２をＹ方向に移動させるＹステージ５３と、試料２に形成されたパターン上の２点間の距離を測定する干渉測定ユニット６０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】振動の影響による３次元形状の測定誤差を低減した形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被測定物をライン光で照明して撮像するプローブと、プローブと被測定物とを相対移動させるリニアモータ１７と、照明の状態と撮像の状態から被測定物の形状を測定する形状演算部３４と、プローブの振れを検出する振れ検出部２８とを備え、振れ検出部２８に検出された振れに基づいて測定の補正を行うようになっている。 （もっと読む）

【課題】 角度情報を使用せずに、距離情報のみでターゲットの空間座標を精度良く特定することができる空間座標測定システムおよび空間座標測定方法を提供する。
【解決手段】 この空間座標測定システムは、測定物Ｗ上に設けられた一つのターゲットＴｇの空間座標を求める空間座標測定システムである。空間座標がそれぞれ特定された少なくとも３個以上のレーザートラッカー１と、前記３個以上のレーザートラッカー１のうちの３個のレーザートラッカー１から、前記一つのターゲットＴｇに対しレーザー光Ｌｂをそれぞれ照射させて測定した３箇所の距離の測定値と、前記３個のレーザートラッカー１の空間座標とから、前記ターゲットＴｇの空間座標を求める演算手段３とを有する。 （もっと読む）

【課題】 検出物までの距離、位置を検出する物体検出装置の提供
【解決手段】 投光素子ＬＥ（ｓ，ｔ）が検知光を投光しているとする。このときに、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ）、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ＋１）、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ＋２）、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ＋３）を、順次、作動させる。例えば、投光素子ＬＥ（ｓ，ｔ）が検知光を投光しているときに、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ＋３）が反射光を受光したとすると、物体が位置ｃ４付近にあると判断できる。投光素子ＬＥ（ｓ，ｔ）から投光方向ｌ１に向かって投光された検知光が、位置ｃ４付近に存在する物体によって反射され、その反射光が受光方向ｒ４に向かって進行し、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ＋３）によって受光されたと考えられるからである。
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【課題】チャックテーブルに保持された半導体ウエーハ等の被加工物の上面位置を計測する計測装置および計測装置を装備したレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源からの光を第１の経路に導くとともに第１の経路を逆行する反射光を第２の経路に導く第１の光分岐手段と第１の経路に導かれた光を平行光にし、この平行光を第３の経路と第４の経路に分ける第２の光分岐手段と第３の経路に配設され第３の経路に導かれた光を被加工物に導く対物レンズと、第２の光分岐手段と対物レンズとの間に配設された集光レンズと、第４の経路に導かれた平行光を反射し、この反射光を逆行せしめる反射ミラーと、第２の経路に導かれた反射光を回折する回折格子と、回折光の所定の波長域における各波長の逆数の光強度を検出するイメージセンサーと、検出信号からの分光干渉波形と理論上の波形関数に基づくフーリエ変換理論による波形解析を実行する制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】基板表面のレベル変動の測定時間を短縮する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、パターニングデバイスからパターンを基板（Ｗ）に転写するパターニングサブシステムを備える。パターニングサブシステムは、記録された基板表面のレベル変動の測定結果に従って制御される。レベルセンサ（ＬＳＰ，ＬＳＤ）は、レベルセンシング放射ビームを投影して基板表面の位置から反射させ、反射したセンシングビームを検出して位置の表面レベルを測定するために設けられる。レベルセンサは、少なくとも一つの移動光学素子（ＭＰ，ＭＤ）内蔵しており、基板表面を光学的移動（δＹ）により少なくとも一次元にスキャンして、レベルセンサと基板との間の機械的動作なしで異なる位置の表面レベルの測定結果を取得する。光路長等化手段は、成形リフレクタ及び／または追加的な移動ミラーを用いることにより、スキャンの間の焦点変動を回避するために配置される。 （もっと読む）

【課題】試料表面を正確に検出することができるレーザ共焦点顕微鏡及び表面検出方法を提供する。
【解決手段】照明光を射出するレーザ光源２と、試料１１に照明光を照射する対物レンズ１０と、対物レンズ１０の焦点位置と試料１１の間の距離を変化させるステージ１７と、レーザ光源２と対物レンズ１０の間に配置され光を偏光特性で分離する偏光ビームスプリッタ３と、偏光ビームスプリッタ３と対物レンズ１０の間に固定されたλ／４板７と、偏光ビームスプリッタ３と対物レンズ１０の間で挿脱可能なλ／４板８と、焦点位置と光学的に共役な位置に配置された共焦点絞り１３と、共焦点絞り１３を通過した試料１１からの検出光の強度に応じた信号を出力する光検出器１４と、を含んでレーザ共焦点顕微鏡を構成する。多重反射試料を観察する場合にλ／４板８を偏光ビームスプリッタ３と対物レンズ１０の間に挿入して観察する。 （もっと読む）

【課題】自己位置推定機能と足元の障害物検出機能とを良好に両立させること。
【解決手段】非接触式の距離センサ１７と、移動状況に関する所定の条件に基づいて、足元の障害物検出処理か自己位置推定処理のいずれの処理を実行するか判定する判定部５８と、足元の障害物検出処理を実行する場合に、距離センサ１７からの測定信号の方向を足元付近に向けて変化させ、自己位置推定処理を実行する場合に、測定信号の方向を遠方の対象物を測定可能となる向きに変化させる反射部１９と、距離情報に基づいて足元の障害物を検出する足元障害物検出部５７と、距離情報に基づいて自己位置を推定し、移動量から求めた自己位置を、推定した自己位置を用いて補正する自己位置推定部５５と、検出した障害物情報と、補正した自己位置とに基づいて、移動装置２３の制御を行う走行制御部５９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】計測前までの組み立て作業を無駄にせず組み立てを継続することができるようにしたロボット装置を提供する。
【解決手段】ロボット１０１と、ロボット１０１に取り付けられワークを把持するエンドエフェクタ１０６，１０７と、ワークの形状計測センサ１０８と、入力装置を有しロボットの動作を制御する制御装置１０２と、を有し、制御装置１０２は、あらかじめ決められた範囲を計測範囲として、ワークを形状計測センサにより計測させ、計測範囲にワークの全体像が入っていない場合には、計測範囲を変えて再計測し、ワークの位置姿勢を決定し、ワークの位置姿勢へエンドエフェクタを移動させてワークを把持し、再計測は、入力装置から入力された計測データに基づいて、計測範囲を変えて再計測を実行する。 （もっと読む）

【課題】ダンパーの開口率を安価な設備で測定する空調装置。
【解決手段】吹き出しグリル１１の風上側にダンパー１２を備えた吹き出し口装置１と、吹き出しグリル１１の風上側に設けられた反射鏡１５と、ダンパー１２の風上側に配置された光学測定ユニット２と、光学測定ユニット２に設けられ、ダンパーの開口１２ｅ１の最大開口幅の１／２以上の幅を有する平行光線４を、反射鏡１５に垂直に投射する投光器２７と、光学測定ユニット２に設けられ、平行光線４が開口１２ｅ１を通過して反射鏡１５により反射された反射光４ａの強度を測定する光検知器２５と、平行光線４が吹き出し口装置１の開口１２１ｅ１を通過する位置に光学測定ユニット２を移動する移動手段５とを有し、反射光４ａの強度に基づきダンパー１２の開口率を算出する。 （もっと読む）

【課題】 ＧＰＳが利用できないトンネル内において、距離メータなどの機械的計測により得た入力データに対してＧＰＳや距離メータ等に起因する誤差を正確に補正する。
【解決手段】 走行する車両に搭載された距離メータやジャイロ装置などの位置検知手段２１０により測定した原座標系の位置データと、車両に搭載された壁面検知手段１２０により位置データと同期させた原座標系のトンネル内面点群データをデータ入力部１２０を介して入力する。入口被検知板３１０に関するＧＰＳでの計測データと既知の位置データの差分からＧＰＳの誤差を補正し、出口被検知板３２０に関する距離メータの計測データと既知の位置データの差分からトンネル内で距離メータの誤差により蓄積したトンネル内計測誤差の総計を算出し、キロポスト上の任意の点に対してはトンネル内計測誤差を按分して補正する。 （もっと読む）

【課題】
レール近傍にあって頭面がレールに比べて比較的幅のある平面形状の物体をレールと誤検出することを防止することができるレール変位量測定装置におけるレール検出方法を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、測定三角形が形成されたときのこの測定三角形において測定されるレールの位置とこの測定三角形において第１の距離検出器あるいは第２の距離検出器のいずれかにより測定されるレールの位置との位置誤差を算出して、この位置誤差が所定値の範囲にあるときに測定対象をレールとして検出する。 （もっと読む）

【課題】移動体までの距離を安全に測定することができる干渉計を提供すること。
【解決手段】干渉計１Ａは、干渉計１Ａから射出される光の光量を調整可能に構成された調光手段３Ａと、受光手段４７，４９の受光量が所定の第１閾値以下か否かを判定する第１判定手段と、第１判定手段が、受光量が第１閾値以下と判定した場合、調光手段３Ａに、干渉計１Ａから射出される光の光量の低減を命じる低減信号を出力する低減信号出力手段とを備える。調光手段３Ａは、低減信号が入力された場合、光源から射出される光の光量を低減させる。従って、干渉計１Ａが反射体１０１を見失ってしまった場合、調光手段３Ａが干渉計１Ａから射出される光の光量を低減させることとなるので、干渉計１Ａの周囲で作業する人に干渉計１Ａから測定光が照射されてしまうことを防止でき、移動体２までの距離を安全に測定できる。 （もっと読む）

【課題】移動体の移動対象を簡易に測定する。
【解決手段】円錐検出光ＤＥＴと測定対象の表面Ｓ２との交点ＴＲからの反射光に基づいてセンサ原点Ｏから測定対象Ｓ２までの距離を測定し、当該測定結果から得た交円ＴＲの特徴量によって測定対象表面Ｓ２の形状を求めるようにしたことにより、円錐検出光ＤＥＴの立体的な構成を利用して測定対象Ｓ２の形状を簡便かつ確実に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】測定対象５が受ける光の照度や照射方向の変化の影響を受けない、安定した計測ができる、ひずみ計測装置を提供する。
【解決手段】コンピュータ４は、測定対象５の所定領域６を表面高さ計測器２で計測して得られた当初表面高さ分布から、所定領域６の点Ａ，Ｂをそれぞれ包含する微小領域ａ，ｂの表面高さ分布を抽出する微小領域抽出手段、所定領域６の、経時後表面高さ分布上の、前記微小領域ａ，ｂに最も近似する微小領域ａ’，ｂ’内にあって、前記微小領域ａ，ｂにおける前記点Ａ，Ｂに対応する点Ａ’，Ｂ’の座標を算出する座標算出手段、及び測定対象５の線分ＡＢ方向のひずみを算出するひずみ算出手段として機能する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の三次元形状の外観を効率良く把握できる三次元形状測定システム及び三次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】色が規則的に変化する光パルスをパルス光源５６及びチャープ導入装置６０により生成し、生成された前記光パルスをワーク３０に照射し、該ワーク３０から反射された前記光パルスの反射光像をシャッタユニット４２により取得し、取得された前記反射光像の二次元情報及び色情報を用いてワーク３０の三次元情報をカラー二次元検出器８８により取得する。また、カラー二次元検出器８８により取得されたワーク３０の二次元情報に基づいて所定の箇所を選択し、該所定の箇所における三次元情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】白色干渉法を用いた非接触測定器において、長さが１メートル以上あるくびれ形状を持つような細い管内の内面形状をミクロンオーダの高精度で計測できる測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】白色光源３を参照光と測定光に分割して参照光を参照光路長スキャナ部７に送り測定光をセンサー部８に送る光カプラ４と、参照光路長スキャナ部から返った参照光とセンサー部から返った測定光の白色干渉を検出する光検出器５とからなり、測定対象の細管内に通した透明管内でセンサー部を移動させることで、透明管を透過する測定光により非接触で前記細管の内面形状を測定することを特徴とする白色干渉法による管内面の形状測定装置１の構成とした。 （もっと読む）

【課題】鋼管の横断面内の複数箇所における外径や肉厚を簡易にかつ十分な測定精度で自動測定を行う。
【解決手段】外径、肉厚測定用の第１の外側、内側レーザ距離計１，１Ａを第１の直線１３上に、位置合わせ用の第２の外側レーザ距離計２を第１の直線１３と直交する第２の直線１４上に、かつこれらを同心円上に、配置して、枠体３で支持し、枠体３を枠体回転手段、枠体移動手段、および、前後進手段で、全てのレーザ距離計の同心回転、第２の直線１４の方向、および、同心円の直交方向の移動を可能とした。 （もっと読む）

【課題】被測定物の測定対象が広範囲である場合における測定の所要時間を短縮できるとともに、製造コストを低減することを可能とする三次元形状測定システムを提供する。
【解決手段】パルス光を生成するパルス光源３６と、生成されたパルス光を分配する光分配器６４と、分配された各パルス光に基づいて、色が規則的に経時変化するチャープ光パルスを生成する複数のチャープ導入装置８４と、生成された各チャープ光パルスをワーク３２の各照射領域９４に照射し、ワーク３２で反射された各チャープ光パルスの各反射光像を取得する複数の反射光像取得部１１４と、取得された前記各反射光像の二次元情報及び色情報を用いて、ワーク３２の三次元情報を取得するカラー二次元検出器１０６とを有する。 （もっと読む）

【課題】 船舶やトラック等で運搬され、製鉄所等のヤード内に積み上げられた鉄鉱石や石炭等の原料の山の山形形状を、正確かつ短時間で計測可能な計測装置を提供する。
【解決手段】 ＧＰＳアンテナ、レーザースキャナ、及びＧＰＳ受信機搭載のセンサＢＯＸを含む計測装置を山積み用のアームに取り付ける。レーザスキャナは山に向けてレーザビームを一方向に走査し、前記レーザビームの走査角度と前記レーザビームの照射対象物までの距離とを関連付けて出力する。アームは回転可能であり、一方向に走査するレーザビームが前記山の全体を走査するように回転台を回転制御する。このようにアームを回転させながら正確な時刻が付加されたＧＰＳデータとレーザースキャナデータを収集し、収集したデータに基づく演算処理によって山積みされた山の形状を再現する。 （もっと読む）