【課題】広い範囲にわたって対象物体の位置を高い精度で検出することのできる光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０の検出対象空間１０Ｒは、受発光ユニット１５Ａおよび受発光ユニット１５Ｂによる検出対象空間１０Ｒabと、受発光ユニット１５Ｃおよび受発光ユニット１５Ｄによる検出対象空間１０Ｒcdとに分割されている。受発光ユニット１５Ｂ、１５ＣはＺ軸方向で重なっており、受発光ユニット１５Ｂの受光素子１３Ｂと受発光ユニット１５Ｃの受光素子１３Ｃは、受光面を異なる方向に向けてＺ軸方向で重なるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】透過率の再現性が高い分光素子を用いながら、適正にレーザ光源の光量制御が可能な情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置１は、発光装置１０と、受光装置２０と、を備える。発光装置１０は、レーザ光源１１０と、コリメータレンズ１２０と、リーケージミラー１３０と、リーケージミラー１３０によって反射されたレーザ光をドットパターンを有するレーザ光に変換するＤＯＥ１４０と、リーケージミラー１３０を透過したレーザ光を受光して受光量に応じた検出信号を出力するＦＭＤ１６０と、リーケージミラー１３０とＦＭＤ１６０との間に配置され、リーケージミラー１３０を透過したレーザ光の光量を減衰させるフィルタ１５０と、ＦＭＤ１６０の検出信号に基づいて、レーザ光源１１０の発光量を制御するＡＰＣ制御部２１ｂと、を有する。 （もっと読む）

【課題】受光素子に対する電気ノイズに対する影響を阻止することにより、誤検出の発生を防止することのできる光学式位置検出装置、および当該光学式位置検出装置を備えた入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置において、受光部１３は、検出光が放射状に出射された検出対象空間に位置する対象物体で反射した検出光を受光する。受光部１３には、受光素子１３０の受光面１３１を部分的に覆うシールド部材１４が設けられている。シールド部材１４において、入射部１４０は、受光面１３１に対する法線方向から一方側および反対側に傾くに伴って幅広になっている。従って、受光素子１３０での受光強度は、受光面１３１に対する法線方向から入射した検出光と、受光面１３１に対する法線方向から傾いた斜め方向から入射した検出光とにおいて差が小さい。 （もっと読む）

【課題】検出用発光素子と受光素子との位置関係を適正化することにより、対象物体の位置を広い領域にわたって検出することのできる光学式位置検出装置を提供する。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、Ｘ軸方向で離間する第１発光受光部１５Ａと第２発光受光部１５Ｂとを順次排他的に駆動した際の駆動結果と、Ｙ軸方向で離間する第３発光受光部１５Ｃと第４発光受光部１５Ｄとを順次駆動した際の駆動結果とに基づいて、対象物体ＯｂのＸ座標およびＹ座標を検出する。複数の発光受光部１５のいずれにおいても、検出用発光素子１２と受光素子３０とが隣り合う位置に配置され、対象物体Ｏｂで反射して第１受光素子３０Ａに到達する光は、対象物体Ｏｂにおいて第１検出用発光素子１２Ａおよび第１受光素子３０Ａが位置する側に向けて反射した光である。このため、第１受光素子３０Ａの受光強度は、対象物体Ｏｂの位置によって単調に変化する。 （もっと読む）

【課題】 カメラやビデオカメラ等において、被写体となる対象の距離を測定する測距装置、測距方法および同装置を備える撮像装置、撮像方法に関する。
【解決手段】 所定の間隔を設けて配置された複数の撮像素子と、各撮像素子上に測距の対象の像を結像させるレンズと、各撮像素子に設定される複数の測距エリアから結像に応じて出力される画像信号に基づいて、測距の対象までの距離を各測距エリアごとに算出する距離算出手段と、算出された距離の分布を生成する距離分布生成手段と、生成された距離の分布に基づいて測距の対象が存在する測距エリア内の位置を特定する測距対象位置特定手段と、を有する測距装置による。 （もっと読む）

【課題】確実に、かつ、高速に、合焦位置の検出を行う。
【解決手段】ラインセンサ２５を構成するラインピクセル上の合焦時の光点像（レーザスポットＳ_１）では、レーザ光の光量が絞られる調整制御が行われ、合焦ピクセルから離れた位置となる非合焦時の光点像（レーザスポットＳ_２）では、レーザ光の光量が増加される調整制御が行われるように、あらかじめ定められたテーブルデータに従ったフィードフォワード制御が行われることで、確実に、かつ、高速に、合焦位置の検出を行うことができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】合焦精度を向上させる。
【解決手段】高感度のラインセンサ１６Ｂは、レーザ照明部１１により照明された対象物２の光点像の光量から得られる高輝度の受光データを取得し、低感度のラインセンサ１６Ａは、対象物２の光点像の光量から得られる低輝度の受光データを取得し、データ処理部１７は、正常時は、高感度のラインセンサ１６Ｂからの高輝度の受光データを選択し、高輝度の受光データを得るときのレーザ光が飽和した場合、低輝度の受光データを選択する。そして、検出部１８は、データ処理部１７により選択された受光データに基づいて、対象物２の像の合焦状態を検出することで、対象物２の像の合焦状態が確実に検出されるので、合焦精度を向上させることができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】試料の高さを正確に測定することのできる高さ測定方法と、高さを正確に測定して高い精度で描画することのできる電子ビーム描画装置とを提供する。
【解決手段】光の波長を所定値としたときの反射光の光量を測定し、光量が閾値以下である場合には光の波長を変えて反射光の光量を測定する工程を繰り返し、光量が閾値より大きくなる波長で試料の高さを測定する。あるいは、光の波長を変えて反射光の光量を測定し、光量が最大となる波長で試料の高さを測定する。 （もっと読む）

【課題】検出対象空間の広さ等に応じて光源部の数が変化しても、同一仕様の制御用ＩＣで対応することのできる光学式位置検出装置、および当該光学式位置検出装置を備えた位置検出機能付き機器を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、検出光を出射する複数の光源部１２、および複数の光源部１２を制御する制御用ＩＣ７０を備えた光源モジュール１１が用いられている。従って、光源部１２の数を増やす際、制御用ＩＣ７０の仕様を変えずに、光源モジュール１１の数を増やせばよい。また、第１光源モジュール１１Ａに設けられた制御用ＩＣ７０は、他の第２光源モジュール１１Ｂ、第３光源モジュール１１Ｃ、第４光源モジュール１１Ｄに設けられた制御用ＩＣ７０に対する上位の制御用ＩＣとしてこれらの制御用ＩＣ７０を制御する。 （もっと読む）

【課題】正確な測定、使用の容易さおよび効率、適応性および柔軟性を有するレセプターモジュールの複数の信号レセプターを調整する方法を提供する。
【解決手段】各レセプターに対して、(a)レセプターを最大の信号にさらす工程と、(b)レセプターの出力を最大の信号から測定する工程と、(c)レセプターを最小の信号にさらす工程と、(d)レセプターの出力を最小の信号から測定する工程と、(e)最大の信号から所定基準の最大に出力をマッピングし、最小の信号から所定基準の最小に出力をマッピングするマッピング機能を決定する工程と、(f)複数の測定における使用に対して、レセプターモジュールに結合されたローカル制御装置においてマッピング機能を記憶する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】撮像環境の変化を検出し、工具寸法を高精度に測定できるように撮像条件を自動的に調整したり、画像を補正するようにした、撮像式工具測定装置および撮像式工具測定方法を提供する。
【解決手段】撮像部１２からの工具像にかかる信号、または画像前処理部２０からの処理信号に基づいて撮像環境・条件を検出する撮像環境・条件検出部２５と、撮像環境・条件検出部２５の検出情報を基に、撮像の適正条件を判断し、調整指令を導出する撮像条件判断・調整指令部２７と、前記撮像条件判断・調整指令部２７からの調整指令信号により、撮像条件を調整する調整手段と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】比較的大きなサイズの欠陥を高感度で検出できると共に、高さ又は深さの変化量が１ｎｍ又はそれ以下の微細な欠陥も検出できる検査装置を実現する。
【解決手段】照明光源１からの照明ビームを被検査基板２１に向けて投射する対物レンズ２０と、入射した照明ビームを、互いに干渉性を有する第１及び第２のサブビームに変換すると共に、基板の表面で反射したサブビーム同士を合成し、基板表面の高さ又は深さと関連する位相差情報を含む干渉ビームを出射させる微分干渉光学系１６と、出射した干渉ビームを受光する光検出手段２８と有する。微分干渉光学系のリターデーション量は、ｍを零又は正の整数とした場合に、第１と第２のサブビームとの間に（２ｍ＋１）π又はその近傍の位相差が形成されるように設定し、前記光検出手段から出力される出力信号のバックグランドの輝度レベルがほぼ零となる検査状態において基板表面を照明ビームにより走査する。 （もっと読む）

【課題】反射画像の輝度を適切な輝度に調整することができ、被計測物の三次元形状を正確に計測することが可能な三次元形状計測装置を提供すること。
【解決手段】三次元形状計測装置１００は、輝度が正弦波状に変化する縞状の光パターンを異なる位相で複数回、被計測物に投影する投影手段１０と、光パターンが投影された被計測物の反射画像を撮像する撮像手段２０と、被計測物の反射画像を基に、被計測物の三次元座標を計測する計測手段３１と、を有し、光パターンを被計測物に投影する前に、投影手段１０より所定の光を被計測物に投影し、所定の光が投影された被計測物の反射画像における各画素の輝度階調値と、所定の光の輝度階調値と、を基に、被計測物の光の最大反射率を算出する反射率算出手段３２と、最大反射率に応じて、撮像手段２０が受光する受光量を調整する調整手段３３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】安定した検出精度を得ることができる光学式検出装置、表示装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学式検出装置は、検出用光源部ＬＳ１、ＬＳ２と調整用光源部ＬＳＤとを有する照射部ＥＵと、照射部ＥＵからの照射光が対象物に反射することによる反射光を少なくとも受光する受光素子ＰＤと、受光素子ＰＤからの受光検出信号を増幅する増幅部１００と、増幅部１００が出力する信号に基づいて、対象物の位置特定情報を検出する検出部２００と、位置特定情報に基づいて対象物の位置を判定する判定部３００と、調整用光源部ＬＳＤの発光時における受光素子ＰＤの受光結果に基づいて、増幅部１００が有する回路素子の回路定数ＣＮＴを設定する処理を行う制御部４００とを含む。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成にて、回折光学素子の劣化を検出可能な情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置１は、波長８３０ｎｍ程度のレーザ光を出射するレーザ光源１１１と、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１１３と、１／４波長板１１４と、ＤＯＥ１１６と、ＰＤ１１７を備えている。ＤＯＥ１１６は、レーザ光を所定のドットパターンにて目標領域に照射する。ＰＤ１１７は、ＤＯＥ１１６によって回折および反射されたレーザ光の一部を受光する。 （もっと読む）

【課題】検出光が対象物体で反射した光を受光した結果に基づいて対象物体の傾きを検出
することのできる光学式センサー装置を提供すること。
【解決手段】光学式センサー装置１０において、検出用光源１２が検出光Ｌ２を出射した
際に対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出器３０で検出して対象物体Ｏｂの座標を検出
する。光源駆動部１４は、複数の検出用光源１２を第１出射強度をもって順次点灯させる
第１モード、および複数の検出用光源１２を第１出射強度よりも大の第２出射強度をもっ
て順次点灯させる第２モードを行ない、その間、光検出器３０は、対象物体Ｏｂで反射し
た検出光Ｌ３を受光する。従って、監視部５０は、対象物体Ｏｂの異なる範囲で反射した
検出光Ｌ３の２つの受光結果を用いて対象物体Ｏｂの傾きを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】測定部位毎の態様が急変しても、安定して適切な測定を行うことができる変位センサを提供する。
【解決手段】フィードバック回数設定部１９及び制御部１６にて１出力周期において複数回の調整の設定がなされると、制御部１６はその最後のフィードバック調整後の測定値信号の出力を行い、受光信号が安定するまでの過渡期における測定値の排除が行われる。 （もっと読む）

【課題】 規格内の大きさの受光センサを用いても、受光センサを大きくした場合と同じように、３次元形状の測定可能範囲が大きいか、又は分解能を高くする。
【解決手段】 レーザ光照射器から測定対象物（ＯＢ）の表面にレーザ光を照射し、測定対象物ＯＢの表面の照射スポット位置にて発生する散乱光の一部である反射光を集光レンズ３２で集光するとともに、集光された反射光をダイクロイックミラー３０で互いに異なる少なくとも第１方向及び第２方向に分離する。分離された反射光を、複数の受光素子からなる受光センサ１４，２４でそれぞれ受光する。受光センサ１４，２４は、レーザ出射器からの距離が異なる測定対象物ＯＢの表面からの反射光をそれぞれ受光するとともに、一部距離を重複させる。受光センサ１４，２４による受光信号を用いて、３角測量法の原理に基づいてレーザ光照射器から測定対象物ＯＢの表面までの距離を計算する。 （もっと読む）

【課題】計測した光学検出器の光電子増倍係数を基に計算した補正印加電圧を用いて光学検出器を駆動して補正値を検査することにより、基準となる試料を必要とすること無く、光学検出器の出力値を補正することが可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】表面検査装置において、個々の光学検出器８ａ〜８ｃの光電子増倍係数を計測し、計測した光電子増倍係数を基に制御部１１が補正印加電圧を計算する。表面検査装置に組み込まれた検出器８ａ〜８ｃのそれぞれについて、計算した補正印加電圧を用いて光学検出器８ａ〜８ｃを駆動して補正値を検査する。これにより、基準となる試料を必要とすること無く、光学検出器の出力値を補正することが可能な表面検査装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】測定対象の特性を簡易に測定可能な測定システムを提供する。
【解決手段】蛍光を発する蛍光体２と、蛍光体２から発せられた後に測定対象である膜１００の特性に依存する変調を波長選択的に与えられた蛍光を受光する光学系１０と、変調を与えられた蛍光の減衰特性を測定する減衰特性測定部３０１と、減衰特性に基づいて、測定対象である膜１００の特性を特定する特定部３０２と、を備える測定システムを提供する。 （もっと読む）