【課題】ロボット等に使用される複数個のセンサからなるセンサ装置において、複数個のセンサで形成される指向領域がつながるようにセンサを配置すること可能とするセンサ固定具を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明のセンサ固定具は、複数のセンサを固定可能なセンサ固定具であって、複数のセンサをその上下から挟み固定する為の挟持部材と、センサと挟持部材とを固定する為の連結部材とを備え、挟持部材は挟持部を有し、該挟持部材の挟持部が、センサの被挟持部と対応な形状となっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】寸法検査用の自動焦点ビデオツールおよび方法を提供する。
【解決手段】最良自動焦点Ｚ高さの精度を確実に提供するために、反復する自動焦点動作間に最適化照明を提供する。この方法には、初期光制御パラメータを用いて取得された初期自動焦点画像からの初期焦点曲線データに基づいた、量的な初期焦点Ｚ高さ決定が含まれる。カメラが、よく合焦された画像が提供されるように、その初期焦点Ｚ高さで設定される。最適化された光制御パラメータが、Ｚ高さにおいてそれぞれの光制御パラメータを用いて取得された少なくとも１つのそれぞれの画像に基づいて決定され、改良された光制御パラメータを用いて取得された画像が、Ｚ高さにおけるコントラスト関連用のほぼ最適な値を提供するようにする。改良された自動焦点画像が、改良された光制御パラメータを用いて取得され、改良された正確なＺ高さが、結果としての焦点曲線に基づいて量的に決定される。 （もっと読む）

【課題】計測前までの組み立て作業を無駄にせず組み立てを継続することができるようにしたロボット装置を提供する。
【解決手段】ロボット１０１と、ロボット１０１に取り付けられワークを把持するエンドエフェクタ１０６，１０７と、ワークの形状計測センサ１０８と、入力装置を有しロボットの動作を制御する制御装置１０２と、を有し、制御装置１０２は、あらかじめ決められた範囲を計測範囲として、ワークを形状計測センサにより計測させ、計測範囲にワークの全体像が入っていない場合には、計測範囲を変えて再計測し、ワークの位置姿勢を決定し、ワークの位置姿勢へエンドエフェクタを移動させてワークを把持し、再計測は、入力装置から入力された計測データに基づいて、計測範囲を変えて再計測を実行する。 （もっと読む）

【課題】ダンパーの開口率を安価な設備で測定する空調装置。
【解決手段】吹き出しグリル１１の風上側にダンパー１２を備えた吹き出し口装置１と、吹き出しグリル１１の風上側に設けられた反射鏡１５と、ダンパー１２の風上側に配置された光学測定ユニット２と、光学測定ユニット２に設けられ、ダンパーの開口１２ｅ１の最大開口幅の１／２以上の幅を有する平行光線４を、反射鏡１５に垂直に投射する投光器２７と、光学測定ユニット２に設けられ、平行光線４が開口１２ｅ１を通過して反射鏡１５により反射された反射光４ａの強度を測定する光検知器２５と、平行光線４が吹き出し口装置１の開口１２１ｅ１を通過する位置に光学測定ユニット２を移動する移動手段５とを有し、反射光４ａの強度に基づきダンパー１２の開口率を算出する。 （もっと読む）

【課題】向かい合う二面の平行度あるいは角度を秒オーダの精度で安価、かつ簡易に測定できる二面の平行度を測定する方法とそれに用いる反射部材を提供する。
【解決手段】反射部材としてのビームスプリッタ７１の第２面９を上部ミラー５に向け、第３面１１を下部ミラー６に向けて配置し、第１面８に入射光ビーム２４を入射し、該第１面８からの第１反射ビーム２５と、該上部ミラー５で反射し該第１面８を透過して戻ってくる第２反射ビーム２６との乖離度を測定する。次に、該第１面８を該下部ミラー６に接して配置し、該第２面９に垂直な方向から該入射光ビーム２４を入射し、該第２面９から反射される第３反射ビームと、該入射光ビーム２４が該第２面９を透過し、さらに該下部ミラー６で反射し該第２面９を透過して戻ってくる第４反射ビームとの乖離度を測定する。該二つの乖離度から、該上部ミラー５と該下部ミラー６との平行性を計算する。 （もっと読む）

【課題】 鋳型の平面度を精度良く測定することが可能で、特に凹凸のある鋳型の平面度を高精度に測定する方法を得る。
【解決手段】
鋳型の上方に配設したレーザ測長器から、レーザを鋳型の平面に反射させてレーザ測長器と鋳型表面の距離を測定する鋳型平面度の測定方法であって、凹凸のある鋳型の平面度を測定する場合には、鋳型の凹部の底面に、前記レーザ測長器へのレーザの反射光の検知が可能な高さのレーザ反射部材を載置して、前記レーザ測長器からのレーザを前記レーザ反射部材に照射させてレーザ測長器と反射部材の距離を測定して鋳型の平面度を測定する。 （もっと読む）

【課題】 ＧＰＳが利用できないトンネル内において、距離メータなどの機械的計測により得た入力データに対してＧＰＳや距離メータ等に起因する誤差を正確に補正する。
【解決手段】 走行する車両に搭載された距離メータやジャイロ装置などの位置検知手段２１０により測定した原座標系の位置データと、車両に搭載された壁面検知手段１２０により位置データと同期させた原座標系のトンネル内面点群データをデータ入力部１２０を介して入力する。入口被検知板３１０に関するＧＰＳでの計測データと既知の位置データの差分からＧＰＳの誤差を補正し、出口被検知板３２０に関する距離メータの計測データと既知の位置データの差分からトンネル内で距離メータの誤差により蓄積したトンネル内計測誤差の総計を算出し、キロポスト上の任意の点に対してはトンネル内計測誤差を按分して補正する。 （もっと読む）

【課題】坏被測定物の製造ライン中に組み込んで使用することが可能である表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物１０を載置する載置板５と、載置板５に被測定物１０を載置したときの被測定物１０の中心軸を中心にして被測定物１０の周囲を回転する回転運動、及び被測定物１０の中心軸方向に移動する直線運動の両方の動きをすることができるとともに、回転運動と直線運動とを合わせた動きをすることができる、被測定物１０の表面粗さを測定するレーザー変位計４とを備え、レーザー変位計４で被測定物１０の表面粗さを測定するときに、レーザー変位計４のスキャンスピードＶ（ｍ／秒）と、レーザー変位計のサンプリング間隔Ｘ（秒）との関係が、下記式（１）を満たす関係となる表面粗さ測定装置。
Ｖ×Ｘ≦４×１０^−６（ｍ）・・・（１） （もっと読む）

【課題】
レール近傍にあって頭面がレールに比べて比較的幅のある平面形状の物体をレールと誤検出することを防止することができるレール変位量測定装置におけるレール検出方法を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、測定三角形が形成されたときのこの測定三角形において測定されるレールの位置とこの測定三角形において第１の距離検出器あるいは第２の距離検出器のいずれかにより測定されるレールの位置との位置誤差を算出して、この位置誤差が所定値の範囲にあるときに測定対象をレールとして検出する。 （もっと読む）

【課題】廉価で処理効率の高い、貼り合わせ検査機能を有する自動ウェーハ貼り合わせ装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明にかかるウェーハ貼り合わせ装置は、2枚の貼り合わせ用のウェーハの位置合わせを行うアライナーと、該2枚のウェーハを貼り合わせる、貼り合わせ機構とを備えたウェーハ貼り合わせ装置において、
前記アライナーに、貼り合わせ後のウェーハ相互間の位置ずれを計測する機構を併設したことを特徴としてなる。 （もっと読む）

【課題】移動体の移動対象を簡易に測定する。
【解決手段】円錐検出光ＤＥＴと測定対象の表面Ｓ２との交点ＴＲからの反射光に基づいてセンサ原点Ｏから測定対象Ｓ２までの距離を測定し、当該測定結果から得た交円ＴＲの特徴量によって測定対象表面Ｓ２の形状を求めるようにしたことにより、円錐検出光ＤＥＴの立体的な構成を利用して測定対象Ｓ２の形状を簡便かつ確実に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 光反射型センサの検出性能を向上させる。
【解決手段】 光透過性の受光ガイド部６と、該受光ガイド部６の基端部に設けられ、前記受光ガイド部６に入射された検出対象からの反射光を受光する受光部３と、遮光部材５を介在して前記受光ガイド部６の周部を囲むように配設された光透過性の筒状発光ガイド部４と、該発光ガイド部４の基端部に設けられ、前記発光ガイド部４を通して前記検出対象に発光光を照射する発光部２とを備える。前記発光ガイド部４の内側の先端角部が面取りされている。 （もっと読む）

【課題】測定対象５が受ける光の照度や照射方向の変化の影響を受けない、安定した計測ができる、ひずみ計測装置を提供する。
【解決手段】コンピュータ４は、測定対象５の所定領域６を表面高さ計測器２で計測して得られた当初表面高さ分布から、所定領域６の点Ａ，Ｂをそれぞれ包含する微小領域ａ，ｂの表面高さ分布を抽出する微小領域抽出手段、所定領域６の、経時後表面高さ分布上の、前記微小領域ａ，ｂに最も近似する微小領域ａ’，ｂ’内にあって、前記微小領域ａ，ｂにおける前記点Ａ，Ｂに対応する点Ａ’，Ｂ’の座標を算出する座標算出手段、及び測定対象５の線分ＡＢ方向のひずみを算出するひずみ算出手段として機能する。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドも計測システムも一つだけでよい溶接用レーザ・視覚複合センサおよび溶接制御方法を提供する。
【解決手段】開先上に投光したレーザ光（レーザスリット光２５）の開先断面像と、アーク直下の溶融池及び電極の画像を得るための溶接用レーザ・視覚複合センサであって、トーチホルダー２０上で、溶接トーチ２２を中心として、トーチ移動方向の前方及び後方の一方にレーザ投光器２４を、他方に撮影カメラ２６を配設し、レーザセンサとして使用するときは、前記レーザ投光器２４を開先の真上から投光できる姿勢として、開先断面像を前記撮影カメラ２６で撮像し、視覚センサとして使用するときは、前記溶接トーチ２２を被溶接物１０に対して溶接に必要な姿勢として、アーク直下の溶融池及び電極の画像を前記撮影カメラ２６で直接撮影する。 （もっと読む）

【課題】エンコーダシステムを用いたステージを位置決めする場合、スケール間に存在する幾何学的誤差に起因する計測誤差を低減する。
【解決手段】可動体に配置された複数のセンサと、構造体に取り付けられた複数のスケールとを有し、前記可動体の変位を検出することによって前記可動体の位置を計測する計測装置であって、前記複数のスケールは、第１方向における前記可動体の変位を検出するための２つの第１スケールと、前記第１方向とは異なる第２方向における前記可動体の変位を検出するための２つの第２スケールとを含み、２つのセンサによる検出値とが等しくなるように前記可動体を前記第１位置から前記第２位置に移動させたときに前記２つの第１スケールに対向している２つのセンサによってそれぞれ検出される変位の間の差に基づいて、前記２つの第１スケールの間に存在する幾何学的誤差に起因する計測誤差を低減する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】スケール用のパターンが形成されたパターン形成面の法線方向の位置情報を高精度に計測する。
【解決手段】スケール体２８ｅは、Ｙスケール３９Ｙ₂が形成されたパターン板４ｅと、パターン板４ｅに設けられ、Ｙスケール３９Ｙ₂を覆うカバーガラス５と、カバーガラス５の表面に形成され、互いに異なる波長域の第１の光及び第２の光に対して波長選択性を有する波長選択膜７と、を備え、波長選択膜７を介してカバーガラス５を透過する第１の光の透過率は、カバーガラス５のみを透過する第１の光の透過率より低く、波長選択膜７を介してカバーガラス５を透過する第２の光の透過率は、波長選択膜７で反射する第２の光の反射率より高い。 （もっと読む）

【課題】高速な振動現象の下にあっても、エンジンマウントのマウント軸として配設されるボルトの中心の３軸並進量、及び、該ボルトの２軸回転量を高精度に算出することができる、エンジンマウントの変位量計測方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るエンジンマウントの変位量計測方法は、球体変位計側工程の前に、照射方向と直交する平面上における初期座標が既知である球体１３を、照射方向と直交する方向へ、初期座標の位置から既知の移動量ｄｘ（ｄｙ）だけ移動させ、第１レーザー変位計３１ａ〜第３レーザー変位計３１ｃによる計測点におけるそれぞれの照射方向変位量δＳ１ｘ〜δＳ３ｘ（δＳ１ｙ〜δＳ３ｙ）を計測し、照射方向変位量δＳ１ｘ〜δＳ３ｘ（δＳ１ｙ〜δＳ３ｙ）の計測結果から、第１レーザー変位計３１ａ〜第３レーザー変位計３１ｃの位置を算出する、位置算出工程を備える。 （もっと読む）

【課題】夜間または濃霧などの視界の悪い状況下で、車両前方の路面領域を画像表示することができ、これにより舗装路、未舗装路を区別することなく移動体を操縦することができる車両操縦用画像表示装置および方法を提供する。
【解決手段】車両１に搭載された赤外線カメラ１０により車両前方の特定範囲の赤外線画像２を撮影し、車両に搭載された３次元形状測定装置２０により前記特定範囲の３次元形状３を計測し、演算処理装置３０により３次元形状から車両が通りやすい路面領域４を検出し、赤外線画像２上において路面領域が滑らかに見えるように画像処理した補正赤外線画像５を形成し、表示装置４０により補正赤外線画像５を表示する。 （もっと読む）

【課題】オンライン測定の高精度化を図ることができる膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供すること。
【解決手段】膜厚測定装置１００は，ウエブ２０の厚さをオンライン測定するものである。膜厚測定を行う際には，あらかじめ空気巻き込みの影響が少ない状態である低速搬送中に膜厚を測定し，その測定値をマスタ値とする（Ｓ０２）。そして，生産目標の搬送速度に達した後，高速搬送での計測をするにあたって，オンライン測定での膜厚の計測値とそのマスタ値との差，すなわち変化量を求める（Ｓ０５）。そして，変化量の計算後，高速搬送中に得た膜厚の計測結果を，その変化量を用いて補正する（Ｓ０６）。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で一律の安定した精度で測定することができる操作性に優れた分岐器検査装置を提供する。
【解決手段】軌道上を走行可能な台車２１と、台車２１の走行距離を測定する距離センサ２５と、測定対象物の形状を測定するレーザ式変位センサ２９と、レーザ式変位センサ２９を測定対象側レール１１の軌間測定点Ｐの鉛直線上に常に位置させるスライドガイド２７と、測定制御装置４０とを有する。測定制御装置４０は各測定位置情報、測定情報を記憶する基本データ記憶部、測定データ記憶部、入力部、表示部及び制御部を備える。制御部は台車２１の走行距離が測定位置情報に一致した時に測定情報、走行距離を表示部に表示させ、入力部からの入力によりレーザ式変位センサ２９を作動させて測定を行わせ、測定データを表示部に表示させると共に測定データ記憶部に格納する。 （もっと読む）