【課題】光学式のセンサー部によって測定する、被検物の形状測定の測定精度を向上させる。
【解決手段】被検物にライン光を照射する光照射部（９１）およびライン光の照射方向とは異なる方向から被検物に照射されたライン光を検出する検出部（９２）を有するセンサー部（２０）と、互いに直交する座標系の座標軸方向それぞれに、センサー部（２０）を移動させる移動部と、移動部に対してセンサー部（２０）を回転可能に支持する回転機構と、座標系の基準位置を示す球を検出することにより、移動部に対するセンサー部（２０）の回転方向を算出する回転方向算出部（３５９）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】センサシステムを構成するアンプユニットから時系列的に得られる計測データに対して所望の解析処理を適用し、その解析結果に対応する出力を生成することが可能なセンサシステムに適用される拡張ユニットを提供すること。
【解決手段】アンプユニットに連装される拡張ユニットには、計測データ蓄積メモリと、伝送ラインを介して到来する計測データを取得して前記メモリに蓄積する計測データ取得手段と、蓄積された一連の計測データを所定のアルゴリズムに従って解析するデータ解析手段と、データ解析結果を判定する判定手段と、判定結果に対応する制御信号を外部へと出力する出力手段とを具備する。計測アルゴリズムが部品化された複数の処理プログラムが拡張ユニットに組み込まれており、パソコンからの指示に従って、処理プログラムが選択され、選択された処理プログラムが所定の順序で実行される。 （もっと読む）

【課題】磁気センサや大型マグネットを用いることなく、簡単かつ小型な構成で、１ｍｍ以上の位置センシングが良好にでき、また高い分解能の検出が可能となるようにする。
【解決手段】発光素子９と受光素子１０を有する反射型フォトセンサ７、移動方向に対し上り傾斜Ｋａ及び下り傾斜Ｋｂを有する形状が形成された反射板８を備え、上記受光素子１０では、検出出力が反射板８の移動量に応じて直線的に変化するように、移動方向の中心部から両端へ向かう程、単位長さ当りの面積が広くなる受光領域を設け、上記反射板８をフォトセンサ７の発光／受光面Ｓ_Ｌに略平行で、かつ発光素子９と受光素子１０を結ぶ方向に略垂直となる方向に移動するように配置する。これにより、長い距離でリニアリティがあり、高分解能の検出ができる。 （もっと読む）

【課題】磁気センサや大型マグネットを用いることなく、簡単な構成で、１ｍｍ以上の位置センシングが良好にでき、反射型フォトセンサの温度特性をキャンセルする。
【解決手段】１対の反射型フォトセンサＰＲ１,ＰＲ２を対向配置し、この１対のフォトセンサ間に、可動体に取り付けられた両面反射板５を移動可能に配置し、これらフォトセンサＰＲ１,ＰＲ２の２つの出力から反射板５の移動位置を検出する。この位置検出では、反射板の移動距離に応じてリニアな値が得られる演算式を用い、例えば１対の反射型フォトセンサの一方の出力をＶｏ１、他方の出力をＶｏ２とすると、（Ｖｏ１−Ｖｏ２）／（Ｖｏ１＋Ｖｏ２）の演算式を用いて位置検出を行う。 （もっと読む）

【課題】クロストークによる検出誤差を軽減し、移動体の高帯域速度変動を高精度に検出することができる変位計測装置を得る。
【解決手段】移動体に設けた光学的に識別可能なマークを照明する第１の発光部と前記マークを介した光を検出する第１の受光部とを備える第１の検出部と、前記第１の検出部に対して前記移動体の移動方向に所定の間隔を隔てて配置され、前記マークを照明する第２の発光部と前記マークを介した光を検出する第２の受光部とを備える第２の検出部と、前記第１の発光部と、前記第２の発光部を時分割で発光させる時分割発光手段と、前記マークのうち同一のマークを前記第１、第２の検出部で各々検出する第１のタイミングと前記第１のタイミングと異なる第２のタイミングを検出する検出手段と、前記検出手段で得られた前記第１のタイミング及び前記第２のタイミングを用いて前記移動体の移動速度を算出する速度算出手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 測定精度の悪化を防止し、測定対象を正確に拘束し固定することなく簡易に測定できると共に、部品交換に要する工数等の低減を図ることができる円形状機械部品の測定装置および測定方法を提供する。
【解決手段】 円形状機械部品Ｗにおける円形状部分を成す円の弦となる箇所の幅寸法を測定可能なレーザ変位計２を用い、支持された円形状機械部品Ｗの形状測定対象に対してレーザ変位計２を対向させて、このレーザ変位計２に、それぞれ前記弦となる任意の２箇所以上の箇所の幅寸法を測定させる。演算手段４は、レーザ変位計２で測定された前記任意の２箇所以上の各箇所の幅寸法を、直交座標系における各両端２点の座標点に変換し、これら各座標点から算出される近似円から、形状測定対象となる前記円形状部分の直径および中心位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】計測や感度調整の精度を保証しながら、対象物の種類や計測目的に応じて受光処理の内容を容易に変更する。
【解決手段】受光部１にＣＭＯＳリニアイメージセンサ１００が導入された変位センサにおいて、ＣＰＵ３は、リセット信号ＲＳＥＴによりＣＭＯＳリニアイメージセンサ１００の各画素部の蓄積電荷をリセットした後に、投光制御信号ＬＤＯＮを出力し、ついで受光制御信号ＰＤＳＷを出力して各画素部に電荷の蓄積を開始させる。また、投光制御信号ＬＤＯＮの出力を終了するより前に受光制御信号ＰＤＳＷの出力を終了し、読出制御信号ＳＴを用いて画像の出力を指示する。また、ＣＰＵ３は、投光制御信号ＬＤＯＮとの出力の関係を維持することを条件として、ＣＭＯＳリニアイメージセンサ１００から出力された画像中のピークの値に基づき、受光制御信号ＰＤＳＷを出力する期間の長さを調整する。 （もっと読む）

【課題】コストを抑制しながら検査精度を向上させる。
【解決手段】スコープ本体２１のロッド部材２３には照明ユニット２５が設けられ、スコープ本体２１の先端部２８には反射板２７が設けられる。また、照明ユニット２５と反射板２７との間に位置する挿入軸２６には受光窓３１が形成される。検査時には、受光窓３１が隙間Ｘに対向するまで、吸排気ポート１２，１３にスコープ本体２１の先端部２８が挿入される。そして、照明ユニット２５からスコープ本体２１の先端部２８に向けて光が照射され、この光は反射板２７を介して吸排気ポート１２，１３のポート内壁面３３に照射される。このように、簡単な構成によって吸排気ポート１２，１３の内部からポート内壁面３３を照らすことができ、コストを抑制しながら検査精度を高めることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】各層の膜厚測定を可能にする積層体、その積層体の製造方法、及び非破壊非接触で膜厚測定を行いフィルム異常の検査が可能となる膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】複数の層を積層してなる積層体である。複数の層の少なくとも一層に対し、予め設定した位置に空隙を形成した。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を用いたレール変位の測定に於いて、降雨時の雨滴による光路遮りを低減し且つ降雨時の雨侵入によるガラス汚染を低減して測定精度を向上する。
【解決手段】フード手段とレールとの間にさらに筒型フード手段を設け、筒型フード手段の先端部とレールとの間の間隙をより小さくすると共に筒型フード手段の開口面積すなわち外気に接する箇所を極力小さくすることによって雨滴による照射光及び反射光の光量低下という影響を減ずるようにした。この筒型フード手段は、照射光及び反射光を通過させるためにフード手段に設けられているスリットの開口面を含む大きさの内壁面を備えていれば十分である。従来のフード手段を設けることなく、検出器本体に直接、上記筒型フード手段と同様のものを設け、筒型フード手段の先端部とレールとの間の間隙をより小さくする。 （もっと読む）

【課題】円形フランジに機器、部材等を取り付けることなく円形フランジの歪量を測定するための円形フランジの歪量測定方法及び円形フランジの歪量測定装置を提供する。
【解決手段】歪を測定しようとする円形フランジ１１の前方に配置されて、特定位置Ｐから軸心１７に対して一定角度θで旋回し円錐面状にスキャンするレーザー光を発して円形フランジ１１の測定面１２に照射し、測定面１２からの反射レーザー光を受光して、特定位置Ｐから測定面１２までの距離を測定するレーザー測定機１３と、レーザー測定機１３を載せて所定方向にレーザー測定機１３の軸心１７を向ける位置決め手段１５と、レーザー測定機１３から取得した特定位置Ｐから測定面１２までの距離の値にｃｏｓθを乗算し距離データを得て、距離データから測定面１２が完全平面と仮定した基準データを算出し、距離データから基準データを引いて、円形フランジ１１の歪量を算出する演算部１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】 掘削作業を行う際に、より確実かつ容易に、地下埋設物への損傷を監視する。
【解決手段】 地下埋設物１００の上方に埋設された光ファイバ２と、光ファイバ２の一端から光パルスを入射し、反射された光に基づいて光ファイバ２における曲げや切断などの異常を検出する検出器３とを備える。地下埋設物１００の埋設場所を油圧ショベル１０１で掘削すると、バケット１０１ａがまず光ファイバ２に当たり、光ファイバ２が曲がったり切れたりし、検出器３によって光ファイバ２の異常が検出される。 （もっと読む）

【課題】全面走査の誤差を蓄積することなく、被検体の表面形状を精度よく測定することができるようにする。
【解決手段】被検体１における複数の注目領域２のうち、１つの注目領域２が回転中心上に位置するように被検体１が載置され、１つの注目領域２を中心にして、被検体１を回転させる回転台３と、被検体１における複数の注目領域２のいずれかに光を照射する光照射部及び注目領域２に反射された光を検出する光検出部を有する複数の光センサ５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 反射基材の製造工程においてインラインでも評価可能であり、簡易な方法で確実に輝度ムラの発生原因となる基材表面性状を評価することが可能な反射基材の評価装置および反射基材を提供する。
【解決手段】 レーザ変位計３により反射基材の７の表面形状情報を取得する。次に、得られた凹凸情報をフーリエ変換し、反射基材の表面凹凸形状について、周波数と強度との関係を得る。次に、算出された周波数と強度との関係と、あらかじめ設定された基準データとを比較する。所定範囲の周波数領域において、強度が０．６を超える場合には不合格判定を行い、当該判断領域において０．６を超えるデータがなければ合格判定を行う。 （もっと読む）

【課題】受光部における誤検出を防止可能なロータリスケールを具備する位置検出装置、ロータリスケール、および位置検出装置を備える液体吐出装置を提供すること。
【解決手段】被検出物の位置検出を行う位置検出装置であり、発光部６２および受光部６４を備え、これらの間に空間部６１３を備えるフォトセンサ６０と、空間部６１３の間に差し掛かるロータリスケール５１と、ロータリスケール５１に設けられ、第１透光部および第１遮光部が交互に形成される位置検出パターン５３と、ロータリスケール５１に設けられ、第２透光部および第２遮光部が交互に形成され、通過する光量が位置検出パターン５３を通過する光量よりも少なくなる汚れ検出パターン５４と、フォトセンサ６０を移動させて、位置検出パターン５３の検出状態と汚れ検出パターン５４の検出状態とを切り替えるセンサ位置切替機構７０と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】反り量を搬送途中で正確に能率よく測定でき、カケの発生を防止するセラミック基板の反り検査装置を提供する。
【解決手段】所定の位置に搬送させる搬送手段と、搬送中のセラミック基板１１の全幅を測定対象として通過させながら２次元レーザ変位計１２で検出させる検出手段と、検出値を、フィルタを通して整理した反り量を算出させる算出手段とを備え、搬送手段は、セラミック基板１１を吸着ヘッド１７で吸着して複数の測定テーブル１８のそれぞれの上面に連続して載置させるロータリーアクチュエータ１３と、測定テーブル１８を水平間欠割出回転させながらその上のセラミック基板１１の反り量を検出手段と算出手段で測定させるインデックステーブル１４と、測定テーブル１８の近傍に反り量測定後のセラミック基板１１を反り量のランク別に測定テーブル１８上から排出させる掻き出し体１５を有する。 （もっと読む）

【課題】センサ読み取り値のエラーのリスクを低減又は解消する。
【解決手段】第１のフロー特性を有する温度調整流体をセンサのビーム経路の少なくとも一部に提供する第１の出口と、第１の出口に関連付けられ、第１のフロー特性とは異なり、第１の出口から放出される温度調整流体の隣にある第２のフロー特性を有する温度調整流体を提供する第２の出口とを有するリソグラフィ装置。 （もっと読む）

【課題】簡便な光源を利用した場合であっても光の反射による外乱の影響を抑えて光透過性薄膜の厚さを確実に算出できるようにする。
【解決手段】光透過性薄膜１０２の表面にレンズが合焦した状態では基板１０１の表面をフォーカスアウトさせて基板１０１から反射される光が合焦判定の外乱として作用することを防止する一方、基板１０１の表面にレンズが合焦した状態では光透過性薄膜１０２の表面をフォーカスアウトさせて光透過性薄膜１０２から反射される光が合焦判定の外乱として作用することを防止し、基板体１００の平面上の同一箇所（ｘｉ，ｙｉ）で光透過性薄膜１０２を含めた基板体１００の厚さと光透過性薄膜１０２を除いた基板１０１のみの厚さの差分に基いて光透過性薄膜１０２の厚さを適切に算出する。 （もっと読む）

【課題】一度のスリット光の走査により、任意の断面線における断面形状を検査することができる形状検査装置及び形状検査方法を提供する。
【解決手段】撮像光学系１２を用いて被検査物２０の形状を検査する形状検査装置１０であって、被検査物２０にスリット光を投射する投射手段１３と、スリット光の走査により被検査物２０上に順次形成される形状線を撮像する撮像手段１４と、順次形成された各形状線の撮像データに基いて、被検査物２０の三次元形状を点群データとして取得する点群データ取得手段と、点群データに基いて表示された被検査物に、入力に応じて切断線を設定する切断線設定手段と、切断線に対応した点群データにより、切断線における被検査物２０の断面形状を算出する断面形状算出手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】適切な平滑化スプライン曲面を高速、かつ短時間で算出する。
【解決手段】３次元スキャナーからなるデータ値計測装置１と、サンプリング測度演算器４、平滑化演算器５および画像処理器６をそなえる計算機２と、処理した画像を表示する出力装置３を有する平面形状測定装置を用いて、被検体表面の平面形状を測定するに際し、平滑化演算器において、座標系（ｘ，ｙ）上に任意に分布するｍ個のサンプリング点と、各サンプリング点に対応した誤差を含むデータ値から曲面を求めるために平滑化スプライン法を用いるものとし、その際、ハット行列において逆行列計算の必要がない汎関数を極小化する曲面ｆ（ｘ，ｙ）を回帰曲面とする。 （もっと読む）