【課題】コンパクトで、簡単且つ精度良く製作することができるキャリブレーション治具およびこれを用いた撮像装置のキャリブレーション方法を提供することである。
【解決手段】表面にセットステージ２と平行な平坦面３４を有するベース３２と、平坦面３４に貫通形成され、レーザー変位計５の基準位置を取得するために輪郭形状を測定され、且つ認識カメラ４の基準位置を取得するために周縁部と共に撮像される共通基準孔３３と、を備え、共通基準孔３３は、レーザー変位計におけるレーザースポットのスポット３５径より大きく、且つ認識カメラ４の視野に収まる大きさに形成されているものである。 （もっと読む）

【課題】安価で狭い視野のレンズ系でウエハの反りを測定可能にする。
【解決手段】ウエハ１０を回転テーブル１２上で回転させながら、レーザー距離計２８によりウエハ１０のエッジとレーザー距離計２８との距離を非接触で測定する。次に、この距離の最大値と最小値との差をウエハ１０の反り量として計算する。これにより、従来の測定方法のようにウエハ１０の全面を測定することなく、ウエハ１０の反り量を測定する。 （もっと読む）

【課題】物体表面に摩耗や撓み等が存在する場合、表面上に障害物が存在するような場合に１回の計測範囲を超える長さに渡って計測する場合においても物体表面の傷を高精度で測定することが可能な物体表面傷の計測方法を提供する。
【解決手段】物体３の両端間に部材２を設け水平板６を押しつけて変形硬化させ、水平板を取り外し物体両端と部材表面とを結ぶ基準線を設定し、計測器を設置し、計測器を基準線に沿って移動させ物体表面までの距離を測定して傷の分布を示す第１の計測データを取得し、計測器を次の計測範囲内に設置し、計測器を移動させ物体表面までの距離を測定して第２の計測データを取得し、第１の計測データと第２の計測データとを連結させたデータを取得する。 （もっと読む）

【課題】位置精度性能が向上した、改善されたリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】基準構造に対してある方向に移動可能である支持部と、第１の周波数範囲内で上記方向における基準構造に対する支持部の位置を表す第１測定信号を提供するように構成される第１位置測定システムと、第２の周波数範囲内で上記方向における基準構造に対する支持部の位置を表す第２測定信号を提供するように構成される第２位置測定システムと、（ａ）第２周波数範囲内の周波数を有する信号成分を減衰させるように第１測定信号をフィルタリングし、（ｂ）第１周波数範囲内の周波数を有する信号成分を減衰させるように第２測定信号をフィルタリングし、（ｃ）フィルタリング後の第１測定信号とフィルタリング後の第２測定信号とを結合して、上記方向における基準構造に対する支持部の位置を表す結合測定信号を生成するように構成されるプロセッサと、を備える。 （もっと読む）

【課題】 レーザー変位計を用い、予めの測定情報の設定を行うことなく、簡便且つ精度高く測定物の表面状態を検査できるようにすることにある。
【解決手段】 測定物１の表面状態を検査するレーザー変位計による計測方法であって、レーザー変位計３をリニアエンコーダー５を実装したＺ方向への移動ステージ４に装着し、測長範囲ｄのｄ／２の位置レベルの電圧出力が常に０Ｖとなるようにリニアエンコーダー５を介して移動ステージ４をＺ方向に移動させることにより、測定物１の表面とレーザー変位計３との距離Ｄを一定に維持することを特徴とするレーザー変位計による計測方法とその制御回路である。 （もっと読む）

【課題】測定対象膜に照明光を照射して測定される表面形状データ及び界面形状データから、この測定対象膜の屈折率を得ることができる膜構造測定方法及び表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】表面形状測定装置の制御用プロセッサで実行される膜構造測定方法は、撮像装置により、物体に形成された測定対象膜に光を照射し、当該光の反射光からこの測定対象膜の表面の形状である表面形状データ及び測定対象膜と物体との界面の形状である界面形状データを測定するステップ２２０と、平均値がほぼ０となるように表面形状データ及び界面形状データの各々を基準面を用いて補正することにより、補正された表面形状データ及び補正された界面形状データを算出するステップ２３０と、補正された表面形状データ及び補正された界面形状データから、測定対象膜の屈折率を算出するステップ２４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】測定装置に設けられたエアシリンダの内圧をより簡単に調整できるようにする。
【解決手段】エアシリンダ６２には、被検物の形状を測定するプローブ２６が固定されており、リニアアクチュエータによりエアシリンダ６２の稼動部６３を上下に移動させることで、プローブ２６が移動する。また、稼動部６３内部には、上部空間６５と下部空間６６とが設けられており、上部空間６５への空気の注入量を調整することにより、稼動部６３に対して上下方向に加わる力のバランスが調整される。上部空間６５への空気の注入量は、稼動部６３を移動させるリニアアクチュエータに供給される駆動電流の値に基づいて求められる。本発明は、形状測定装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】フォトインターラプターを、アームやギアなどといった可動部材の位置検出に応用する場合、位置検出の対象である可動部材に取り付けられる遮光板と、フォトインターラプターとのクリアランスを厳密に調整しないと、遮光不良が生じたり、遮光板とフォトインターラプターとが接触したりして、部材の位置を正確に検出することができないため、装置の組み立てや調整のためのコストが上昇するという課題があった。
【解決手段】フォトインターラプター６６６用の遮光板６６３１に、遮光部材６６３２を取り付けることによって、フォトインターラプター６６６における遮光不良を防止する。 （もっと読む）

【課題】ワイヤロープのピッチを正確に測定することのできるワイヤロープピッチの測定方法とワイヤロープピッチ測定装置を提供し、さらに、ワイヤロープピッチに関する品質不良の発生を抑制できるワイヤロープの製造方法を提供する。
【解決手段】ワイヤロープ３０の側面に対向させたレーザ変位センサを用いて、ワイヤロープの径方向断面に沿ってワイヤロープ３０の側面にレーザ光３２を照射して該側面の変位の計測を行いつつ、レーザ変位センサをワイヤロープ３０の長さ方向に相対移動させ、レーザ変位センサのワイヤロープ３０に対する前記長さ方向の相対位置と前記変位の計測値との関係から前記ワイヤロープのピッチを算出する。 （もっと読む）

本発明は、レンズフレームがレンズ形状に対応する内接表面範囲Ｆを少なくとも部分的に定めている、眼鏡フレーム（２）の当該レンズフレーム（２．１）の内側を測定するための測定装置（１）に関し、眼鏡フレーム（２）を取り付けるための保持装置（３）と、レンズフレーム（２．１）の評価されるべき領域に投光される光ビーム（４．１）を生成するための少なくとも１つの光源（４）と、反射された光ビーム（４．１）を検出するための、評価ユニット（１．１）に結合され得る少なくとも１つのセンサ（５）と、を備え、前記保持装置（３）は、回転軸ｒの周りを回転され得ると共に、移動軸ｘの方向に移動され得て、前記移動軸ｘは、前記回転軸ｒに対して垂直な方向に少なくとも１つの移動成分を有する。前記保持装置（３）は、眼鏡フレーム耳あて部（２．２、２．３）によって眼鏡フレーム（２）を固定するために使用され、前記保持装置（３）の領域に少なくとも１つの自由空間（３．１、３．２）が設けられており、前記自由空間は、保持されるべき眼鏡フレーム（２）の、畳み込まれていない、または、畳み込まれることができない、前記眼鏡フレーム耳あて部（２．２、２．３）を受けるために使用される。
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【課題】 測定物の位置に関わらず、正しい演算結果が得られるように校正する作業を簡略化することができる測定システムを提供する。
【解決手段】 センサ出力から測定値ｙ２を求める子機コントローラ３０と、センサ出力から測定値ｙ１を求める親機コントローラ２０により構成される。親機コントローラ２０は、測定値ｙ１及びｙ２から測定物の厚さを示す演算値ｚを求め、第１及び第２校正用測定物の既知の厚さとして、第１及び第２目標値を記憶し、第１校正用測定物から得られた測定値ｙ２を記憶する。そして、第１校正用測定物を測定軸方向に移動させて得られた測定値ｙ２と測定値記憶部２４ａ内の測定値ｙ２との間の変化量に基づいて、測定値ｙ１の校正を実行する。また、第１校正用測定物から算出された第１演算値を記憶し、第１及び第２目標値と第１演算値と第２校正用測定物から算出された第２演算値とに基づいて、演算値ｚの校正を実行する。 （もっと読む）

【課題】高速な振動現象の下にあっても、エンジンマウントのマウント軸として配設されるボルトの中心の３軸並進量、及び、該ボルトの２軸回転量を高精度に算出することができる、変位量計測装置、及び、変位量計測装置の姿勢角決定方法を提供する。
【解決手段】エンジンマウント１０のマウント軸であるボルト１２の両端に固定した、半径が既知である２個の球体１３・１３の変位を、それぞれについて３箇所ずつレーザー変位計３１〜３３、３４〜３６で計測する球体変位計測工程と、球体変位計測工程で計測した球体１３・１３の変位結果に基づいて、球体１３・１３の中心Ｉ・Ｊの３次元座標Ｘ１・Ｘ２をそれぞれ算出する座標算出工程と、座標算出工程で算出した２個の３次元座標Ｘ１・Ｘ２に基づいて、ボルト１２の中心Ｋの３軸並進量、及び、ボルト１２の２軸回転量θ・φを算出するマウント軸変位算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 膜濾過工程用現場検出分析装置の提供。
【解決手段】 本発明は光感知装置と駆動装置とデータ処理装置とを備えた膜濾過工程用現場検出分析装置開示する。前記光感知装置は線形の第一アレイに配列される複数の感知素子を含有して、線形の位置にケーキ層の厚み変化に関する信号を検出する。前記駆動装置は前記光感知装置は少なくとも一つの局部平面にケーキ層の厚み変化を検出できるように、前記ケーキ層上に平行に前記濾材と前記光感知装置との相対的移動ことができるように前記光感知装置を駆動する。前記データ処理装置は前記光感知装置を接続し、前記光感知装置から検出され前記信号を連続的に処理と分析する、さらにすぐにこの膜濾過工程中に少なくとも一つの局部平面にケーキ層の厚み変化を算出する。 （もっと読む）

【課題】 原料ヤードにおける原料山の状態を従来よりも高精度に計測できるようにする。
【解決手段】 ブーム１０６ａに取り付けられた２Ｄレーザ距離計１０１ａ、１０１ｂから原料山１００にレーザ光を照射し、原料山１００からの反射光を受光し、受光した反射光と、そのときのレーザ光の照射方向とから求められる原料山１００の表面の座標を、ＩＭＵ１０３及びＧＰＳコンパス１０４で測定されるブーム１０６ａの姿勢に基づいて変更し、変更した原料山１００の表面の座標に基づいて、原料山１００の３次元形状と、原料山１００の体積とを計算し表示する。 （もっと読む）

【課題】安価な２軸スライダーを用いて、高精度に（半）透明基板の板厚分布を測定する方法を提供する。
【解決手段】（半）透明基板の一方の面から光を入射し、表面と裏面の反射位置を検出して板厚を測定する変位センサ−を用いた板厚分布を測定する方法であって、変位センサーの周辺に少なくとも３個のセンサーを配置し、これらのセンサーは、変位センサーと（半）透明基板との位置関係を測定して、（半）透明基板に対する変位センサーの位置及び姿勢を一定に制御しながら（半）透明基板の板厚分布を測定する方法であり、半透明基板における測定においては、半透明基板に接した、液体層を介して板厚の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】トップテーブルの小型化と、トップテーブル質量の軽量化を実現しつつ、かつ長尺の反射体を必要とせず真空試料室の小型化が可能な真空内処理装置ないし荷電粒子線装置を実現する。
【解決手段】測長に使用する一対の干渉計および反射体の両者が可動となるようステージを構成し、かつステージが持つ複数の移動軸のうち上記一対の干渉計および反射体によって測長が行われる方向とは交差する移動軸と平行な方向に対して、上記一対の干渉計および反射体が互いに対向する状態を保ったまま移動できるようにステージを構成する。 （もっと読む）

【課題】
コンクリート軌道表面の凹凸に影響され難くかつ段差等の軌道の急峻な位置変化に対して対応可能でかつ検測車両の走行状態で高低狂い、通り狂い等の測定を行うことができるコンクリート製軌道の軌道狂い測定方法および測定装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、検測車両の走行状態におけるコンクリート製軌道の軌道狂い測定において、距離検出器から得られるデジタル値の測定信号の測定値に対してコンクリート表面の凹凸を除去する幅を設定したメディアンフィルタ処理を行い、メディアンフィルタ処理により得られた測定値に基づいてモノレールの軌道狂い量の算出を行うものである。 （もっと読む）

【課題】
本発明はロボットを複数台運用するロボットシステムに関する。
【解決手段】
第１のロボットは、物体の反射光強度を計測する計測部と、計測部により得られた計測結果を解析する演算部と、第１のロボットを移動させる駆動部と、を備える。第２のロボットは再帰性反射特性を有する複数のマーカを備え、第１のロボットの演算部は、計測部の計測結果に基づき第２のロボットの複数の前記マーカの位置を算出し、算出の結果に基づき第２のロボットの位置および姿勢を認識し、第２のロボットの位置および姿勢の認識の結果に基づき第１のロボットを移動させるためのパラメータを算出し、第１のロボットの駆動部は、パラメータに基づき第１のロボットを移動させる。 （もっと読む）

【課題】短時間で且つ容易にワークの変位量を検出可能な非接触変位計測装置を提供する。
【解決手段】非接触変位計測装置は、ワーク１２を載置可能に構成された測定テーブル１３と、ワーク１２の変位量を計測する第１〜第３レーザプローブ３５ａ〜３５ｃと、Ｙ軸に沿って測定テーブル１３から相対移動可能に構成され、Ｚ軸方向に広がり且つＸ軸方向の測定テーブル１３の両端に端部を有するゲート形状を有する第１ゲート状駆動部１４Ａとを備える。第１〜第３レーザプローブ３５ａ〜３５ｃは、ワーク１２に光を照射すると共にその光に基づく反射光を受光し且つその反射光に基づきワーク１２の変位量を計測する。第１ゲート状駆動部１４Ａは、ワーク１２に対して少なくとも２方向からの光を照射させるように第１〜第３レーザプローブ３５ａ〜３５ｃを配置可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】近接する物体の検出精度の向上を図ることが出来る電子機器を実現する。
【解決手段】検出距離チューニングプログラム２００ａによるチューニング処理は、本コンピュータ１０の前にユーザが実際に存在している状態で実行される。このチューニング処理では、検出距離チューニングプログラム２００ａは、近接センサ２５から放出される光の強度を変化させながら近接センサ２５の出力信号を監視する。そして、検出距離チューニングプログラム２００ａは、この監視結果に基づいて、放出される光の強度を、現在のコンピュータ１０とユーザとの間の距離に適した値に調整する。 （もっと読む）