説明

Fターム[2F067QQ01]の内容

波動性又は粒子性放射線を用いた測長装置 (9,092) | 制御 (336) | 銃、管、線源のパラメータ (234)

Fターム[2F067QQ01]の下位に属するFターム

偏向 (183)
加速 (33)
周波数 (2)

Fターム[2F067QQ01]に分類される特許

1 - 16 / 16


【課題】本発明は、アスペクト比の大きなパターンの測定を実現することが可能な荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、荷電粒子源から放出された荷電粒子線を試料に走査することによって、当該試料から放出される荷電粒子の検出に基づいて、前記試料の画像を形成する荷電粒子線装置であって、前記試料の高さと、前記試料に対する予備帯電条件を関連付けて記憶する記憶媒体を備えた制御装置を備え、当該制御装置は、所望の試料高さの指定に基づいて、当該指定された試料高さに対応する予備帯電条件による予備帯電を実施する荷電粒子線装置を提案する。 (もっと読む)


【課題】周期性のある領域を簡易に且つ精密に設定することが困難であり、検査時に領域に対する位置ずれで誤検出が発生する場合がある。
【解決手段】ストライプ状に電子線画像を連続して取得し、画像の明るさ変化より領域情報を設定あるいは補正することで精密に帯電等の影響も含めた領域情報を設定することができるようになる。
【効果】簡易,短時間に精密に領域を設定でき、領域情報と画像との位置ずれによる誤検出を低減でき、検査結果の信頼性,安定性が向上するため、高感度検査が実現できる。 (もっと読む)



【課題】放射線を用いた検査装置の撮像系を簡便に補正する手段を提供する。
【解決手段】保持部は、治具と一体に構成されている、被検査体を固定する。検出部は、前記被検査体または前記治具を透過した放射線を検出して透過画像を生成する。ずれ量特定部36は、前記治具の透過画像を取得してその透過画像に映し出された治具の特徴点を特定し、当該透過画像に映し出された治具の特徴点と前記透過画像全体の中心とのずれ量を算出する。撮像制御部40は、前記ずれ量に基づいて前記被検査体と透過画像を取得する放射線検出器との位置関係を補正する。 (もっと読む)


【課題】高価な位置決め機構や複数式の検査機器を用いることなく、感度・鮮鋭度の高い画像を取得できると共に、搬送される被検査物の内部部位の寸法を高精度で測定可能なX線検査装置を提供する。
【解決手段】X線発生手段と、X線を感知できるCCD素子を被検査物の進行方向と直交する方向に1ライン配列すると共に進行方向に2列以上配列し、各列のCCD素子により、搬送される被検査物を繰り返し露光して取得した像を一列ずつシフトながら重ね合せて被検査物のX線透過像を出力するラインセンサーカメラを有する撮像手段と、被検査物を前記進行方向に搬送すると共に、撮像手段が1ライン単位で各列のCCD素子の電荷を転送して読み出す際の電荷転送速度に合わせた搬送速度で被検査物を搬送する搬送手段と、撮像手段から出力されるX線透過像に基づいて被検査物の内部を含む所定の検査対象部位の寸法を測定する寸法測定手段と、を備えた構成とする。 (もっと読む)





【課題】 X線管の第1グリッド電圧の制御代を正規化し、VI特性の器差を抑えると共に、寿命予測を標準化することを可能としたX線式厚さ測定装置を実現する。
【解決手段】 第1グリッド及び第2グリッドを有し、前記第1グリッド電圧により管電流が制御されるX線管から放出されるX線をシート部材に照射し、その透過減衰量に基づき前記シート部材の厚さを測定するX線式厚さ測定装置において、
前記第2グリッドに接続される可変電圧源を備える。 (もっと読む)



【課題】オートフォーカスの失敗による影響を除去でき、試料の特徴構造の寸法を正確に測定し得る電子顕微鏡を用いた試料の寸法の測定方法を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡は電子ビームの焦点を試料上に結ぶための対物レンズ151bと、対物レンズ151bに供給される励磁電流を供給するレンズ制御部150bと、特徴構造を測定するホストコンピュータ102を有している。ホストコンピュータ102は、対物レンズ151bに供給される励磁電流を変化させ、対物レンズ151bに供給される各励磁電流における前記試料の特徴構造の寸法データを測定し、この測定により得られる寸法データの変化を示す変動量が所定値以下となる寸法データを、試料の特徴構造の寸法として決定する。 (もっと読む)



【課題】標準試料を使用することなく正確に測定可能な走査型電子顕微鏡及びそれを用いる測定方法を提供すること。
【解決手段】試料6に対して走査する電子線(入射線)を断続的に照射し、該電子線が試料6に照射されたときに発生する後方散乱電子を後方散乱電子検出器22で検出し、時間差検出部53により、試料6に照射される電子線と後方散乱電子検出器22で検出した後方散乱電子との時間差を比較計測し、試料表面の形状を測定する。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、顕微鏡像の像分解能を客観的判断のもとに評価できる像評価方法の提供にある。
【解決手段】画像の部分領域の分解能を、前記画像全体或いは前記画像の一部領域に亘って求め、前記画像全体或いは前記一部領域に亘って平均化し、前記画像全体、或いは一部領域の分解能評価値とすることを特徴とする像評価方法を提供する。このような構成によれば、顕微鏡の像分解能の評価において、評価者の主観が入り込まないので、像分解能の評価値に対して高い精度と良い再現性を達成できる。 (もっと読む)



【課題】 サンプルの迅速なXRR及びXRDに基づいた分析用の装置及び方法を提供する。
【解決手段】 サンプルの分析用の装置は、サンプルの表面に向かってX線の収束ビームを案内するべく適合された放射源を含んでいる。同時に、サンプルから散乱したX線を、仰角の範囲にわたって、仰角の関数として検知し、この散乱したX線に応答して出力信号を生成するべく、少なくとも1つの検出器アレイが構成されている。この検出器アレイは、グレージング角で、サンプルの表面から反射したX線を検出器アレイが検知する第1の構造と、サンプルのBragg角の近傍において、表面から回折したX線を検出器アレイが検知する第2の構造と、を具備している。そして、信号プロセッサが、サンプルの表面層の特性を判定するべく、この出力信号を処理する。 (もっと読む)


1 - 16 / 16