【課題】被測定物の測定面と測定機の測定方向との平行出しを、効率よく行うことのできる平行出し装置、および、平行出し方法を提供すること。
【解決手段】被測定物に並列した移動案内体と、移動案内体に沿って移動するスライダとを備える。スライダの移動位置におけるスライダ移動位置、および、測定物の測定面位置を、スライダに備えられた光電式リニアスケール５、および、センサ６によって検出し、これらを基に、ＣＰＵ７１は、スライダの移動方向を基準とする測定面の傾き直線を演算し、傾き直線から揺動支点の調整基準値を設定し、調整基準値をメモリ７２に記憶させ、記憶させた調整基準値、および、センサ６によって検出される測定面位置の差を調整量として算出する。調整量はモニタ８に表示され、作業者は、表示された調整量に従って移動案内体の姿勢を調整する。 （もっと読む）

【課題】 長距離の計測においても精度の高い線形計測が可能なパイプラインの形状計測評価方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 パイプラインの始点及び終点におけるピグ本体の姿勢を予め取得しておき、始点におけるピグ本体の姿勢に対して、ピグ本体の走行によって得られた姿勢変化角を順次累積して始点から終点までの順方向の姿勢データを求めるとともに、終点におけるピグ本体の姿勢に対して、ピグ本体の走行によって得られた姿勢変化角を順次累積して終点から始点までの逆方向の姿勢データを求め、順方向の姿勢データと逆方向の姿勢データとを用いて姿勢誤差を低減した姿勢データを再計算し、再計算後の姿勢データを用いてパイプラインの線形形状を求める。 （もっと読む）

【課題】被検面の形状誤差に関わらず、常に高精度に偏心量を測定できる偏心測定方法等を提供できる。
【解決手段】レンズ枠１００ｃが備える３つの球１００ｄ等の位置を測定する第１の基準物位置測定工程と、レンズ１００の所定面の形状を測定する光学素子形状測定工程と、レンズ枠１００ｃに関する測定座標系の位置を計算する測定座標系計算工程と、光学素子形状測定工程の測定結果を測定座標系に座標変換する座標変換計算工程と、固定枠１４０（取り付け部１６０）によりレンズ枠１００ｃを支持する支持工程と、支持されているレンズ枠１００ｃの球１００ｄの位置を測定する第２の基準物位置測定工程と、レンズ枠１００ｃの基準軸１６０ａに対する偏心量を算出する第１枠体偏心量計算工程と、基準軸１６０ａに対するレンズ１００の偏心量を計算する光学素子偏心量計算工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、被被測定部材の厚さ、うねり、及びナノトポグラフィを測定する表面形状測定装置に関し、ガイドバーのガイド面に案内されて移動するスライダの横振れを小さくして、１つの装置で被測定部材の厚さ、うねり、ナノトポグラフィを精度良く測定することを課題とする。
【解決手段】 ワーク保持器９０が配設されたスライダ６１を複数の流体静圧パッド６２，６３によりガイドバー５１に対して移動可能に支持し、ワイヤ１１８を介して駆動モータ１０４の動力をスライダ６１に伝達させて、スライダ６１をＸ，Ｘ方向に移動させてワーク２９の面２９Ａ，２９Ｂの表面形状の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】 位置決め誤差及び円筒度が算出可能で、円筒度を考慮したころ外形母線形状を正確に測定可能なころ形状測定装置およびころ形状測定方法を提供する。
【解決手段】 被測定ころ４の中心線４ａに対して対称な二つの外形母線とそれぞれ接触するように配置可能な一対の測定子６，６を備える。 （もっと読む）

【課題】 ころの形状にばらつきがある場合でも、適切に評価基準を決定して、信頼性の高い形状評価を行うことができるころ形状評価方法を提供することにある。
【解決手段】 ころ形状評価方法において、実際に測定されたころの形状測定値から評価基準を決定する工程と、評価基準を用いてころの形状を評価する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな磁気回路によって、被測定物に接触するプローブの自重をキャンセルする力とプローブの変位によって変化するばね要素としての力を発生させる。
【解決手段】箱形状のヨーク７の方形の開口部に、プローブシャフト４と一体である鉄心９および永久磁石８を配設して、一定の曲率を有するヨーク７の内面に永久磁石８を対向させ、両者のすきまを流れる磁束により、形状測定装置の計測軸１５に対するプローブ移動方向であるＺ方向に変化するばね成分を含む力を発生させる。ヨーク７が箱形状であるためにヨーク７内に磁気回路がシールドされ、近傍に鉄系材料の部材が配設されても磁束が乱されることはない。 （もっと読む）

一定時間に亘って凹凸を検出する、凹凸検出のための装置（１０）、及び方法。得られた情報を使用して、凹凸の三次元構造、及び／又は伸縮性及び／又は弾性的挙動又は特徴に関して特定する。
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支持面上に支持されたセンサ・バーを当該支持面上の置かれたアイテム上を通過させることを含む、不規則な形のアイテムのセグメントの重量または価格を表示する装置と方法。小型で手で持てるセンサの実施形態によって、センサ・バーの支柱が支持面に常に接触したまま、アイテムの表面を横切って動くので、オペレーターはセンサ・バーをアイテムの表面上で様々な線形または非線形運動で動かすことができる。センサ・バーは１つ以上のセンサを含み、センサがアイテムを横切るときに、アイテムの高さに対応した信号を発生する。同時に、変位検出装置が支持面に対するセンサ・バーの変位に対応した信号を発生する。これらの信号を信号処理装置で処理し、次の位置でセンサ・バーの後方に位置する未切断のアイテムの体積を測定する。これらの累積体積のそれぞれの測定は、アイテムの特別な種類に対する密度因子に基づき、重量数値に連続的に変換することができ、それによって、センサ・バーがアイテム上を往復運動する時に、重量と価格（重量に基づく）の数値が連続的に表示され、オペレータは、アイテムを切断する前に、アイテムの外見、重量、及び価格に基づいて所望する特定部位通りに、見つめている顧客の具体的要求に対処することできる。
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【課題】 ワークやプローブの表面に塵埃が付着していても、容易にそれら塵埃を取り除くことができ、ワークやプローブを破損することなく、高精度な測定ができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】 プローブ２４をワークＷに接触させた状態で、移動機構１２により前記プローブ２４と前記ワークＷとを相対的に走査させることによって前記ワークＷの表面形状を測定する形状測定機１であって、前記ワークＷを支持するワーク支持手段５と、前記ワークＷに対して前記プローブ２４を進退可能に支持するとともに、前記走査において前記ワーク支持手段５に対して相対的に移動するプローブ支持手段２１，２２と、前記ワーク支持手段５に支持された状態のワークＷまたは前記プローブ支持手段２１，２２に支持された状態のプローブ２４の少なくともいずれか一方を洗浄する洗浄手段３７と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ワークやプローブを傷付けることなく、簡易な構成により迅速にワークを測定することができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】 プローブ１４をワークに接触させた状態で、前記プローブ１４と前記ワークとを相対的に走査させることによって前記ワークの表面形状を測定する形状測定機であって、前記ワークの表面に対する前記プローブ１４の接触荷重を調整する荷重調整機構２６を有し、前記プローブの先端に曲率半径Ｒが０．０１μｍ以上１μｍ以下に設定された探針３０が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】両面非球面レンズの偏心測定に要する時間を短縮する。
【解決手段】形状測定装置１０には、Ｙテーブル１３，Ｘテーブル１４，Ｚテーブル１５が設けられている。Ｚテーブル１５には、第１プローブ１６と第２プローブ１７が正対して設けられている。第１プローブ１６と第２プローブ１７の間にはレンズ保持枠１８が設けられ、偏心測定の対象となる両面非球面レンズが保持される。第１プローブ１６と第２プローブ１７は互いの位置関係が保たれながら移動するから、各プローブに対するレンズ位置のズレが生じない。第１プローブ１６によりレンズ前面の形状を測定し、第２プローブ１７によってレンズ後面の形状を測定すると、各非球面の光軸の位置が算出され、両面間の偏心量が求められる。 （もっと読む）

【課題】 制御回路の制御パラメータを適宜補正することにより、測定制御系の周波数特性を最大に保持することができる、測定制御系における制御回路の制御パラメータ補正方法を提供すること。
【解決手段】 スタイラス１３１を被測定物Ｗに押し込んで接触測定を行う。このとき、スタイラス１３１の押し込み量を表す変位信号と、スタイラス１３１の受ける測定負荷に応じてセンサ１３から出力されるセンサ信号とを測定し、この２つの信号を基にセンサ１３のゲインＧｓ´を算出する。Ｇｓ´の値は、スタイラス１３１および被測定物Ｗの性状によって異なるが、以上のように算出されたＧｓ´に応じて制御回路のゲインを補正することによって、スタイラス１３１および被測定物Ｗの少なくともいずれかを性状の異なるものに交換した場合においても、測定制御系の周波数特性を最大に保持することができる。 （もっと読む）

本発明によってはセンタリング装置、特に探査測定装置（１）のためのセンタリング装置（１１）が提案されている。このセンタリング装置は装置軸線（７）を規定する装置保持体（３）と、シャフト軸線（４３）を規定する保持シャフト（４１）と、装置保持体をシャフト軸線に対し平行な装置軸線でシャフト軸線に対し半径方向に移動可能ではあるがしかし固定可能に保持シャフトに保持するセンタリング保持装置とを有している。センタリング保持装置（４５）はシャフト軸線（４３）と装置軸線（７）を中心として分配された、前記軸線（７，４３）に沿って延びる１つの平行四辺形リンク領域（５９）又は複数の平行四辺形リンク領域を有する平行四辺形案内装置として構成されている。このような平行四辺形案内装置は保持シャフト（４１）及び／又は装置保持体（３）に一体に統合されて成形されることができる。これは製作費用を低下させる。平行四辺形案内装置の周方向に分配された調節ねじ（６９）はシャフト軸線（４３）を装置軸線（７）に対して調整することを可能にする。
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【課題】 空気軸受から流れ出る空気による影響を少なくして、安定した測定のできる測定用プローブを提供する。
【解決手段】 空気軸受３１の中央部に軸に吹き付けた空気の溜り部４７と、この空気の溜り部から空気を排出する排出口４８と、この空気の溜り部の両側に軸への空気の吹出口４５および吹出口４６を形成しているので、可動部材１１と空気軸受の隙間から被測定物２やレーザ光Ｆｚを反射する反射面１３のある空間に流れ出る空気の量が少なくなり、計測に与える影響を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 クランクシャフトのジャーナル部やピン部の外表面の微細な傷の有無を自動的に検査する。
【解決手段】 クランクシャフト１６をX軸方向の回転軸１６C回りに回転させつつ、Y軸方向に進退自在な測定子５６を、ジャーナル部又はピン部などの検査箇所１６Aに当接させて、1回転の回転角度ごとの検査箇所１６Aの表面位置を測定し、回転角に対する表面位置の波形データを得る。測定子５６は、首振り機能をもち、Z軸方向に十分長いため、回転中は検査箇所１６Aに常に当接する。上記波形データから、所定の周波数以下の低周波波形成分を除去して、高周波波形成分だけを抽出し、その高周波波形成分の勾配や振幅などから、検査箇所の傷の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】蛍光体ペースト塗布工程直後に塗布工程の状態を検査することで塗布工程に発生した連続欠陥の原因となる不具合を迅速に発見し、不良品となりロスとなる基板数を最小限に抑え、速やかに工程を復旧させることを可能にするディスプレイパネルの検査方法および検査装置並びにそれらを用いた製造方法を提供する。
【解決手段】高さ測定手段を有し、基板に所定の間隔で複数本塗布された液状材料と交差する方向へ、基板、または高さ測定手段を移動させながら、液状材料塗布部を含む基板面の高さ測定を離散的に行い、得られた離散高さ形状信号間を補間して求められた高さ形状信号から液状材料毎の高さを抜き出して連ねた高さ信号を検査信号とし、検査信号より液状材料毎の塗布量を測定することを特徴とするディスプレイパネルの検査方法、および検査装置並びにそれらを用いた製造方法。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と、位置決め、搬送の能率につき向上を図る。また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持する既存の発明を改良し、計測動作等から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、走査プローブ顕微鏡で狭域の走査をする場合における、広域走査でのスキャナ駆動回路の持つノイズやドリフトが観察像の質を悪くしていることである。
【解決手段】探針と試料との間に作用する物理量を検出する走査形プローブ顕微鏡において、探針と試料を相対的に走査するスキャナと、前記スキャナの走査領域に対応した少なくとも２個のスキャナ駆動回路と、前記少なくとも２個のスキャナ駆動回路を切り替える切替手段と、を備えた走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】微生物を検出する方法において、微生物を迅速に、正確に、検出し、検体中の微生物の個数を計測する生物計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】顕微鏡蛍光原子間力微生物検出手段１６をもちいて、蛍光染色を必要としない顕微鏡観察手段３で観察した箇所と同じ箇所を観察できる機構をもつ原子間力顕微鏡観察手段５を用いて微生物の外形や表面形状を詳細に観察データを処理できるようにしたことと、蛍光染色を施し、蛍光観察手段１２により観察した箇所と同じ位置を観察できる機構をもつ原子間力顕微鏡観察手段５を用いて計測しその計測データを処理できるようにして微生物を検出できるようにしたことにより、検体中の微生物を迅速に正確に検出し、微生物の個数を精度よく計測する微生物計測装置が得られる。 （もっと読む）