【課題】検査対象物に対して測定力一定制御の応答可能帯域よりも高い周波数までの振動を測定でき、質量効果の影響を低減できる接触式振動計およびこれを備えた表面性状測定装置を提供すること。
【解決手段】接触式振動計を備えた表面性状測定装置は、検査対象物との接触時に発生する測定力を検出し力検出信号として出力する力センサ１、力センサ１を検査対象物の振動に応じて移動させる駆動アクチュエータ１３３、力センサ１の位置変位情報を検出し変位信号として出力するスケール検出器１３５を有するプローブ１３０と、力検出信号を力フィードバック信号として力設定値と比較し、力フィードバック信号が力設定値に一致するように駆動アクチュエータ１３３を駆動させる力制御ループＲＦと、力検出信号および変位信号を合成して、検査対象物の振動振幅を取得する信号変換器２４０を備える。 （もっと読む）

【課題】単純な構造で精度が良く、その上安価な金属帯板の形状測定ロール及び金属帯板の形状測定装置を提供する。
【解決手段】金属の帯板が走行する設備に両端が回転自在に支持され前記帯板を巻き付けるように配置されるロールにおいて、該ロールの表面には少なくとも１本以上の周方向から傾斜した溝、又は、少なくとも２本以上の円周方向の溝を設けるとともに、前記ロールの軸方向位置には少なくとも１個以上の前記帯板の変位を測定する変位測定手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】触針式段差計を用いて表面形状を測定する際に、表面形状における段差部での応答性の良さと雑音の小ささを両立させることができる測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】カットオフ周波数７０Ｈｚの低域通過フィルタを備え、探針を試料に対して予定のｘ方向に一定の速度で掃引する際に変位センサで得られた測定電圧に基づき横軸ｘ方向の距離と縦軸ｚ方向の変位量とから成る応答性の良いデータを出力する検出回路と、ｄｚ／ｄｘ又はｄｚ／ｄｔの値に基づき、段差でのデータを立上り領域データ部分と、平坦部領域データ部分と、立下り領域データ部分とに分け、平坦部領域データ部分をさらに１３Ｈｚ程度のソフトの低域通過フィルタで処理し、そして処理した平坦部領域データ部分を立上り領域データ部分及び立下り領域データ部分とに結合して段差形状データを得るコンピュータ装置とを有して成る。 （もっと読む）

【課題】穴の形状を測定するにあたり、測定時間を長引かせずに測定することができる形状測定装置、形状測定方法を提供する。
【解決手段】円筒状の形状を有するワークの形状を測定する形状測定方法であって、前記ワークの形状を検出し、前記ワークが載せられる搭載盤を回転させながら、前記センサを前記ワークの回転軸方向に移動させ、移動される前記センサから出力される検出データを記憶部に書き込み、前記記憶部に書き込まれた検出データを参照し、前記ワークの１回転に応じた区間の区間データを抽出し、前記抽出した区間データに基づいて、前記ワークの形状を演算することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被計測物を回転させるための円筒状工具計測用治具において、被計測物を回転方向に係らず安定して回転させる。
【解決手段】被計測物の円筒側面の少なくとも二箇所を保持する手段と、被計測物の底面の位置を決める手段と、被計測物を回転させるための、被計測物の回転軸と直角な方向に駆動するベルトとを備えた治具において、少なくともベルトの被計測物に接する側の面が弾性体からなり、かつ該被計測物に接する側の面が被計測物の計測部分の方向に向かって被計測物から離れる方向に傾斜している構造とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、構成の簡略化を図ることのできる形状測定装置を提供することにある。
【解決手段】上下方向に振動しながら被測定面２４上を走査する探針１２と、該探針１２を上下方向に振動させる微小振動発生手段１６と、該被測定面２４と探針１２間の距離ないし接触力が一定となるように該探針１２を上下動する上下動制御手段１７と、該探針１２を該被測定面２４上で走査する走査手段１８と、該探針１２の上下方向変位を測定し探針変位信号を出力する変位センサ２０と、該信号２６中の高周波成分より該被測定面２４と探針１２間の距離情報ないし接触力情報を取得し、該距離ないし接触力を一定に保つように該被測定面２４を走査した際の該信号２６中の低周波成分より該被測定面２４の凹凸情報を取得する信号処理機構２２と、を備えたことを特徴とする形状測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】ピッチング誤差やローリング誤差を抽出でき高精度な測定を行える被測定面の測定方法を提供する。
【解決手段】被測定面を回転させる場合における回転軸線の振れに相当するティルトモーション誤差は、被測定面を高精度に測定する上で除去すべきでものである。従来技術によれば、かかるティルトモーション誤差を簡易に除去する方法がなかった、これに対し本発明によれば、前記被測定面を備えた部材を回転させながら、前記第１の２次元角度センサにより前記第１の測定点の面法線角度を２次元で測定し、前記第２の２次元角度センサにより前記第２の測定点の面法線角度を２次元で測定し、前記第１の２次元角度センサの測定値に基づいて、前記第２の２次元角度センサの測定値からティルトモーション誤差を排除することができる。 （もっと読む）

【課題】形状を高精度で信頼性よく測定することが可能な測定システム、測定方法及びプログラムを提供する。
【解決手段】測定対象物１０の設計形状を規定する第１及び第２形状因子の公差を格納する外部記憶部２６と、測定対象物１０の第１形状因子の測定データを得る測定器１４と、第１形状因子の測定データと外部記憶部２６から読み出した第１形状因子の公差とを比較する比較部３２と、測定データから予測形状を構成して図形として成立するか検証する検証部３４と、検証部３４が構成した予測形状から第２形状因子の予測データを計算する計算部３６と、計算部３６が計算した予測データを外部記憶部２６から読み出した第２形状因子の公差と比較して測定形状を判定する判定部３８とを備える。 （もっと読む）

【課題】所定の基準面と直角の方向における位置を測定する形状測定において、従来よりも簡易な構成によって、基準面に対して大きな傾斜角をなしかつ任意の方向を向いた測定面における測定を可能とする。
【解決手段】形状測定装置１を、少なくとも２軸方向（Ｘ、Ｙ）に試料Ｗとプローブ２０とを相対運動させて試料Ｗの表面をプローブ２０で走査させる多次元移動手段（１１、３０）と、試料Ｗを置くための、２軸方向（Ｘ、Ｙ）に対して直角な軸Ｚに対して傾斜した傾斜面を有する試料台１２と、傾斜面の垂直軸Ａを回転軸として試料台１２を回転させる回転手段とを備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】板状体の表面に変形を生じさせることなく、高精度に板状体の表面形状の測定を行う測定方法を提供すること。
【解決手段】板状体を略垂直方向に自立させ、板状体の測定面を略垂直方向に立てることを特徴とする板状体の表面形状の測定方法、及び、この測定方法を好ましく用いることができる測定冶具を提供する。
本発明によれば、板状体の表面に変形を生じさせることなく、高精度に板状体の表面形状の測定を行う測定方法を提供することが可能である。 （もっと読む）

【課題】走査型プローブ顕微鏡を用いた、寸法精度の高いマスクパターン修正方法を提供すること。
【解決手段】マスクパターン修正方法は、マスクパターン５のパターンエッジに黒欠陥が存在しない第１の部分の３次元情報を走査型プローブ顕微鏡を用いて取得するステップと、前記３次元情報に基づいてマスクパターン１のパターンエッジに黒欠陥２が存在する第２の部分を前記走査型プローブ顕微鏡のプローブを用いて修正を行うステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】判定対象の背面形状に対して所定の分類中最も的確な分類を客観的に判定することができる背面形状判定分類方法及びそれを用いて自動的に判定を行う背面形状分類判定装置を提供することにある。
【解決手段】背面形状分類判定装置１は、人体背面の凹凸を関数化した背面形状データを複数のクラスタに分けて記憶した背面形状データベースを構成する記憶部１１と、判定対象の背面形状を測定して当該判定対象の背面の凹凸を関数化した背面形状データを取得する背面形状取得手段と、前記判定対象の背面形状データと前記複数のクラスタに含まれる背面形状データとの間の距離に基づいて前記判定対象の背面形状が属するクラスタを決定する判定手段としての機能を備えた演算処理部１１と、分離判定に基づいてレポートを表示する表示部１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】円筒体形状の寸法測定、特には円周形状の測定において測定にかかる負荷が少なく、個々の測定値が正確、かつ測定ポイント数を効率的に低減する測定方法の提供。
【解決手段】本発明は、円筒体の軸に対して直交する断面の円の形状の測定方法において、該断面円内に設定した、被測定円筒の回転軸と断面円が交わる点である基準点に対する該断面円の円周上の３つの所定の点までの距離の該円筒の回転による変化に基づいて、該基準点と該円周との間の距離を算出して該断面円の形状を特定する工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】走査型プローブ顕微鏡測定の障害となる半導体ウエハ内部に蓄積された電荷を、確実に取り除き、走査型プローブ顕微鏡の探針の破壊を防止し、安定した表面形状測定を行うことができる測定システムおよび測定方法を提供すること。
【解決手段】第１プローブ１３６と、被測定物ＳＰを第１プローブ１３６に対して進退および走査可能に相対的に移動させる第１試料位置制御手段１２０と第１プローブ１３６および被測定物ＳＰの表面を観察可能な光学顕微鏡部１５０とを有する走査型プローブ顕微鏡部１００と、導電性の第２プローブ２３２と、被測定物ＳＰの特定部位を第２プローブ２３２に対して進退および走査可能に相対的に移動させる第２試料位置制御手段２２０と第２プローブ２３２および被測定物ＳＰの表面を観察可能な光学顕微鏡部１５０とを有する除電部２００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、接触式の測定装置と、撮像装置を用いた測定装置との間で、両者間の基準位置の校正を正確且つ容易に実行できる、基準位置校正治具、外形測定装置、外観検査装置、測定対象物保持装置、基準位置校正方法、外形測定方法、及び外観検査方法を実現する。
【解決手段】本発明による基準位置校正治具は、測定対象物に接触して形状を測定する接触式形状測定装置、及び測定対象物の画像を取得して形状を測定する画像認識形状測定装置において基準位置を校正するための基準位置校正治具であって、平坦面と、当該平坦面に形成されており、当該平坦面に垂直な周縁壁を有する円形の凹部又は円柱と、を備える。外形測定装置、外観検査装置、測定対象物保持装置は、当該基準位置校正治具を備える。基準位置校正方法、外形測定方法、及び外観検査方法は、これらの基準位置校正治具、外形測定装置、外観検査装置、又は測定対象物保持装置を用いる。 （もっと読む）

本発明は、最小値サンプリングを用いた信号復元装置および方法に関するものであって、より詳細には入力信号に対して最小値サンプリングを行う場合に発生するエイリアシング（Ａｌｉａｓｉｎｇ）によって信号復元時発生する劣化を効果的に防止できる最小値サンプリングを用いた信号復元装置および方法に関するものである。
本発明の実施形態による最小値サンプリングを用いた信号復元装置は、入力信号に対して最小値サンプリングを行うサンプリング部と、前記入力信号に対して所定のサンプル区間における最小値サンプリングによってサンプリングされたサンプル値が保存される保存部と、前記サンプル区間において前記サンプル値の位置を判断する位置判断部、および前記判断された位置に応じて前記保存されたサンプル値により、前記入力された信号を復元する復元部とを含む。
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座標測定機など測定機用の伸長可能な脚部アセンブリ（８；３０）を記載する。伸長可能な脚部アセンブリ（８；３０）は、第１の端部および第２の端部を備え、第１の端部と第２の端部の間の間隔を測定するための計測装置を備える。計測装置は、低い熱膨張係数を有する１つまたは複数の細長計測部材（４４、４６；７６、７８）を備える。伸長可能な脚部アセンブリ（８；３０）は、枢動接合部によって、１つまたは複数のプラットホーム（４、６；３６、３８）に取り付けることができる。好ましい一実施形態において、荷重支持構造（５０、５６）は、脚部アセンブリ（８；３０）の計測構造（７６、７８、８０）から機械的に隔離される。
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【課題】被測定面の設計式が定義される座標系と形状測定の際に被測定物が設置される座標系とが傾きを持つ場合にも、正確に測定基準点合わせを行うことができ、高効率、高精度の形状測定を可能とする形状測定方法を提供すること。
【解決手段】形状測定装置１００において、被測定物１０１の被測定面の形状を表す設計式上に複数の離散点を設定し、その離散点を、設計式上の任意の回転基準点を中心に被測定面を設計式に一致させた状態での基準面と被測定物１０１を形状測定装置１００に設置した状態での基準面とのなす角度分回転して座標変換し、当該座標変換後の離散点から最適関数を算出し、被測定面の少なくとも一部を測定した測定データと上記最適関数とを用いて、被測定面上の基準点と最適関数上の基準点とのズレ量を算出する。被測定面の測定したデータと上記ズレ量と上記座標変換に用いた角度と設計式とに基づいて、被測定面の形状を求める。 （もっと読む）

【課題】製品の３次元的内外面形状を測定し、測定したデータから設計、製造に必要なＣＡＤデータを作成し、製品を再現化する３次元形状測定方法および３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る３次元形状測定方法は、対象物の表面形状および内部形状のそれぞれを撮像し（Ｓｔ−１、Ｓｔ−２）、撮像した内部形状を点群データに変換し、変換した点群データを基準マーカを基点に重ね合わせて合成する内部形状合成工程（Ｓｔ−３）と、撮像した表面形状を点群データに変換し、変換した点群データを基準マーカを基点に重ね合わせて合成する表面形状合成工程（Ｓｔ−４）と、前記内部形状合成工程（Ｓｔ−３）で作成した内部形状合成点群データと前記表面形状合成工程（Ｓｔ−４）で作成した表面形状合成点群データとを合成して一体化する内部表面データ合成工程（Ｓｔ−５）と、この内部表面データ合成工程（Ｓｔ−５）で作成したデータをＣＡＤデータに変換する３次元形状変換工程（Ｓｔ−６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】短時間で精密に３次元形状を測定する面形状測定装置およびその方法を提供すること。
【解決手段】本発明の面形状測定装置１は，対象点の第１軸方向位置を測定するとともに，測定箇所を第１軸方向と交差する面内で走査して測定対象物の形状を測定するものであって，測定対象領域内における重点測定領域を記憶する記憶部と，対象点の第１軸方向位置の測定を，重点測定領域内では第１水準の測定点密度で行い，重点測定領域外では第１水準より低い第２水準の測定点密度で行うように，測定箇所の走査を制御する制御部とを有する。 （もっと読む）