【課題】２つのハウジング貫通ボアのボア壁の磨耗状態を検知するための測定装置を提供する。
【解決手段】少なくとも２軸のスクリュー押出機の、互いに平行なボア軸線を有する２つのハウジング貫通ボアのボア壁の磨耗状態を検知するための測定装置は、後部駆動輪（８）と、前部案内輪（１２）と、各々がボア軸線を中心として旋回式に駆動可能であるとともにそれぞれのボア壁から所定の距離を置いて位置決め可能である非接触式に動作する距離センサ（２１、２１’）とを備えた架台を有する。 （もっと読む）

【課題】円筒体形状の寸法測定、特には円周形状の測定において測定にかかる負荷が少なく、個々の測定値が正確、かつ測定ポイント数を効率的に低減する測定方法の提供。
【解決手段】本発明は、円筒体の軸に対して直交する断面の円の形状の測定方法において、該断面円内に設定した、被測定円筒の回転軸と断面円が交わる点である基準点に対する該断面円の円周上の３つの所定の点までの距離の該円筒の回転による変化に基づいて、該基準点と該円周との間の距離を算出して該断面円の形状を特定する工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 測定子が軽い力で動くと共に、装置構成を複雑化することなく、高速な測定を可能にする。
【解決手段】 眼鏡枠保持部と、回転支基と、回転支基に配置された測定子とを備え、回転支基を回転させ、測定子の動径方向及び高さ方向の移動を検知して眼鏡枠の三次元形状を測定する。スリット板を測定子と一体的に配置し、光を発する発光部と受光する画素を選択可能な２次元センサとを持つ投光受光ユニットを回転支基に配置する。２次元センサは、受光する画素が選択的に設定された平行でない第１受光ラインと第２受光ラインを持ち、スリット板は第１受光ラインに対して平行でない第１スリットと第２受光ラインに対して平行でない第２スリットとを持ち、第１受光ライン及び第２受光ラインでそれぞれ検出される第１スリット及び第２スリットの投影位置に基づいて測定子の動径方向及び高さ方向の移動位置を検知する。 （もっと読む）

【課題】３次元形状測定装置に関する座標系によって表された３次元形状データを支持機構に関する座標系によって表された３次元形状データに変換するための座標変換関数を、作業性および経済性よく取得する。
【解決手段】アーム座標系Ａ１のＺ軸が基準座標系ＳのＸ−Ｙ座標平面に直交する２つの位置ごとに、同Ｚ軸線回りにおける２つの測定位置から基準物体５０を測定し、Ｘ−Ｙ座標平面内における各定点によって定義される円を用いて座標変換関数Ｆ_Ｃ１Ｃ３を計算する。次に、基準座標系ＳのＸ−Ｚ座標平面に直交する連結部２５ｃ，２６ａの軸線回りにおける３つの測定位置から基準物体５０を測定し、Ｘ−Ｚ座標平面内における各定点によって定義される円を用いて座標変換関数Ｆ_Ｃ３Ａ２を計算する。そして、座標変換関数Ｆ_Ｃ１Ｃ３と座標変換関数Ｆ_Ｃ３Ａ２とを用いて座標変換関数Ｆ_Ｃ１Ａ２を計算する。 （もっと読む）

【課題】試料表面の凹凸形状を検出する検出手段の光学的な位置合わせを簡便に行うこと。
【解決手段】触針式プローブ１０は、Ｘ方向に延在する厚さが薄いレバー１１と、レバー１１の先端付近に設けられる−Ｚ方向に先鋭化された探針１２とを有し、レバー１１の基部に設けられるスペーサー１３を介してガラス基板２０に固定され、レバー１１とガラス基板２０の間に、スペーサー１３の厚さに相当するギャップＧが形成されている。探針１２を試料Ｓに接触させると、試料表面の凹凸形状に応じてレバー１１が撓み、撓んだ部分のギャップＧの間隔が変化する。レーザー光源４からの照明光をガラス基板２０を通して触針式プローブ１０へ照射すると、ギャップＧに起因して干渉縞が現れ、その干渉縞のＸ方向の位置を顕微鏡２とＣＣＤカメラ３で検出することにより、試料Ｓの表面の凹凸量を測定する。 （もっと読む）

部品１２を支点８〜１１において収容するスタンプ領域６を形成するために、ベース領域１上に配列された複数のスタンプ２〜５を用いて、部品の自重を取得し、可撓性部品１２、特に、大面の金属板の、所望の輪郭と実際の輪郭との間のズレを取得するための方法および装置であり、各スタンプ２〜５は、支点において作用する重量（力）Ｆ_mを測定するための少なくとも１つの力測定センサ１８〜２１と、各スタンプ２〜５によって移動された移動経路Ｓ_mを測定するための少なくとも１つの距離測定センサ（１４−１７）と備える。 （もっと読む）

【課題】測定装置の複雑化を招くことなく、形状測定の信頼性を確保することができる円筒体の形状測定方法を提供する。
【解決手段】円筒体９０の両側端部近傍の内周面９２に一対の基準部２０，２０を当接させたまま円筒体９０を回転させ、円筒体９０の外側から基準部２０，２０に対峙する位置３１，３１において、円筒体９０の回転に伴う前記円筒体９０の外周面９１の半径方向の変位量を変位検出器によって検出する。一方、形状測定されるべき円筒体９０が存在しないときに、この円筒体９０の変位量測定を行う変位検出器を用いて基準部２０，２０の回転に伴う変位量検出を行い、この一対の基準部２０，２０の変位量に応じて、円筒体９０の変位量検出を補正する。 （もっと読む）

【課題】高次の次数ｋを考えた場合でも、正しく計算できない次数ｋが出てくるということがなく、回転体の形状ｒ（θ）、ひいては回転振れ量ｘ（θ）、ｙ（θ）を正しく求めることができる回転体測定装置２０および方法を提供する。
【解決手段】４本以上の検出器を用いて、（２２）式および（２３）式の分母にくる倍率係数α_１ｋ、β_１ｋ等が均一になる検出器の角度配置を複数組選択する。（２２）式および（２３）式の分母が０となる部分は複数組の間で補完しあうように倍率Ｈ_１ｋ、Ｈ_２ｋ（結果的に倍率係数α_１ｋ、β_１ｋ等）を選択する。この補完しあう倍率係数α_１ｋ、β_１ｋ等（結果的にＡ_ａｋ、Ｂ_ａｋ）を用いて形状ｒ（θ）と回転振れ量ｘ（θ）、ｙ（θ）を求める。 （もっと読む）

【課題】測定装置の複雑化を招くことなく、形状測定の信頼性を確保することができる円筒体の形状測定方法を提供する。
【解決手段】円筒体９０の両側端部近傍の内周面９２に一対の基準部２０，２０を当接させたまま円筒体９０を回転させ、円筒体９０の外側から基準部２０，２０に対峙する位置３１，３１において、円筒体９０の回転に伴う前記円筒体９０の外周面９１の半径方向の変位量を変位検出器によって検出する。一方、形状測定されるべき円筒体９０が存在しないときに、この円筒体９０の変位量測定を行う変位検出器を用いて基準部の位置検出を行い、形状測定の基準とする基準部２０，２０の位置ずれを未然に検出する。 （もっと読む）

【課題】振動の発生を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０は、顕微鏡連結部材４０に取り付けられる。顕微鏡連結部材４０は、弾性部材５４ａ，５４ｂ，５４ｃ，５４ｄを介してベース筐体部５０により保持される。顕微鏡連結部材４０に、おもりＷが取り付けられる。おもりＷの取り付け位置は、顕微鏡装置の各構成要素の重量、設置位置等を考慮して、各構成要素に発生する振動を確実に減衰できるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】試料の振動を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡は、ＡＦＭスキャナおよび試料載置台を備える。試料載置台は、移動プレート、Ｚ方向移動機構およびＸＹ方向移動機構３０ｃを含む。ＸＹ方向移動機構３０ｃは、２つのモータＭａ，Ｍｂ、Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０を有する。Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０には、あり溝ガイド方式が用いられている。 （もっと読む）

【課題】広範囲に渡る試料の観察を容易に行うことができるとともに、迅速かつ正確な観察を行うことが可能な顕微鏡システム、観察方法および観察プログラムを提供する。
【解決手段】試料上の走査単位領域および観察対象領域を設定する。ＣＰＵは観察対象領域内の走査単位領域の個数および位置を設定し、各走査単位領域の形状情報を取得する（ステップＳ２１）。ＣＰＵは、取得した形状情報に基づいて全ての走査単位領域の上面視画像を表示装置に表示させる（ステップＳ２２）。複数の走査単位領域の上面視画像を使用者が手動で連結する場合、ＣＰＵは選択された上面視画像に対するオフセット処理を行う（ステップＳ２７）。オフセット処理は、隣接する走査単位領域の上面視画像の重複領域の画像のピクセルの階調がほぼ等しくなるように一方の上面視画像のピクセルの階調をオフセットすることにより行われる。 （もっと読む）

【課題】測定対象の移動距離、或いは測定対象が小さい場合でも測定を可能とする。
【解決手段】測定基準物１及び測定基準物１に沿って一定の測定間隔ｄ１で直線移動及び停止可能なステージ３と、測定基準物１及びステージ３の表面形状及び運動軌跡間の相対変位を検出する変位センサ７とを備え、ステージ３上の２点につき測定間隔ｄ１毎に相対変位を測定した結果に基づき測定基準物１及びステージ３の形状誤差、運動誤差を求める真直度測定装置において、相対変位の測定間隔ｄ１毎の測定を、ステージ３の２点についてステージ３の移動を繰り返し変位センサ７を各別に配置して行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、微孔（micro viaまたはlaser via）に銅を充填後の凹みまたは凸起の分析方法を開示する。
【解決手段】高さスキャン装置を利用して、プリント基板に銅を充填するステップを実施後に積層材料表面にできる銅めっき層の高さ分布を測定してから、各微孔の所在箇所の局部における銅被覆面積の複数個の高さ値を選択する。当該局部の銅被覆面積の該微孔周囲の複数個の高さ値を平均または計算して相対的標準高さを得、さらに該相対的標準高さと該微孔範囲内の銅被覆表面の各高さ値を比較して、その差の値を出す。それぞれの差の値の許容凹み量または許容凸起量を上回る累積数量が設定値を超えているか否かを計算する。超えていれば当該微孔範囲内の銅被覆表面に凹みまたは凸起欠陥があると判定する。 （もっと読む）

【課題】搬送コンベアの不具合箇所を早期に発見し、故障予兆診断を可能とする搬送コンベアの保守検査装置および保守検査方法を提供する。
【解決手段】搬送レール９１に沿ってワークを搬送する搬送コンベアの保守検査装置であって、搬送コンベアに取り付けられ、搬送レール９１の断面形状の所定部位の形状変化を検出する形状変化検出手段２と、搬送レール９１の搬送方向における形状変化検出手段２の位置を検出する位置検出手段３と、位置検出手段３のデータに基づいて、搬送コンベアの軌道形状を求めるとともに、形状変化検出手段２および位置検出手段３で検出されたデータに基づいて、搬送コンベアの軌道における形状変化の分布を求める演算装置と、を備えたことを特徴とする搬送コンベアの保守検査装置。 （もっと読む）

【課題】ターボ機械部品の円筒形部分とテーパ部分の間の結合ゾーンのプロファイルを検査する方法である。
【解決手段】-上記部品の表面プロファイルは、部品のテーパ部分に対応する少なくとも１つの第１ゾーンと、部品の円筒形部分とテーパ部分との間の結合部に対応する少なくとも１つの第２ゾーンと、部品の円筒形部分に対応する第３ゾーンとにより、幾何学的に画定されている。上記方法は、部品の表面プロファイルを測定（２０）すること、測定された表面プロファイルから、そのゾーンのそれぞれに対する部品の表面に加わる接触圧力をモデル化（３０）すること、および所定のしきい値と、部品の表面プロファイルの第２ゾーンに対してモデル化された接触圧力とを、比較（４０）することを含む。 （もっと読む）

サンプルの表面形状を測定するためのＳＰＭベースの計測技法は、表面形状のＳＰＭ走査の結果取得された形状端部ポイントの一群に曲線をフィットさせる。２つの曲線が注目する形状の両端部でフィットされる場合、それらの曲線間の最大または最小距離を決定して、最大ビア幅、最小ライン幅などの注目する寸法を確定することができる。走査は、好ましくは、Ｙ方向には比較的低い解像度の走査であり、一般に、注目する形状全体で８〜１２個の走査プロファイルを有し、従来技法で一般に使用される解像度の約半分の低解像度である。低解像度走査は比較的迅速に高い併行精度で行うことができる。併行精度も従来技法の場合よりも高く、併行精度のレベルはＹ方向の解像度に比較的影響されない。低解像度を使用するとチップ摩耗も著しく減少し、高解像度走査と比較して処理能力が向上する。
（もっと読む）

【課題】 真円度、真直度、直径、円筒度等の深穴精度の測定を行うことのできる深穴測定装置および深穴測定方法を提供する。
【解決手段】 本発明の深穴測定装置は、上記の課題を解決するために、被測定物である深穴の内部に設置された測定装置の回転の中心軸から被加工物の内壁までの半径方向の距離を測定する変位検出手段を回転可能に構成すると共に、この変位検出手段を含めた測定装置本体の回転角度、傾きを検出する。さらに、変位検出手段からの検出信号を用いて被測定物である深穴の真円度、真直度、直径、円筒度等の深穴形状精度を一度に演算して出力する手段を有する。 （もっと読む）

【課題】 眼鏡枠形状測定装置の測定誤差の校正を三次元で実施できる眼鏡枠形状測定装置の校正治具を提供すること。
【解決手段】 眼鏡枠等の形状を測定する眼鏡枠形状測定装置の測定誤差を校正するために用いられる校正治具３０であって、眼鏡枠形状測定装置の測定子がトレースするトレース溝が、眼鏡枠のリム２Ａ、２Ｂの内周に形成されて眼鏡レンズのヤゲンを嵌合するための枠溝２０であり、上記リムが、当該リムよりも剛性の高い枠体３１に固定されて構成され、上記枠溝が半径方向の変位ｒ、回転方向の変位θ及び高さ方向の変位zを有して構成されたものである。 （もっと読む）

【課題】 ころを安定して転動させることができるシェル形外輪の軌道面の真直度および平行度を測定する形状測定装置を提供する。
【解決手段】 シェル形外輪の形状測定装置は、内径穴３５を有する基準リング３２と、内径穴３５に圧入されたシェル形外輪２２の内径面２６および基準リング３２の外径面または内径面の母線形状を測定するプローブ部３３と、プローブ部３３を軸方向に走査して移動させるプローブ移動手段とを有する。 （もっと読む）