【課題】 試料表面の微細な溝等の側壁等を測定するとき、探針の磨耗が小さく、測定信頼性が高く、探針走査の移動制御を簡単に行うことができ、試料表面を短時間に走査できる走査型プローブ顕微鏡およびその測定方法を提供する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡の測定方法は、予め設定された探針移動路について、ＸＹＺ微動機構２９等によって、試料１２上でＺ方向に探針の位置を制御しながら探針２０を試料の表面に沿ってＸＹの両方向またはいずれか一方向に走査させる第１のステップと、第１ステップの間、測定部や変位検出部により試料の表面に係る測定情報を得る第２のステップと、第２のステップで取得した測定情報に基づいて、第２回目の走査における探針移動路と、この探針移動路上での試料表面に対する平行方向成分を含む測定を行う測定場所とを決定する第３のステップと、第２回目の走査に基づき平行方向成分を含む測定を行う第４のステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 センサ素子におけるセンサの誤認識の発生を低減する。
【解決手段】 封止用樹脂１８などの樹脂を印刷する際に、センサＩＣ１のセンサ面１ｇとこれに対向する封止用マスク１６の下面１６ａとの間に空洞１７を形成した状態で、スキージ１２によって封止用樹脂１８を印刷することにより、印刷時の封止用マスク１６とセンサＩＣ１のセンサ面１ｇとの接触を避けることができ、これにより、印刷時にセンサＩＣ１のセンサ面１ｇにダメージが与えられることを防止できるため、センサＩＣ１におけるセンサの誤認識の発生を低減できる。 （もっと読む）

【課題】ウエハ表面の凹凸やパターン段差が大きかった場合でもステージが十分に追従できるようなステージ制御を実現する。
【解決手段】基板を載置して移動可能なステージを制御するステージ制御装置は、基板の表面の凹凸形状に対応する基板面位置情報に基づいてステージの鉛直方向に関する目標値を生成し、生成された目標値とステージの計測位置との偏差信号に基づいて該ステージの駆動指令信号を生成する。ここで、基板の表面の凹凸形状が有する空間周波数に基づいて目標周波数が決定され、駆動指令信号の生成には、上記偏差信号の目標周波数の成分を増幅して得られた信号が用いられる。 （もっと読む）

【課題】 悪環境下でもローラテーブル上を搬送される鋼板の平面形状を自動的且つ高精度に計測可能な、鋼板の平面形状測定方法および装置を提供する。
【解決手段】 ローラテーブル１上を搬送される鋼板２の搬送方向と直交する方向の鋼板２の幅を測定する幅計３と、鋼板２の搬送方向の長さを測定する、レーザドップラー速度計４Ａ、４Ｂを用いた第１測長計４と、鋼板２の搬送方向の長さを測定する、搬送テーブルロール９に取り付けられたＰＬＧを用いた第２測長計５と、第１測長計４および第２測長計５による鋼板２の長さ測定値の何れかを選択する判定器６と、幅計３による鋼板２の幅測定値と判定器６により選択された鋼板２の長さ測定値とに基づいて、鋼板２の平面形状を計測する平面形状計７とを備え、判定器６は、レーザドップラー速度計４Ａ、４Ｂによる鋼板速度が異常値である場合に、第２測長計５による鋼板２の長さ測定値を選択する。 （もっと読む）

【課題】 プラスチックシートに貫通形成された微小孔の形成状態の良否判断を行う場合、電子顕微鏡等を用いての高倍率での観察が必要である。この場合、観察が容易でなく、また良否判断をするには形成状態を熟知している必要がある。
【解決手段】 穿孔前のプラスチックシートに薄膜を設け、プラスチックシートに穿孔して微小孔を貫通形成する。この後、プラスチックシートの薄膜を設けた面を観察面として、穿孔して貫通形成された孔部の周辺の皺や亀裂を観察することにより、微小孔の形状の検査をする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハの外周部の形状特性を正確に取得することができる形状特性取得方法及びプログラムを提供すること。
【解決手段】半導体ウェハの表裏面の径方向に沿った形状データを取得し、この形状データから半導体ウェハの厚みの中点を算出し、前記中点から２次の近似曲線である基準曲線を算出する。そして、前記半導体ウェハの表面及び裏面の形状データから、前記基準曲線の成分を除去したプロファイルを求め、さらに、半導体ウェハの外周部を除く前記プロファイルの所定の区間を１次関数でフィッティングした後、このフィッティングしたプロファイルから、前記１次関数の成分を差し引く。これにより、前記所定の区間が略変位のない基準線２７を有するプロファイル２８を得ることができる。そして、この基準線２７に対する半導体ウェハの外周部の所定位置におけるずれ量Ｔ１，Ｔ２を求める （もっと読む）

【課題】 容易且つ高精度に形状公差を検査することが可能な電機子コアの検査方法を提供すること。
【解決手段】 波形計測部１５は、各コアシートの切断面、詳しくはその厚み方向において異なる複数の計測箇所に臨むように各々配置された複数のセンサ２の出力する各波形信号Ｓａ〜Ｓｃに基づいて、各計測箇所における各々の凹凸変化を示す複数の計測データＤａ〜Ｄｃを生成する。演算部１６は、波形計測部１５から入力された各計測データＤａ〜Ｄｃをそれぞれ予め設定された複数の区間に区分し、その各区間毎に破断部に起因するノイズ成分の有無を判定することにより、その有効／無効を評価する。そして、かかる評価に基づいて各区間毎の有効な区間データを抽出し、その各区間データを合成することにより破断部に起因するノイズを含まない検査データＤｔを生成する。 （もっと読む）

【課題】 プローブ等の測定系に対する被測定物の基準平面及び座標を短時間で検出することができる被測定物保持装置を提供すること。
【解決手段】 保持治具１は、測定系に対してレンズ等の光学部品（被測定物）１５を保持するものであって、保持治具本体１６と、測定光学系に対する保持治具本体１６の傾きを表すオプティカルパラレル（角度基準部）１７と、保持治具本体１６の原点位置を表す位置基準部１８とを備え、オプティカルパラレル１７と位置基準部１８とが保持治具本体１６に別々に配されている。 （もっと読む）

【課題】 予備成形体の内部に成形媒体を注入して膨出変形させる液圧成形過程において、成形不良を容易に検知し得る検出装置を提供する。
【解決手段】 成形不良の発生に伴って生じる振動を検出するための振動検出部１４０を有する。 （もっと読む）

【課題】測定力や加速度の二軸以上の方向成分を直接、かつ、個別に検出可能であり、さらに、従来のものより簡素化、かつ、小型化を達成できるセンサを提供すること。
【解決手段】辺構成要素３１…によって四角形に形成された構造体２Ａの一方の角部を移動部材６に固定し、他方の角部にスタイラス５を装着する。一対の辺構成要素３１，３２に、そのスタイラス側端を反スタイラス側端に対してＺ軸方向へ平行変位可能とする平行リンク機構３１Ｚ，３２Ｚを形成する。他対の辺構成要素４１，４２に、そのスタイラス側端を反スタイラス側端に対して、それぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向に平行変位可能とする平行リンク機構４１Ｘ，４２Ｘ、および、４１Ｙ，４２Ｙを形成する。各平行リンク機構は辺構成要素に薄肉状に形成された少なくとも２箇所の弾性ヒンジ部３５Ｚと、２つの弾性ヒンジ部３５Ｚの間に形成された２本のリンク片３６Ｚとを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】 流体から受けるダンピング効果等の影響を極力低減して、試料を高精度に観察すること。
【解決手段】 先鋭化された探針２０を、所定の周波数及び振幅で振動させた状態で試料上を走査されるプローブ２であって、先端に探針２０が設けられ、基端側から先端側に向けて一方向に延出して形成されたカンチレバー２１と、該カンチレバー２１の基端側を、先端側が自由端となるように片持ち状態で固定する本体部２２とを備え、カンチレバー２１が、試料表面に対向する一方の面と該一方の面の逆側に配された他方の面とのうち少なくともどちらかの面に、長手方向に沿って凸状に形成された凸条部２３を有しているプローブ２及び該プローブ２を有する走査型プローブ顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】種々のワークに対して検出器の検出方向をワンモーションで切換え、円筒外周面、内周面及び平面の測定を容易に行うことのできる検出器支持装置を提供すること。
【解決手段】検出器支持装置１０を、ワークＷに対して相対的に直線移動可能な保持台２１に一端が固定され、他端に回転軸心ＲＣを有する第１のアーム１１と、回転軸心ＲＣを中心に第１のアーム１１に対して回転自在に設けられ、先端に検出器３１を取り付ける第２のアーム１２とで構成し、回転軸心ＲＣを、移動軸ＨＣに対して４５°傾斜した平面上に設けるとともに、移動軸ＨＣに対して４５°傾斜した平面に対して４５°傾斜した平面でかつ移動軸ＨＣを含む平面への投影図において、移動軸ＨＣに対して４５°傾斜して設け、第２のアーム１２に取り付けられた検出器３１の軸心ＫＣが回転軸心ＲＣと交差するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 測定装置自体が変形することで測定値に変動が生じてしまう場合でも、変動量を補正可能な高精度の三次元測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】 測定中における測定機構のドリフトに起因する測定データにおけるＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸の各方向における変動量を求めることから、長時間の測定を必要とする形状測定において、温度等の環境に起因するドリフトを除去し、高精度の測定を行うことが可能となり、測定環境や装置に費用をかけ、温度変動を小さくにする必要がなくなる。 （もっと読む）

【課題】常に精度良くタイヤの接地面形状を測定することが可能なタイヤ接地形状測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】裏面３１側から孔３３を介して路面体３の表面２９に接地するタイヤ１までの距離を距離センサー５により測定し、距離センサー５で検出した距離信号の値が所定の閾値の範囲ａとなる場合、タイヤ１が路面体３に接地した接地面１Ｅのデータであると判定し、その接地面１Ｅであると判定したデータ群からタイヤ１の接地面形状を求める。 （もっと読む）

【課題】試料に対するより幅広い解析を行うことを可能とすること。
【解決手段】試料５上のＸＹ座標に対応させてＬＳＭ像とＳＰＭ像とをＣＰＵ１８により画像情報メモリ２２ａに記憶し、ＳＰＭ像のＺ座標位置情報ＤｚをＣＰＵ１８により高さ情報メモリ２２ｂに記憶し、ＣＰＵ１８によって高さ情報メモリ２２ｂからＳＰＭ像のＺ座標位置情報Ｄｚを読み出すと共に、画像情報メモリ２２ａに記憶されたＬＳＭ像に含まれる輝度情報Ｄｐを抽出し、これらＺ座標位置情報Ｄｚと輝度情報Ｄｐとを合わせて試料５の三次元画像情報を作成して表示部２３に表示する。 （もっと読む）

【課題】 物品の形状測定装置における載置テーブル上に、物品を効果的に且つ確実に保持、固定することの出来る物品保持装置を設けてなる構造の装置を提供すること。
【解決手段】 物品の形状乃至は寸法を接触方式又は非接触方式にて測定するようにした装置において、該物品の形状乃至は寸法を測定するためのテーブル上に位置するように、固定的に又は着脱可能若しくは回動可能に取り付けられる矩形の枠体２０を有すると共に、該矩形枠体を構成する各辺部材が少なくともその上側の面と該矩形の内側の面にそれぞれその長手方向の全長に亘って延びる逆Ｔ字型乃至は十字型断面形状の取付溝２２を有し、且つ該取付溝内に、前記物品を固定するための治具乃至は該治具を保持するための保持部材の基部を取り付けて、該取付溝の所定の位置に配置せしめ得るように構成された物品保持装置を設けた。 （もっと読む）

【課題】走行体の変位量を正確に検出できる走行装置を提供する。
【解決手段】略平行に配設されたガイドレール３１０、３２０と、ガイドレール３１０、３２０に摺動可能に設けられたスライダ部７１１、７１２および２つのスライダ部７１１、７１２を連結する連結部７２０を有する走行体７００と、推進力を付与する推進力付与手段５００と、ガイドレール３１０、３２０間で配設されたスケール６１０およびスケール６１０に対する変位量を検出する検出ヘッド６２０を有する変位検出手段６００と、を備える。連結部７２０は、スライダ部７１１、７１２を架橋する主ビーム７２１と、両端が主ビーム７２１においてスライダ部７１１、７１２に近接する位置に固定された補助ビーム７２２と、を備える。推進力付与手段５００は主ビーム７２１に推進力を付与し、検出ヘッド６２０は補助ビーム７２２に設けられている。 （もっと読む）

【課題】測定対象とされる被検面を備えた被検体を、測定結果に悪影響を及ぼすことのない適正な荷重により、測定系に対して静止状態となるように保持し得るようにする。
【解決手段】被検面４１の軸線Ｃが重力方向に対して略直角となるように配置された被検体４０に、該被検体４０を上下から押圧するとともに被検面４１に曲げを生じさせるような荷重を作用せしめる。荷重を作用せしめた際の被検面４１の変形量を、荷重の大きさを変えて少なくとも２回計測し、その計測結果に基づき被検面４１の変形量と荷重の大きさとの間に成立する対応関係を求める。この対応関係から、被検面４１の変形量が例えば製造誤差の許容範囲内に収まるような大きさの適正荷重を求め、求められた適正荷重により被検体４０を保持する。 （もっと読む）

【課題】 重力鉛直偏差による重力誤差を極力抑え、長距離の測定でも十分な精度を確保することの可能なパイプラインの形状計測評価方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 ピグ本体を静止状態として静止状態における加速度計の加速度データを取得し、その加速度データから重力方向を求め、この重力方向と地上の現在地点における緯度とから、パイプラインの線形形状の計測を開始する際に必要なピグ本体の初期姿勢角を算出し、この初期姿勢角を、加速度データから求められる重力方向と地球を密度一様な楕円体と仮定した場合の重力方向との偏差に基づく補正角によって補正し、その補正後の初期姿勢角を用いてパイプラインの線形形状を求める。 （もっと読む）

【課題】被測定物の測定面と測定機の測定方向との平行出しを、効率よく行うことのできる平行出し装置、および、平行出し方法を提供すること。
【解決手段】被測定物に並列した移動案内体と、移動案内体に沿って移動するスライダとを備える。スライダの移動位置におけるスライダ移動位置、および、測定物の測定面位置を、スライダに備えられた光電式リニアスケール５、および、センサ６によって検出し、これらを基に、ＣＰＵ７１は、スライダの移動方向を基準とする測定面の傾き直線を演算し、傾き直線から揺動支点の調整基準値を設定し、調整基準値をメモリ７２に記憶させ、記憶させた調整基準値、および、センサ６によって検出される測定面位置の差を調整量として算出する。調整量はモニタ８に表示され、作業者は、表示された調整量に従って移動案内体の姿勢を調整する。 （もっと読む）