【課題】レンズアレイの各セルの形状が非球面である場合でも、設計形状からの光軸の傾きと偏心を抽出する。
【解決手段】レンズアレイの全面測定データから境界データを抽出し、セルごとに有効な各分割データと境界グレーゾーンに分割し、各セルの設計式の中でＲＭＳ最小化の座標変換を行い、セルごとに設計値からの偏心、傾き、高さずれ、ベストフィットＲを算出して表示する。 （もっと読む）

【課題】ヨーレートセンサによらず、容易に高い頻度で操舵角センサの異常診断を行うことのできる操舵角センサの異常判定装置を提供する。
【解決手段】操舵角センサ２１の異常の有無を判定する異常判定装置として、車両左右車輪の回転速度差が車両直進時の値よりも大きくなったことに基づいて判定期間の始点を自動設定するプログラムと、その始点設定後に回転速度差が再び車両直進時の値になったことに基づいて判定期間の終点を自動設定するプログラムと、これらプログラムにより設定された判定期間内において操舵角センサ２１のセンサ出力の変化が相当量に満たない場合に該操舵角センサ２１が異常である旨の判定をするプログラムと、を備える構成とする。 （もっと読む）

測定座標系内で集めた測定データを、測定の不確実性を考慮に入れて、幾何公差域に適合させる。測定データを適合させるための幾何学的自由度を用いて、測定データに関連した不確実領域を公差域内に適合させる。典型的には、測定データは多次元であり、不確実領域は異なったサイズを有する。
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【課題】電子写真感光体用基体等の画像形成装置用部品の表面粗さの測定において、測定対象面の局所的な変化や変異を感度良くかつ正確に把握可能にする。
【解決手段】電子写真感光体用基体等の画像形成装置用部品の表面の状態について、ＪＩＳ Ｂ０６０１に定める断面曲線が求められ、その断面曲線上の等間隔位置における表面粗さ方向の位置データー列のウェーブレット変換等の多重解像度解析が行われ、その結果に基づいて表面粗さの状態が評価される。 （もっと読む）

【課題】ワークの評価範囲の設定及び触針の評価範囲の開始位置への移動及び終了位置での移動停止が容易に且つ正確に行える表面粗さ／形状測定装置の実現。
【解決手段】触針28を有し、触針の変位信号を出力する測定子22と、測定子移動機構24とを備える表面粗さ／形状測定装置であって、オペレータの指示する評価範囲設定情報の入力部42,44と、評価範囲設定情報が入力された時の触針の被測定物の表面との初期接触位置Piから触針を接触させた状態で移動させて評価範囲設定情報に基づいて測定開始位置Psを決定する測定開始点検出部52と、触針を移動させ評価範囲設定情報に基づいて測定終了位置Peを決定する測定終了点検出部54と、評価範囲設定情報に基づいて評価範囲を決定する評価範囲決定部56とを備える。 （もっと読む）

【課題】
熱成形のための方法を提供する。
【解決手段】
本発明の熱成形のための方法は、加工物（１０４）の少なくとも表面を計測する段階と、前記加工物（１０４）の少なくとも表面の前記計測する段階に少なくとも部分的に基づいて歪場を決定する段階と、前記加工物（１０４）の所望の形状及び／又は微細構造を得るために、前記歪場を決定する段階に少なくとも部分的に基づいて前記加工物（１０４）に対する１つ又はそれ以上の熱成形処理を予測する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 被測定物の頂点位置を高精度かつ容易に検出することができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】 被測定物Ｗの表面に触針センサ１３を接触させた状態で、前記被測定物Ｗと前記触針センサ１３とを相対的に走査させ、この走査の間の前記被測定物Ｗの測定したい高さ方向における前記触針センサ１３の変位量により前記被測定物Ｗの表面形状を測定する形状測定機１であって、前記触針センサ１３の前記高さ方向の変位量を測定する変位量測定手段と、この変位量測定手段からの出力信号に基づいてリサージュ波形を生成するリサージュ波形生成手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＡＦＭ型寸法測定機による寸法計測方法において、円柱形状のドットパターンや円柱穴形状のホールパターン等の非直線パターンの最大幅寸法を正確に計測するパターン寸法計測方法を提供するものであり、また、その計測方法を行い得るパターン寸法計測装置を提供する。
【解決手段】基板表面に垂直方向に励起振動する探針をカンチレバーに設けた原子間力顕微鏡で前記基板表面のパターンを寸法計測するパターン寸法計測方法において、前記探針の走査方向にほぼ垂直方向で、かつ前記基板表面に平行に前記探針を振動させて前記パターンのエッジを検出して寸法計測することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ３次元形状の計測データに対応する理論形状を記述するパラメータを高速に且つ安定して決定することができるようにする。
【解決手段】 パラメータα^(k)、β^(k)を既知量として、形状計測データＰ_iから中心軸１０１までの距離の誤差の２乗和Ｓ（ｘ₀^(k+1)，ｙ₀^(k+1)，α^(k)，β^(k)）を最小とするパラメータｘ₀^(k+1)、ｙ₀^(k+1)を決定し、決定したパラメータｘ₀^(k+1)、ｙ₀^(k+1)を既知量として、形状計測データＰ_iから中心軸１０１までの距離の誤差の２乗和Ｓ（ｘ₀^(k+1)，ｙ₀^(k+1)，α^(k+1)，β^(k+1)）を最小とするパラメータα^(k+1)、β^(k+1)を決定する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の光学性能に対応した評価を行なうことができる形状評価方法を提供すること。
【解決手段】 光学素子の形状を測定して形状データを取得する形状データ取得工程と、所定の基準座標系ＣＲＤｓに対して、形状データ取得工程における測定のときに用いた測定座標系ＣＲＤｍを、座標変換パラメータを用いて座標変換する座標変換工程と、基準座標系ＣＲＤｓにおける形状データから、所定の評価パラメータについて評価値を求める評価値算出工程と、を有し、評価値は、光学性能ＭＴＦの変化量であり、さらに、座標変換パラメータの値を変化させ、座標変換工程と評価値算出工程とを繰り返し行って、評価値（ＭＴＦ）が最大または最小となる座標変換パラメータの値を決定する座標変換パラメータ決定工程と、決定された座標変換パラメータの値を用いて座標変換を行う座標変換工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】対象物体の３次元計測を行って得られる３次元形状データの位置合わせに際し、ターゲットマークの対応の決定に当たってのロバスト性を向上させること。
【解決手段】対象物体の３次元計測を行って得られる３次元形状データについて対象物体に設けられたターゲットマークを利用して位置合わせを行うための方法であって、対象物体について写真測量を行い、ターゲットマークについての３次元位置であるターゲット座標ＴＺｇおよび法線ベクトルＨＶｇを演算によって取得し、３次元計測によってターゲット座標ＴＺｓおよび法線ベクトルＨＶｓを取得し、写真測量によって取得したターゲット座標ＴＺｇおよび法線ベクトルＨＶｇと、３次元計測によって取得したターゲット座標ＴＺｓおよび法線ベクトルＨＶｓとを用いて、これらのターゲット座標ＴＺｇ，ＴＺｓの対応関係を決定し、その対応関係に基づいて３次元形状データの位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】 被処理物を、熱板に接近させて行う熱処理において、被処理物と熱板との距離を推定できるようにする。
【解決手段】 被処理物としてのワークが載置されて熱処理される熱板１の温度情報、例えば、熱板１の温度の傾きの絶対値に基いて、距離推定手段７でワークと熱板１との距離を推定し、推定した距離と閾値とを判定手段８で比較することによって、異常の有無を判定するように構成している。 （もっと読む）

【課題】 正確なエネルギー散逸像を得ることのできる原子間力顕微鏡及び原子間力顕微鏡を用いたエネルギー散逸像の形成方法を提供すること。
【解決手段】 原子間力顕微鏡は、試料２１と接触するための探針２０を有するカンチレバー１と、カンチレバー１に振動を加えるための加振手段と、設定された振幅設定値に基づいて加振手段を制御するための加振制御手段と、カンチレバー１の振動の振幅を検出する振幅検出手段１７と、カンチレバー１の振動に基づくエネルギーの散逸像を形成する像作成手段１９とを具備し、当該振幅設定値と振幅検出手段により検出された振幅検出値との差異に基づく差異情報を加振手段にフィードバックすることにより、カンチレバー１が共振状態となるように加振手段がカンチレバー１を振動させるとともに、当該差異情報に基づいて像作成手段１９がエネルギーの散逸像を形成する。 （もっと読む）

【課題】
新規に演算処理能力の高い大容量のメインコントローラを開発することなく、多数の油圧シリンダのストローク位置を高精度に計測出来るようにする。
【解決手段】
制御用コントローラ２０とは独立して計測用コントローラ３０が設けられ、この計測用コントローラ３０に回転センサ１００、リセットセンサ３００の検出信号を入力させてストローク位置の計測処理を行わせ、計測結果を制御用コントローラ２０に送るようにする。計測用コントローラ３０の記憶テーブル３６には、予め回転センサ１００の出力電圧値と回転角度との対応関係が記憶されており、回転センサ１００の検出信号が入力されると、記憶テーブル３６の対応関係を参照して対応する回転角度が求められ、求められた回転角度に基づいて油圧シリンダ２００のストローク位置が計測される。 （もっと読む）

【課題】評価対象の微小凹凸歪みが測定できる十分な精度を実現するとともに、３次元的にうねった滑らかな凸平面形状から定量的な凹凸歪みの評価を可能にすること。
【解決手段】３次元形状測定器１０によって取得された３次元の点群データに基づき、ワークＷの３次元形状を測定する３次元形状測定装置および方法において、ステージ２に沿って上下方向に移動する測定ヘッド１と、前記測定ヘッド１および前記ステージ機構2に接続され、前記ステージ機構2の駆動により得られた３次元の点群データから凹凸歪みを評価する制御処理装置３とから成り、異なる角度における一定距離毎に平行にずらした各断面において、基準点と前後の２点からなる傾斜の変化角度を基準点をずらしながらそれぞれデータを求めて、凹凸歪みの評価を行うものである。 （もっと読む）

【課題】 形状測定機が被測定物の被測定面の形状周波数成分をどの程度正しく測定することができるかを検査・校正することができ、複数個の同じ形状のものを高精度に作製することができ、値付けや検査・校正の際の設置状態の把握や測定に好適な形状を有する、形状測定機の検査・校正に用いるアーティファクトを提供する。
【解決手段】 要素アーティファクト１０は、互いに平行な一対の端面１２，１４と、一対の端面１２，１４の間に延在する外周面１６とを有する。外周面１６は、一対の端面に対して直角に延在する円筒面又は平面に含まれる基準部を含む。少なくとも一方の端面１２は、円弧状又は直線状に延在する１又は２以上の溝２２，２４，２６と、平面部分とを有する。溝２２，２４，２６は、溝幅が溝深さの２０倍以上である。 （もっと読む）

【課題】 背面側に縦型定盤を設置した測定装置において、被測定基板の両面の平坦度を測定できる基板の平坦度測定装置を提供する。
【解決手段】 基準平面３ｂの面方向がほぼ垂直状態になるように配置された縦型定盤３と、被測定基板Ｗを保持する保持機構３０と、前記縦型定盤３の基準平面３ｂと前記保持機構３０によって保持された被測定基板Ｗの間に配置され前記縦型定盤３の基準平面３ｂとの距離及び前記被測定基板Ｗの板面との距離をそれぞれ測定する一つの移動ブロック２１上に搭載された非接触型距離測定センサと、前記保持機構３０によって保持された被測定基板Ｗの前面に配置され、前記縦型定盤３の基準平面３ｂ及び、前記被測定基板Ｗとの距離を測定する一つの移動ブロック３１上に搭載された非接触型距離測定センサと、前記各非接触型距離測定センサによる測定結果に基づいて、被測定基板Ｗの表裏の各平坦度を演算する演算手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 レンズ等の表裏面の偏心及び傾きを高精度に測定する表裏面の偏心及び傾きの測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 レンズ２０２と真球２０３ａ，２０３ｂ，２０３ｃの形状を表面側及び裏面側から測定可能な被測定物保持治具２０１を用いてレンズ２０２の三次元形状データと真球２０３ａ，２０３ｂ，２０３ｃの中心点座標を測定し、真球２０３ａ，２０３ｂ，２０３ｃの中心点座標を基準にレンズ２０２の表裏面の三次元形状データを合成し、レンズ表裏面合成データからレンズの表面と裏面との間の偏心及び傾きを算出する。 （もっと読む）

【課題】 直流電動機を構成する整流子の整流子面の良否を直流電動機稼働中に診断することのできる方法及び装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、整流子２と整流子２に摺接して電流を供給するブラシ３とを具備する直流電動機の整流子診断装置１であって、ブラシ３の整流子２との摺接面３１に対向する表面３２の変位量を測定する変位量測定装置１１と、整流子２の回転位相を検出する回転位相検出装置１２と、回転位相検出装置１２で検出した所定の回転位相毎に変位量測定装置１１で測定した変位量を取り込み、当該取り込んだ変位量の大小に基づいて整流子面の良否を診断する信号処理装置１３と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の糸条の外径を測定する場合にも、大型の走査機構を必要とせず、安いコストで測定できる測定方法および装置を提供する。
【解決手段】形状測定手段と信号処理手段と走査手段と測定ロールとを用い、測定ロール上にある複数の糸条に対し、走査手段により走査させつつ形状測定手段で所定の糸条の表面形状を測定し、得られた表面形状から信号処理手段により測定ロール表面と糸条頂部を認識し、これらの高さの差から糸条の外径を測定することを特徴とする糸条外径測定方法、および糸条外径測定装置。 （もっと読む）