【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、スパイラルインダクタ間に発生する相互インダクタンスの変動や、スパイラルインダクタンスの金属や比透磁率が１とは大きく違う物質を利用した自己インダクタンスの変動を利用した、交角や回転角度，位置、速度、加速度、傾き、振動などの計測を行う装置に対する、ノイズに強い測定手法を提供する。
【解決手段】本発明は、前記スパイラルインダクタを含めて構築された発振器を用いて、相互インダクタンスの変動や自己インダクタンスの変動を発振周波数の変動として検出するため、ノイズに強く、センサー部から測定部までの距離がある程度離れていても問題なく安易に安価に測定できるシステムを構築する。 （もっと読む）

【課題】線形性を向上させ、かつ製造コストを減少させた回転機械の回転シャフトの軸方向位置の検出装置を提供する。
【解決手段】回転シャフト１０の端部１１に設置された強磁性材料のターゲット１２と、エアギャップ６０を残しつつ回転機械の構造に固定され、ターゲットと対向配置された固定磁気回路３２に接続された誘導コイル３１と、誘導コイルに給電するための給電回路とを含む装置であり、給電回路が、誘導コイルの第１端部と基準電圧（０Ｖ）に位置する領域との間に接続されたＡＣ電源と、誘導コイルの第１端部と第２端部との間に接続された少なくとも１つのコンデンサと、第２端部と基準電圧に位置する領域との間に挿入された検出器デバイスとを、第２端部と基準電圧に位置する領域との間を流れる電流の大きさについての情報をライン上に供給するために有し、情報は、所定の公称値ｅ０を有するエアギャップの幅の変更値ｘを表す装置である。 （もっと読む）

【課題】変位検出装置において、全長を短縮する。
【解決手段】変位検出装置１は、検出コイル２と、検出コイル２に対して変位可能に設けられた変形可能な変位体３と、外部からの作用を受けて変位することにより、変位体３を変位させる変位取り出し部５と、変位体３が変位取り出し部５により変位させられるときに、変位体３の少なくとも一部を変形させて曲線軌道で変位させる巻取り部４ａ、４ｂとを備える。巻取り部４ａ、４ｂは、変位体３が変位取り出し部５により変位させられるときに、変位体３の少なくとも一部を巻取ることによって、変位体３の少なくとも一部を変形させて曲線軌道で変位させる。変位体３は、変位取り出し部５により変位させられるとき、巻取り部４ａに巻取られると共に巻取り部４ｂから繰り出され、又は、巻取り部４ｂに巻取られると共に巻取り部４ａから繰り出される。これにより、変位検出装置１の全長を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】高速回転する回転軸であっても、回転バランスの崩れを懸念することなく静止時の絶対的な角度又は角度範囲を高精度に検出する。
【解決手段】回転軸２の静止時の絶対的な角度又は角度範囲を検出する磁気式の回転角検出装置１であって、回転角に応じて磁気的な特性が変化するように回転軸２の表面に周方向に沿って成膜される薄膜パターン３と、薄膜パターン３の対向位置に配置され、薄膜パターン３の磁気的な特性をインダクタンスの変化として検出する検出コイルＬと、検出コイルＬを交流励磁しつつ、検出コイルＬのインダクタンス変化に応じて交流励磁波に位相ズレを生じさせる交流励磁回路４と、交流励磁回路４から出力される交流励磁波の位相ズレを検出し、該位相ズレにもとづいて、回転軸２の静止時の絶対的な角度又は角度範囲を検出する検出回路５とを備える。 （もっと読む）

【課題】低消費電力を確保しながら信頼性を向上させることができる回転角度検出装置及びこれを使用した電動パワーステアリング装置を提供する。
【解決手段】励磁コイルと検出コイルとを備えたレゾルバと、該レゾルバの励磁コイルに正弦波状励磁信号を出力し、前記検出コイルから出力される検出信号を入力して回転角度位置を演算する第１の回転角度位置演算部と、前記レゾルバの励磁コイルにパルス励磁信号を出力し、前記検出コイルから出力される検出信号を入力して回転角度位置を演算する第２の回転角度位置演算部と、前記第１の回転角度位置演算部及び前記第２の回転角度位置演算部と前記レゾルバの励磁コイル及び検出コイルとの間を切り換える信号切換部とを備え、前記第２の回転角度位置演算部は、前記各検出コイルからの検出信号の入力側と前記信号切換部との間に、前記検出コイル毎に個別の共振回路を構成する共振素子が介挿されている。 （もっと読む）

【課題】ロータリートランスを不要とし、位置センサ全体を小型化すること。
【解決手段】位置センサは、ステータ励磁コイル１７とステータサーチコイル１８が形成されたステータ固定板と、ステータ固定板と対向しながら回転し、ロータコイル１４が形成されたロータ可動板とを備える。ステータ励磁コイル１７及びステータサーチコイル１８は、所定ピッチでジグザグに折り返され、互いに同じ位相で重ねて配置される。サーチコイル１８には、コンデンサ２２が並列に接続される。ロータコイル１４は、ステータ励磁コイル１７及びステータサーチコイル１８と対向して配置され、所定ピッチで短絡された複数のショートコイル１４Ａ〜１４Ｇ等を含む。コントローラは、ステータ励磁コイル１７へ励磁信号を出力し、ステータサーチコイル１８の出力電圧の変化に基づきロータ可動板の回転角度を検出する。 （もっと読む）

【課題】ロータリィトランスを不要とすることでセンサの小型化を可能とした位置センサを提供すること。
【解決手段】ステータコイル１２が、所定のピッチＰでジグザグに折り返された導体パターンであること、ステータコイル１２と直列に接続された容量素子であるコンデンサ２２を有すること、ロータコイル１４が、ステータコイル１２と隙間を介して対向して配置され、所定のピッチＰで短絡されたショートコイルであること、ステータコイル１２にコンデンサ２２を介して供給される励磁信号（周波数をＮＭＨｚとする。）を出力する励磁信号出力回路を有すること、ステータコイル１２の出力電圧の変化に基づいて、所定のピッチＰ分、ロータ可動板１３が移動したことを検出する移動検出手段３１、３２、３３、３４、３５を有すること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ等のセンサを設けることなく、回転速度にかかわらず直流モータの回転状態を精度良く検出できるようにすることを目的とする。
【解決手段】モータ２に対し、直流電源３から直流電圧を印加すると共に、重畳部５から交流電圧を印加（重畳）する。モータ２は、各相コイルＬ１，Ｌ２，Ｌ３のうち第１相コイルＬ１と並列にコンデンサＣ１が接続されており、これによりモータ回路のインピーダンスはモータ２の回転に伴って周期的に変化し、その変化はモータ２に流れる電流の交流成分の振幅変化（重畳部５からの交流電流の振幅変化）として現れる。重畳部５における直流電源３からの直流電流が流入しない直流非流入経路８には電流検出部２１が設けられ、この電流検出部２１にて検出された交流電流に基づいて回転パルスＳｐが生成される。そして、この回転パルスＳｐに基づき、回転角検出部７がモータ２の回転角を検出する。 （もっと読む）

【課題】位置検出性能の低下を防ぎ、安定した位置検出性能を得られる、複数の位置検出方式を備える位置検出装置を提供する。
【解決手段】第１の位置検出方式における送信導体の選択位置情報を第２の位置検出方式における信号受信のための導体選択に利用することで、第１の位置検出方式における送信導体と第２の位置検出方式における受信導体との間の空間的距離を可能な限り離間させる。更には、第１の位置検出方式における送信導体に供給される送信信号と第２の位置検出方式における送信導体に供給される送信信号との間に周波数インターリーブの関係を備える。 （もっと読む）

【課題】従来技術のセンサユニットでは、部品点数の増加により、価格が上昇する等の問題があった。
【解決手段】本発明にかかるセンサユニットは、回転部材の回転を検出し、インピーダンス整合度情報を出力するインピーダンス調整部２と、インピーダンス調整部２から伝送路を介して供給されたインピーダンス整合度情報に基づくセンサ信号を、ワイヤレスで外部に送信するセンサ信号送信部３と、を備える。また、インピーダンス調整部２は、伝送路上に直列に接続されたインダクタンス素子Ｌ１，Ｌ２と、伝送路と電源電圧端子との間に設けられ、回転部材の回転に応じて容量値が変化する容量素子Ｃ１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】確実に所望の変位検出の精度が得られる変位センサ装置及びこれを用いた転がり軸受装置を提供する。
【解決手段】検出対象物のまわりを取り囲むフレキシブルプリント基板２２に、渦巻状で、その渦巻面が検出対象物と対向するコイル３を設け、このフレキシブルプリント基板２２をリング状の支持部２１に沿わせて支持する。そして、例えば止め具２４によって、フレキシブルプリント基板２２のコイル部２２ｓを押さえ付け、浮き上がりを防止する。 （もっと読む）

【課題】回転体の回転角度の検出精度を高め、回転同期信号を確実に除去することができるセンサ付き転がり軸受装置を提供する。
【解決手段】本発明のセンサ付き転がり軸受装置は、回転体の変位を検出する変位センサ装置２０を搭載している。また、回転体が所定角度回転する毎にパルスを発生させるＡＢＳセンサ装置３０と、演算装置４０とを備え、演算装置４０は、パルスが発生するタイミングで回転体の回転角度を求めるとともに、パルス発生間隔に基づいて回転角速度を求め、パルスの合間で次のパルス発生までの間は、当該回転角速度に基づいて経過時間に応じた回転角度を推定し、得られた回転角度に基づく回転同期信号を、変位センサ装置２０の出力信号から除去する。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルプリント基板を用いる変位センサ装置において、基板の幅を大きくすることなく、コイルのインダクタンスを一挙に増大させる。
【解決手段】渦巻状に形成された導電部の渦巻面を検出対象物と対向させるコイル３をフレキシブルプリント基板に設け、当該コイルを有する基板部位を、複数枚互いに重ね合わせて複合コイル基板部２２ｗとする。そして、信号処理回路１７は、重ね合わせられた複数のコイル３を、電流の巻き方向が同一になるように直列接続した２つのコイルのインダクタンス、及び、検出対象物との間に現れるキャパシタンスに基づく出力信号を抽出する。 （もっと読む）

【課題】検出対象物の変位を検出する機能を確保しつつ、検出対象物と電子部品との接触を防止する変位センサ装置及びこれを用いた転がり軸受装置を提供する。
【解決手段】検出対象物のまわりを取り囲むフレキシブルプリント基板２２にコイル３を設けるとともに、当該基板２２上に、コイル３と電気的に接続される電子部品Ｅ１，Ｅ２を実装する。このフレキシブルプリント基板２２をリング状の支持部２１によって支持するにあたって、コイル３を内方に向けて露出させ、かつ、電子部品Ｅ１，Ｅ２を外方に向けた状態とする。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルプリント基板によって構成される基板形センサにおいて、フレキシブルプリント基板の引出し部からコネクタまでの結線作業能率を向上させ、組立を容易にする。
【解決手段】フレキシブルプリント基板からなる基板本体に渦巻状のコイルを含むセンサ回路要素を搭載して円筒状等の立体形状を構成する基板形センサにおいて、基板本体を支持し、その立体形状を維持する支持部１１と、基板本体から延設されて引き出されるとともに、終端部分２ｃが支持部１１上で位置決めされ、センサ回路要素のリード線としての複数の導電パターン２ｅを有する引出し部２ｂと、上記の終端部分２ｃにおいて複数の導電パターン２ｅにそれぞれ圧接する複数のピン１４ｂを有するコネクタ１４とを設けた。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルプリント基板を使用する変位センサ装置において、正確かつ迅速に、基板を支持部に固定することができる構造を提供する。
【解決手段】検出対象物（主軸部１０２ａ）に近接して設けられる支持部２１と、この支持部２１に沿って支持されたフレキシブルプリント基板２２と、このフレキシブルプリント基板２２に設けられ、検出対象物と対向する渦巻状のコイルを含むセンサ回路要素とを備えた変位センサ装置２０において、フレキシブルプリント基板２２を止め具２３によって支持部２１に固定する構造とし、フレキシブルプリント基板２２は、センサ回路要素を含む基板本体２２ａ、及び、当該基板本体２２ａから延伸して形成され、止め具２３による固定の用に供する止め代部２２ｂを有するものとする。 （もっと読む）

【課題】軽量・コンパクトで、かつ、所望のインダクタンスを確保することができる基板形複層コイル及びこれを含む変位センサ装置を提供する。
【解決手段】本発明の基板形複層コイル１は、導電部を渦巻状に形成して成る面状のコイル３を渦巻の中心線方向へ複層に設けた複層コイル３Ｍと、隣接するコイル間に介在する例えばフレキシブルプリント基板２からなる絶縁層と、この絶縁層に設けられ、全てのコイル３を、電流の巻き方向が同一になるよう直列接続する導電路５１〜５３とを備えたものである。 （もっと読む）

確定される位置によって位相が変化する信号を生成する位置エンコーダが記載されている。位相検出器は、第１のモードの間におけるセンサ信号の第１の位相測定値と、第２のモードの間における前記センサ信号の第２の位相測定値とを確定する。位相検出器は、その後、第１の位相測定値と第２の位相測定値との差を生成して、位相差測定値を取得し、検知される位置の指示を確定するのに位相差測定値を使用する。コントローラは、前記センサ信号が基準レベルを交差するタイミングが実質的に同じになるように、第１のモードと第２のモードとのうちの少なくとも一方において生成される信号の開始位相を設定するように、信号発生器を制御する。
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【課題】高精度な距離測定を安価に提供する。
【解決手段】平面状コイル１と、平面状コイル１と電気的に接続された発振回路と、平面状コイル１に近接する測定対象物ＷＫと平面状コイル１との距離に応じて、発振回路の発振周波数が変化する様子を検出可能な周波数検出手段２２と、周波数検出手段２２で検出された発振周波数をデジタル信号として出力可能なデジタル出力手段２４と、周波数検出手段２２で発振周波数を検出する検出動作時間を制御可能な時間制御手段２３と、時間制御手段２３に対して、検出動作時間を指示する制御信号を送出可能な動作時間指示手段３１を有するコントローラ３０とを備える。周波数検出手段２２で検出された発振周波数に基づいて測定対象物ＷＫと平面状コイル１との距離変化を演算し、該演算結果をデジタル出力手段２４によりデジタル値として出力可能とし、距離測定の測定精度及び距離測定結果を得るまでの応答時間に応じて、検出動作時間を可変とする。 （もっと読む）