【課題】原点検出精度を向上させた信頼性の高いエンコーダシステムを提供する。
【解決手段】エンコーダシステム１００は、複数のマークを備えた担持体１１と、担持体１１の移動方向に第１の距離だけ互いにずらして設けられ、複数のマークを読み取り可能なセンサ１２、１３と、センサ１２、１３の検出信号を演算処理する演算処理部１４とを有し、演算処理部１４は、担持体１１がセンサ１２、１３に対して相対移動している際に、複数のマークのうち一つのマークが第１の距離だけ移動するのに要する第１の時間、および、複数のマークのうち隣接する二つのマークがセンサ１２またはセンサ１３による検出位置を通過するのに要する第２の時間を演算し、第１の時間および第２の時間から算出された第１の指標が原点位置を特徴付ける第２の指標に相当する場合、第１の指標の算出に用いられたマークパターンを原点マークパターンであると判定する。 （もっと読む）

【課題】測定精度を向上させた光ファイバセンサおよび光ファイバセンシング方法を提供すること。
【解決手段】パルス状のポンプ光を出力する光源と、前記ポンプ光が入力され、該ポンプ光によってブリユアン散乱光を発生するセンサ用光ファイバと、前記センサ用光ファイバから出力された前記ブリユアン散乱光を受光する受光器と、を備え、入力される前記ポンプ光のパルスの長さの１／２をΔｚ(ｍ)、ピーク光強度をＩ_ｐ(ｍＷ)とすると、前記センサ用光ファイバは、長さをｚ（ｍ）、伝送損失をａ（ｄＢ／ｋｍ）、ブリユアン利得係数ｇ_Ｂと有効コア断面積Ａ_ｅｆｆとの比をｇ_Ｂ／Ａ_ｅｆｆ（ｍ^−１Ｗ^−１）とした場合に、所定の式を満たすように長さｚが設定されている。 （もっと読む）

【課題】迷光／ノイズ問題に対処する反射型エンコーダを提供する。
【解決手段】光学エンコーダ及び光学エンコーダシステムであって、光源２０８に対して光検出器２１２を上方に配置し、光源２０８と光検出器２１２との相対的な高さの差により、反射迷光２３２の影響を阻止し、光学エンコーダ２０４が、光源２０８と光検出器２１２との間に別個の光バッフルを必要とすることなく、光検出器２１２におけるノイズを最小限にすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】光源とスケールと受光素子の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、空間的に光学的特性が周期的に変化するスケールスリット１２２を有するスケール１１０と、スケール１１０に向けて光を発光する複数の発光部１４２を有する発光ユニット１４０と、発光部１４２から発光されスケールスリット１２２を経由した光を受光する受光部１７２を有する受光ユニット１７０を有している。発光ユニット１４０と受光ユニット１７０は共に基板１９２に搭載されてヘッド１９０を構成している。スケール１１０とヘッド１９０（受光部１７２）は、スケールスリット１２２の光学的特性の変化方向に沿って相対的に移動可能である。スケール１１０は、発光部１４２に対向した光入射部１１８と、受光部１７２に対向した光出射部１２０と、光入射部１１８から入射した光を光出射部１２０へ導光する導光部を有している。 （もっと読む）

【課題】透過型エンコーダおよび反射型エンコーダとして機能することができる。
【解決手段】 発光素子チップ４３および受光素子チップ４４を、発光素子形成面および受光素子形成面を基板４２に対向させてフリップチップ実装する。基板４２は、全体を不透明に構成すると共に、出射光用の第１光透過部４２aと入射光用の第２光透過部４２bとを有する。基板４２のチップ４３,４４が実装されていない裏面側に、反射型移動体４７を配置する。また、基板４２のチップ４３,４４が実装されている表面側に、透過型移動体４９を配置する。こうして、発光素子チップ４３からの斜め成分光の反射型移動体４７による反射光を、受光素子チップ４４で受光する一方、発光素子チップ４３からの横成分光の透過型移動体４９の透過光を、受光素子チップ４４で受光することによって、透過型エンコーダおよび反射型エンコーダとして機能させることができる。 （もっと読む）

【課題】 光学系の改善によりより大きな光学信号のコントラストを得られるように工夫し、それによって、その後の工程において信号処理の安定化や高信頼性化を図ることが可能なエンコーダとそのエンコーダを搭載したアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 光学検出器と光源の間に遮光板を設け、その遮光板が上記光学検出器寄りに設置し、それによって、迷光を低減させて信号のコントラストを改善させ、その後の工程において信号処理の安定化や高信頼性化を図ることが可能となるもの。 （もっと読む）

【課題】回転数制御の精度の低下を抑制できる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、中空部を有する第１軸部と第２軸部とがユニバーサルジョイントで互いに接続された第１軸部材と、中空部に挿入され、第１軸部材と動力伝達部を介して連結された第２軸部材と、第１軸部材を回転させる駆動部と、第１軸部材と第２軸部材とのうちの一方の軸部材に設けられたスケールを有し、一方の軸部材の回転に関する情報を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回転情報の制御の精度低下を抑制できる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、中空部、及び中空部から外周面へ通じる貫通孔を有する第１軸部材と、中空部に挿入され、第１軸部材と動力伝達部を介して連結された第２軸部材と、第１軸部材を回転させる駆動部と、第１軸部材と第２軸部材とのうちの一方の軸部材に設けられたスケールを有し、一方の軸部材の回転に関する情報を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】長距離に渡って複数箇所の計測を行う場合であっても、進路が変更される光源からの光の強度を低下させることなく、計測精度を高めること。
【解決手段】たとえば振動観測を行う際の外部要因を計測する検出部１２８〜１３９として、種々の検出手段を用いることができ、また、光サーキュレータ１０６ａ〜１０６ｌは従来の光カプラのように光を分岐させるものではなく光の出力先を変更するものであるから光サーキュレータ１０６ａ〜１０６ｌが増えてもそれぞれの光サーキュレータ１０６ａ〜１０６ｌによって出力先が変更されるそれぞれの光の強度が低下してしまうことがないようにした。 （もっと読む）

【課題】移動体の曲面からの信号に関してデフォーカスによる信号振幅減少を低減し、移動情報の検出精度の低下を抑制する。
【解決手段】光源と、移動方向に曲面を備える移動体と、前記曲面からの集光された反射光または透過光を受講する受光素子と、を有する移動情報測定装置において、前記曲面が移動方向に複数種の曲率を備える。 （もっと読む）

【課題】検出分解能切り替えにより、位置検出信号生成において未使用となるフォトダイオードが存在する場合に、光源光量の変動を回避する。
【解決手段】
変位を検出するための第１の初段増幅器と、変位を検出するために使用されない受光素子の出力を入力とする第２の初段増幅手段、との和信号出力により光源光量の変動を制御する。 （もっと読む）

【課題】エンコーダの低コスト化を図りつつ、エンコーダの信頼性を向上する。
【解決手段】エンコーダ２７は、起動時等にスライダが停止した状態で、独立して点灯される複数の光源を用いて複数の絶対位置を検出し、この複数の絶対位置の差が所定範囲内に収まっているかどうかに基づいてエラーの判定を行うことで、高い信頼性を確保する。これとともに、エンコーダ２７は、起動後は、インクリメンタルスケール５１を用いインクリメンタルエンコーダとして用いられることで、低コスト、及びコンパクトな構成とすることができる。 （もっと読む）

【課題】格子プレートの位置測定システムに干渉する汚染物により誤った測定が行われる可能性が低減された液浸リソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】装置は、バリア１００が使用され、汚染物（例えば、液滴及び／又は微粒子）は格子５０又はセンサ２０に接触することが防止される。バリア１００に付着するいかなる汚染物も放射源からの放射ビームが格子５０上で合焦する焦点面から十分に遠いように配置されているので、汚染物は測定に干渉しない。ある実施形態では、表面弾性波を用いて格子５０又はセンサ２０の表面から汚染物が除去される。 （もっと読む）

【課題】精度の点で有利なアブソリュートロータリーエンコーダを提供する。
【解決手段】第１軸の周りに一定の周期で複数のマークが配列され第２軸を回転中心として回転するスケールと、前記周期よりも小さいピッチで配置された複数の光電変換素子によって複数のマークの中の一部のマークを検出する第１検出器及び第２検出器のそれぞれから出力される周期信号に基づいて第１検出器の位置におけるスケールの絶対回転角度を算出する算出部と、を備える。前記算出部は、第１検出器から出力された周期信号の振幅を量子化することによってデータ列を生成し、該データ列を第１角度データに変換し、第１検出器及び第２検出器から出力された周期信号の振幅をそれぞれ規格化し、該振幅が規格化された周期信号を平均化し、該平均化された周期信号の位相から第１角度データよりも最小単位が小さい第２角度データを算出し、第１角度データと第２角度データとを合成する。 （もっと読む）

【課題】 走査方向の依存性が小さくＡ相もしくはＢ相信号に同期した原点検出を安定して行うことができ、変位検出に用いられるエンコーダを提供する。
【解決手段】 発光部２１、３１から出射された光をスケール４に投影し、その反射光の回折パターンを検出する検出部２２、３２と、当該検出部の信号をエンコーダ信号として処理する信号処理回路とを備え、エンコーダ信号は、移動方向を示すために互いに９０度位相のずれた位置信号であるＡ相信号及びＢ相信号と電源をオフ後、再度電源をオンした時などに原点位置を検出するＺ相信号からなる。スケール４の内、Ｚ相信号を形成するＺ相スケール４１には光反射領域及び光透過領域の２領域からなるベタパターンを用い、Ｚ相信号はＺ相スケール４１から形成されたＺ相出力信号をデジタル化して得られるパルス状信号であり、スケール４との間の相対移動量から対象物の変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】トラック数を増やさなくても高分解能であり、かつセンサの個体差による影響を低減できるアブソリュートエンコーダを提供する。
【解決手段】アブソリュートエンコーダは、信号パターンを読み取り可能な複数のセンサを含み、複数のセンサの位置が異なるように配列されたセンサ集合体と、信号パターンを含む基体と、を含むエンコーダユニットと、センサ集合体の出力から、センサ集合体と基体との絶対位置を算出する演算装置と、を有し、センサ集合体と基体とが相対的に移動すると、複数のセンサの検知範囲を信号パターンが移動する。複数のセンサの検知範囲を信号パターンが移動することで、トラック数を多くする必要がなく、アブソリュートエンコーダの分解能を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】目盛盤の目盛中心Ｏｇと回転中心Ｏｒとの間に偏心が生じていても回転角度を適切に検出できる角度検出装置の提供。
【解決手段】 径方向に延びる複数の目盛線１３が形成された円盤状の目盛盤１１と、目盛線１３を検出する検出器１２とを備え、目盛盤１１の回転に伴って検出器１２から出力される検出信号Ｓｄを参照して前記目盛盤の回転角度を検出する角度検出装置であって、目盛盤１１の目盛中心Ｏｇと回転中心Ｏｒとの偏心量δに基づく回転角度の誤差を補正する補正手段２０を備え、補正手段２０は、偏心量δを取得する偏心量取得部２１と、偏心量取得部２１で取得される偏心量δに基づいて、目盛線１３の検出周波数を搬送周波数としかつ目盛盤１１の回転周波数を変調周波数としたときの変調指数を算出する変調指数算出部２２と、変調指数算出部２２で算出される変調指数に基づいて、変調周波数の高次成分を算出する高次成分算出部２３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】クロストークによる検出誤差を軽減し、移動体の高帯域速度変動を高精度に検出することができる変位計測装置を得る。
【解決手段】移動体に設けた光学的に識別可能なマークを照明する第１の発光部と前記マークを介した光を検出する第１の受光部とを備える第１の検出部と、前記第１の検出部に対して前記移動体の移動方向に所定の間隔を隔てて配置され、前記マークを照明する第２の発光部と前記マークを介した光を検出する第２の受光部とを備える第２の検出部と、前記第１の発光部と、前記第２の発光部を時分割で発光させる時分割発光手段と、前記マークのうち同一のマークを前記第１、第２の検出部で各々検出する第１のタイミングと前記第１のタイミングと異なる第２のタイミングを検出する検出手段と、前記検出手段で得られた前記第１のタイミング及び前記第２のタイミングを用いて前記移動体の移動速度を算出する速度算出手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ユーザニーズに即したエンコーダ、特に多機能化において優れるエンコーダを提供すること。
【解決手段】光学格子71,72が設けられたスケール7と、前記スケール7と当該検出ヘッド10との相対変位を検出する検出ヘッド10と、を具備する光学式エンコーダ50を次のように構成する。前記検出ヘッド10に、前記スケール7に光を照射する光出射部21と、前記光出射部21から出射して前記光学格子71,71により反射された光を受光するアレイ状受光部41,42を備え、前記アレイ状受光部41,42で生成された信号を検出する光検出部4,4’と、前記光検出部4,4’による信号検出の処理内容を切り替える切り替えスイッチ部3と、を具備させる。 （もっと読む）

【課題】ひとつのセンシングシステムで、多様な物理量のセンサがサポートでき、且つ、複数地点での多様な物理量が同時に観測できるシステムを提供すること。
【解決手段】本発明では、ＰＮ符号で変調された出射光を、光源部から異なる光路長の地点にそれぞれ配設された複数の光ファイバセンサから構成されたセンサ群に出射し、反射応答光とＰＮ符号との相互相関処理によって複数の光ファイバセンサ毎の反射応答信号を得るように構成される光ファイバセンシングシステムにおいて、センサ群は、異なる物理量を検出し得る少なくとも１つ以上の方式に対応した光ファイバセンサを含み、光源部は、異なる遅延時間の遅延ＰＮ符号で変調され、光ファイバセンサに適合した複数種類の出射光を送出する複数の光源を備え、処理部は、センサ群からの反射応答光のデジタル信号と遅延ＰＮ符号との相互相関処理によってセンサ群の反射応答信号を得るように構成した。 （もっと読む）