【課題】光学式エンコーダにおいて、スケールと受光部とが周期パターンの周期方向に直交する方向に相対変位しても、良好な精度で位置検出を行えるようにする。
【解決手段】エンコーダは、光を反射または透過する光学部が第１の方向に第１の周期で形成された周期パターンを有するスケール２と、該スケールとの第１の方向での相対移動が可能であり、光源１から射出されて光学部を介した検出光を光電変換して第１の周期に応じた変化周期を有する信号を出力する受光部３とを有する。光学部は、第２の方向にて隣り合う複数の部分ｅ〜ｈが互いに第１の方向にシフトしたパターン形状を、第２の方向に第２の周期ｔで有する。光源の第２の方向での幅ｗが、ｗ＝（ａ＋ｂ）／ｂ・ｎｔなる条件を満足する。ｎは自然数であり、光源から周期パターンまでの距離と周期パターンから受光部までの距離との比をａ：ｂとする。 （もっと読む）

【課題】エンコーダにおいて、三角関数演算の回数を削減する。
【解決手段】エンコーダは、周期パターン１１が設けられたスケール１０と、スケールとの相対移動が可能であり、周期パターンを読み取って、それぞれ周期パターンに応じた変化周期を有し、かつ互いに位相が異なる複数のアナログ信号を出力するセンサ２０と、該センサから出力された複数のアナログ信号を時分割でアナログ−デジタル変換して複数のデジタル信号を生成するＡ／Ｄ変換部３０と、複数のデジタル信号から位相を検出する位相検出部６０と、スケールとセンサとの相対移動速度と位相検出部により検出された位相とを用いて補正値を算出し、該補正値と位相検出部により検出された位相とから補正位相を算出する補正部７０と、該補正位相を用いて、スケールとセンサとの相対移動方向での位置を求める位置検出部８０とを有する。 （もっと読む）

【課題】原点検出精度を向上させた信頼性の高いエンコーダシステムを提供する。
【解決手段】エンコーダシステム１００は、複数のマークを備えた担持体１１と、担持体１１の移動方向に第１の距離だけ互いにずらして設けられ、複数のマークを読み取り可能なセンサ１２、１３と、センサ１２、１３の検出信号を演算処理する演算処理部１４とを有し、演算処理部１４は、担持体１１がセンサ１２、１３に対して相対移動している際に、複数のマークのうち一つのマークが第１の距離だけ移動するのに要する第１の時間、および、複数のマークのうち隣接する二つのマークがセンサ１２またはセンサ１３による検出位置を通過するのに要する第２の時間を演算し、第１の時間および第２の時間から算出された第１の指標が原点位置を特徴付ける第２の指標に相当する場合、第１の指標の算出に用いられたマークパターンを原点マークパターンであると判定する。 （もっと読む）

【課題】 遮光手段を用いずに光源からの発散光がパッケージの外界との境界面で全反射して、受光素子に入射することを防止する。
【解決手段】 光線Ｌ０は発光素子２３から出射した光線のうち、境界面５３で屈折して透過し反射スケール２１で反射し、最後に受光領域Ｓ２に導かれる光線群であり、この光路がセンサ信号を得るための有効光となる。光線Ｌａは境界面５３で全反射してパッケージ内を伝搬する光線であり、この光線Ｌａはセンサ信号光とは無関係なノイズ光であり、受光すべきでない光線である。この光線Ｌａが受光領域Ｓ２に入射すると、センサ信号のＳ／Ｎが低下してしまうことになる。また、光線Ｌｂは境界面５３を挿通し反射スケール２１に至ることなく、外方に出射してしまうので、精度等に対する影響は殆どない。不要な光線Ｌａが受光素子２４の受光領域Ｓ２に入射しないように、発光素子２３の発光領域Ｓ１を基準として、受光領域Ｓ２を決定する。 （もっと読む）

【課題】符号板の回転数が高くなった場合でも適切に誤動作を検出することができるエンコーダ及びエンコーダのパターン検出方法を提供すること。
【解決手段】パターンを有し、回転軸を中心として回転する回転部と、パターンを検出する第一パターン検出部と、当該第一パターン検出部とは別にパターンを検出する第二パターン検出部と、第一パターン検出部又は第二パターン検出部における検出異常の有無を検出する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】大型化し、検出精度等にも不都合が生じる磁気センサの使用をなくし、小型かつ安価なコストで、また５μｍ以下の分解能で１０ｍｍ以上の長距離検出を可能にする。
【解決手段】反射面ｓａと非反射面ｓｂを移動物の移動方向に交互に並べた反射板１２を設け、反射型フォトセンサ９の受光素子８には、移動物の移動方向でそれぞれ異なる受光領域を持つ複数の受光部８ａ，８ｂを設け、この２つの受光部８ａ，８ｂから位相差の異なる信号を出力し、これら２つの信号に対し例えばリニア値演算を施すことにより、反射板１２及び移動物の位置を検出する。また、３分割受光部から３つの信号の出力することで中点電位をも算出し、この中点電位を基準にしたリニア値演算を行ってもよい。上記受光部では、その受光領域の一部を遮光し、検出出力の直線性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ポリゴンミラーなどの静止物体の校正に使用されるエンコーダに有用な技術を提供する。
【解決手段】光源と、マークが一定のピッチで配列され相対移動するスケールと、スケールのピッチによって決定される周期の整数分の一の大きさの周期で偏光方向が回転する直線偏光を生成する光学系と、生成された直線偏光を第１直線偏光と第２直線偏光とに分割する分割部と、固定配置された第１偏光板を含み、スケールが相対移動する間における、第１偏光板を通過した第１直線偏光の偏光方向の回転の数を得る第１ユニットと、直線偏光の偏光方向に対して回転する第２偏光板を含み、スケールが静止したときにおける第２直線偏光の偏光方向を検出することによってスケールが静止したときにおける直線偏光の１回転内の位相を得る第２ユニットと、第１ユニットおよび第２ユニットにより得られた結果を統合してスケールの移動量を出力する出力部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高い回折効率を示し、精度良く位置検出を行える変位検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】台形または矩形のレリーフ形状をした回折格子を用いる。また、可干渉光を出射する光源部と、光源部から出射された光束を二つの光束に分割する光束分割部と、を含み、二つの光束をＰ偏光として回折格子上に照射させる照射光学系と、二つの光束が回折格子により回折されることによって生じる二つの第１回折光をそれぞれ反射し、回折格子上にＰ偏光として再入射させる反射光学系を備える。また、回折格子に再入射した二つの第１回折光が回折されて生じる二つの第２回折光を干渉させる干渉光学系と、干渉光学系により干渉した光を受光する受光部と、受光部において取得した干渉信号に基づいて、回折格子の位置情報を検出する位置検出部を備えるものとする。そして、回折格子のレリーフの周期を、回折格子に入射する可干渉光の波長の１．５倍以下とする。 （もっと読む）

【課題】高精細、高分解能化されたエンコーダや、変則的あるいは余分な入出力を有するシステムにも容易かつ低コストで対応できるエンコーダの信号処理装置を提供する。
【解決手段】 複数の異なるエンコーダの検出器からの検出信号をデータ信号に変換し、得られた複数のデータ信号を合成して１つのデータ合成信号として送出するエンコーダの信号処理装置とし、この装置５０は検出信号をデータ信号に変換する複数のデータ信号変換部５１，５２ｎと、データ信号変換部からのデータ信号をシリアル信号に変換する複数のシリアル信号生成部５３，５４ｎと、前記シリアル信号生成部からの信号を合成するシリアルデータ合成部５５と、前記シリアルデータ合成部５５で合成されたシリアルデータ信号を外部装置に送出する信号送受信部５６とを有する。 （もっと読む）

【課題】偏光コード化されて位相のずれた走査検知信号を生成し、そして出来るだけ簡単に構成されている光学式位置測定装置を提供する。
【解決手段】少なくとも一つの測定方向に沿って互いに相対的に可動で配設されている基準尺と走査検知プレートの、相対位置を検出するための光学式位置測定装置に関するものである。光源から発光された光束が第一格子により、偏光状態を互いの間で直角に方向付けできる少なくとも二つの分光光束に分割される。その分光光束が、再び一緒にされて一つの合成光束になり、その合成光束から検知ユニットにおいて、移動に関係する複数の走査検知信号を生成することができる。分光光束の光路に偏光手段が配設されており、それに入射する分光光束に対するその偏光作用を、基準尺の運動自由度に沿って偏光周期を使って周期的に変更でき、そのとき偏光手段の偏光周期が第一格子の目盛周期より大きい。 （もっと読む）

【課題】確実な原点検出と高精度な相対位置検出の両立が可能なエンコーダを用いる位置検出装置及び方法を提供することである。
【解決手段】位置検出装置は、エンコーダ１０１と補正手段１０３と相対位置検出手段１０５と原点検出手段１０４と絶対位置決定手段１０６を備える。エンコーダは、スケール１３と受信部１２を有し、スケールは、不連続部分を持つ周期的パターンを有し、受信部は、相対移動時に、周期的パターンからの信号を受信して位置検出用の信号を生成する。補正手段は、受信部の出力信号の不連続部分に由来する部分を補正する。相対位置検出手段は、補正信号に対してエンコード処理を施し相対位置を検出する。原点検出手段は、不連続部分に由来する信号部分を含む受信部の出力信号に基づいて原点位置を検出する。絶対位置決定手段は、相対位置の検出結果と原点位置の検出結果から絶対位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】所望の検出精度を保持しつつ薄型化を実現した光学式センサを提供すること。
【解決手段】光学式センサ1を次のように構成する。すなわち、光を検出する光検出器102と、前記光検出器102が埋め込まれ、少なくとも３層から成る基板104と、を光学式センサ1に具備させる。ここで、前記基板104は、少なくともカバー層104aとスペーサ層104bとベース層104cとを有し、且つ、前記光検出器102に対する電気的導通部である配線１０８Ｗが設けられている。 （もっと読む）

【課題】主電源がオフ時に低消費電力でモータの回転を検出するエンコーダの多回転検出回路に関し、バックアップ用バッテリの長寿命化を図った多回転回路を提供する。
【解決手段】発光素子の光源上に回転板を介して受光素子を配置し、前記回転板には光を透過または非透過させるパターンを円周方向に９０度の位相差を持たせて２本のトラックを配置し、前記発光素子からの光が透過あるいは非透過の状態によって回転を検出する多回転検出回路を備えたアブソリュートエンコーダにおいて、前記回転板が回転することによって正負のパルス電圧を発生する発電回路と、前記発電回路から発生した正負パルス電圧を正パルス電圧に変換する整流回路と、前記整流回路と前記発光素子を接続し、前記整流回路で直流に変換した電圧によって前記発光素子をパルス点灯する。 （もっと読む）

【課題】干渉光と各部品の多重反射による迷光が重なることがなく、検出精度の向上を図ることができるようにする。
【解決手段】変位検出装置は、回折格子２と、格子干渉計４，５と、相対位置情報出力手段６，７とを備えている。格子干渉計４，５は、光源３と、反射手段１２，１３と、ビームスプリッタ１７と、受光手段１８，１９とを有している。反射手段１２，１３は、回折格子２によって回折された１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２を反射させて、光源３からの光Ｌが照射された位置とほぼ同じ位置に再び入射させている。更に、反射手段１２，１３は、光源３から複合回折格子２への入射角度及び、１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２が回折格子２を透過又は反射した角度と異なる角度で回折格子２に１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２を入射させている。 （もっと読む）

【課題】高精度で、小型かつローコストなロータリーエンコーダを提供する。
【解決手段】ロータリーエンコーダ１００は、螺旋状パターン５０１及び放射状パターン５０２を有して回転軸を中心に回転可能なスケール２０１と、螺旋状パターン５０１を透過した光束を検出して第１検出信号を出力する第１センサユニット３０１と、放射状パターン５０２を透過した光束を検出して第２検出信号を出力する第２センサユニット３０２と、第１検出信号に基づいて偏芯補正信号を生成し、偏芯補正信号に基づいて第２検出信号を補正する信号処理回路４０１とを有し、螺旋状パターン５０１は、所定値より大きい回転角変位を検出し、放射状パターン５０２は、螺旋状パターン５０１で検出される回転角変位よりも小さい回転角変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】高精度な位置制御及び速度制御を実現可能とする。
【解決手段】エンコーダ装置４０から出力される正弦波のアナログＡ相及びＢ相信号を、信号処理回路５０で次のように変換する。即ち、信号処理回路５０では、アナログＡ相及びＢ相信号をディジタル化して無逓倍のディジタルＡ相及びＢ相信号を生成すると共に、アナログＡ相及びＢ相信号を４倍に逓倍且つディジタル化して、ディジタル逓倍Ａ相信号及びディジタル逓倍Ｂ相信号を生成する。更には、ディジタルＡ相及びＢ相信号の排他的論理和（ＸＯＲ）信号を、ディジタルＺ相信号として生成する。位置検出部６１は、ディジタル逓倍Ａ相信号及びディジタル逓倍Ｂ相信号に基づき、対象物の位置を検出する。一方、速度検出部６３１，６３２，６３３は、ディジタルＡ相信号、又は、ディジタルＺ相信号、又は、ディジタルＡ相及びＢ相信号の両者に基づき、対象物の速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】電気的ノイズに強い誤動作検出を行うことを可能にするエンコーダ装置を提供することを課題としている。
【解決手段】エンコーダ装置は、符号板と、符号板の相対位置を検出する相対位置検出部と、第１絶対位置符号を生成するパターン生成部と、符号板の絶対位置を示す第２絶対位置符号を検出する絶対位置検出部と、第１絶対位置符号から同一の論理状態を示す符号の位置から少なくとも２箇所の同一符号位置を選択する同一符号選択部と、第２絶対位置符号から同一符号位置に対応する位置の符号を判定する符号判定部と、同一符号位置によって示される第１絶対位置符号と、符号判定部が判定した符号とが同じ論理状態であるか否かを判定する判定部と、相対位置検出部又は絶対位置検出部において発生した検出異常の有無を判定する異常判定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】高い測定分解能をもつ波長検波型光ファイバセンサシステムの提供。
【解決手段】互いに近接配置されたからファブリペローエタロンを構成するＦＢＧ対から成るセンサ素子２１〜２ｎを備えて波長検波型光センサ２を構成する。この波長検波型光センサ２と、この波長検波型光センサ２に入射された光の透過光を入射するとともに透過光を検出する光波長検波手段３とを備えて光ファイバセンサシステムを構成する。光波長検波手段３は、センサ素子２１〜２ｎからの透過光を波長毎に分波するアレイ導波路格子３１と、このアレイ導波路格子３１で分波された信号に基づいて各センサ素子２１〜２ｎで検出される波長を演算する演算回路３２とを備えており高分解能な測定を可能とする。 （もっと読む）

【課題】多数個で使うために自由度が高くかつ小型とすること。
【解決手段】１又は複数のスケールとの間の相対変位を検出する１又は複数のエンコーダヘッドと、１又は複数のエンコーダヘッドから出力される電気信号を処理する１つの信号処理部と、１又は複数のエンコーダヘッドと信号処理回路との間のうち１又は複数のエンコーダヘッド側に位置し、１又は複数のエンコーダヘッドから出力される電気信号を同属化する接続部とを具備する。 （もっと読む）