【課題】光干渉信号出力をセンサ信号とするセンサには、構成が簡単で、センサ部分の無電源化が可能なホモダイン干渉方式があるが、安定な動作を得るには、使用部品に対し厳しい工作精度と熱膨張対策が必要であると共に、センサ信号として変動できる位相範囲は±９０度以内に限られていた。
【解決手段】干渉計の入力を周期性光パルスとし、参照光パルスの前半と後半で位相を９０度（直交位相）異なる位相とし、計測光パルスと干渉させることにより、９０度異なる２つの干渉出力値ｉ１、ｉ２を得て、その参照光と計測光の値ｒ、ｓとから、参照光と計測光の位相差をθとして、２つの余弦値ｃｏｓθ１、ｃｏｓθ２を算出して余弦曲線上に位置を定め、その角度θ１、θ２を求めることによって、干渉光の強度変動、位相動作点変動の影響を除外するとともに、１周期前との角度の差分を積算して、センサ出力とすることにより、センサ信号として変動できる位相範囲が、±９０度（半波長）を超えることを許容する光ファイバセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】エンコーダにおいて、三角関数演算の回数を削減する。
【解決手段】エンコーダは、周期パターン１１が設けられたスケール１０と、スケールとの相対移動が可能であり、周期パターンを読み取って、それぞれ周期パターンに応じた変化周期を有し、かつ互いに位相が異なる複数のアナログ信号を出力するセンサ２０と、該センサから出力された複数のアナログ信号を時分割でアナログ−デジタル変換して複数のデジタル信号を生成するＡ／Ｄ変換部３０と、複数のデジタル信号から位相を検出する位相検出部６０と、スケールとセンサとの相対移動速度と位相検出部により検出された位相とを用いて補正値を算出し、該補正値と位相検出部により検出された位相とから補正位相を算出する補正部７０と、該補正位相を用いて、スケールとセンサとの相対移動方向での位置を求める位置検出部８０とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数の周期パターンに対する検出部による検出周期を切り替えるエンコーダにおいて、位置検出の遅れを回避する。
【解決手段】エンコーダは、第１の周期パターン１１および第２の周期パターン１２が設けられたスケール１０と、該スケールとの相対移動が可能な検出部２２とを有する。検出部２２は、第１の検出状態と第２の検出状態との切り替えが可能であり、第１の検出状態にて第１の周期パターンに応じた第１の信号を出力し、第２の検出状態にて第２の周期パターンに応じた第２の信号を出力する。処理部３０，４０は、検出部から取り込んだ第１および第２の信号の双方を用いて第１の絶対位置を算出する第１の処理を行った後、該検出部から取り込んだ一方の信号を用いて相対移動量を算出する。処理部は、第１の処理において最後に設定した検出状態と同じ検出状態の検出部から一方の信号を取り込む。 （もっと読む）

【課題】製造を容易にしつつ小型化することが可能な、光全周エンコーダ及びモータシステムを提供すること。
【解決手段】回転軸ＡＸ上に位置する発光部１１１が一面側に配置された基板１１０と、基板１１０の他面側において回転軸ＡＸ周りに回転可能に配置され、回転軸ＡＸを中心とし複数の回転スリットＳ２，Ｓ３を有する２つの回転トラックＴ２，Ｔ３を有するディスク１４０と、発光部１１１から照射された光を、ディスク１４０の外周方向のほぼ全域に向けて放射状に導き、回転トラックＴ２，Ｔ３に導く導光部１２０とを有し、導光部１２０は、回転トラックＴ２に間接的に対向する略リング状の照射入光面１２６を有し、該面１２６から回転トラックＴ２に向けて出射するために光を放射状に導くインクレ用第１導光部１２３等と、放射状に導いた光の一部を回転トラックＴ３に導くアブソ用第２導光部１２９３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、受光手段により検出された変位信号の高調波成分を、従来より少ないスリットパターン数で、変位信号の振幅低下を低減しつつ、より効果的に除去することができる光学式エンコーダ装置を提供する。
【解決手段】本発明による光学式エンコーダ装置は、第２のスリットに設けられているスリットパターンが、２つのスリットパターンを有し、各パターン部の透過部は互いに第１のスリットのピッチの１／３の透過スリット幅をもち、かつ互いに１／１２の位相差をもち、高調波成分を効果的に除去されるように配置されていることを特徴とする光学式エンコーダ装置。 （もっと読む）

【課題】雰囲気温湿度が変化するような場合でも、高精度の位置測定を行うことができる位置測定装置を提供する。
【解決手段】コリメートレンズ２を透過した光のうち、ビームスプリッタ３で反射された光は、集光レンズ８により、ＣＣＤ９の受光面に集光される。光源１が振動して光ビームの位置が変われば、ＣＣＤ９に入射する光ビームの位置が変化するので、ＣＣＤ９の出力変動から、光ビームの振動中心を知ることができる。制御装置１０は、この振動中心を検出し、振動中心が予め定められた位置となるように、光源１を加振しているピエゾ素子１１に印加する電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】スケールの位置情報を高精度に検出する。
【解決手段】エンコーダ装置は、照射光を射出する光源部と、少なくとも移動方向に光源部と相対的に移動可能であって、照射光が入射され、移動方向に沿って形成されたパターンを有するスケールと、照射光を変調させる変調信号と、変調信号に応じた参照信号とを生成する変調部と、照射光を受光して、受光した照射光に応じた受光信号を出力する受光部と、参照信号を遅延させて遅延参照信号を生成する遅延信号生成部と、遅延信号生成部によって生成された遅延参照信号と受光信号とに基づいて、移動方向におけるスケールの位置情報を検出する位置検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被計測物の絶対位置を高精度に計測可能なエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダ１００は、被計測物とともに移動可能に構成されたスケール１と、異なるピッチのパターンを有するトラック１１と、スケール１に対する相対的な変位を検出して第１および第２の２相正弦波信号を出力する第１および第２のセンサ２１、２２と、第１および第２の２相正弦波信号に基づいて前記第１および第２のセンサ２１、２２に対応する第１および第２の位相をそれぞれ算出する位相演算手段３１、３２、６１、６２と、第１および第２の位相の位相差に基づいて被計測物の粗位置を計測する粗位置計測手段４１と、被計測物の粗位置に基づいて第１および第２の２相正弦波信号に含まれる位相差誤差を補正する補正手段５１、５２と、補正手段５１、５２で補正された第１および第２の２相正弦波信号に基づいて被計測物の絶対位置を計測する位置計測手段７１とを有する。 （もっと読む）

【課題】安価で信頼性の高い信号処理装置を提供する。
【解決手段】被計測物の変位に応じた複数の周期信号に基づいて、前記変位に係る波数および位相の組み合わせを得る信号処理装置であって、前記複数の周期信号のサンプリング毎に該複数の周期信号から位相を得る第１手段と、サンプリング毎に前記第１手段により得られた位相に基づく波数および位相の組み合わせに対して回帰演算を行うことにより、サンプリング間隔における前記位相の変化量を得る第２手段と、第１サンプリングでの前記組み合わせに前記変化量を加算して第２サンプリングでの前記組み合わせを予測する第３手段と、前記第１手段により得られた前記第２サンプリングでの位相から、前記第３手段により予測された前記組み合わせの予測誤差を得る第４手段と、前記第３手段により予測された前記組み合わせに前記予測誤差を加算して前記第２サンプリングでの前記組み合わせを得る第５手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】受動読取ヘッドを有する光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】受動読取ヘッドは、接続ケーブルを有さず、ただの光学式読取ヘッドである。スケールに対する相対位置を示す測定位置情報は、遠隔随伴部に通じる見通し線によって遠隔的に読み取られる。遠隔随伴部は、光源と、検出部と、を備える。検出部は、遠隔レンズ部と、光検出機構部と、を有していてもよい。遠隔随伴部は、受動読取ヘッドから得られる像領域の輝度（明暗）を光学的に検知し、検知した輝度（明暗）に基づいて、測定位置を示す複数の信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】回転角度を高精度且つ短時間で測定すること。
【解決手段】回転が規制された非回転体であるエンコーダ本体２ａと、エンコーダ本体２ａに回転自在に軸支された回転体である回転軸３とを有し、エンコーダ本体２ａに対する回転軸３の相対的な回転角度を検出する相対的角度検出手段としてのロータリエンコーダ２と、エンコーダ本体２ａの絶対的な回転角度を検出する絶対角度検出手段としての非接触角度検出手段２０とを備える。これにより、ロータリエンコーダ２が検出した回転角度を、非接触角度検出手段２０で検出した回転角度に基づいて補正することができ、回転角度を高精度且つ短時間で測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】一次元のスケール格子に対するスケール光結像系の二次元の変位を検出でき、構造が簡単な変位センサを提供する。
【解決手段】Ｘ方向に配置されたスケール格子１１０から結像系１９０にＺ軸にほぼ平行なスケール光成分ＯＰ１Ａ、ＯＰ１Ｂを射出し、Ｚ方向に平行な光路ＯＰ１に沿って伝播した当該スケール光成分を受光した検出部２０１は、Ｘ方向の変位を示す変位信号を出力し、スケール格子１１０から結像系１９０にＺ軸から傾いた方向にほぼ平行にスケール光成分ＯＰ２Ａ、ＯＰ２Ｂを射出し、Ｚ方向から傾いた光路ＯＰ２に沿って伝播した当該スケール光成分を受光した検出部２０２は、Ｘ方向の変位とＺ方向の変位とを含む変位信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】大型化を招かずに広範囲で絶対位置信号を高精度に取得可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】エンコーダにおいて、スケール２０のパターンは、｜(ｍ・Ｐ１−ｎ・Ｐ２)｜＜｜(Ｐ１−Ｐ２)｜を満たすように移動方向であるＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列され、Ｘ方向に第１の変調周期Ｐ１と第２の変調周期Ｐ２を有する。エンコーダの信号処理手段３０は、第１の変調周期Ｐ１の位相である第１の位相Φ１を取得する第１の位相取得手段３２と、第２の変調周期Ｐ２の位相である第２の位相Φ２を取得する第２の位相取得手段３３と、整数ｍ、ｎに対し、Ａ／Ｂ＝ｎ／ｍの関係を満たす２つの係数Ａ、Ｂを用いてＳｖ＝Ａ・Φ１−Ｂ・Φ２を満たすＳｖを前記スケールの位置を表す位置信号として取得する位置情報取得手段３４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】エンコーダの低コスト化を図りつつ、エンコーダの信頼性を向上する。
【解決手段】エンコーダ２７は、起動時等にスライダが停止した状態で、独立して点灯される複数の光源を用いて複数の絶対位置を検出し、この複数の絶対位置の差が所定範囲内に収まっているかどうかに基づいてエラーの判定を行うことで、高い信頼性を確保する。これとともに、エンコーダ２７は、起動後は、インクリメンタルスケール５１を用いインクリメンタルエンコーダとして用いられることで、低コスト、及びコンパクトな構成とすることができる。 （もっと読む）

【課題】受光素子を備えた光学モジュールと回転ディスクとが比較的大きく離れて配置されていても、回転ディスクや光学モジュールの位置調整を精度良く行いつつ、サーボモータを容易に製造できるようにする。
【解決手段】回転ディスク１１０に形成した同心円パターンＣＰに対向して配置したリニアエンコーダ１６０の出力信号に基づき、シャフトＳＨの回転軸ＡＸと回転ディスク１１０のディスク中心Ｏとが一致するように回転ディスク１１０の位置を調整する。また、光学モジュール１２０が同心円パターンＣＰからの反射光を受光する位置調整用受光素子群１５０Ｌ，１５０Ｒを基板１２１上に備える。位置調整用受光素子群１５０Ｌ，１５０Ｒの各出力信号の振幅変化に基づき、光学モジュール１２０の半径方向位置を調整する。また、位置調整用受光素子群１５０Ｌ，１５０Ｒの各出力信号の位相差に基づき、光学モジュール１２０の傾斜方向の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】検出ヘッドのアライメント調整が容易な光電式エンコーダ及びそのアライメント調整方法を提供する。
【解決手段】光電式エンコーダは、測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケールと、このスケールに対して相対移動可能に配置され、スケールに光を照射する照射部、並びにスケールの回折格子で反射または透過された光を、それぞれ異なる位相において受光する複数の受光部を備えた検出ヘッドと、この検出ヘッドの受光部からの受光信号を処理して２相信号を生成する信号処理装置とを備える。信号処理装置は、２相信号のリサージュ半径に対応したアライメント調整用のモニタ信号を算出することで、前記スケールに対して前記検出ヘッドを静止させた状態で該検出ヘッドのアライメント調整を可能とする。 （もっと読む）

【課題】クロストークによる検出誤差を軽減し、移動体の高帯域速度変動を高精度に検出することができる変位計測装置を得る。
【解決手段】移動体に設けた光学的に識別可能なマークを照明する第１の発光部と前記マークを介した光を検出する第１の受光部とを備える第１の検出部と、前記第１の検出部に対して前記移動体の移動方向に所定の間隔を隔てて配置され、前記マークを照明する第２の発光部と前記マークを介した光を検出する第２の受光部とを備える第２の検出部と、前記第１の発光部と、前記第２の発光部を時分割で発光させる時分割発光手段と、前記マークのうち同一のマークを前記第１、第２の検出部で各々検出する第１のタイミングと前記第１のタイミングと異なる第２のタイミングを検出する検出手段と、前記検出手段で得られた前記第１のタイミング及び前記第２のタイミングを用いて前記移動体の移動速度を算出する速度算出手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】小型であり、かつ構成部材の位置合せが容易なエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】エンコーダヘッド２０は、光源部からの計測光をスケール５（回折格子）に向けて反射させる第１プリズム２１と、第１プリズム２１により反射された計測光を二つの直線偏光に分割する偏光ビームスプリッタ膜２２と、偏光ビームスプリッタ膜２２を透過した直線偏光を円偏光に変換してスケール５上の一方の位置に照射させる第１波長板２３と、偏光ビームスプリッタ膜２２で反射した直線偏光を円偏光に変換してスケール５上の他方の位置に照射させる第２波長板２４と、スケール５で反射回折した±１次回折光を干渉させて光検出器に向けて反射させる第２プリズム２５とを有し、偏光ビームスプリッタ膜２２が第１プリズム２１と第２プリズム２５に挟まれて設けられ第１プリズム２１、第２プリズム２５および偏光ビームスプリッタ膜２２が一体に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ２次以上の回折光および迷光の発生を抑え、位置検出信号のＳ／Ｎ比を改善し検出精度の向上を図る。
【解決手段】 屈折率ｎの保護層１２で格子面１１ａが覆われた回折格子１１のピッチをｄ、照射される可干渉光の真空中の波長をλ_０とした時、ｄ＜２λ_０／ｎ とし、上記回折格子１１への可干渉光の入射角θ_０を
｜ｓｉｎθ_０｜＜（２λ_０／ｄｎ）−１
なる式を満たす角度に設定し、１次回折光を位置検出に使用する。 （もっと読む）

【課題】回折干渉光を利用して分解能を向上させつつ、製造等を容易にすることが可能な、エンコーダ、サーボモータ、サーボユニット及びエンコーダの製造方法を提供する。
【解決手段】
回転格子が形成されたリング状の第１トラックＴＡ及び第２トラックＴＢを有するディスク１１０と、第１トラック及び第２トラックに対向して固定配置され、固定格子を有して回折干渉光を検出する第１検出部１３０Ａ及び第２検出部１３０Ｂと、を有し、第１トラックの複数のスリットは、湾曲スリットとして形成され、第１トラックに対向する第１検出部は、第２検出部が対向する位置におけるスリットの接線ＬＩＮＥＢに対して、第１トラックの回折格子に含まれるスリットの接線ＬＩＮＥＡが平行となる位置に配置される。 （もっと読む）