【課題】建材中に石綿が含まれているか否かを極めて簡易かつ高い精度で分析することが可能な建材簡易分析方法、及び、その含有される石綿の種類を極めて簡易かつ高い精度で分析することが可能な建材簡易分析方法を提供すること。
【解決手段】建物から採取した建材を、粉砕することなく、そのまま又は所定形状に切断若しくは破断して建材試料とし、該建材試料の切断又は破断面を走査型電子顕微鏡により観察後、繊維が確認された場合、繊維の径の測定及び組成分析を行う建材簡易分析方法である。 （もっと読む）

【課題】半導体用研磨スラリー中に含有される不純物粒子等の異物の検査を行い、その異物に関する情報を取得することができるスラリー中の異物の検査方法を提供する。
【解決手段】半導体用研磨スラリーを採取するサンプリング工程と、スラリー中に含まれる砥粒は通過させ、砥粒よりも大きな異物は捕捉することが可能である孔径を有したろ過膜に、サンプリング工程で採取したスラリーを通液し、ろ過するろ過工程と、ろ過工程で得られた、スラリーを通液したろ過膜の表面に存在する異物を検査する異物検査工程と、を有する異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】 ＥＰＭＡ装置の検出感度を増大する。
【解決手段】 試料台３上の試料２と分光結晶８との間にはＸ線集光手段としてのフレネルゾーンプレート９が設けられている。そして、フィラメント５から加速されて放出された電子線６が試料台３上の試料２表面に照射されると、試料２表面領域から特性Ｘ線１１が発生する。この発生した特性Ｘ線１１は、フレネルゾーンプレート９により集光されて分光結晶８に入射され、分光結晶８で分光され、Ｘ線検出器１０に入射される。この場合、Ｘ線集光手段としてのフレネルゾーンプレート９を用いているので、分光結晶８に入射される特性Ｘ線量が増加し、検出感度を増大することができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、上記問題点を解決すべく、ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りの傾斜を大幅に改善可能な試料ホルダーを提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダーは、ホルダー本体と、試料を保持するための試料固定台と、前記ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りに回転可能な軸傾斜機構とを有し、前記軸傾斜機構は、前記長手方向に直交する所望の軸回りに回転させるための支点保持部材とは無関係に軸傾斜可能な機構であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転可能なベースの回りに配置されたサンプルを顕微処理する複数器具を含むクラスタ器具を提供すること。
【解決手段】ベースの上のサンプル・ホルダが、器具の作業領域間においてサンプルを回転させる。スライド可能真空封止が、真空を必要とする器具のサンプル室において真空を維持する。 （もっと読む）

【課題】ＷＣ基超硬合金に存在するＶとＷとＣｒを含む複炭化物相の面積率の測定方法を提供する。
【解決手段】ＷＣ基超硬合金の複炭化物相の面積率を測定する方法であって、第１の手段はＷＣ基超硬合金の鏡面仕上げ面を作成する手段、第２の手段はＥＰＭＡのマッピング機能により複炭化物相のラインプロファイルを採取する手段、第３の手段はＴＥＭにより複炭化物相の形態とその寸法値を測定する手段、第４の手段は該ラインプロファイルと該寸法値より、複炭化物相のラインプロファイルの閾値を設定する手段、第５の手段は、複数の画像を閾値により２値化し、画像処理することにより複炭化物相の面積率を演算によって求める手段であり、該第１から該第５の手段を有する事を特徴とするＷＣ基超硬合金の複炭化物相の面積率の測定方法である。 （もっと読む）

【課題】 湾曲分光結晶を用いるＸ線分光器において、分光結晶の有効回折領域のみを使用するようにして、分析に用いる特性Ｘ線の波長分解能、特性Ｘ線対バックグランド比の向上を図る。
【解決手段】 湾曲分光結晶３の表面位置からローランド円の内側方向に起立するＸ線遮蔽板Ａを設け、Ｘ線発生点Ｓから湾曲分光結晶３に向かう入射Ｘ線及び湾曲分光結晶３によって回折されＸ線検出器に向かう回折Ｘ線の一部をＸ線遮蔽板Ａにより遮蔽する。遮蔽される領域は入射Ｘ線の入射角θに応じて変化し、常に最適又はそれに近い湾曲分光結晶３上の有効回折領域を用いることができる。 （もっと読む）

【解決手段】基板に重ねられた材料の層の積重ねにおける１つの層の元素組成の面密度を確立するための方法及びコンピュータプログラムソフトウェア製品である。入射する透過性放射線は、１又は複数の元素のそれぞれに関連した複数の線の特性蛍光Ｘ線放射を励起する。連続する元素の特性蛍光の強度比に関する方程式の自己一致した解によって、連続した層の面密度が決定される。 （もっと読む）

本発明の１つの態様によれば、基板処理システムが提供される。このシステムは、チャバを囲むチャンバ壁と、基板を支持するようにチャンバ内に位置付けられた基板支持体と、基板上の材料から光電子を放出させる電磁放射線を基板支持体上の基板に放出させる電磁放射線源と、基板から放出された光電子を捕らえるアナライザと、チャンバ内に磁場を発生させ基板からアナライザに光電子を誘導する磁場発生器と、を含む。
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【課題】Ｘ線分析装置を備える電子顕微鏡において専門的な知識や能力がなくても試料の観察および分析において精度の高い結果を得ることができるようにする。
【解決手段】 ＳＥＭハードウェア１と、Ｘ線検出器およびエネルギー分散型Ｘ線分析装置で構成されるＥＤＸハードウェア２とを制御するコンピュータ３に、ＳＥＭ制御データ８,７１の通信を高速化し、ＥＤＸ側の測定結果をフィードバックしてＳＥＭ側の条件をリアルタイムに制御するデータ共有オブジェクト７を追加して、ＳＥＭアプリケーション５を介さずに、ＳＥＭ制御データ８,７１を直接ＥＤＸアプリケーション６へ送信する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 試料室内の水分を低ランニングコストで効率よく吸着・再生すると同時に、外部の磁気の影響を受けにくし、総じて検出性能を高めた試料分析装置を提供する。
【解決手段】
試料分析装置１において、コールドトラップ装置１０の低温パネル８０として、特に透磁率が大きいパーマロイと、熱伝導率が大きい無酸素銅と、によるクラッド材を用いて内外で二層構造となるように形成した。低温パネル８０のパーマロイは外部からの磁気を吸収させる機能を有し、また、無酸素銅により熱の昇降速度を向上させる機能を有するため、検出性・操作性を向上させた試料分析装置１とした。 （もっと読む）

【課題】略同じ色相を有する複数の塩化ビニル樹脂成形体を識別する識別方法、及びこの識別方法に使用される塩化ビニル樹脂成形体を提供する。
【解決手段】半導体若しくは液晶の製造の際に使用される略同じ色相を有する塩化ビニル樹脂成形体の少なくとも１つに、塩化ビニル樹脂成形時に通常添加されない識別物質１を含有させる。この成形体にＸ線や電磁波などのエネルギーを照射し、識別物質１の励起により放射される特有の蛍光Ｘ線や励起光を検出することで、識別物質１を含まずに前記蛍光Ｘ線や励起光を放射しない成形体と識別する。識別物質１としては、酸化アルミニウムにクロムイオンを添加したものや蛍光剤などが用いられる。 （もっと読む）

【課題】
半導体デバイス等の基板上に回路パターンを形成するデバイス製造工程において、製造
工程中に発生する微小な異物やパターン欠陥を、高速で高精度に検査できる装置および方
法を提供すること。
【解決手段】
表面に透明膜が形成された被検査対象物に対し、高ＮＡ対物レンズを真空チャンバ内に設置し、対物レンズ内に照明光路を設けたことにより、暗視野照明を可能にし被検査対象物表面の異物または欠陥の反射散乱光を高感度に検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ペロブスカイト型酸化物の結晶性薄膜の内部構造を評価することのできる結晶評価方法および結晶評価装置を提供する。
【解決手段】 試料台に載置されているペロブスカイト型酸化物の結晶を含む試料に、Ｘ線を照射し、前記試料から発生した特性Ｘ線を検出する測定部１１０と、前記測定部が検出した特性Ｘ線の強度に基づいて、特定の結晶サイトに位置する元素の種類を決定する処理部５０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】バイアス電流や冷却温度などの測定環境変動により特性変化するＴＥＳで、計測中のエネルギー感度のズレを補償するために、頻繁に感度校正することが難しかった。
【解決手段】パルス信号印加手段７を備え、パルス信号印加手段からの電流パルスをバイアス電流供給手段５２の出力に加算することによりＴＥＳ１にパルス信号を加える。さらに、波高分析器４から出力された波高スペクトルを有限時間間隔で複数回測定し保存し、保存された波高スペクトルのパルス信号に対応するピーク位置と実際のエネルギーの値が一致するように感度係数を導出し、それを用いて感度校正してエネルギースペクトルを与える演算処理装置１８を備える。 （もっと読む）

【課題】 ＥＰＭＡ等、試料上の微小領域から発生するＸ線を分光分析する装置における波長分解能を向上させるとともに、分析目的等に応じて波長分解能と分析感度とを選択することを可能とする。
【解決手段】 試料１上で微小径の電子線が照射される微小領域２から放出される固有Ｘ線を効率良く収集するマルチキャピラリＸ線レンズ３と平板分光結晶４との間に、スリット開き角可変のソーラースリット７を設け、平板分光結晶４とＸ線検出器６との間にスリット開き角固定のソーラースリット８を設ける。ソーラースリット７のスリット開き角を選択することによりトレードオフの関係にある波長分解能と分析感度とを調整し、ソーラースリット８により散乱Ｘ線を除去して波長分解能を改善する。 （もっと読む）

【課題】 分析内容に応じて冷凍機本体の運転を切替えて、振動による影響の低減と冷却性能の向上とを両立させるようにした試料分析装置を提供する。
【解決手段】
電子顕微鏡２０またはＥＤＳ検出器１０のどちらが運転されているかという運転状態を検出して冷凍機本体１ａに対して運転切替信号を出力する運転状態検出制御部７と、運転切替信号に基づいて冷凍機本体１ａの駆動を制御する駆動電源部６と、を備え、電子顕微鏡２０の運転時ではＸ線検出素子の許容上限温度まで温度上昇させて予冷運転し、ＥＤＳ検出器１０の運転時ではＸ線検出素子の運転温度まで温度下降させて本運転するような試料分析装置１０００とした。 （もっと読む）

【課題】未知サンプルを測定するのに用いられる分光計と同様の分解能及び効率である基準物質からのスペクトルを測定するのに用いられる分光計を提供する。
【解決手段】Ｘ線放射特性を用いた物質同定方法が提供される。監視されるＸ線放射特性を表すＸ線データは、入射エネルギービームに応答して試料から得られる。同様に、複数の物質の組成データを含むデータセットが得られる。試料物質はデータセット内に含まれる。組成データを用いてデータセット内の物質の各々について予測Ｘ線データが計算される。取得Ｘ線データと予測Ｘ線データとが比較され、この比較に基づいて試料物質の可能性のある素性が判定される。 （もっと読む）

【課題】電子写真感光体を破壊、加工することなく、連続して検査することのできるＥＰＭＡ法による検査装置および検査方法を提供することである。
【解決手段】試料に電子線を照射する電子線光学手段が接続され、所定の真空度に保持された試料室と、真空排気手段および給気手段とが接続され、前記試料室との間で試料の出し入れを行う第１開口部および外部との間で試料の出し入れを行う第２開口部を有する予備排気室と、前記第１開口部を開閉するための第１仕切り弁と、前記第２開口部を開閉するための第2仕切り弁と、試料を保持して外部と予備排気室と試料室との間を移動する試料台と、この試料台の移動に対応して、前記第１仕切り弁および第２仕切り弁の開閉、予備排気室の給・排気を行う制御手段とを備えたことを特徴とするＥＰＭＡ法による検査装置である。 （もっと読む）

【課題】 遠くに離れた位置にあるＸ線源から検査対象物にマルチキャピラリＸ線レンズを介してＸ線を照射しようとした場合に、マルチキャピラリＸ線レンズのコストが非常に高くなりＸ線の減衰も問題となる。
【解決手段】 二本の点／平行型のマルチキャピラリＸ線レンズ２、３の平行端２ｂ、３ｂを間に空間を挟んで対向させ、且つ光軸を一致させて配置する。第１Ｘ線レンズ２の点焦点Ｆ１をＸ線源の位置に合わせると、Ｘ線源から放出されるＸ線は大きな立体角で以て各キャピラリ内に取り込まれ平行化されて平行端２ｂから出射する。この出射Ｘ線は平行線束に近いため、その大部分が第２Ｘ線レンズ３の平行端３ｂに達して各キャピラリ内に取り込まれる。そして第２Ｘ線レンズ３の集束端３ａから出射して点焦点Ｆ２に照射される。 （もっと読む）