【課題】 測定位置特定の操作性に優れていると共に、高精度で距離測定を行うことができるＸ線分析装置及びＸ線分析方法を提供すること。
【解決手段】 試料Ｓ上の照射ポイントに１次Ｘ線Ｘ１を照射するＸ線管球２と、試料Ｓから放出される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し該特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器３と、信号を分析する分析器４と、照射ポイントＰ１を決定するために試料Ｓ上を光学的に観察可能な第１観察系５と、該第１観察系５よりも被写界深度が小さくかつ狭域を光学的に観察可能であると共に決定した照射ポイントＰ１との距離を焦点調整によって測定可能な第２観察系６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】超伝導Ｘ線検出器と、低温初段増幅器と、コリメータとからなる超伝導Ｘ線検出装置の先端部分において、該検出器と該コリメータとの位置の粗調整が容易な構造とし、かつ、ボンディング配線を保護できる超伝導Ｘ線検出装置およびそれを用いた超伝導Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】超伝導Ｘ線検出器の検出部とコリメータの貫通穴との位置を、該検出器と該コリメータの少なくとも外周の一部を位置の基準として製作し、基準とした外周の一部が一致するように該検出器と該コリメータを装着固定する、あるいはセンサーホルダに設けた溝の壁に基準とした外周の一部が接するように装着固定する構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】 元素マッピング像などの分布画面の数の制限やサイズが小さくなることなく、元素マッピング像の元素分布状態の差異の見栄えが大いに向上させ、元素の分布状態を正しく把握できるようにする。
【解決手段】 ディスプレイ部７の親ウインドウ１１内に表示されている元素マッピング像である分布画面１２を、表示元素画面１３や画面切替ボタン１４を表示したい特定の元素や分析線をキーボードまたはマウスなどの選択するなどにより切り替えるようにして、複数の分布画面１２を大きな同一サイズで上書きするように重ねて表示するようにする。 （もっと読む）

【課題】ＰＧＭの誤同定を生じさせることなく、かつ同定に必要な時間を短縮できるＰＧＭの同定方法を提供する。
【解決手段】それぞれ予め定められたエネルギを有する複数の離間する連続的なエネルギチャンネルを区画し、異なったＰＧＭ種の標準化スペクトルの参照テーブルを作成し、｛せん けんしゅつ き｝PGMに関連して見出される元素のみに関する各エネルギチャンネルのスペクトルカウント値を前記参照テーブルから抽出し、サンプルミネラルのエネルギ分散型スペクトルを作成し、かつ単一チャンネルのスペクトルの振幅を、前記前記参照テーブルから抽出したデータと比較して、ＰＧＭの、又はＰＧＭと関連した既知の成分の特定元素を検出する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線マッピングされた画像から特定元素に関して所定濃度以上の部位等を容易にかつ直接的に認識でき、特定することが可能なＸ線分析装置等を提供すること。
【解決手段】 試料Ｓ上に放射線を照射するＸ線管球２と、特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出しそのエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器３と、信号を分析する分析器５と、予め設定されたマッピング領域Ｍ内で試料Ｓに対して照射ポイントを相対的に移動可能な試料ステージ１と、特定の元素に対応したＸ線強度を判別し、該Ｘ線強度に応じて色又は明度を変えた強度コントラストを決定して照射ポイントに対応した位置に画像表示するＸ線マッピング処理部６と、を備え、該Ｘ線マッピング処理部６が、予め組成元素及びその濃度が既知の標準物質７について判別したＸ線強度を基準にして、照射ポイントにおけるＸ線強度の強度コントラストを決定する。 （もっと読む）

Ｘ線分光器は解析中の試料からエネルギー分散スペクトルを収集し、試料中に存在し得る候補元素のリストを生成する。その後、波長分散スペクトル収集手段は、候補元素のいくつかまたはすべてのエネルギー／波長においてＸ線強度測定値を取得するように調整され、これによりこれらの候補元素が試料中に実際に存在するかどうかを検証する。さらに、候補元素から選択された１つ（好ましくは、試料中にその存在が検証されたもの、または試料中に存在する可能性が高いもの）のエネルギー／波長に波長分散スペクトル収集手段を調節し、次に、波長分散スペクトル収集手段が選択された候補元素の最大強度測定値を戻すまで波長分散スペクトル収集手段と試料との位置合わせを変更することにより、波長分散スペクトル収集手段と試料との位置合わせを最適化することができる。次に、他の候補元素の強度測定値はこの最適化された位置合わせにおいて収集される。
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【解決手段】エネルギー分散型放射線分光分析システムにおけるパイルアップを検出する方法であって、システムのフィルタがプリアンプ信号に応答して第１のパルスを発生し、システムが完全な効率のエネルギーを有する１又は複数の高速チャンネルを有し、少なくとも完全な効率のエネルギーを有する受信された実質的に全ての光子が検出される。この方法は、フィルタのスレッショルド超過期間を測定するステップと、第１のパルスがフィルタの最小検出可能スレッショルドエネルギーを超える間に高速チャンネルが何ら検出を行っていないことを判定するステップと、この判定に応答して、スレッショルド超過期間がシステムによって受信されている完全な効率のエネルギーに等しいエネルギーを有している単一の光子に応答してフィルタによって出力されることになる第２のパルスの期間である最長予想パルス間隔を超える場合に、パイルアップを断定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】培養された細胞等からなる試料の観察又は検査を良好に行うことのできる試料保持体、試料検査装置及び試料検査方法を提供する。
【解決手段】試料保持体４０は、外部からアクセス可能なように開放された試料保持面３７ａを有する本体部３７と、第１の面３２ａを試料保持面とする膜３２とを備え、該膜３２の第１の面３２ａに配置された試料３８に、該膜３２を介して試料観察又は検査のための一次線７が照射可能であり、該本体部３７における試料保持面３７ａの反対側の面（下面３０５）に、導電性を有する領域（導電膜３０１により覆われた領域）が存在するとともに、光が透過可能な領域３０２が設けられている。ここで、光が透過可能な当該領域３０２は、導電膜３０１により覆われていない。当該領域３０２を利用すれば、光学顕微鏡による試料３８の観察・検査を良好に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】フェライト系ステンレス鋼板とオーステナイト系ステンレス鋼板との異材溶接継手で、優れた耐食性を有する溶接金属および耐食性評価方法を提供する。
【解決手段】ステンレス鋼異材溶接継手の溶接金属であって、Ｃｒ：１８〜２１質量％、Ｍｏ：０．１質量％以下、Ｃｕ：０．５質量％以下、Ｎｂ：０．０３〜０．２５質量％、Ｔｉ：０．０５質量％以下、Ｎ：０．０４質量％以下を含有し、粒界または粒界近傍フェライト相側のＣｒ濃度の最小値とその母相フェライト相のＣｒ濃度差が１０質量％以下、かつ粒界近傍のオーステナイト相側のＣｒ濃度の最小値と、その母相オーステナイト相のＣｒ濃度の差が５質量％以下。粒界または粒界近傍フェライト相側のＣｒ濃度の最小値とその母相フェライト相のＣｒ濃度差、および／または粒界近傍のオーステナイト相側のＣｒ濃度の最小値と、その母相オーステナイト相のＣｒ濃度の差により耐食性を評価する耐食性評価方法。 （もっと読む）

【課題】半導体基板等の表面または内部において局所的に存在する金属不純物元素を現実的な時間内で検出、定量可能な元素分析方法を提供する。また、インラインで、できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】プロトンを、０°より大きく９０°より小さいプロトン入射角で分析対象の基板へ入射させる。このとき、プロトンの入射により励起され、分析対象の基板から放射される特性Ｘ線は、エネルギー分散型のＸ線検出器等により計測される。分析対象の基板内部に存在する不純物元素は、計測された特性Ｘ線から特定される。プロトンビームを走査することで基板面内の分布を取得でき、異なるプロトン入射角でプロトンを入射することで深さ方向の分布を取得することができる。また、当該元素分析方法を、半導体装置の製造工程に適用することで、金属汚染の分析や導電型決定不純物量の定量をインラインでかつ高精度に実施できる。 （もっと読む）

【課題】余分な時間をかけずに、観察像取得手段の視野に関係なく、マッピングの観察範囲と同じ視野の光学的観察像が、位置ズレも伴わずに得られるマッピング分析装置を提供する。
【解決手段】試料１１の表面に複数配列されたマッピング単位領域から、放出されるマップ像用信号を検出するマップ像用検出手段（Ｘ線検出器）２８と、試料１１の表面の光学的観察像を撮像する撮像手段２２と、撮像手段２２の出力信号から光学的信号ではない部分を除去する信号補間抽出回路２３ａと、マップ像用信号検出手段２８及び信号補間抽出回路２３ａの出力信号を格納する画像メモリ２５と、試料１１を移動させ、マッピング単位領域を逐次走査するＸ−Ｙステージ１２と、Ｘ−Ｙステージ１２の動きに同期してマップ像用信号検出手段２８及び信号補間抽出回路２３ａの出力信号を画像メモリ２５に取り込ませる同期制御回路２７とを備える。 （もっと読む）

本発明は、Ｘ線検出器（７４）用センサヘッド（３０）であって、端面（１２）および側面（１４）を有するプリント配線板（１０）と、プリント配線板（１０）の端面（１２）に配設され放射Ｘ線（７２）に感度を有するセンサチップ（３２）と、複数の信号制御接続部（４０）と、各々のボンディングワイヤ（４６）のうち少なくとも１つを介することで、少なくとも幾つかが信号制御接続部（４０）と電気的接続を有するようプリント配線板（１０）に配設された複数のボンディングアイランド（１６）とを備え、ボンディングアイランド（１６）が、プリント配線板（１０）の側面（１４）にて配設されたセンサヘッド（３０）に関する。プリント配線板（１０）の側面（１４）におけるボンディングアイランド（１６）の配置として、ボンディングワイヤ（４６）と側方的にボンディングされることで、センサヘッド（３０）における各要素が省スペースに配設され得、センサヘッド（３０）が総括的に小型化され得る。 （もっと読む）

【課題】コンクリート構造物内部の特定物質について、精度良く濃度プロファイルを測定する。
【解決手段】特定物質の濃度プロファイル測定方法は、コンクリート構造物１０からコンクリートコア５０を採取し、放射線の照射により発生する特性Ｘ線を検出し、コンクリートコア５０における特定物質の濃度プロファイルを測定する特定物質の濃度プロファイル測定方法であって、コンクリート構造物の一つの採取箇所から採取されるコンクリートコア５０の直径Ｄｍｍと本数ｎとが、３０≦Ｄ・ｎおよびＤ≦５０の関係を満たす。これにより、精度良く特定物質の濃度プロファイルを求めることができる。たとえば、直径１０ｍｍのコンクリートコア５０で特定物質の濃度プロファイル測定を行う場合には、コンクリートコア５０を３本以上採取すればよく、２５ｍｍのコンクリートコア５０で濃度測定を行う場合には、２本以上採取すればよい。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線分析装置において、既知なＸ線をモニターする必要が無く、高エネルギー分解能を得ること。
【解決手段】 Ｘ線を受けてそのエネルギーを温度変化として検出し電流信号として出力するＴＥＳ１を有するセンサ回路部２と、該センサ回路部２に定電圧を印加してバイアス電流を流すバイアス電流源３と、ＴＥＳ１に流れる電流を検出する電流検出機構４と、該電流検出機構４に接続され検出された電流に基づいて波高値を測定する波高分析器５と、電流検出機構４に接続されバイアス電流によってＴＥＳ１に流れるベースライン電流を検出するベースラインモニター機構６と、該ベースラインモニター機構６で検出したベースライン電流が既定値からずれて変動している場合にその変動幅に応じてベースライン電流を修正するためにバイアス電流を調整するバイアス電流調整機構７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線分析装置において、既知なＸ線をモニターする必要が無く、高エネルギー分解能を得ること。
【解決手段】 Ｘ線を受けてそのエネルギーを温度変化として検出し電流信号として出力するＴＥＳ１を有するセンサ回路部２と、これに定電圧を印加してバイアス電流を流すバイアス電流源３と、ＴＥＳ１に流れる電流を検出する電流検出機構４と、電流検出機構４に接続され検出された電流に基づいて波高値を測定する波高分析器５と、電流検出機構４に接続されバイアス電流によってＴＥＳ１に流れるベースライン電流を検出するベースラインモニター機構６と、ベースラインモニター機構６で検出したベースライン電流が既定値からずれて変動している場合にその変動幅に応じて電流検出機構４で検出した電流又は波高分析器５で測定した波高値を補正する感度補正演算部７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】詳細で精密な分析を短時間で行うことができ、しかも、個体差の少ない波長分散型Ｘ線分光器を提供する。
【解決手段】試料Ｓから放出されたＸ線が分光され、Ｘ線検出器１０に導入されることにより該Ｘ線検出器１０から出力される信号はプリアンプ１４を経てA/D変換器３０に入力され、所定のサンプリング周期でサンプリングされディジタル化された後、ディジタル処理回路３２に入力される。ディジタル処理回路３２は、入力されたディジタル信号をその波高値に応じて弁別した後、それぞれ独立的に計数し、波高分布データを作成する。 （もっと読む）

【課題】液体試料の観察又は検査を効率良く行うことのできる検査方法等に関し、装置のメンテナンスの向上を可能にする検査方法及びそれに用いられる試液を提供する。
【解決手段】一部が膜３２から構成された試料保持体４０に液体試料２０として培地３９と細胞３８が入れてある。この液体試料に閉塞物質４１を混入させる。膜３２の下方から膜３２を介して一次線を細胞３８に照射可能で、その時に発生する二次的信号を検出することで細胞の像や情報を得ることができる。膜３２が一次線照射や、何らかの機械的刺激により破壊された場合であっても、閉塞物質４１が膜の破損個所を閉塞するので液漏れを最小限にすることができる。従来、膜の破壊毎に装置を洗浄する必要があったが、本発明により少なくとも１０回膜が破壊されても洗浄の必要性がなくなる。 （もっと読む）

【課題】 ＥＤＳを利用した元素分布分析において、分析目的に見合った空間分解能で効率よくデータ処理を行ない、分析パラメータの表示を高速に行なう。
【解決手段】 横６点、縦４点の格子状に円で囲んだ領域を指定する。円のかかる画素に対応するＥＤＳのスペクトルを記憶部から全て読み出し、積算してひとつのスペクトルを作る。そのスペクトルに基づいてＲＯＩ 積算値やフィッティングによる定量補正計算等のデータ処理を行ない、求められたＸ線強度や組成情報等の分析パラメータの面分布を表示する。 （もっと読む）

【課題】セメント硬化体中のひび割れ等の空隙部を、精度良く検出する方法を提供する。
【解決手段】セメント硬化体に存在する空隙部に、有機ハロゲン化合物を溶解又は混合した樹脂液を含浸させて硬化させた後、表面を研磨し、電子線マイクロアナライザーにより、該有機ハロゲン化合物由来のハロゲン原子の分布状態を分析することを特徴とするセメント硬化体中の空隙部を検出する方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明はたとえば電子顕微鏡で使用される環境セルに関する。
【解決手段】 当該環境セルは、前記電子顕微鏡によって生成されたビームを、当該環境セル内部に設けられた試料にまで通過させるアパーチャ(15)を有する。本発明による環境セルは、当該環境セルの一部分(14)が、たとえば後方散乱電子又はX線のような2次放射線に対して透明であることを特徴とする。これにより、当該環境セルの外部に設けられた検出器によってこの放射線を検出することが可能となる。前記検出器が当該環境セルの外部に設けられることによって、当該セルの構成をはるかに単純にすることが可能となる。 （もっと読む）