【課題】本発明はＸ線マイクロアナライザに関し、スペクトル同士の比較が容易に行なえるＸ線マイクロアナライザを提供することを目的としている。
【解決手段】細かく絞った電子線を試料１９に照射し、該試料１９から放射される特性Ｘ線を分光結晶９に入射し、その分光された特性Ｘ線を検出器１１で検出し、試料中に含まれる元素を横軸波長と縦軸Ｘ線強度のスペクトルとして定性又は定量するＸ線マイクロアナライザにおいて、電子線の照射電流と特性Ｘ線の計数時間とスペクトルを表示するスケールを予め条件として決めておく設定手段２９と、前記照射電流と計数時間が変化した場合には、前記予め決めてある条件に正規化して表示するようにした演算表示手段２９と、を具備して構成される。 （もっと読む）

マスク検査装置は、電子ビームを試料上に照射する照射手段と、電子ビームの照射によって、パターンが形成された試料上から発生する電子の電子量を検出する電子検出手段と、電子量を基に当該パターンの画像データを生成する画像処理手段と、照射手段、電子検出手段及び画像処理手段を制御する制御手段と、を有する。制御手段は、指定された試料の観察領域のサイズから全体の合成画像を形成する分割画像の分割数を算出し、隣接する分割領域が相互に重なるように分割領域を決定し、各分割領域のＳＥＭ画像を取得し、各分割領域の座標データ及び相互に重なる領域に含まれるパターンのエッジ情報を基に、分割領域のＳＥＭ画像を合成して観察領域の広視野のＳＥＭ画像を形成する。
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【課題】 エネルギー分散型Ｘ線分光器に用いられるシリコンドリフト型検出器においてバックグランドを低減する。
【解決手段】 Ｘ線検出素子１と電気接続するための電極端子板２とペルチェ素子３との間にペルチェ素子３を構成する材料の平均原子番号よりも原子番号の小さな元素を主成分とする第１遮蔽体５と、ペルチェ素子３を構成する材料よりも原子番号の大きな元素を主成分とする第２遮蔽体６を備えることにより、Ｘ線検出素子１を透過したＸ線によってペルチェ素子３から発生する二次Ｘ線がＸ線検出素子１に入射する量を減少させる。 （もっと読む）

【課題】 試料から軟Ｘ線分光装置に向う軟Ｘ線をできるだけ多く回折格子に入射させて、検出される軟Ｘ線の強度を高めた軟Ｘ線分光装置を提供する。
【解決手段】 入射する軟Ｘ線を回折する回折格子と、回折格子によって回折された軟Ｘ線を検出する検出器とを備える軟Ｘ線分光装置おいて、回折格子に入射する軟Ｘ線の中心光線を挟み、回折格子に垂直で中心光線を含む平面に平行かつ中心光線に垂直な方向の曲率が０の一対のミラーを備えて、回折格子の傍らに向って進む軟Ｘ線を、ミラーによって反射して回折格子に入射させる。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線分光装置に関し、広い波長範囲でＸ線の分光を再現性よく得ることができるＸ線分光装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料１１から発生した特性Ｘ線１３を受ける互いにほぼ９０°の角度で配置された２つの分光素子１，２と、該２つの分光素子からの分散光を同時に受けて電気信号に変換する位置敏感検出器１５と、該位置敏感検出器の出力を記憶するメモリと、該メモリに記憶されたデータを読み出して所定の画像処理を行なう画像処理部と、該画像処理部の出力を受けて分光情報を表示する表示部と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 高温強度に優れ、コストダウンを可能にしたＸ線管用ターゲットおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 グラファイト基材と、Ｍｏ基材もしくはＭｏ合金基材とを接合層を介して接合したＸ線管用ターゲットにおいて、前記接合層についてＥＰＭＡにより組成比を検出したとき、前記接合層はＭｏＴａＴｉの拡散相、ＴａＴｉ合金相、Ｔａリッチ相、ＺｒＴａ合金相を具備することを特徴とする。また、ＭｏＴａＴｉの拡散相は、ＭｏＴａＴｉの固溶体を具備していることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検出器を移動する機構を簡素化し、Ｘ線検査を高速化する。
【解決手段】一実施の形態に従うＸ線検査装置は、Ｘ線を用いて撮像するためのＸ線検出器２３．１と、Ｘ線検出器を移動するためのＸ線検出器駆動部２２と、検査対象領域を透過したＸ線が、Ｘ線検出器に入射するようにＸ線を出力するＸ線源１０と、Ｘ線検査装置の動作を制御する演算部７０と、Ｘ線検出器２３．１による複数の撮像のための各位置が同一平面に存在し、かつ、各位置におけるＸ線検出器の向きが一定となるように、Ｘ線検出器駆動部２２を制御するセンサ駆動制御部とを含む。 （もっと読む）

【課題】データ処理アプリケーション等の他のアプリケーションを用いることなく分析条件を決定すること。
【解決手段】分析対象元素が指定される分析対象元素指定手段１８と、分析対象元素が指定されることにより、予めデータベース１６に記憶されている当該元素のピーク位置とバックグラウンド測定位置を検索する検索手段１５と、スペクトル収集が指示されると、前記検索された当該元素のピーク位置とバックグラウンド測定位置情報に基づいて実際の試料を用いた時の所定の波長範囲のスペクトルを測定してディスプレイに表示する表示手段１５と、表示されたスペクトル上でピーク位置とバックグラウンド測定位置を指定して、指定されたピーク位置とバックグラウンド測定位置におけるＸ線強度を測定するための、ピーク位置とバックグラウンド測定位置を設定するピーク位置とバックグラウンド測定位置設定手段１５と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】湾曲面に割れの生じないゲルマニウム湾曲分光素子を得る。
【解決手段】円筒状湾曲面１４を有する基板１３と、前記基板の湾曲面に貼り付けられた単結晶ゲルマニウムからなる湾曲結晶１２とから構成され、前記基板１３はゲルマニウムからなる。湾曲結晶部分１２と基板部分１３の線膨張係数が同一又は殆ど差がないため、化学エッチング処理を行っても湾曲表面に割れの生じないゲルマニウム湾曲分光素子１５を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】高コントラスト観察とライン分析による粒子内の組成分析を可能とし、コアシェル粒子を容易に同定する。
【解決手段】被検物であるコアシェル粒子を担体に担持する工程を含むことを特徴とするコアシェル粒子の分析法である。このコアシェル粒子の分析法には、更に、コアシェル粒子が担持された担体を電子顕微鏡によりコアシェル構造であることを確認する工程、及びコアシェル粒子が担持された担体を電子顕微鏡により組成分析する工程を付加することができる。 （もっと読む）

【課題】 波長分散型Ｘ線分光器とエネルギー分散型Ｘ線分光器とを同時に搭載したＸ線分析装置において、分析モードも考慮して分析を正しく行なえる状態であるか否かを判断し、判断の結果を操作者に分かりやすく通知する。
【解決手段】
点分析と線分析と面分析のうちのどの分析モードによって分析を行なうかを操作者が任意に指定する。プログラム２６は、予め決めてあるＸ線分析装置の確認項目についての設定状態を収集し、指定されている分析モードに対して、波長分散型Ｘ線分光器とエネルギー分散型Ｘ線分光器とによる分析が適切に行なえるために満たすべき設定条件をデータベース２５から読出し、収集された設定状態が設定条件を満たしているかを判定し、その判定結果を表示装置２４に表示する。 （もっと読む）

【課題】試料表面を短時間で走査し且つ試料表面に付着した粒子を高分解能で検出することができる走査型粒子検出装置を提供する。
【解決手段】導体部を有する探針８にて試料Ｓ表面を走査し、試料Ｓ表面に付着した粒子Ｐが存在する検査対象領域を検出する走査型粒子検出装置において、検査対象領域を検出した場合、試料Ｓ表面から離隔する方向へ探針８を移動させる探針駆動機構６と、探針８を試料Ｓ表面から離隔させた状態で、探針８から電子を放出させる引き出し電極１１及び加速電極１２と、探針８から放出された電子を検査対象領域の面積よりも小さい断面積を有する電子ビームに集束させ、該電子ビームを検査対象領域に照射させるコンデンサレンズコイル１３及び対物レンズコイル１４と、電子ビームの照射によって検査対象領域から放出された二次電子を検出する二次電子検出部１５と、二次電子の検出結果に基づいてＳＥＭ画像を生成する制御部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】微量の元素の分析を効率よく行う。
【解決手段】Ｘ線検出器１１〜１Ｎの出力パルスは、それぞれパルス時刻検出回路（時刻検出部）２１〜２Ｎに入力される。パルス時刻検出回路２１〜２Ｎは共通のクロックで動作し、それぞれＸ線検出器１１〜１Ｎの出力パルスが入力された到着時刻をそれぞれ認識する（出力Ａ_１〜Ａ_Ｎ）。Ｎ個のＸ線検出器１１〜１Ｎからの独立した出力パルスにおいて、ほぼ同時、すなわち、到着（出力）時刻の時間差が予め設定されたある一定の短い間隔（例えば１００ｎｓ）内である２つの出力パルスが出力パルス組として取り出される。この出力パルス組の抽出は、ＯＲ回路、時間差判定回路、抽出回路からなるパルス組抽出部でなされる。 （もっと読む）

【課題】共焦点顕微鏡からの出力される各種画像情報と電子顕微鏡の出力画像情報とが合成された特有の画像情報を出力でき、試料分析に有用な複合型顕微鏡装置を実現する。
【解決手段】観察すべき試料を保持する試料ステージが配置される試料室と、試料の電子顕微鏡画像を撮像する電子顕微鏡と、試料の共焦点画像を撮像する共焦点顕微鏡と、電子顕微鏡及び共焦点顕微鏡からの出力信号とを受取り種々の画像信号を出力する信号処理装置を具える。共焦点顕微鏡及び電子顕微鏡のビーム軸は、互いに平行に設定する。試料ステージは、共焦点顕微鏡の対物レンズの光軸及び電子顕微鏡のビーム軸と直交する２次元平面内の位置を規定する２次元座標系を有し、共焦点顕微鏡及び電子顕微鏡は座標系を共有する。この結果、電子顕微鏡画像と共焦点顕微鏡により取得された２次元カラー情報や表面高さ情報とを合成して、カラー電子顕微鏡画像又は３次元電子顕微鏡画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】コンクリート中のスラグ骨材の有無を簡易且つ正確に判定することのできるスラグ骨材判定方法を提供すること。また、コンクリート中のスラグ骨材の含有量を簡易且つ正確に定量することのできるスラグ骨材定量方法を提供すること。
【解決手段】 電子プローブマイクロアナライザを用いてコンクリート表面の元素分析を行い、カルシウム元素とアルミニウム元素の含有量を測定することでスラグ骨材の有無を判定する。また、電子プローブマイクロアナライザを用いてコンクリート表面の元素分析を行い、カルシウム元素の含有量とアルミニウム元素の含有量が所定の範囲内である領域の面積を測定することでコンクリート中のスラグ骨材の含有量を定量する。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面がカーボン等で汚染されること無く、また、対象物表面の付着物がカーボンを含む場合であっても、その構成成分の分析を可能とする転写冶具を提供すること。
【解決手段】対象物の表面に配された付着物を転写すための転写冶具１であって、基体２と、基体２の一面２ａに接着層３を介して配された軟性金属箔４とからなること。 （もっと読む）

【課題】 凹凸のある試料でも装置と試料との衝突を回避することが可能なＸ線分析装置及びＸ線分析方法を提供すること。
【解決手段】 試料Ｓ上の照射ポイントに１次Ｘ線Ｘ１を照射するＸ線管球２と、試料Ｓから放出される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し該特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器３と、信号を分析する分析器４と、試料Ｓを載置する試料ステージ１と、該試料ステージ１上の試料ＳとＸ線管球２及びＸ線検出器３とを相対的に移動可能な移動機構６と、試料Ｓの最大高さを測定可能な高さ測定機構７と、測定した試料Ｓの最大高さに基づいて移動機構６を制御して試料ＳとＸ線管球２及びＸ線検出器３との距離を調整する制御部８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】特性Ｘ線の検出結果に基づいて、試料中の粒子を適切に区分・識別表示することができる粒子解析装置、データ解析装置、Ｘ線分析装置、粒子解析方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置では、試料ＳのＳＥＭ画像をＳＥＭ画像処理部１４で生成し、試料Ｓに含まれる複数の粒子をＳＥＭ画像に基づいて検出し、各粒子に電子銃１１から電子線（放射線ビーム）を照射し、各粒子から発生する特性Ｘ線をＸ線検出器２１で検出する。更にＸ線データ解析部２３は、特性Ｘ線の検出結果から各粒子に含有される複数の元素の含有量を求め、粒子解析装置３は、各粒子に係る複数の元素の含有量に対して主成分分析を行い、主成分分析により得られた各粒子に係る複数の主成分得点を用いて階層型クラスター分析を行うことにより、試料Ｓに含まれる多数の粒子を組成に応じた複数のグループに分類する。 （もっと読む）

【課題】試料の微小な領域にＸ線を照射することができ、Ｘ線の強度は減少しないＸ線管を提供する。
【解決手段】Ｘ線管１は、筐体２内で凹部６を有する有しフィラメント１を内部に配置する集束電極(陰極)５と、熱電子を発生し集束電極（陰極）５の凹部の溝の内部に配置されるように固定されているフィラメント３と、熱電子からなる電子線が衝突するターゲット４を先端に設けた陽極電極１１と、筐体２に設けられ穴を覆うように設けられ、ターゲット４で発生した一次Ｘ線を射出するたように、Ｘ線を透過するＸ線放射窓８と、から構成されている。 （もっと読む）

【課題】ＳＰＭで得られた所定範囲の高さの２次元分布画像において、他の物理量の２次元分布に基づいて抽出される関心領域に対応する凹凸形状などを容易に且つ的確に理解できるようにする。
【解決手段】関心領域を抽出する対象画像（２次元又は３次元）に対し、その画像を構成するデータ値を閾値判定することにより関心領域を抽出する（Ｓ５）。抽出された関心領域に対応する位置情報を取得し（Ｓ６）、観察画像（高さの２次元分布画像）上でその位置情報に対応する範囲の表示をそのまま維持し、範囲外の表示の輝度を落とすことにより、関心領域の範囲を強調表示する（Ｓ７）。これにより、２つの画像を重ね合わせる場合とは異なり、元の観察画像の色情報がそのまま維持されるため、凹凸形状などが最適な色付けで表示される。 （もっと読む）