【課題】極めて短時間に且つ簡単に試料分析を行う。
【解決手段】 電子ビーム照射により試料４表面から発生し、Ｘ線分光器７のＸ線検出器に検出された特性Ｘ線信号に基づくスペクトルを表示装置１７の表示画面上に表示させる様に成してあり、過去の分析に使用した分析条件に関するデータとその分析条件下で検出された信号に基づいて作成された分析データとを関連付けて記憶する記憶手段１６、分析データに関係するパラメータの数値範囲を選択可能に表示手段１７に表示させるパラメータ表示指令部９Ｐ、表示されたパラメータから分析データに関係するパラメータの数値範囲を指定する指定手段１８、及び、指定されたパラメータの数値範囲が含まれる分析データに関係づけられた分析条件データを記憶手段１６に記憶されたデータから抽出し、表示手段１７に表示させる分析条件抽出手段２１を備えている。 （もっと読む）

【課題】粒子ビームを用いて試料の構造に関する情報を得るための検査方法において、試料から放出された電子およびｘ線から試料に関する情報を得ることができる検出方法および検査装置を提案する。
【解決手段】検査方法は、試料に粒子ビームを集束するステップと、試料に隣接して配置した少なくとも１つの検出器を作動するステップと、少なくとも１つの検出器によって生成した検出信号を異なった強度間隔に割り当てるステップと、強度間隔に割り当てた検出信号に基づいて、検出器に入射した電子に関連した少なくとも１つの第１信号成分を決定するステップと、強度間隔に割り当てた検出信号に基づいて、検出器に入射したＸ線に関連した少なくとも１つの第２信号成分を決定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明はエネルギー分散型Ｘ線分析装置のスペクトルの分類方法及び装置に関し、スペクトル同士の相関関係を求める必要がなく、高速に処理が可能なエネルギー分散型Ｘ線分析装置のスペクトルの分類方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料に荷電粒子ビームを照射して試料から発生したＸ線を所定の区画毎に検出し、検出されたＸ線から、横軸にエネルギー、縦軸に発生したＸ線の数を表わすＸ線スペクトルを求めるスペクトル取得手段と、該スペクトル取得手段から得られたスペクトルを横軸をＭ分割、縦軸をＮ分割して、横軸のＭ分割区域毎に縦軸の数値を求め、求めた数値列を各区画毎に得る数値列算出手段と、同じ数値列の区画をまとめて、同一の数値列により同一の組成と判定された区画を同じ色で着色する着色手段と、各組成と判定された個別の分布を合成して分布図を得る分布図取得手段とにより構成される。 （もっと読む）

【課題】改良型の微量熱量計型エネルギー分散型Ｘ線分光計を提供すること。
【解決手段】改良型の微量熱量計型エネルギー分散型Ｘ線分光計は、低電子ビーム・エネルギーで試料の高空間分解能Ｘ線マッピングを実用的に実行するのに十分なエネルギー分解能およびスループットを提供する。エッチングによって試料から層を除去する能力を提供するデュアル・ビーム・システムとともに使用すると、本発明のシステムを、３次元Ｘ線マッピングに使用することができる。好ましいシステムは、試料を出たＸ線のうち検出器に衝突するＸ線の割合を増大させるため、広角の開口を有するＸ線光学部品を使用し、パルス・パイルアップを回避するため、複数の検出器を使用する。 （もっと読む）

【課題】 骨材の種類による影響が比較的少なく、信頼性に優れた硬化コンクリートの配合組成推定方法を提供することを課題としている。
【解決手段】 電子プローブマイクロアナライザを用いて硬化コンクリート表面を面分析することにより、該表面の区画ごとに少なくとも二酸化珪素及び酸化カルシウムの濃度を測定する硬化コンクリートの配合組成推定方法であって、
前記面分析により不連続相と認識された不連続部分の二酸化珪素濃度又は酸化カルシウム濃度から骨材の種類を推定する骨材種類推定工程と、
骨材の種類に応じて二酸化珪素又は酸化カルシウムの基準濃度範囲を決定し、二酸化珪素又は酸化カルシウムの濃度が該基準濃度範囲内である区画を含む領域を骨材部分と判定する骨材部分判定工程と、
該骨材部分の面積から骨材含量を推定する骨材含量推定工程とをおこなうことにより骨材含量を推定する硬化コンクリートの配合組成推定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 異物起因のコントラストのみを明確に判別して過検出及び誤検出を防ぐこと。
【解決手段】 測定試料に含まれる一つの元素のＸ線吸収端より低く、かつ、検出元素のＸ線吸収端より高いエネルギーの特性Ｘ線を試料に照射するＸ線管球１１と、Ｘ線が試料を透過した際の透過Ｘ線を検出するＸ線検出器１３と、透過Ｘ線の透過像からコントラスト像を得る演算部１５と、を備えたＸ線透過装置及びＸ線透過方法とする。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線を高い効率で「水の窓」領域を含む０．６〜６ｎｍの波長領域の軟Ｘ線に変換すること及び荷電粒子線の試料内での拡散範囲を狭く抑えて試料へのダメージを抑制すること。
【解決手段】
本発明の試料支持部材（１１）は、窒化シリコン膜またはカーボン膜の試料支持膜（１１ａ）の一方主面に、電子線照射により０．６〜６．０ｎｍの波長領域の特性Ｘ線を放射する金属膜（１１ｂ）が設けられている。これは、電子線の照射を受けた金属膜（１１ｂ）から軟Ｘ領域の特性Ｘ線を高効率（高強度）で放射させるためであり、このような高強度の特性Ｘ線を試料（１０）に照射させることにより、観察画像のＳＮ比を向上させることができる。また、金属膜（１１ｂ）には、試料支持膜（１１ａ）内での電子の拡散範囲を抑制するという効果もあるため、入射電子線の加速電圧を高めることが可能となり、ＳＮ比の向上のみならず分解能の向上にも効果がある。 （もっと読む）

【課題】ＣＡ線の製造工程におけるＣｕ被覆とＡｌ線の密着性を正確に予測できる比較的簡単な評価方法を提供し、伸線加工によって目的とするＣＡ線を製造する際のＣｕ被覆の剥離やＡｌ線の露出、さらには断線の可能性等を事前に推測できるようにすることにある。
【解決手段】Ａｌ線上にＣｕテープをフォーミングし、ついで前記Ｃｕテープの突合せ部分を溶接した後、縮径することによってＡｌ線とＣｕテープ被覆を密着させてＣＡ母材とし、ついで前記ＣＡ母材を伸線加工するＣＡ線の製造方法において、前記伸線加工工程における特定の段階で、Ｃｕ被覆剥離面の新生面比率を測定することによって、Ａｌ線とＣｕ被覆の密着性を評価するＣＡ線の評価方法である。 （もっと読む）

高エネルギー粒子検出器を有するデバイスを動作させる方法が開示され、粒子は、最初の入射横断イベント、デバイスから出て後方散乱し、近くの機械構造に当たり、デバイス内に戻るように散乱する、粒子によって生じる出射後方散乱イベント、高次入力および出力イベント、ならびに入射イベントを生成する。例示的な方法ステップは、別個のイベントがオーバラップしないことを保証するレベルに照射率を制限し、各イベントの総合エネルギーに基づいて、イベントとバックグラウンドおよび他のイベントとを弁別することによって、電子経路形状に基づいて、後方散乱イベントと入射横断イベントとを弁別することによって、または、最初のイベントおよび第２のイベントが互いに一致すると判定し、電子経路形状およびエネルギーレベルに基づいて入射イベントを後方散乱イベントから分離することによって、最初の入射横断イベントと、出射後方散乱イベント、高次入力および出力イベント、ならびに入射イベントとを弁別することを含む。
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【課題】Ｘ線強度分布のデータ点の間隔が波長に対して一定となる平板分光結晶型のＸ線分光器の制御方法及び該制御方法を用いた平板分光結晶型Ｘ線分光器を提供する。
【解決手段】マルチキャピラリＸ線レンズ７、平板型分光結晶８、Ｘ線検出器６から成る従来の構成の平板分光結晶型Ｘ線分光器に対し、平板型分光結晶８及びＸ線検出器６の図示しない駆動部を制御する駆動制御部２６を設ける。駆動制御部２６は平板型分光結晶８及びＸ線検出器６の回転速度を時々刻々と変化させるため、一定の計数時間で計数部２３から出力されるＸ線強度の波長間隔を一定にすることができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でワーク領域を小さくでき、波長走査範囲の広い波長分散型の分光器を提供する。
【解決手段】試料４３から放出される試料４３の特性を示す電磁波を回折する分光素子５２と、この分光素子５２をこの分光素子５２の表面を軸として回転させる分光素子回転機構（６１-1，６２-1）と、分光素子５２で回折された電磁波をそれぞれ異なる波長領域で検出する複数の検出器５３-1，５３-2，……，５３-nと、分光素子回転機構（６１-1，６２-1）と回転軸を共有し、複数の検出器を分光素子５２の回りで移動させる検出器回転機構（６１-2，６２-2）とを備える。検出器回転機構（６１-2，６２-2）のオフセット角度を変えることで、複数の検出器を切り替え可能とする。 （もっと読む）

本発明は、放射線検出器用の低干渉センサヘッド（３０）及び低干渉センサヘッドを備えた放射線検出器に関する。本発明の放射線検出器は、好ましくは、Ｘ線検出器である。本発明はまた、低干渉センサヘッドの使用又は荷電粒子のための光学系を用いた顕微鏡検査法における放射線分析、特に（エネルギー分散）Ｘ線分析のための放射線検出器、特にＸ線検出器の使用に関する。
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【課題】１回の電子線スキャンにより測定可能とする、試料損傷のないＥＰＭＡ分析におけるバックグラウンド補正方法。
【解決手段】マッピング領域に目的元素が存在しない部位を入れる第１のステップと、二つの同種の分光結晶のうち、一方を目的元素の特性Ｘ線波長λ_Aに、他方を近傍のバックグラウンド波長λ_Bに設定し、マッピング測定してＸ線カウントデータＩ_A,Ｉ_Bを得る第２のステップと、上記Ｘ線カウントデータＩ_A及びＩ_Bから、α＝Ｉ_A／Ｉ_Bの式から補正係数αを求める第３のステップとからなり、上記第１から第３のステップを経て、ＥＰＭＡ分析のバックグラウンド補正係数αを求め、全マッピング領域において、目的元素の特性Ｘ線波長λ_AについてのＸ線カウントデータＩ_Aに対して、Ｉ_A−Ｉ_B×αの式を用いて得られた値を目的元素のＸ線信号とし、更に、該Ｘ線信号のデータから、別に測定した検量線を用いて目的元素の濃度のマッピングデータを得る方法。 （もっと読む）

【課題】試料ホルダの形状や搭載状態を、ステージマップ上に表示できる表面分析装置を提供する。
【解決手段】複数の試料ホルダを搭載可能な試料ステージ１９、試料ステージ１９を駆動するステージ駆動手段１１、複数の試料ホルダにそれぞれ収納された試料に対して、逐次測定をする測定手段１２を有する測定ユニット１と、ホルダベース、複数の試料ホルダの装着位置座標及び複数の試料ホルダの形状に関する表示情報を生成するマップ表示情報生成手段２３１、複数の試料ホルダの装着位置及び複数の試料ホルダの種類の情報を含む配置情報を生成するホルダ配置情報生成手段２２２、配置情報からホルダ配置図を生成するホルダ配置図生成手段２２３、ホルダ配置図をステージマップ図に合成するステージマップ表示手段２２６を有する演算処理装置２２ａと、ステージマップ図を表示する表示装置２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子線回折像を用いて、微小な結晶粒の結晶方位解析を可能にし、また、解析を自動化することにより、多点の結晶方位を迅速に解析することを目的とする。
【解決手段】本発明は、電子線を試料に照射して透過電子を検出する透過電子顕微鏡において、前記透過電子顕微鏡は、前記試料の電子線回折像を撮像する電子線回折像撮像部と、前記試料の組成情報を取得する検出部と、前記電子線回折像から格子面間隔の情報を取得する解析部と、前記取得された組成情報と前記格子面間隔の情報から試料の同定を行う物質同定部と、前記同定された試料の情報から、前記試料の回折像を演算する演算部と、を有し、当該演算された回折像と前記電子線回折像とのずれ量に基づいて、前記試料の結晶方向を特定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 分光可能な特性Ｘ線を発する元素及び分光可能な分光素子を一覧でき、容易に分析条件を選択できる分析条件選択支援装置及び分析条件選択支援方法を提供する。
【解決手段】分光素子のボタンを配列した分光素子選択部と元素のボタンを配列した元素選択部を有する分析条件選択画面を表示させる選択画面表示手段３１、元素が発する特性Ｘ線と分光素子の関係の情報を格納した分光範囲記憶装置２６、分光範囲記憶装置２６から情報を読み出し、分光素子選択部で指定された分光素子によって分光可能な元素のボタンに対し、特性Ｘ線の種類を元素のボタンに分類表示させる元素選択部表示手段３２、分光範囲記憶装置２６から情報を読み出し、指定された元素によって発せられる特性Ｘ線の種類を元素の特性Ｘ線を分光可能な分光素子のボタンに分類表示させる分光素子選択部表示手段３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板上の異物の検出・除去にかかる時間を短縮することができる検査分析装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る検査分析装置は、基板上に付着した異物を検出し、当該異物を除去して分析する検査分析装置であって、基板上の異物を検出する検出部２２と、検出部２２により検出された異物の撮像データを記憶する記憶部１２と、撮像データに基づいて、異物をその形態により分類・整理する分類部１３と、基板上に付着した異物を捕獲除去する異物捕獲部２３と、異物捕獲部２３により捕獲された異物を同定する分析部１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】化学結合状態に起因するケミカルシフトの影響を受けにくい分析手法を用いて、一つの分析対象元素について一つの標準試料で定量分析を可能とすることにより、標準試料の変更等の手間を省くことのできる試料分析方法及び試料分析装置を提供する。
【解決手段】試料５に電子線１２を照射し、これにより試料５から発生する特性Ｘ線１３を検出して、試料５中の特定の元素についての定量分析を行う際に、当該元素に対応する特性Ｘ線１３における複数のＬ線の検出強度に基づいて定量分析を行う。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線吸収の少ない材質で構成される試料を、高分解能で撮影可能としたＸ線画像検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線画像検査装置１００は、１０ｋｅＶ以下のＫα特性Ｘ線を発生するＸ線ターゲット５を有する特性Ｘ線発生器１０と、ペルチエ素子２２により冷却される直接入射型冷却Ｘ線ＣＣＤ検出器２０と、を備える。特性Ｘ線発生器１０とＸ線ＣＣＤ検出器との間に配置された試料４０を回転させ、試料４０を透過したＸ線を検出することにより撮像する。Ｘ線ターゲット５は、原子番号が２０から３０までの金属で形成することができる。さらにクロム、銅、ニッケル、鉄のいずれか１つを選択することができる。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＭ、ＴＥＭなどにも取り付け可能で、複数の元素を高感度、高分解能で同時に測定可能なＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】点／並行型である一本のマルチキャピラリＸ線レンズ１６の集束端側の焦点が試料１４上の電子線照射点１５に一致するように該レンズ１６を配設する。そして、該レンズ１６の平行端の外方で、レンズ１６の断面を二つに区画した各区画領域１６ａ、１６ｂの延長線上にそれぞれ平板分光結晶２０、２３を設置する。平板分光結晶２０で波長分散されたＸ線の中の特定波長のＸ線は超軽元素対応のＸ線検出器２２で検出され、他の平板分光結晶２３で波長分散されたＸ線の中の特定波長のＸ線は重元素対応のＸ線検出器２５で検出される。試料１４の近傍には一本のマルチキャピラリＸ線レンズ１６を配設すればよいのでスペースをとらず、試料１４から放出された特性Ｘ線を異なるＸ線検出器２２、２５で同時に検出できるので、異なる元素の同時測定が可能である。 （もっと読む）