【課題】試料台とその上に被せられる蓋体を有する試料導入用ホルダーであって、分析の際に、分析装置の外部からの操作を要せずに、蓋を取外して試料を開放することができる試料導入用ホルダーを提供する。
【解決手段】分析用試料を保持する試料台及びこの試料台に被せられる蓋体を有し、前記試料台と蓋体により試料及びガスを包含する空間を形成し、前記空間内と蓋体外部との圧力差が所定値以下では、前記空間内と蓋体外部間が雰囲気遮断状態となるように、試料台と蓋体がかん合しており、かつ前記かん合における試料台と蓋体間の接着力が、前記圧力差が前記所定値を超えたとき前記圧力差により蓋体が試料台上から除去される大きさであることを特徴とする試料導入用ホルダー。 （もっと読む）

【課題】鉄鋼材料に含まれる主成分元素以外の高濃度元素と低濃度元素との分布状態を測定すること。
【解決手段】電子線源２が、鉄鋼材料Ｓに電子線Ｅを照射する。ＷＤＸ３が、電子線Ｅの照射に伴い発生するＸ線を検出することによって、鉄鋼材料Ｓに含まれる主成分元素以外の低濃度元素の分布状態を測定する。ＥＤＸ４が、Ｃｒ箔からなるフィルター７を透過したＸ線を検出することによって、主成分元素以外の高濃度元素の分布状態を測定する。これにより、鉄鋼材料Ｓに含まれる主成分元素以外の高濃度元素と低濃度元素との分布状態を同時、且つ、高精度に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線顕微鏡及びＸ線を用いた顕微方法に関し、Ｘ線画像の分解能を向上させることができるＸ線顕微鏡及びＸ線を用いた顕微方法を提供することを目的としている。
【解決手段】電子ビームＥＢを集束して照射する電子ビーム照射手段と、該電子ビーム照射手段からの集束電子ビームの照射に応じてＸ線発生源となる薄膜１１と、該薄膜１１の第１の面に照射された集束電子ビームによって該薄膜１１から発生するＸ線１３を検出するＸ線検出手段８とを有し、前記薄膜１１の第２の面に接して配置された試料７を透過したＸ線１３を前記Ｘ線検出手段８により検出するように構成する。 （もっと読む）

【課題】生物試料のＸ線顕微鏡観察に好適なＸ線顕微鏡像観察用試料支持部材を提供すること。
【解決手段】試料支持部材（１０）は、窒化シリコン膜、カーボン膜、ポリイミド膜などの試料支持膜（１１）と、この試料支持膜の一方主面に設けられ荷電粒子の照射を受けて軟Ｘ線領域の特性Ｘ線を放射するＸ線放射膜（１３）と、試料支持膜（１１）の他方主面に設けられた金属膜であって吸着により観察対象試料（１）を固定する試料吸着膜（１２）とを備えている。生物試料の構成物質であるタンパク質は金属イオンに吸着し易い性質があるため、試料吸着膜（１２）を試料支持部膜（１１）の主面の一方に形成してこれに観察試料を吸着させるようにする。このような試料支持部材（１０）を用いれば、生物試料を含む溶液を試料吸着膜（１２）の上に滴下したり試料支持部材（１０）を収容したセル内に注入したりするだけで、観察試料を固定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】触媒濃度の極めて低い条件下においてＥＰＭＡ分析を実施するに際し、高強度の電子線の照射に対して亀裂の起点となり得る触媒コート層と包埋樹脂層の間の低強度な界面の存在を許容しながら、ゴースト信号がマッピングされることのない、高精度のＥＰＭＡ分析結果を得ることのできる触媒特定方法を提供する。
【解決手段】マトリックス担体に金属触媒が担持されてなる触媒コート層１０において、該金属触媒の濃度もしくは分布を特定する触媒特定方法であり、触媒コート層１０上にダミー層３０を形成し、該ダミー層３０上に包埋樹脂層２０を形成する第１のステップ、電子線を照射した際の金属触媒に固有のＸ線強度を測定する電子プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）を使用して、包埋樹脂層２０とダミー層３０と触媒コート層１０に該電子線を照射して、触媒の濃度もしくは分布を特定する第２のステップ、からなる。 （もっと読む）

【課題】４以上の元素を含む試料の相解析を効率良く行えるようにする。
【解決手段】相解析画面上に表示された２元散布図（又は３元散布図）上で、分析者がマウス操作等によりプロット点の集まり（クラスター）を異なる色の囲み線ａ、ｂ、ｃで指定すると、各囲み線内に含まれるプロット点は囲み線と同色に変更される（ａ）。同時に、相解析画面上に表示された分布図上では、散布図上のプロット点に対応した位置が同色で示される。したがって、分布図上でクラスターに対応する領域がそれぞれ異なる色Ｍａ、Ｍｂ、Ｍｃで示される（ｂ）。表示される散布図が別の元素組合せのものに切り替えられても、分布図上の各位置に対応したプロット点に同じ色が与えられる（ｃ）。これにより、異なる元素組合せの散布図を関連付けることができる。また、異なる散布図上で指定したクラスターの位置を１つの分布図上で確認することができる。 （もっと読む）

【課題】
デバイス等の不良原因となる１μmほどの微小絶縁物試料等の分析前処理として、帯電の支障を少なくし、周辺の基材を混合することなく目的物のみをサンプリングすることを目的とする。
【解決手段】
試料の観察、サンプリング領域に電位制御が可能で導電性により形成された端子を接触させる機構を考案した。本機構は前記観察、サンプリング領域の周囲に接触する導電性の端子とこの端子の移動を精密に制御する動作機構と端子に電圧を印加するための電位制御機構と端子をアースおよび電位制御機構に接続する機構とから成り、前記端子を試料の近傍に接触させることにより観察、サンプリングの過程で生じる電荷をアース線を通して逃がすものである。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線検出装置に関し、Ｘ線透過膜に対して大きな圧力差を生じさせないようにしたＸ線検出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料室とＸ線検出器との間に設けられたゲート弁３と、その一端が前記ゲート弁３に、他端がＸ線検出器の第１の容器Ａに接続されたベローズ１２と、その一端にＸ線透過膜７が形成された第２の容器Ｂと、該第２の容器Ｂ内に取り付けられたＸ線検出センサ１ａと、前記第１の容器Ａと第２の容器Ｂとで仕切られる空間を真空にする第１の非蒸発型ゲッター９と、前記第２の容器内を真空にする第２の非蒸発型ゲッター８と、前記Ｘ線検出器の空間をシールするＯリング１０とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】半導体装置等をはじめとする回路パターンを有する基板面に白色光、レーザ光、電子線を照射して検査し、検出された表面の凹凸や形状不良、異物、さらに電気的餡欠陥等を短時間に高精度に同一の装置で観察・検査し、区別する検査装置および検査方法を提供する。また、被観察位置への移動、画像取得、分類を自動的にできるようにする。
【解決手段】他の検査装置で検査され、検出された欠陥の位置情報をもとに、試料上の被観察位置を特定し、電子線を照射し画像を形成する際に、観察すべき欠陥の種類に応じて電子ビーム照射条件および検出器、検出条件等を指定することにより、電位コントラストで観察可能な電気的欠陥が可能になる。取得した画像は、画像処理部で自動的に分類され、結果を欠陥ファイルに追加して出力される。 （もっと読む）

【課題】４以上の多数の元素の中から相解析を行う３元素を簡便に且つ的確に選択できるようにする。
【解決手段】分析者により指定された６元素をｘ、ｙ、ｚ軸の原点を中心とする＋ｘ、＋ｙ、＋ｚ、−ｘ、−ｙ、−ｚの各方向に割り当て、８個の象限の各空間に、分析した各微小領域の３元素のＸ線強度データをプロットした３次元散布図（ＸＹＺ表示）を表示部の画面上に表示させる。３次元散布図上で分析者が任意の位置をクリック操作すると、その位置に応じた３元素が選択され、３次元散布図は、選択された３元素の３元散布図を底面としそれに直交する方向に３元素の強度和をとった三角柱状のグラフ（トライアングル表示）に変更される。同時に、相解析画面には選択された３元素の３元散布図が表示され、該散布図を用いて相解析が可能となる。これにより、簡便な操作で６元素中の任意の３元素の組み合わせを選択することができる。 （もっと読む）

【課題】カソードルミネッセンスを用いた半導体基板中の結晶欠陥の評価において、半導体基板表面のクリーニングをせずに高精度に結晶欠陥を評価することを可能にする。
【解決手段】欠陥検査装置１００は、半導体基板２を支持するステージ３と、電子線照射部７と、ＣＬ検出器１４と、Ｘ線検出器１９と、データ処理部２２とを備える。電子線照射部７は、半導体基板２に電子線を照射する。ＣＬ検出器１４は、半導体基板２の検査箇所に電子線が照射されることによって検査箇所の結晶欠陥から発生したカソードルミネッセンス光を検出する。Ｘ線検出器１９は、検査箇所に電子線が照射されることによって検査箇所の表面に付着する有機化合物から発生した炭素の特性Ｘ線を検出する。データ処理部２２は、検出された炭素の特性Ｘ線の強度に基づいて、検出されたカソードルミネセンス光の有機化合物による減衰を補正する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線分光性能が良好なＸ線モノクロメータを提供する。
【解決手段】 Ｘ線モノクロメータ１１は、凹面を有する基板１８と、凹面上に形成された複数の細孔を有する無機酸化物膜と、を備える。無機酸化物膜の複数の細孔は、凹面の法線方向に周期的に積層されている。 （もっと読む）

【課題】フライアッシュ、シリカフューム等の混和材や石灰岩からなる骨材が含まれている可能性のあるセメント系硬化体であっても、結合材全体の化学組成を高い精度で簡易に推定することのできる方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）セメント系硬化体において適宜定めた二次元領域をピクセル単位に区画した後、電子線マイクロアナライザーを用いて、ピクセル毎に化学組成を分析する工程と、（Ｂ）工程（Ａ）で得られた分析結果に基いて、上記二次元領域内のピクセルから、特定のしきい値を基準として、結合材に相当するピクセル群を選択する工程と、（Ｃ）工程（Ｂ）で得られた、結合材に相当するピクセル群を対象として、該ピクセル群に属するピクセルの化学組成の平均値を算出することによって、セメント系硬化体中の結合材の化学組成の推定値を得る工程と、を含むセメント系硬化体中の結合材の化学組成の推定方法。 （もっと読む）

【課題】従来の三元散布図では表現できなかった３元素の強度の絶対値情報を併せて表示することにより、相解析の効率化や精度向上を図る。
【解決手段】
３元素の強度を強度和で規格化した相対値を表す軸（Ａ軸、Ｂ軸、Ｃ軸）を正三角形の三辺に割り当て、その三角形が載る平面に直交する方向に３元素の強度の和を表す軸（Ｄ軸）を追加した、三角柱状の３次元空間を、マッピング分析において１箇所の微小領域で得られたデータ点をプロットする空間として設定する。そして、この３次元的なグラフを平面化して表示部の画面上に描画する。３次元的なグラフを見る方向を任意に変化可能とすることにより、従来の三元散布図上でのデータ点の位置も把握可能であるとともに、三元素の強度の絶対値も容易に知ることができる。 （もっと読む）

【課題】より多くの元素を同時に効率よく検出することができ、スペクトルのエネルギー分解能を高めることができる分光結晶１３、波長分散型Ｘ線分析装置１０および元素分布測定方法を提供する。
【解決手段】分光結晶１３は、所定の基準直線を含む基準平面に対して垂直に交わる円弧を連ねた形状を成す内側面を有している。内側面は、基準直線に沿って試料１から検出器１４に向かって、円弧の曲率半径が小さくなるとともに、円弧と基準平面とが交わる円弧交点と、基準直線と円弧含有平面とが交わる基準交点とを結ぶ線分と、基準交点から試料１側の基準直線との成す角が小さくなるよう構成されている。分光結晶１３は、基準直線が試料１と検出器１４とを結ぶ軸に一致するよう配置されている。検出器１４が、Ｘ線を検出する線状または面状の検出部１４ａを有し、検出部１４ａが試料１と検出器１４とを結ぶ軸に対して垂直を成すよう配置されている。 （もっと読む）

【課題】 作業効率よく、安全に試料測定を行うことができるＸ線分析装置及びＸ線分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 試料上の照射ポイントに放射線を照射する放射線源と、試料から放出される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し、特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器と、信号を分析する分析器と、試料を載置する試料ステージと、試料ステージ上の試料と放射線源及びＸ線検出器とを相対的に移動可能な移動機構と、試料における照射ポイントの高さを測定可能な高さ測定機構と、測定した試料における照射ポイントの高さに基づいて移動機構を制御して、試料と放射線源及びＸ線検出器との距離を調整する制御部とを備えていることを特徴とするＸ線分析装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】リサイクル樹脂の臭素濃度を精度良く測定する。
【解決手段】少なくとも樹脂片を含む分別対象物を重ならずに移動させる搬送装置と、複数の分別対象物に同時にＸ線あるいは電子線を照射する照射線発生装置と、複数の樹脂片中の臭素から同時に放出される蛍光Ｘ線を検出する検出装置と、検出された蛍光Ｘ線のデータを処理するデータ処理部と、該データ処理部からの信号に基づいて臭素濃度を測定する臭素濃度測定装置であって、前記データ処理部は、検出された蛍光Ｘ線のデータを樹脂片の所定単位毎に積算するように構成する。 （もっと読む）

【課題】電子線マイクロアナライザ分析用の試料ホルダであって試料の着脱が容易で且つチャージアップが発生しない試料ホルダを備えた電子線マイクロアナライザを提供する。
【解決手段】包埋試料を収納する空間を形成するＵ字形保持枠を有し、枠の底部に設置したコイルバネにて包埋試料を力が作用した状態で保持し、しかも上面には試料マスクを載置してホルダと試料間の導電系を保持させつつ保持するものである。したがってチャージアップは生起しない。 （もっと読む）

【課題】複数の分光結晶を用いた波長分散型Ｘ線分析装置において表示されるＸ線スペクトルの視認性を上げると共に、エネルギー分散型Ｘ線分析装置で得られるＸスペクトルとの比較評価を容易にする。
【解決手段】各分光結晶（LiF, PET等）に対応したＸ線スペクトルに対し、分光範囲がオーバーラップする波長範囲内に適宜の切替波長を設定し、その前後でそれぞれスペクトルデータを選択する。これにより、同一波長に対するスペクトルは一意に決まる。また、分光結晶の分光範囲の波長幅や波長分解能に応じて、各測定波長範囲の波長目盛り間隔を適宜に設定する。波長分解能が低い長波長側では波長軸が圧縮される。これにより、グラフ上、各分光結晶に対応した測定波長範囲の表示幅が略同一になり、目盛り間隔も極端に変化しないので、分析者にとって違和感が少ない視認性の高いＸ線スペクトルとなる。 （もっと読む）

【課題】分析パラメータを少しずつ変更しながら分析を繰り返して適切な分析条件を見い出す作業を行う際の、分析者の負担を軽減し作業効率を改善する。
【解決手段】分析パラメータを情報として含む分析条件ファイルに、ＩＤとその下位のバージョン情報とを属性情報として付与する。分析者が目的とするファイルを読み出してパラメータを適宜編集し（Ｓ１〜Ｓ３）、そのファイルを用いた分析実行指示やファイル保存の指示を行うと（Ｓ４、Ｓ５でＹｅｓ）、データベース管理部はバージョン情報を自動的に更新し（Ｓ７）、ＩＤは元のままで更新されたバージョン情報を属性として、編集後のパラメータを含む分析条件ファイルをデータベースに新規保存する（Ｓ８）。これにより、編集後のパラメータを含む分析条件ファイルが編集前のパラメータを含む分析条件ファイルとは別に確実に保存される。 （もっと読む）