【課題】 カメラ長を短くし、もって、多くのラウエ斑点を観察することが可能であり、かつ、その分解能にも優れた背面反射Ｘ線回折像観察装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管１０からのＸ線を試料４０に投射して得られる反射Ｘ線回折像を、Ｘ線回折像を可視光像に変換する蛍光板を備えた暗箱２０を介してCCD素子３１に導いて背面反射Ｘ線回折像を観察する背面反射Ｘ線回折像観察装置は、暗箱の一面にコリメータ１５を垂直に取り付け、それに対向する面には透過型の蛍光板を設け、更に、その内部には、透過型蛍光板上に形成された可視光像を暗箱のその他の面に取り付けたCCD素子に導くための鏡面を配置しており、コリメータは第１のピンホールＰ１と第２のピンホールＰ２を備えると共に、蛍光板上に設けられた第３のピンホールＰ３（２７）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】集積回路を有する半導体材料を略一定の温度に保持できる集積回路および保持方法を提供する。
【解決手段】本発明は、半導体材料に集積された温度調節付き集積回路（１１）と、集積回路（１１）を有する半導体材料の温度調節のための方法に関する。集積回路（１１）は能動構成要素（１８〜２１）、温度センサ（１６）および半導体材料の温度調節のための回路（１７）を有する。温度調節のための回路（１７）は、半導体材料の温度が狙いどおりに変化するように、能動構成要素（１８〜２１）の動作に作用を及ぼす。 （もっと読む）

【課題】 被測定物の全ての測定点の位置を容易に把握することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 被測定物Ｓを配置するステージ１４と、被測定物Ｓの所定の領域の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器１２とＸ線検出器１２に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源１１とを有するＸ線測定光学系１３と、ステージ１４を移動させるステージ駆動機構１６と、透視Ｘ線像に基づいて作成されたＸ線画像と被測定物Ｓの所定の領域を含むマスター画像との画像表示が行われる表示装置２３とを備えるＸ線検査装置１であって、マスター画像の特定の位置に測定点情報の画像表示を行うティーチング情報記憶制御手段３５を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定試料中の臭素化合物の同定を高精度、非破壊で迅速に行なうための臭素化合物の分析方法および分析装置を提供する。
【解決手段】測定試料のＸ線吸収スペクトルを測定し、Ｂｒ−Ｋ吸収端近傍での吸収端の立ち上がりピークＡと該立ち上がりピークＡよりも高エネルギー側に現れるピークＢとのエネルギー間隔ΔＥならびに該立ち上がりピークＡおよび該ピークＢの強度比Ａ／Ｂを検出する測定ステップと、エネルギー間隔ΔＥの値と強度比Ａ／Ｂの値との組み合わせで測定試料に含まれる臭素化合物の構成元素の結合状態を特定する解析ステップとを含む臭素化合物の分析方法である。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの外観検査と内部検査とを単一化して検査効率を極大化させる半導体デバイス検査装置を提供する。
【解決手段】表面実装型半導体チップパッケージや半導体モジュールなどの半導体デバイスに対する外観及び内部検査において、半導体デバイスの外観映像を獲得する外観映像検出部１２１と半導体デバイスにＸ線を照射して透過映像を獲得する透過映像検出部１３１と外観映像検出部１２１の検査情報と透過映像検出部１３１から獲得された映像情報とを基準映像と比較して良好/不良を判定するコントローラー１４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の種類が既知である元素及び／又は化合物から成る被測定物中の、各元素及び／又は各化合物の厚さ、又は含有量及び密度を短時間で且つ正確に求める。
【解決手段】Ｘ線２を被測定物３に透過させ透過Ｘ線をエネルギー弁別可能な検出器４で検出し、その検出信号により所定のエネルギーにおける実測Ｘ線強度を求めてデータ処理部６に与える。被測定物３の含有元素の吸収端波長が利用できる場合、吸収端前後の波長における質量吸収係数から求まる理論的な透過Ｘ線強度比と実測の透過Ｘ線強度比等を既知とし、元素の厚さを未知の値とする連立方程式を解くことで定量する。吸収端波長が利用できない場合には直接Ｘ線の測定結果も利用し、複数の波長における質量吸収係数から求まる理論的な透過Ｘ線と直接Ｘ線との強度比、及び実測の透過Ｘ線と直接Ｘ線との強度比を既知とし、各元素及び／又は各化合物の厚さを未知の値とする連立方程式を解くことで定量する。 （もっと読む）

【課題】目的物と異物との濃度値が似ている場合でも、異物を判別し得る物体の判別方法を提供する。
【解決手段】物体Ａを移動させる移動装置２の所定領域を撮影したＸ線画像の各画素毎における濃度値に基づき物体を抽出する工程と、この工程で得られた各濃度値毎の画素数をカウントするとともに、これら各濃度値毎のカウント値を物体の総画素数で除算して上記カウント値を面積比率で表わすことにより物体濃度分布データを求める工程と、上記物体濃度分布データおよび予め上記と同じ工程でもって得られた参照用目的物の参照濃度分布データを入力して両分布データの相関係数を求める工程と、この工程で求められた相関係数を入力するとともに予め設定された閾値と比較して目的物であるか否かを判断する工程とを具備した判別方法である。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の透過特性を利用することによって、被検部が可視光線を透過させ難い場合にも高精度な残厚計測結果を得ることができる被検部厚の検査装置を提供する。
【解決手段】被検体６に対して照射するＸ線３を放射するためのＸ線源２と、被検体にＸ線を照射するための検査空間８を存してＸ線源に相対して配設されるＸ線の輝度を計測するためのＸ線輝度計測装置５と、被検体を検査空間内で所定の速度で通過させるための移送手段７と、移送手段，Ｘ線輝度計測装置及びＸ線源を制御すると共に、計測されたＸ線の輝度から被検部の厚さを算出して被検部の厚さが所望の範囲内にあるか否かを判定する制御装置１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 超高分解能で且つ非常に短時間での非破壊検査が可能であると共に、ターゲット切替機能、高精度の電子プローブ制御機能、ＣＴ機能、元素分析機能などの優れた機能を搭載したＸ線顕微検査装置を提供する。
【解決手段】 電子銃の電子発生部の近傍に磁界発生部が配置された磁界重畳レンズと、異なる波長のＸ線を発生する複数のＸ線発生用ターゲットとを具備し、検査目的に応じて前記Ｘ線発生用ターゲットを切替えて当該波長の特性Ｘ線を発生できるように構成する。更に、電子プローブ制御機能、電子線軸合わせ機能、ＣＴ機能、元素分析機能などの機能を搭載する。 （もっと読む）

【課題】特性Ｘ線21を効率良く発生できるＸ線源11を提供する。
【解決手段】１次ターゲット18に重ねて２次ターゲット19を設ける。電子銃14が発生した電子ビーム15が１次ターゲット18に入射し、１次ターゲット18は連続Ｘ線20を透過させて放出する。２次ターゲット19は、１次ターゲット18から放出される連続Ｘ線20にて励起した特性Ｘ線21を透過させて放出する。１次ターゲット18と２次ターゲット19とを重ね、１次ターゲット18から放出する連続Ｘ線20を２次ターゲット19の励起に効率良くし、特性Ｘ線21を効率良く発生させる。 （もっと読む）

【課題】検出器システムの中心軸線から遠い領域全体の画像化を改良する。
【解決手段】投影または断層撮影による検査対象の位相コントラスト画像を作成するために、ファンビームまたはコーンビーム束を作成するための焦点を有し検査対象の第１側に配置されるＸ線源と、検査対象の反対側の第２側でビーム路中に配置され予め定められたエネルギー範囲内のＸ線の干渉パターンを作成する少なくとも１つの位相格子（Ｇ₁）を有しビーム路中に配置される少なくとも１つのＸ線光学格子と、位相格子（Ｇ₁）によって作成された干渉パターンを少なくともその位相シフトに関して位置分解して検出する分析−検出器システムとから少なくとも構成されるＸ線装置の焦点−検出器装置において、少なくとも１つのＸ線光学格子が複数の条帯を有し、これらの条帯がファンビームまたはコーンビーム束のビーム路中に陰を形成しない突出部である。 （もっと読む）

【課題】 油浸絶縁ケーブルへ放射線を照射して撮影することによる内部診断を活線状態で行えるようにすること。
【解決手段】 放射線照射前に活線状態で採油を行い（ステップＳ１）、接続部へ部分放電を検出するための超音波センサ、クランププローブ等のセンサを取り付ける（ステップＳ２）。ついで、放射線を照射し写真撮影を行なう（ステップＳ３）。その際センサの出力変化を調べる（ステップＳ４）。センサの信号に変化がない場合には、放射線照射による撮影を継続し（ステップＳ７）、センサの信号に変化が出た時は、照射を一旦やめて、信号が元に戻るのを待って再び照射する（ステップＳ５）。センサの出力が元に戻らない場合は放射線診断を止める。放射線診断が終わったら採油を行い（ステップＳ８）、撮影結果と採油のガス分析結果により中間接続部の状況を判断する（ステップＳ９）。 （もっと読む）

【課題】高効率で特性Ｘ線29を放出させることができ、放出する特性Ｘ線29へのノイズ成分の混入を抑え、シートビーム形状の特性Ｘ線29を容易に得られるＸ線源11を提供する。
【解決手段】真空容器12内に区画する区画部23を設ける。区画部23内には、電子銃14から電子ビーム15が入射して連続Ｘ線28を放出する１次ターゲット26を設け、１次ターゲット26から放出された連続Ｘ線28が入射して特性Ｘ線29を放出する２次ターゲット27を設ける。２次ターゲット27には、ボックス形で、電子ビーム15が通過する電子ビーム通過孔30を設け、電子ビーム通過孔30を設けた面に対して交差する面に特性Ｘ線29をシートビーム形状に規制して放出するＸ線通過孔31を設ける。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線により元素分布もしくは分子分布に関する検査対象を非破壊分析する。
【解決手段】Ｘ線源によって、定められたエネルギースペクトルを有するＸ線（１）が発生され、Ｘ線（１）のビーム通路内の少なくとも１つのＸ線光学格子（２）により、このＸ線の定在波場（４）が発生され、このＸ線定在波場（４）が少なくとも部分的に検査対象（５）内に位置決めされ、検査対象（５）内のＸ線定在波場（４）によって励起された放射（６）が、検査対象（５）とＸ線定在波場（４）との間の少なくとも１つの相対的位置に依存して測定され、Ｘ線定在波場（４）によって励起された放射（６）の測定結果から、検査対象（５）内の物質分布（５．ｘ）が推定される。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線測定光学系と被測定物との破損を防止しつつ、Ｘ線検出器又はステージを移動させることにより、様々な位置の被測定物の透視Ｘ線像を撮影できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検出器１２とＸ線源１１との間で被測定物を配置するステージ１４と、ステージ駆動機構とを備えるＸ線検査装置１であって、可視光像を撮影する光学カメラ１６と、ステージ１４を回転移動させつつ撮影された可視光像に基づいて、被測定物とＸ線測定光学系１３とが接触する可能性がある衝突危険領域を設定する衝突危険領域設定手段３２と、Ｘ線測定光学系１３の一部が衝突危険領域に入っているか否かを判定する衝突判定手段３３と、Ｘ線測定光学系１３の一部が衝突危険領域に入っていると判定したときに、Ｘ線測定光学系１３の全部が衝突危険領域に入っていないときの移動速度より遅い所定の移動速度にする移動速度制御手段５２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 高分解能の電子顕微鏡の特徴であるノイズ成分を多く含む画像に対し、ノイズの低減と画像の輪郭の強調という、従来技術では相反する画像処理を同時に行うことのできる電子顕微鏡の画像処理システムを提供する。
【解決手段】 走査電子顕微鏡１０は、電子銃から電子線を試料に照射し、試料から発生した二次電子を検出することによって顕微鏡画像を生成する。パーソナルコンピュータ２０は電子顕微鏡１０によって生成された顕微鏡画像を取得し、前記顕微鏡画像に最大エントロピー法を用いた画像処理を施す。パーソナルコンピュータ２０は、前記顕微鏡画像に最大エントロピー法を用いた画像処理を施す際に、あらかじめ取得された大照射電流量の電子顕微鏡画像と、最大エントロピー法を用いた画像との比較に対する評価結果に基づいて前記画像処理のためのフィルタリング条件を決定する。 （もっと読む）

【課題】撮像のための組成物、方法、及び装置、特に、Ｘ線顕微鏡コンピュータ断層撮影法から得られた試料画像の調製、収集、及び処理の改善を提供する。
【解決手段】コンピュータ断層撮像を用いて表現型に関してエキソビボ胎芽を選別するための高速かつ廉価で高処理量の高解像度撮像の方法のための処理と共に、Ｘ線顕微鏡コンピュータ断層撮影法を用いて仮想組織像のためのマイクロＣＴ画像を生成する方法を説明する。高品質画像生成及び解剖学的構造の識別、並びに分子ターゲットの位置確認に寄与する、試料の特定の構成要素を１つ又はそれよりも多くの染色剤で染色することを説明する。生成した画像の撮像後処理の低減を考慮する革新的な動物及び試料ホルダを詳細に説明する。特に、透過性の低い構造から動物又は試料を分離する透過性の高いベッド又はライナを含む動物及び試料ホルダを提供する。動物の身体に適合するベッドを含む、撮像手順又は複数の撮像手順の間に動物を望ましい位置に配置及び／又は維持するための更に別の動物ホルダを提供する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線フラットパネルセンサの各検出素子から取得される輝度値にはばらつきが存在するため、小さな半田バンプを測定する際の精度を向上させることができなかった。
【解決手段】所定のＸ線透過量とされた感度補正試料（標準試料）１８にＸ線を照射し、多数の検出素子１３ｃにて感度補正試料１８を透過した透過Ｘ線の強度を検出し、検出した透過Ｘ線の強度に対応する補正用階調データを同多数の検出素子１３ｃ別に取得するとともに、当該補正用階調データに基づいて、所定強度のＸ線が照射された対象試料を透過した透過Ｘ線の強度に対応して取得される階調データを多数の検出素子１３ｃ別に補正する構成とした。対象試料をより精度よく測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】２次元、３次元いずれの画像データに対しても最適な条件でのトリミング（関心領域の抽出）を安定的に行えるようにする。
【解決手段】対象物について取得された画像データから対象物像を包含する領域を関心領域として抽出する関心領域抽出方法について、画像データＢＤ上で対象物像Ｉと背景の境界を対象物像と背景の交差位置として探索する交差探索プローブ１２を設定する過程、交差探索プローブを画像データ上で走査させて境界端１３を交差位置として探索する過程、および交差位置探索の結果に基づいて関心領域を決定する過程を含むものとしている。 （もっと読む）

【課題】 ＥＤＳスペクトルをまとめて１度測定することを可能とする測定データの管理方法を提供する。
【解決手段】 波高分析器２６は、ＥＤＳ検出器２１で感知したエネルギーをエネルギーに相対した高さのパルスに変換し、このパルスの高さの高さ分布をマルチチャンネルに振り分けてそのチャンネル毎のパルス数を測定する。データ処理回路２７は、Ｘ線２０のエネルギーデータであることを示すタグとエネルギー値を組み合わせたデータブロックとをＣＰＵ２８に送る。ＣＰＵ２８では送られてきたデータブロックをハードディスク２９に連続的に保存していく。 （もっと読む）