Ｘ線断層合成用の本発明による装置（３６）は、荷電粒子がターゲット（４２）に衝突した場合に、検査すべき試料（２）を貫通照射するＸ線を放射するターゲット（４２）に、荷電粒子の粒子線を向けるための手段を備える。本発明によれば、ターゲット（４２）は、少なくとも１つの支持要素（４６）を備え、この少なくとも１つの支持要素には、支持要素（４６）をそれぞれ部分的にのみ覆う互いに離間した複数のターゲット要素（４８〜５４）が配置されている。本発明によれば、粒子線がターゲット要素（４８〜５４）に衝突するように偏向可能である偏向手段がさらに設けられている。
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【課題】Ｘ線検査装置の検査精度を向上することが望まれていた。
【解決手段】Ｘ線によって検査対象を検査するにあたり、Ｘ線を検査対象品に照射して複数の方向から撮影した複数のＸ線画像を取得し、上記複数のＸ線画像に基づいて再構成演算を実行して検査対象品の３次元画像を取得し、上記取得した３次元画像に基づいて良否の特徴が現れる特徴量を算出し、当該特徴量に基づいて良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】 実装基板等を次々測定する際に、簡単な入力操作で各測定点を入力することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 実装基板上に搭載される部品または実装基板自体を被測定物としてＸ線透視測定を行うＸ線検査装置であって、実装基板上に搭載される部品または実装基板自体についての測定位置指定に役立つ設計・製造情報を含んだ実装部品関連データが与えられたときに、これを読み込む電子データ読込部３４と、読み込まれた実装部品関連データを利用して被測定物の測定位置を設定する測定位置設定部３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、上記問題点を解決すべく、ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りの傾斜を大幅に改善可能な試料ホルダーを提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダーは、ホルダー本体と、試料を保持するための試料固定台と、前記ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りに回転可能な軸傾斜機構とを有し、前記軸傾斜機構は、前記長手方向に直交する所望の軸回りに回転させるための支点保持部材とは無関係に軸傾斜可能な機構であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転中心軸方向およびそれに直交する方向の双方に撮影可能領域を拡張することのできるコンピュータ断層撮影方法を提供する。
【解決手段】ヘリカルスキャン方式によるＣＴ撮影を行うに当たり、回転中心軸Ｒを、放射線検出器２の視野内で、かつ、放射線検出器２の受光面の中心と放射線源１ａとを結ぶ直線Ｌに対して逸脱させた位置に配置した状態で、ヘリカルスキャンにより被写体Ｗを撮影するための条件を満たすヘリカル送りピッチΔの１／２だけ回転中心軸Ｒ方向にずらせた位置において２回のヘリカルスキャンを行うことで、被写体Ｗの３次元像を構築するために必要な放射線透過データを得る。 （もっと読む）

【課題】検査対象となる物品全体の中で、他の部位とは異なる検査条件が適用されるべき特定の部位を予め指定することができないような場合にも、そのような特定の部位にその他の部位とは異なる検査条件を適用することを可能にし、物品を効率よく検査することができる検査システム及び検査装置を提供する。
【解決手段】検査システム１は、金属検査装置１０と、Ｘ線検査装置２０とを備える。金属検査装置１０は、物品Ｐを検査する。Ｘ線検査装置２０は、金属検査装置１０よりも物品Ｐの搬送方向について下流側に位置する。Ｘ線検査装置２０は、物品Ｐの指定部位２０２と指定部位２０２以外の物品Ｐの非指定部位２０１，２０３とに異なる画像処理ルーチンＲ１，Ｒ２を適用して、物品Ｐを検査する。指定部位２０２は、金属検査装置１０による物品Ｐの検査結果に基づいて指定される。 （もっと読む）

【課題】 操作者が自ら処理シーケンスを作成することなく、また、使用態様に応じて操作性よく使用することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 観察モード用画面パターンＰ１、計測モード用画面パターンＰ２を含む複数の異なる画面パターンのいずれかが選択的に表示装置のモニタ画面に表示され、ポインティングデバイスを用いて指示することにより機能実行プログラムが起動する選択スイッチが前記各画面パターンの一部に形成されるＸ線検査装置１であって、選択スイッチ２４ｃは、現在表示中の画面パターンＰ１、Ｐ２に応じて、その画面パターンに関連する機能実行プログラムのうちで使用頻度が高い機能実行プログラムが割り付けられるようにする。 （もっと読む）

装置が、X線のような電離放射線に感受性のある検出器（１００）によって生成される信号を受領する。微分器（２０４）は検出器信号の変化率を示す出力を生成する。弁別器（２０６）は微分器（２０４）出力の大きさを分類する。弁別器（２０６）の出力によってトリガーされる積分器（２０８）が検出された光子を示す出力を生成する。一つまたは複数の補正器（２４ａ、２４ｂ）がパルスの積み上げについて補正し、組み合わせ器（２５）が補正器（２４ａ、２４ｂ）の出力を使って、検出された光子の数およびエネルギー分布を示す出力信号を生成する。
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対象物（１）の検査領域（２）を撮像するための撮像方法は、エネルギービーム源（１０）によりエネルギー入力ビーム（３）を生成する工程と、エネルギー入力ビームの複数のエネルギー入力ビーム成分（４）を用いて複数の投射方向に沿って検査領域を照射する工程とを備え、複数のエネルギー入力ビーム成分はフレームマスク（４０）を用いて形成され、このフレームマスクは、エネルギー入力ビーム（１０）と対象物との間に配置され、複数のフレームマスク窓（４１）を有している。上記方法はさらに、フレームマスクの外側に配置された外部検出器デバイス（２１）を用いてエネルギー入力ビーム成分の第１積分減衰値を測定する工程と、フレームマスクの内面に配置されたフレームマスク検出器デバイス（２４）を用いてエネルギー入力ビーム成分の第２積分減衰値を測定する工程と、第１および第２積分減衰値に基づいて検査領域の画像を再構築する工程とを備えている。さらに、対象物の検査領域を撮像する撮像装置（１００）が開示される。
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【課題】分散染色法は、浸液とアスベストの屈折率差で分散色がつくが、結晶によっては分散色が薄くアスベストかどうか判別ができない場合がある。大気中から採取した試料から作成した標本では透明化したろ紙とアスベストとを同じ視野内で位相差観察する。アスベストによるコントラストが少ない場合、ろ紙繊維の影響を排除する必要がある。
【解決手段】アスベストに偏光特性があるので、顕微鏡光路中に偏光板が配置されていれば、偏光板の回転により見ている結晶がアスベストであれば観察する色が変化する。顕微鏡において偏光板を回転可能に設けて、観察しながら、偏光板を回転すると、偏光特性を有するアスベストは色が変化して観察されることにより、アスベストと、他のロックウールやろ紙繊維と区別することができる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線画像全体の中でのポインタの現在位置を確認しながら、所望の画素を精度よく指定することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線測定光学系１３で撮影した映像信号に基づいて作成したＸ線画像２４ａを表示装置のモニタ画面に表示するＸ線検査装置であって、モニタ画面に表示されたＸ線画像上の任意の位置を指定するためのポインタ２３ａをモニタ画面上に表示するポインティングデバイス２３を備えるとともに、ポインタ２３ａにより指定される位置近傍の部分拡大Ｘ線画像２４ｃを、前記Ｘ線画像２４ａの上に重ねるようにして表示する部分拡大画像表示手段３６、４３とを備える。 （もっと読む）

手荷物検査へのＣＳＣＴの使用は、大きな視野を必要とし、結果として大きな遠心力を維持しなくてはならない大きなガントリになる。したがって、より小さなガントリサイズを可能にする様々なＣＳＣＴ幾何構成が記載される。特に、焦点中心でない検出器ユニットを有するＣＳＣＴスキャナが記載される。
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【課題】ＲＴ−ＧＵＣＨＩ法を適用して信頼性の高い欠陥部のサイジングが作業性がよく得られるようにしたＲＴ３次元サイジング装置を提供すること。
【解決手段】 対象物１に存在する欠陥部２の近傍に基準線部材３を載置し、放射線源４を一方の位置Ｌと他方の位置Ｒにして放射線を照射し、２方向から撮影した各々の透過写真によりサイジングを行うというＲＴ−ＧＵＣＨＩ法を適用したサイジングに際して、画像ディジタル変換部１１と画像処理部１６、それに３次元解析部３２を設け、前記透過写真を画像ディジタル変換部１１によりディジタル画像化し、ディジタルデータ記憶部１５に記憶した上で、画像処理部１６により処理し、欠陥部２の画像を表示モニタ３０に拡大表示させ、指定範囲の濃度分布を表示モニタ３０にグラフ表示させ、指定位置間寸法を機械的に測長させ、３次元解析部３２により欠陥部の３次元の寸法をリアルタイムで表示モニタ３０に表示されるようにしたもの。 （もっと読む）

Ｘ線検査装置１００が記述されており、この装置は、人為的動作可能な制御入力装置２１及び表示装置２２を保持する可動キャリッジ１０を有し、キャリッジ１０は、前方側１１及び後方側１２を有し、人為的動作可能な制御入力装置は、キャリッジの前方側１１の近くに配置され、表示装置は、キャリッジの後方側１２の近くに配置され、キャリッジは、表示装置がその画像スクリーンを実質的にキャリッジの前方側１１に向くよう方向づける制御位置と、表示装置がその画像スクリーンを実質的にキャリッジの後方側に向くよう方向付ける医師位置とを有し、表示装置は、制御位置と医師位置との間で変位可能なように可動キャリッジに実装されている。
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【課題】回転中心の振れを従来に比してより小さくすることのできる回転駆動機構を持つＸ線透視検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物を搭載するＸＹテーブル２を回転させる回転駆動機構１を、ＸＹテーブル２を載せる回転リング１１と、その回転リング１１の外周部に固定された従動プーリ１２と、その従動プーリ１２に対して駆動プーリ１５の回転を伝達するベルト１６により構成するとともに、回転リング１１は、３個以上の径方向支持ローラ１１ａ〜１１ｄおよび軸方向支持ローラ１１ｅ〜１１ｈで支持し、ベルト１６のテンションにより２個の径方向支持ローラ１１ａ，１１ｂに回転リング１１を押しつけつつこれを回転させる構成を採用することで、従来の旋回軸受と旋回ギアを用いる場合に比して、軸受の隙間による心振れの発生がなく、心振れを小さく抑えることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】分散染色法は、浸液とアスベストの屈折率差で分散色がつくが、結晶によっては分散色が薄くアスベストかどうか判別ができない場合がある。大気中から採取した試料から作成した標本では透明化したろ紙とアスベストとを同じ視野内で位相差観察する。アスベストによるコントラストが少ない場合、ろ紙繊維の影響を排除する必要がある。
【解決手段】アスベストに偏光特性があるので、顕微鏡光路中に偏光板が配置されていれば、偏光板の回転により見ている結晶がアスベストであれば観察する色が変化する。顕微鏡において偏光板を回転可能に設けて、観察しながら、偏光板を回転すると、偏光特性を有するアスベストは色が変化して観察されることにより、アスベストと、他のロックウールやろ紙繊維と区別することができる。 （もっと読む）

【課題】合金化溶融亜鉛めっき鋼板における組成が深さ方向に不均一なめっき被膜の付着量および組成を十分正確に分析できる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】所定の入射角φで試料１に１次Ｘ線６を照射するＸ線源７と、所定の取り出し角α，βで試料１から発生する蛍光Ｘ線８の強度を測定する検出手段９とを備え、前記入射角φと取り出し角α，βの組合せにおいて少なくとも一方が相異なる２つの組合せで蛍光Ｘ線８の強度を測定し、蛍光Ｘ線８の強度が測定対象膜の付着量を増大させたときの上限値の９９％となる付着量で示される測定深さについて、前記２つの組合せでの測定深さがいずれも前記めっき被膜３の付着量よりも大きくなるように、各組合せにおける入射角φおよび取り出し角α，βが設定されている。 （もっと読む）

【課題】 同一形状の被測定物を次々交換して検査する際に、簡単な操作で所望の測定位置について異なる検査を実行することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 ステージ１４およびステージを駆動する駆動機構１６と、Ｘ線測定光学系１３と、表示装置２４と、入力装置２２、２３と、Ｘ線画像に基づいて被測定物の検査のための計測処理を行う選択可能な計測処理プログラム４１と、各測定点の座標に各測定点で実行する計測処理プログラムが関連付けられてティーチングされることにより、これらをティーチング情報として記憶させるティーチング情報記憶制御部３５と、被測定物がステージに載置された状態で、ティーチング情報に基づいて各測定点に関連付けられた計測処理プログラムを実行するティーチング情報実行部３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定目的元素からの蛍光X線強度の大きな変動を解決するとともに、これまで困難であった、高精度な、イオン注入量評価、薄膜中の元素濃度評価、試料表面の汚染量評価をインラインで行なうことを可能とする。
【解決手段】本発明では、結晶部の結晶構造と入射X線の入射方位を制御することで、この散乱または回折X線の変化を抑える。また、ゴニオメータの位置再現性の誤差を考慮し、結晶部で散乱されるX線強度の入射X線方位依存性が最少になる方向からX線を入射する方法で分析することにより、実際上再現性を高めた蛍光X線強度測定を行うことを可能とした。 （もっと読む）

基材を識別するために、Ｘ線蛍光分光法を用いて試料を分析し、電子部品および電子組立品における６価クロムを測定する。確認された基材に基づき、様々な抽出および分析の手順から手順を選択し、選択した手順を用いて６価クロムを試料から抽出する。抽出された６価クロムを１，５−ジフェニルカルバジドと反応させ、各種類の識別された基材に対し独自の校正曲線を用いて、紫外分光法を用いて測定する。測定された６価クロムの量に基づき、試料の単位面積の関数として６価クロムの濃度を算出する。
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